技術(shù)編號：3386659
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型涉及半導(dǎo)體、光伏產(chǎn)業(yè)中的PECVD設(shè)備。 背景技術(shù)目前用于太陽能電池片生產(chǎn)的PECVD (等離子增強型化學(xué)氣相沉積)設(shè)備的產(chǎn)能有限，對于尺寸為125 mmX125 mm的硅片，每管可以裝載196或252片；對于156 mmX156 mm的硅片，每管裝載144或216片。然而，這一有限的產(chǎn)能及其生產(chǎn)的電池片性能不高如轉(zhuǎn)化效率、均勻性、色差等問題，已無法滿足快速發(fā)展的太陽能光伏發(fā)電產(chǎn)業(yè)。以上設(shè)備的承載裝置——石墨舟之現(xiàn)有結(jié)構(gòu)，是產(chǎn)能與電池片電性能妥協(xié)...
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