技術(shù)編號(hào)：3298101
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明實(shí)施例公開了一種冷卻裝置以及真空蒸鍍?cè)O(shè)備，可以加速真空蒸鍍?cè)O(shè)備蒸發(fā)源的冷卻過程，減少真空蒸鍍?cè)O(shè)備冷卻所需時(shí)間，有效提高真空蒸鍍?cè)O(shè)備的使用效率。本發(fā)明實(shí)施例的冷卻裝置，用于冷卻真空蒸鍍?cè)O(shè)備的蒸發(fā)源，冷卻裝置包括若干個(gè)冷卻單元；驅(qū)動(dòng)單元，用于驅(qū)動(dòng)冷卻單元包覆蒸發(fā)源；設(shè)置于冷卻單元內(nèi)部的冷卻管，冷卻管包括至少一個(gè)冷卻液進(jìn)料口以及至少一個(gè)冷卻液出料口。專利說明冷卻裝置以及真空蒸鍍?cè)O(shè)備[0001]本發(fā)明涉及冷卻系統(tǒng)，尤其涉及一種冷卻裝置以及真空蒸鍍?cè)O(shè)備。背景技...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。