技術(shù)編號(hào)：2967676
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及采用場致發(fā)射型冷陰極等電子發(fā)射元件的平面型圖像顯示裝置制造方法及制造設(shè)備。作為這樣的平面型圖像顯示裝置，已經(jīng)知道有例如圖7所示的結(jié)構(gòu)。另外，圖7B所示為圖7A的圓圈所包圍部分的放大剖面圖。在該圖像顯示裝置中，作為后板的硅基板101上，形成具有大量凹陷102的二氧化硅膜103，在該二氧化硅膜103上形成鉬或鈮等構(gòu)成的柵極電極104。在凹陷102內(nèi)部的硅基板101上形成圓錐體狀的鉬等構(gòu)成的場致發(fā)射型電子發(fā)射元件105。然后，與具有這樣大量的電子發(fā)射元...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。