技術(shù)編號(hào)：2911035
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及，更詳細(xì)地說，涉及適用于納米技術(shù)的納米大小的具有尖銳形狀的針狀硅結(jié)晶、及可在硅基板面上大量形成該針狀硅結(jié)晶的制造方法。背景技術(shù) 近年來，隨著電子學(xué)產(chǎn)業(yè)的高度技術(shù)化，要求設(shè)備進(jìn)一步微細(xì)化、高集成化，其加工技術(shù)的微細(xì)化的左右超過亞微細(xì)粒級(jí)的范圍，已經(jīng)達(dá)到納米(nm)級(jí)的范圍。為此，需要數(shù)十納米～數(shù)納米大小的元件及結(jié)構(gòu)構(gòu)件。作為用來制造如上所述的結(jié)構(gòu)構(gòu)件及元件的微細(xì)材料，1991年發(fā)現(xiàn)的碳納米管正在受人矚目。另外，最近，在碳納米管以外，正在提議或制造碳...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。