技術(shù)編號(hào)：2803320
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及對(duì)位，特別是涉及一種基板對(duì)位標(biāo)記及其制作方法、基板。背景技術(shù)液晶顯示技術(shù)發(fā)展至今已經(jīng)相當(dāng)成熟，各個(gè)面板公司的主要競(jìng)爭(zhēng)越來(lái)越趨向于良率的提升和成本的下降。光刻是薄膜晶體管液晶顯示器(Thin Film Transistor LiquidCrystal Display,簡(jiǎn)稱為“TFT-1XD”)生產(chǎn)中的必須環(huán)節(jié)，曝光機(jī)進(jìn)行曝光時(shí)為了實(shí)現(xiàn)各層之間圖形的重合度符合要求，通常在基板的周邊上制作對(duì)位標(biāo)記，來(lái)保證對(duì)位精確?，F(xiàn)有技術(shù)中的對(duì)位標(biāo)記一般與薄膜晶體管(...
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