技術(shù)編號：1861925
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實用新型涉及電極結(jié)構(gòu)，具體為石英玻璃坩堝的電極結(jié)構(gòu)。 背景技術(shù)根據(jù)旋轉(zhuǎn)模具法生產(chǎn)石英玻璃坩堝的工藝是這樣的存放在旋轉(zhuǎn)模具內(nèi)的石英砂粉末通過電弧放電加熱和熔化，生產(chǎn)出石英玻璃坩堝，坩堝內(nèi)側(cè)為透明石英玻璃層，外側(cè)為不透明層，對于傳統(tǒng)的形成電弧放電的電極結(jié)構(gòu)，設(shè)置有三個電極，三相交流電流過所述三個電極，在電極之間形成等離子電弧放電。目前，硅單晶生產(chǎn)中對石英坩堝直徑的要求越來越大，而這種傳電極結(jié)構(gòu)的缺點暴露的也更加明顯當(dāng)電極之間的距離增加以便擴大加熱范圍時，電弧...
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