專利名稱：石英玻璃坩堝的電極結構的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及電極結構，具體為石英玻璃坩堝的電極結構。
背景技術：
根據(jù)旋轉模具法生產(chǎn)石英玻璃坩堝的工藝是這樣的存放在旋轉模具內(nèi)的石英砂粉末通過電弧放電加熱和熔化，生產(chǎn)出石英玻璃坩堝，坩堝內(nèi)側為透明石英玻璃層，外側為不透明層，對于傳統(tǒng)的形成電弧放電的電極結構，設置有三個電極，三相交流電流過所述三個電極，在電極之間形成等離子電弧放電。目前，硅單晶生產(chǎn)中對石英坩堝直徑的要求越來越大，而這種傳電極結構的缺點暴露的也更加明顯當電極之間的距離增加以便擴大加熱范圍時，電弧變得不穩(wěn)定而中斷， 尤其是，對于大尺寸坩堝，由于模具轉動在坩堝內(nèi)造成氣流的影響較大，所以傳統(tǒng)的電極結構的電弧很容易中斷。

實用新型內(nèi)容本實用新型所解決的技術問題在于提供石英玻璃坩堝的電極結構，使其即使在電極之間距離增加的情況下也可以保持電弧的穩(wěn)定，從而解決上述背景技術中的缺點。本實用新型所解決的技術問題采用以下技術方案來實現(xiàn)石英玻璃坩堝的電極結構，包括旋轉模具和安裝在旋轉模具上方的若干電極，與傳統(tǒng)電極結構的顯著區(qū)別特征在于，所述電極間隔排列在以旋轉模具旋轉軸線為中心的環(huán)狀結構上，各相鄰電極之間的間距均相等。本實用新型中，所述環(huán)狀結構的圓半徑r與所述旋轉模具的開口半徑R之比為 2/5-4/5。本實用新型中，所述電極至少為四個。本實用新型，所述電極可具有二相交流電的四個電極、三相交流電的六個電極、三相交流電的九個電極或四相交流電的八個電極。有益效果本實用新型結構簡單，電極之間可以形成環(huán)狀電弧，電弧穩(wěn)定且具有很大加熱范圍，即使在生產(chǎn)大口徑坩堝、電極之間的距離較大的情況下，電弧的穩(wěn)定性同樣良好。

圖1為本實用新型實施例的示意圖。圖2為本實用新型實施例的電極分布示意圖。
具體實施方式
為了使本實用新型實現(xiàn)的技術手段、創(chuàng)作特征、達成目的與功效易于明白了解，下面結合具體圖示，進一步闡述本實用新型。[0015]參見圖1、圖2，石英玻璃坩堝的電極結構，包括旋轉模具1和安裝在旋轉模具1上方的若干電極2，本實施例中電極2具有兩相交流電的四個電極，與傳統(tǒng)電極結構的顯著區(qū)別特征在于，所述電極2間隔排列在以旋轉模具1旋轉軸線為中心的環(huán)狀結構上，各相鄰電極2之間的間距均相等。作為一種優(yōu)選方案，本實施例中，所述環(huán)狀結構的圓半徑r與所述旋轉模具的開口半徑R之比為2/3。以上顯示和描述了本實用新型的基本原理和主要特征和本實用新型的優(yōu)點。本行業(yè)的技術人員應該了解，本實用新型不受上述實施例的限制，上述實施例和說明書中描述的只是說明本實用新型的原理，在不脫離本實用新型精神和范圍的前提下，本實用新型還會有各種變化和改進，這些變化和改進都落入要求保護的本實用新型范圍內(nèi)。本實用新型要求保護范圍由所附的權利要求書及其等效物界定。
權利要求1.石英玻璃坩堝的電極結構，包括旋轉模具和安裝在旋轉模具上方的若干電極，其特征在于所述電極排列在以旋轉模具旋轉軸線為中心的環(huán)狀結構上，各相鄰電極之間的間距均相等。
2.根據(jù)權利要求1所述的石英玻璃坩堝的電極結構，其特征在于所述環(huán)狀結構的圓半徑與所述旋轉模具的開口半徑之比為2/5-4/5。
3.根據(jù)權利要求1所述的石英玻璃坩堝的電極結構，其特征在于所述電極至少為四個。
4.根據(jù)權利要求1或3所述的石英玻璃坩堝的電極結構，其特征在于所述電極可具有兩相交流電的四個電極、三相交流電的六個電極、三相交流電的九個電極或四相交流電的八個電極。
專利摘要石英玻璃坩堝的電極結構，包括旋轉模具和安裝在旋轉模具上方的若干電極，所述電極排列在以旋轉模具旋轉軸線為中心的環(huán)狀結構上，各相鄰電極之間的間距均相等。本實用新型結構簡單，電極之間可以形成環(huán)狀電弧，電弧穩(wěn)定且具有很大加熱范圍，即使在生產(chǎn)大口徑坩堝、電極之間的距離較大的情況下，電弧的穩(wěn)定性同樣良好。
文檔編號C03B20/00GK202116423SQ20112018455
公開日2012年1月18日 申請日期2011年6月2日 優(yōu)先權日2011年6月2日
發(fā)明者上官春水, 余獻軍, 劉奏波, 林方友, 潘紹勤, 董建安, 陳官元, 陳少永, 黃萬全 申請人:江西安邁科技有限公司