技術(shù)編號：10921960
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。薄膜晶體管液晶顯不器(ThinFilm Transistor Liquid Crystal Display，簡稱TFT-LCD)，具有體積小、功耗低、無輻射等優(yōu)點(diǎn)，在當(dāng)前的平板顯示市場中占據(jù)了主導(dǎo)地位。TFT陣列基板通常利用光刻工藝制作。光刻工藝是以光刻膠為材料，在玻璃基板表面形成TFT結(jié)構(gòu)的圖形。這個圖形的作用在于保護(hù)在它下面的薄膜，使其在下一道蝕刻工藝中不被蝕掉，從而最終在薄膜上形成需要保護(hù)的圖形。現(xiàn)有技術(shù)制作薄膜晶體管的灰階(HalfTone)工藝中...
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