技術(shù)編號(hào):10645784
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。原子層沉積是通過(guò)將氣相前驅(qū)體脈沖交替地通入反應(yīng)腔并在沉積基體上化學(xué)吸附并反應(yīng)并形成沉積膜的一種方法,作為一種新興的薄膜制備技術(shù),在微電子領(lǐng)域、光電領(lǐng)域、太陽(yáng)能領(lǐng)域以及納米材料領(lǐng)域等有著非常廣泛的應(yīng)用。一般原子層沉積反應(yīng),需要對(duì)反應(yīng)腔體進(jìn)行加熱,且通常的原子層沉積設(shè)備,反應(yīng)腔處于一個(gè)更大腔體的內(nèi)部。外部腔體中安裝加熱電阻、反射板等,通過(guò)輻射的方式對(duì)反應(yīng)腔體進(jìn)行加熱。通常情況下,反應(yīng)腔體的氣壓低于外部腔體。此外,基底樣品須通過(guò)外腔放入內(nèi)腔。因此,反應(yīng)腔體的門(mén)蓋...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專(zhuān)利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專(zhuān)利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
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- 趙老師:1.?金屬材料表面改性技術(shù) 2.?超硬陶瓷材料制備與表面硬化 3.?規(guī)整納米材料制備及應(yīng)用研究
- 王老師:1.數(shù)字信號(hào)處理 2.傳感器技術(shù)及應(yīng)用 3.機(jī)電一體化產(chǎn)品開(kāi)發(fā) 4.機(jī)械工程測(cè)試技術(shù) 5.逆向工程技術(shù)研究
- 王老師:1.精密/超精密加工技術(shù) 2.超聲波特種加工 3.超聲/電火花復(fù)合加工 4.超聲/激光復(fù)合加工 5.復(fù)合能量材料表面改性 6.航空航天特種裝備研發(fā)
- 郝老師:1.?先進(jìn)材料制備 2.?環(huán)境及能源材料的制備及表征 3.?功能涂層的設(shè)計(jì)及制備 4.?金屬基復(fù)合材料制備
- 劉老師:非常規(guī)環(huán)境下二次電池關(guān)鍵材料與電化學(xué)機(jī)理,鋰/鈉離子電池,鋰-空氣電池關(guān)鍵材料,多孔合金電極材料,新型二次電池的設(shè)計(jì)與改性。
- 丁老師:1.材料物理與化學(xué) 2.新能源材料與技術(shù) 3.納米多孔金屬 4.納米催化/電催化 5.化學(xué)合成及修飾 6.燃料電池 7.生物傳感器
- 王老師:機(jī)械制造