一種硅片清洗機(jī)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ]本實(shí)用新型屬于硅片切割技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種硅片清洗機(jī)。
【背景技術(shù)】
[0002]硅片是一種硅材料通過(guò)加工切成一片一片而形成的。從硅材料到可使用的硅片要經(jīng)過(guò)切割、清洗等多道工序。清洗作為硅片的一個(gè)生產(chǎn)工序之一，其清洗的好壞對(duì)硅片的使用性能有著很大的影響。清洗的主要目的是為了清洗掉切割過(guò)程中的產(chǎn)生的砂粒、殘留的切削磨料、金屬離子及指紋等，使硅片表面達(dá)到無(wú)腐蝕氧化、無(wú)殘留等技術(shù)指標(biāo)?，F(xiàn)有硅片清洗常采用一種封閉的硅片清洗機(jī)，清洗硅片時(shí)要將硅片放在花籃中再進(jìn)清洗機(jī)清洗，清洗后檢測(cè)工段人員將硅片從花籃里面倒出，再將花籃以及花架用人工返還給清洗工段。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本實(shí)用新型目的在于針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的缺陷提供一種能夠自動(dòng)回送花籃和花架的娃片清洗機(jī)。
[0004]本實(shí)用新型為實(shí)現(xiàn)上述目的，采用如下技術(shù)方案:
[0005 ] —種娃片清洗機(jī)，包括上料臺(tái)、下料臺(tái)、位于上料臺(tái)和下料臺(tái)之間的多個(gè)清洗槽，其特征在于:位于所述上料臺(tái)和下料臺(tái)之間上方設(shè)置有花籃傳輸裝置。
[0006]其進(jìn)一步特征在于:所述花籃傳輸裝置傳送方向?yàn)橄铝吓_(tái)至上料臺(tái)方向。
[0007]優(yōu)選的:所述花籃傳輸裝置為鏈條驅(qū)動(dòng)的傳送皮帶。
[0008]所述下料臺(tái)上設(shè)置有傳送皮帶。
[0009]所述花籃傳輸裝置離地高度為140-150cmo
[0010]本實(shí)用新型在現(xiàn)有的硅片清洗機(jī)的基礎(chǔ)上進(jìn)行改造，在硅片清洗機(jī)的上方設(shè)置花籃傳輸裝置，將花籃從下料臺(tái)自動(dòng)傳輸至上料臺(tái)方向，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)回籃，提升生產(chǎn)效率，節(jié)約人力成本。同時(shí)，花籃傳輸裝置的設(shè)置也不會(huì)影響到硅片清洗機(jī)的原有清洗功能。
【附圖說(shuō)明】
[0011]圖1為本實(shí)用新型示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0012]現(xiàn)有的硅片清洗機(jī)，包括上料臺(tái)1、下料臺(tái)2、位于上料臺(tái)I和下料臺(tái)2之間的多個(gè)清洗槽3，所述下料臺(tái)2上設(shè)置有傳送皮帶。
[0013]如圖1所示，對(duì)現(xiàn)有的硅片清洗機(jī)進(jìn)行改造，在位于所述上料臺(tái)I和下料臺(tái)2之間上方，離地高度為140-150cm設(shè)置花籃傳輸裝置4。所述花籃傳輸裝置4傳送方向?yàn)橄铝吓_(tái)至上料臺(tái)方向，將花籃5從下料臺(tái)2傳送至上料臺(tái)I。所述花籃傳輸裝置4為鏈條驅(qū)動(dòng)的傳送皮帶。
[0014]本實(shí)用新型通過(guò)設(shè)置在硅片清洗機(jī)上部的花籃傳輸裝置將花籃從下料臺(tái)自動(dòng)傳輸至上料臺(tái)方向，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)回籃，提升生產(chǎn)效率，節(jié)約人力成本。同時(shí)，花籃傳輸裝置的設(shè)置也不會(huì)影響到娃片清洗機(jī)的原有清洗功能。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種娃片清洗機(jī)，包括上料臺(tái)、下料臺(tái)、位于上料臺(tái)和下料臺(tái)之間的多個(gè)清洗槽，其特征在于:位于所述上料臺(tái)和下料臺(tái)之間上方設(shè)置有花籃傳輸裝置； 所述花籃傳輸裝置傳送方向?yàn)橄铝吓_(tái)至上料臺(tái)方向。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片清洗機(jī)，其特征在于:所述花籃傳輸裝置為鏈條驅(qū)動(dòng)的傳送皮帶。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片清洗機(jī)，其特征在于:所述下料臺(tái)上設(shè)置有傳送皮帶。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片清洗機(jī)，其特征在于:所述花籃傳輸裝置離地高度為140-150cmo
【專利摘要】本實(shí)用新型公布了一種硅片清洗機(jī)，包括上料臺(tái)、下料臺(tái)、位于上料臺(tái)和下料臺(tái)之間的多個(gè)清洗槽，其特征在于：位于所述上料臺(tái)和下料臺(tái)之間上方設(shè)置有花籃傳輸裝置。所述花籃傳輸裝置傳送方向?yàn)橄铝吓_(tái)至上料臺(tái)方向。所述花籃傳輸裝置為鏈條驅(qū)動(dòng)的傳送皮帶。本實(shí)用新型在現(xiàn)有的硅片清洗機(jī)的基礎(chǔ)上進(jìn)行改造，在硅片清洗機(jī)的上方設(shè)置花籃傳輸裝置，將花籃從下料臺(tái)自動(dòng)傳輸至上料臺(tái)方向，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)回籃，提升生產(chǎn)效率，節(jié)約人力成本。同時(shí)，花籃傳輸裝置的設(shè)置也不會(huì)影響到硅片清洗機(jī)的原有清洗功能。
【IPC分類】B08B11/00
【公開號(hào)】CN205289176
【申請(qǐng)?zhí)枴?br>【發(fā)明人】劉鋒, 劉愛軍, 蔣月華, 陳新軍, 鄧加云
【申請(qǐng)人】無(wú)錫隆基硅材料有限公司
【公開日】2016年6月8日
【申請(qǐng)日】2015年10月30日