技術(shù)編號：10377560
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。硅片是一種硅材料通過加工切成一片一片而形成的。從硅材料到可使用的硅片要經(jīng)過切割、清洗等多道工序。清洗作為硅片的一個生產(chǎn)工序之一，其清洗的好壞對硅片的使用性能有著很大的影響。清洗的主要目的是為了清洗掉切割過程中的產(chǎn)生的砂粒、殘留的切削磨料、金屬離子及指紋等，使硅片表面達(dá)到無腐蝕氧化、無殘留等技術(shù)指標(biāo)?，F(xiàn)有硅片清洗常采用一種封閉的硅片清洗機(jī)，清洗硅片時要將硅片放在花籃中再進(jìn)清洗機(jī)清洗，清洗后檢測工段人員將硅片從花籃里面倒出，再將花籃以及花架用人工返還給清洗工段...
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