片材的形式進(jìn)行退 火。即，可在玻璃帶的一側(cè)或兩側(cè)形成合適的表面改性層，然后卷繞該玻璃帶?？蓪?duì)整個(gè)卷 進(jìn)行與如上所述的用于片材的相同處理，其中將退火整個(gè)卷材的玻璃，且不使一圈纏繞的 玻璃與相鄰的一圈纏繞的玻璃相粘附。在解開卷時(shí)，可通過合適的過程去除表面改性層。
[01 例
[0146] 用于典型晶片結(jié)合應(yīng)用的聚合物粘合劑通常是10-100微米厚，且在等于或接近其 溫度極限時(shí)損失約5%的質(zhì)量。對(duì)于從厚聚合物膜逸出的運(yùn)些材料，容易通過質(zhì)譜來對(duì)質(zhì)量 損失或或脫氣的量進(jìn)行定量。另一方面，測量來自lOnm厚或更小量級(jí)的薄表面處理的脫氣， 例如如上所述的等離子體聚合物或自組裝的單層表面改性層，W及測量用于熱解硅油 (silicone oil)薄層的脫氣，是更具挑戰(zhàn)的。對(duì)于運(yùn)些材料，質(zhì)譜不夠靈敏。但是，存在多種 其它方式來測量脫氣。
[0147] 測量少量脫氣的第一方式基于表面能測量，且將參考圖9進(jìn)行描述。為了實(shí)施該測 試，可使用如圖9所示的裝置。第一基材或載體900的上面具有待測試的表面改性層，且呈現(xiàn) 表面902,即，組成和厚度對(duì)應(yīng)于待測試的表面改性層30的表面改性層。設(shè)置第二基材或覆 蓋片材910,從而它的表面91巧自?？拷d體900的表面902但不與之接觸。表面912是未涂覆 的表面，即，用來制備覆蓋片材的裸露材料的表面。在載體900和覆蓋片材910的不同點(diǎn)之間 設(shè)置間隔件920,使它們相互間隔。間隔件920應(yīng)厚到足W分離覆蓋片材910和載體900來允 許材料在它們之間相互移動(dòng)，但足夠薄從而在測試時(shí)最小化來自腔室氣氛的在表面902和 912上的污染的量。載體900，間隔件920，和覆蓋片材910-起形成制品901。
[0148] 組裝測試制品901之前，測量裸露表面912的表面能，也測量表面902(即上面提供 表面改性層的載體900的表面）的表面能。表面能如圖10所示，該表面能同時(shí)包括極性分量 和色散分量，通過擬合由S.吳（S.Wu)(1971)開發(fā)的針對(duì)與Ξ種測試液體即水、二艦甲燒和 十六燒的Ξ種接觸角的理論模型來測量表面能。（參考文獻(xiàn)：S.吳（S. Wu)，J. Po lym. SciC， 34，19，1971)。
[0149] 組裝之后，將該測試制品901放入加熱腔室930,并通過時(shí)間-溫度循環(huán)加熱。加熱 在大氣壓壓力和流動(dòng)的N2氣流下實(shí)施，即，W2標(biāo)準(zhǔn)升/分鐘的速率沿著箭頭940的方向流 動(dòng)。
[0150] 在加熱循環(huán)中，表面902的變化(包括例如因蒸發(fā)、熱解、分解、聚合、與載體的反應(yīng) 和去潤濕對(duì)表面改性層造成的變化)通過表面902的表面能變化來證實(shí)。表面902的表面能 變化本身不必然意味著表面改性層發(fā)生脫氣，但的確表明材料在該溫度下的總體不穩(wěn)定 性，因?yàn)樗奶卣饕驗(yàn)槔缛缟纤龅臋C(jī)理而發(fā)生變化。因此，表面902的表面能變化越小， 表面改性層越穩(wěn)定。另一方面，因?yàn)楸砻?1巧自常接近表面902，從表面902脫氣的任意材料 將在表面912上累積，并改變表面912的表面能。因此，表面912的表面能變化是表面902上表 面改性層的脫氣的代表(proxy)。
[0151] 因此，用于脫氣的一種測試使用覆蓋表面912的表面能變化。具體來說，如果表面 912的表面能變化> 10mJ/m2，則存在脫氣。運(yùn)種量值的表面能變化與下述污染一致，該污染 可導(dǎo)致?lián)p失膜粘附或使材料性質(zhì)和裝置性能下降。表面能變化^ 5mJ/m2接近表面能測量的 可重復(fù)性和表面能的不均勻性。運(yùn)么小的變化與最小脫氣一致。
[0152] 在得到圖10中所示結(jié)果的測試之中，載體900,覆蓋片材910,和間隔件920,由 EagleXG玻璃制成，它是一種不含堿的棚侶娃酸鹽玻璃顯示器級(jí)別玻璃，可從紐約康寧的康 寧有限公司（Corning Incorporated)購買，但并非必然如此。載體900和覆蓋片材910是 150mm直徑和0.63mm厚。通常，載體910和覆蓋片材920分別由與載體10和薄片材20相同的材 料制成，需要對(duì)其進(jìn)行脫氣測試。在該測試中，娃間隔件是0.63mm厚，2mm寬，和8cm長，由此 在表面902和912之間形成0.63mm的間隙。在該測試中，將腔室930結(jié)合進(jìn)入MPT-RTP600S快 速熱加工設(shè)備，其W9.2°C/分鐘的速率從室溫循環(huán)到測試極限溫度，在測試極限溫度下保 持不同的時(shí)間（如圖表中作為"退火時(shí)間"所示），隨后W爐速率冷卻到200°C。把爐子冷卻到 200°C之后，移出測試制品，在測試制品冷卻到室溫之后，再次測量各表面902和912的表面 能。因此，將到極限溫度450°C測試的用于覆蓋片材表面能變化的數(shù)據(jù)（即用于材料#1的線 1003)作為示例，如下所述收集數(shù)據(jù)。在0分鐘處的數(shù)據(jù)點(diǎn)顯示75mJ/m2(毫焦耳/平方米）的 表面能，是裸玻璃的表面能，即還沒有進(jìn)行時(shí)間-溫度循環(huán)。在1分鐘處的數(shù)據(jù)點(diǎn)顯示在實(shí)施 如下所述的時(shí)間-溫度循環(huán)之后所測的表面能:在室溫和大氣壓壓力下，將制品901(在載體 900上具有用作表面改性層的材料#1，從而提供表面902)放入加熱腔室930; W9.2°C/分鐘 的速率，將腔室加熱到450°C的測試-極限溫度，且有W2標(biāo)準(zhǔn)升/分鐘流動(dòng)的N2氣體，和在 450°C的測試-極限溫度下保持1分鐘;使腔室WrC/分鐘的速率冷卻到300°C，并隨后從腔 室930移出制品901;然后使制品冷卻到室溫(沒有N2流動(dòng)氣氛）；然后測量表面912的表面 能，并作圖為曲線1003上1分鐘的點(diǎn)。然后，使用類似的方式測定用于材料#1(線1003,1004) 的其余數(shù)據(jù)點(diǎn)，W及用于材料#2(線1203,1204)，材料#3(線1303,1304)，材料#4(線1403， 1404)，材料#5(線1503，1504)，和材料#6 (線1603，和1604)的數(shù)據(jù)點(diǎn)，且退火時(shí)間的分鐘數(shù) 等于在測試-極限溫度(450°C，或600°C，視情況而定)下的保持時(shí)間。按照類似的方式，測定 用于線 1001，1002，1201，1202,1301，1302，1401，1402,1501，1502，1601，和 1602 的數(shù)據(jù)點(diǎn)， 其表示用于相應(yīng)的表面改性層材料(材料#1-6)的表面902表面能，但在各時(shí)間-溫度循環(huán)之 后測量表面902的表面能。
[0153] 對(duì)如下所述的6種不同材料實(shí)施上述的組裝過程和時(shí)間-溫度循環(huán)，結(jié)果見圖10的 圖表。在運(yùn)6種材料中，材料#1-4對(duì)應(yīng)于如上所述的表面改性層材料。材料#5和#6是比較例。
[0154] 材料#1是CHF3-CF4等離子體聚合的含氣聚合物。該材料與上文的實(shí)施例3b中的表 面改性層一致。如圖10所示，線1001和1002表明載體的表面能沒有發(fā)生顯著變化。因此，該 材料在450°C-60(rC的溫度下非常穩(wěn)定。此外，如線1003和1004所示，覆蓋片材的表面能也 沒有發(fā)生顯著變化，即變化含5mJ/m2。因此，從450°C到600°C，不存在與該材料相關(guān)的脫氣。 [0K5]材料#2是苯基硅烷，且是從苯基Ξ乙氧基硅烷的1%甲苯溶液沉積的自組裝單層 (SAM)，并于19(TC下在真空烘箱中固化30分鐘。該材料與上文的實(shí)施例4c中的表面改性層 一致。如圖10所示，線1201和1202顯示載體上的表面能發(fā)生一些變化。如上所述，運(yùn)顯示表 面改性層發(fā)生一些變化，且相比較而言，材料#2比材料#1略微更不穩(wěn)定。但是，如線1203和 1204所示，載體的表面能變化^ 5mJ/m2，表明表面改性層的變化沒有導(dǎo)致脫氣。
[0156] 材料#3是五氣苯基硅烷，且是從五氣苯基Ξ乙氧基硅烷的1 %甲苯溶液沉積的 SAM，并于19(TC下在真空烘箱中固化30分鐘。該材料與上文的實(shí)施例4e中的表面改性層一 致。如圖10所示，線1301和1302顯示載體上的表面能發(fā)生一些變化。如上所述，運(yùn)顯示表面 改性層發(fā)生一些變化，且相比較而言，材料#3比材料#1略微更不穩(wěn)定。但是，如線1303和 1304所示，載體的表面能變化^ 5mJ/m2，表明表面改性層的變化沒有導(dǎo)致脫氣。
[0157] 材料#4是于140°C下在YESHMDS烘箱中從蒸氣沉積的六甲基二氮硅烷(HMDS)。該材 料與上文的實(shí)施例化和表2中的表面改性層一致。如圖10所示，線1401和1402顯示載體上的 表面能發(fā)生一些變化。如上所述，運(yùn)顯示表面改性層發(fā)生一些變化，且相比較而言，材料#4 比材料#1略微更不穩(wěn)定。此外，用于材料#4的載體的表面能變化大于用于材料#2和#3的載 體的表面能變化，運(yùn)表明相比較而言材料#4略微比材料#2和#3更不穩(wěn)定。但是，如線1403和 1404所示，載體的表面能變化含5mJ/m2，表明表面改性層的變化沒有導(dǎo)致影響覆蓋片材的 表面能的脫氣。但是，運(yùn)與HMDS脫氣的方式一致。即，HMDS脫氣產(chǎn)生氨和水，運(yùn)不影響覆蓋片 材的表面能，也可能不影響有些電子制造設(shè)備和/或加工。另一方面，當(dāng)脫氣的產(chǎn)品被俘獲 在薄片材和載體之間時(shí)，可能會(huì)存在其他問題，如下文針對(duì)第二脫氣測試所述。
[015引材料#5是環(huán)氧丙氧基丙基硅烷，且是從環(huán)氧丙氧基丙基二乙氧基硅烷的1 %甲苯 溶液沉積的SM，并于190°C下在真空烘箱中固化30分鐘。運(yùn)是比較例材料。雖然如線1501和 1502所示，載體的表面能變化相對(duì)很小，但如線1503和1504所示，覆蓋片材的表面能變化顯 著。即，雖然材料#5在載體表面上是相對(duì)穩(wěn)定的，但它的確脫氣排放顯著量的材料到覆蓋表 面上，由此覆蓋表面能變化> 10mJ/m2。雖然600°C下在10分鐘結(jié)束時(shí)表面能在10mJ/m2之 內(nèi)，但那時(shí)的變化的確超過10mJ/m2。參見例如在1和5分鐘處的數(shù)據(jù)點(diǎn)。雖然無意受限于理 論，但從5分鐘到10分鐘的表面能的略微上升可能是因?yàn)橛行┟摎獾牟牧习l(fā)生分解，并從覆 蓋表面掉落。
[0159] 材料#6是DC704娃酬（S i 1 i cone)涂層，其通過將5ml道康寧(Dow-Corning) 704擴(kuò)散 累油四甲基四苯基Ξ硅氧烷(可購自道康寧(Dow-Corning))分配到載體上，并于空氣中將 其在50(TC的加熱板上放置8分鐘來制備。通過結(jié)束時(shí)可見的冒煙，來判斷樣品制備完成。在 按照如上所述方式制備樣品之后，實(shí)施如上所述的脫氣測試。運(yùn)是比較例材料。如圖10所 示，線1601和1602顯示載體上的表面能發(fā)生一些變化。如上所述，運(yùn)顯示表面改性層發(fā)生一 些變化，且相比較而言，材料#6比材料#1更不穩(wěn)定。此外，如線1603和1604所示，載體表面能 變化>10mJ/m2,表明發(fā)生顯著的脫氣。具體來說，在450°C的測試-極限溫度下，用于10分鐘 的數(shù)據(jù)點(diǎn)顯示表面能下降約15mJ/m2,且對(duì)于在1和5分鐘的點(diǎn)，表面能下降甚至更大。類似 地，在600°C的測試-極限溫度下循環(huán)時(shí)覆蓋片材的表面能變化中，在10分鐘數(shù)據(jù)點(diǎn)處，覆蓋 片材的表面能下降約25mJ/m2,略微比5分鐘處的數(shù)據(jù)點(diǎn)更大，且略微比1分鐘處的數(shù)據(jù)點(diǎn)更 小。然而總之，對(duì)于該材料在整個(gè)測試范圍中，顯示顯著的脫氣量。
[0160] 值的注意的是，對(duì)于材料#1-4,在整個(gè)時(shí)間-溫度循環(huán)的表面能顯示覆蓋表面的表 面能仍然保持與裸玻璃的表面能一致，即沒有累積從載體表面脫氣的材料。在材料#4的情 況下，如針對(duì)表2所述，其中制備載體和薄片材表面的方式對(duì)制品（通過表面改性層使薄片 材與載體結(jié)合在一起)能否能夠耐受FPD加工影響很大。因此，雖然圖10中所示的材料#4示 例可能不發(fā)生脫氣，但該材料可能能夠耐受或無法耐受400°C或600°C測試，如針對(duì)表2的討 論所述。
[0161 ]測量少量脫氣的第二方式基于組裝的制品，即其中通過表面改性層將薄片材結(jié)合 到載體的制品，并使用氣泡面積變化百分比來測定脫氣。即，在加熱制品時(shí)，載體和薄片材 之間形成的氣泡顯示表面改性層的脫氣。如上文針對(duì)第一脫氣測試所述，難W測量非常薄 的表面改性層的脫氣。在該第二測試中，薄片材下的脫氣可受到薄片材和載體之間的強(qiáng)粘 附的限制。然而，層<l〇nm厚（等離子體聚合的材料，SAM，和熱解硅油表面處理，例如）仍然 可在熱處理時(shí)形成氣泡，盡管它們的絕對(duì)質(zhì)量損失更小。且薄片材和載體之間形成氣泡可 給圖案形成、光刻加工，和/或把裝置加工到薄片材上時(shí)的對(duì)齊帶來問題。此外，在薄片材和 載體之間的結(jié)合區(qū)域的邊界處的鼓泡可導(dǎo)致下述問題:來自一工藝的加工流體污染下游的 工藝。氣泡面積變化百分比含5是顯著的并顯示脫氣，運(yùn)不是所需要的。另一方面，氣泡面積 變化百分比含1是不顯著的，且表示不存在脫氣。
[0162] 在1000級(jí)潔凈房中，具有手動(dòng)結(jié)合的結(jié)合的薄玻璃的平均氣泡面積是1 %。結(jié)合的 載體中的氣泡百分比隨載體的清潔度，薄玻璃片材的的清潔度，和表面制備的清潔度而變 化。因?yàn)檫\(yùn)些初始缺陷用作熱處理之后氣泡生長的成核區(qū)域，熱處理之后小于1 %的任意氣 泡面積變化都在樣品制備的可變性之內(nèi)。為了實(shí)施該測試，就在結(jié)合之后，立刻使用具有透 明性裝置的市售臺(tái)式掃描儀(愛普生巧psorOExpression 10000XL化oto)來形成結(jié)合薄片 材和載體的區(qū)域的第一次掃描圖象。使用508dpi(50微米/像素)和24比特(bit)RGBW及標(biāo) 準(zhǔn)愛普生軟件來掃描零件。圖象處理軟件首先通過把樣品的不同部分的圖象合并（如有需 要)成單一圖象和去除掃描儀假象(adifacts)(通過使用在沒有樣品時(shí)，在掃描儀中進(jìn)行 的校正掃描參比）來形成圖象。然后，使用標(biāo)準(zhǔn)的圖象處理技術(shù)如闊值、孔填滿、侵蝕/膨脹 和化0B分析(blob analysis)對(duì)結(jié)合區(qū)域進(jìn)行分析。還可W類似的方式，使用更新的愛普生 Expression 11000XL陸oto。在透射模式下，結(jié)合區(qū)域中的氣泡在掃描的圖象中是可見的， 并可測定氣泡面積的值。然后，將氣泡面積與總結(jié)合區(qū)域（即，薄片材和載體之間的總重疊 面積)進(jìn)行比較來計(jì)算結(jié)合區(qū)域中相對(duì)于總結(jié)合區(qū)域的％氣泡面積。然后，在N2氣氛下，將 樣品在MPT-RTP600S快速熱加工系統(tǒng)中于300°C，450°C，和600°C的測試-極限溫度下熱處理 最高達(dá)10分鐘。具體來說，實(shí)施的時(shí)間-溫度循環(huán)包括:在室溫和大氣壓壓力下，把制品插入 加熱腔室;然后W9°C/分鐘的速率，將腔室加熱到測試-極限溫度;將腔室在測試-極限溫度 下保持10分鐘;然后W爐子速率將腔室冷卻到20(TC;從腔室移出制品并使該制品冷卻到室 溫;然后，使用光學(xué)掃描儀第二次掃描制品。然后，如上所述計(jì)算來自第二次掃描的％氣泡 面積，并與來自第一次掃描的％氣泡面積比較，W確定％氣泡面積變化（A %氣泡面積）。如 上所述，氣泡面積變化含5%是顯著的，且表明脫氣。因?yàn)樵迹馀菝娣e的可變性，將％氣 泡面積變化選定為測量標(biāo)準(zhǔn)。即，因?yàn)楸∑暮洼d體制備之后且在它們結(jié)合之前的加工和 潔凈度，在第一掃描中，大多數(shù)的表面改性層的氣泡面積為約2%。但是，不同材料之間可不 同。在該第二脫氣測試方法中，再次使用相對(duì)于第一脫氣測試方法所描述的相同材料#1-6。 在運(yùn)些材料中，材料#1-4在第一次掃描中呈現(xiàn)約2%的氣泡面積，而材料#5和#6顯示顯著更 大的氣泡面積即第一次掃描中的約4%。
[0163] 將參考圖11和12描述第二種脫氣測試的結(jié)果。用于材料#1-3的脫氣測試結(jié)果見圖 11，而用于材料#4-6的脫氣測試結(jié)果見圖12。
[0164] 材料#1的結(jié)果在圖11中用正方形數(shù)據(jù)點(diǎn)表示。由圖可知，對(duì)于300°C，45(rC，和600 °c的測試-極限溫度，％氣泡面積變化接近零。因此，材料#1在運(yùn)些溫度下沒有顯示脫氣。
[0165] 材料#2的結(jié)果在圖11中用菱形數(shù)據(jù)點(diǎn)表示。由圖可知，對(duì)于450°C，和600°C的測 試-極限溫度，％氣泡面積變化小于1。因此，材料#2在運(yùn)些溫度下沒有顯示脫氣。
[0166] 用于材料#3的結(jié)果在圖11中用Ξ角形數(shù)據(jù)點(diǎn)表示。由圖可知，類似于材料#1的結(jié) 果，對(duì)于300°C，450°C，和600°C的測試-極限溫度，％氣泡面積變化接近零。因此，材料# 1在 運(yùn)些溫度下沒有顯示脫氣。
[0167] 材料#4的結(jié)果在圖12中用圓形數(shù)據(jù)點(diǎn)表示。由圖可知，對(duì)于300°C的測試-極限溫 度，％氣泡面積變化接近零，但在450°C和600°C的測試-極限溫度下，有些樣品的％氣泡面 積變化接近1%，W及在450°C和600°C的測試極限溫度下，由相同材料形成的其它樣品的％ 氣泡面積變化是約5%。用于材料#4的結(jié)果非常不一致，并取決于其中制備用于與HMDS材料 結(jié)合的薄片材和載體表面的方式。其中樣品性能的方式取決于其中制備樣品的方式，與上 文針對(duì)表2所詳述的該材料的實(shí)施例和相關(guān)的討論一致。應(yīng)注意，對(duì)于該材料，對(duì)于450°C和 600°C的測試-極限溫度，樣品的％氣泡面積變化接近1%，根據(jù)如上所述的分離測試，運(yùn)不 允許從載體分離薄片材。即，薄片材和載體之間的強(qiáng)力粘附可具有有限的氣泡形成。另一方 面，％氣泡面積變化接近5 %的樣品的確允許從載體分離薄片材。因此，沒有脫氣的樣品的 不利結(jié)果是在溫度處理之后增加粘附，運(yùn)把載體和薄片材粘滯在一起(阻止從載體分離薄 片材），而允許去除薄片材和載體的樣品的不利結(jié)果是脫氣。
[0168] 用于材料#5的結(jié)果在圖12中用Ξ角形數(shù)據(jù)點(diǎn)表示。由圖可知，對(duì)于300°C的測試- 極限溫度，％氣泡面積變化為約15%，且對(duì)于450°C和600°C的測試-極限溫度，遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于約 15%。因此，材料#5在運(yùn)些溫度下顯示顯著的脫氣。
[0169] 材料#6的結(jié)果在圖12中用正方形數(shù)據(jù)點(diǎn)表示。由圖可知，對(duì)于300°C的測試-極限 溫度，％氣泡面積變化大于2.5%，且對(duì)于450°C和600°C的測試-極限溫度，大于5%。因此， 在450°C和600°C的測試-極限溫度下，材料#6顯示顯著的脫氣。
[0170] ^
[0171] 應(yīng)當(dāng)強(qiáng)調(diào)，本發(fā)明上述實(shí)施方式、特別是任意"優(yōu)選的"實(shí)施方式，僅僅是可能實(shí)現(xiàn) 的實(shí)施例，僅用來清楚理解本發(fā)明的各種原理。在不基本上偏離本發(fā)明的的精神和各種原 理的前體下，可對(duì)如上所述的本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行許多變化和修改。所有運(yùn)些變化和修 改旨在包括在該說明書、本發(fā)明和所附權(quán)利要求保護(hù)的范圍內(nèi)。
[0172] 例如，雖然顯示和討論了許多實(shí)施方式的表面改性層30在載體10上形成，但該表 面改性層30可替代地或附加地在薄片材20上形成。即，在實(shí)施例4和3中所詳述的材料可施 涂到載體10,施涂到薄片材20,或同時(shí)施涂到載體10和薄片材20的待結(jié)合在一起的表面上。
[0173] 此外，雖然有些表面改性層30描述為控制結(jié)合強(qiáng)度從而使得甚至在400°C，或600 °(：溫度下加工制品2后，可W將薄片材20從載體10去除，當(dāng)然能在比測試制品所通過的具體 溫度更低的溫度下加工制品2且仍然能實(shí)現(xiàn)在不損壞薄片材20或載體10的情況下將薄片材 20從載體10去除的相同能力。
[0174] 此外，雖然本文使用載體和薄片材描述了受控的結(jié)合的概念，但在一些情況下，它 們適用于較厚的玻璃，陶瓷，或玻璃陶瓷片材之間的受控的結(jié)合，其中可需要相互拆分片材 (或部分的片材）。
[0175] 又此外，雖然本文將受控的結(jié)合概念描述成可用于玻璃載體和玻璃薄片材，但載 體可由其它材料例如陶瓷，玻璃陶瓷，或金屬制成。受控的結(jié)合到載體的片材可由其它材料 材料例如陶瓷或玻璃陶瓷制成。
[0176] 如上所述的根據(jù)本發(fā)明的不同概念，可按照任意和全部的不同的組合方式進(jìn)行相 互組合。例如，不同概念可根據(jù)下述方面進(jìn)行組合。
[0177] 根據(jù)第一方面，提供一種玻璃制品，其包含：
[0178] 具有載體結(jié)合表面的載體；
[0179] 設(shè)置所述載體結(jié)合表面上的表面改性層，其中構(gòu)造所述表面改性層從而當(dāng)使用設(shè) 置在所述載體結(jié)合表面和玻璃片材結(jié)合表面之間的表面改性層來使所述載體結(jié)合表面與 所述玻璃片材結(jié)合表面結(jié)合時(shí)，使所述制品經(jīng)歷溫度循環(huán)之后，如果所述載體和所述片材 中一種固定且另一種經(jīng)受重力作用時(shí)，所述載體和所述片材不相互分離，在所述溫度循環(huán) 中不存在來自所述載體結(jié)合表面的脫氣，W及可W在不將所述載體和所述片材中更薄的一 種破碎成兩塊或更多塊的情況下，將所述片材與所述載體分離，所述溫度循環(huán)包括在腔室 中進(jìn)行W下加熱：W9.2°C/分鐘的速率從室溫加熱到600°C，在600°C的溫度下保持10分鐘， 然后WrC/分鐘的速率冷卻到300°C，并隨后從所述腔室移出所述制品并使所述制品冷卻 到室溫。
[0180] 根據(jù)第二方面，提供一種玻璃制品，其包含：
[0181 ]具有載體結(jié)合表面的載體；
[0182] 具有片材結(jié)合表面的片材；
[0183] 設(shè)置在所述載體結(jié)合表面和所述片材結(jié)合表面中一種上的表面改性層；
[0184] 使用設(shè)置在所述載體結(jié)合表面與所述片材結(jié)合表面之間的所述表面改性層來使 所述載體結(jié)合表面與所述