一種可拆卸式手動(dòng)硅片上下料裝置制造方法
【專利摘要】一種可拆卸式手動(dòng)硅片上下料裝置，用于單晶硅拋光片生產(chǎn)中臥式低壓化學(xué)氣相沉積爐上下料。本實(shí)用新型設(shè)計(jì)的硅片上下料裝置，兩個(gè)支撐三角架（1）固定在凈化工作臺(tái)支撐支架（12）上，兩個(gè)支撐臂（3）與支撐三角架（1）固定連接在一起，支撐臂（3）可以旋轉(zhuǎn)。兩根支撐桿（2）固定在支撐臂（3）上。片盒槽（4）利用底部凸臺(tái)（11），卡放在兩個(gè)支撐桿（2）之上，可以在支撐桿（2）的上下料范圍內(nèi)滑動(dòng)，并可防止片盒槽（4）掉落。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，拆裝方便，幾乎不占用原有操作空間。
【專利說明】-種可拆卸式手動(dòng)硅片上下料裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本實(shí)用新型屬于單晶硅拋光片生產(chǎn)【技術(shù)領(lǐng)域】，主要涉及一種可拆卸式手動(dòng)硅片上 下料裝置。

【背景技術(shù)】
[0002] 目前，單晶硅拋光片生產(chǎn)過程中臥式低壓化學(xué)氣相沉積爐采用的上下料方式主要 有自動(dòng)上下料方式與手動(dòng)上下料方式兩種。自動(dòng)上料是使用自動(dòng)倒片器把硅片從片盒內(nèi)倒 入到石英舟上，然后把上好硅片的石英舟放到自動(dòng)上下料機(jī)上，通過自動(dòng)上下料機(jī)把石英 舟放在低壓化學(xué)氣相沉積爐的碳化硅槳上；手動(dòng)上料是使用吸筆或干凈手套把硅片從片盒 內(nèi)取出放在石英舟上，然后手動(dòng)把石英舟放在低壓化學(xué)氣相沉積爐的碳化硅槳上。下料操 作順序與上料相反。其中，自動(dòng)上下料使用的自動(dòng)倒片器及自動(dòng)上下料機(jī)，設(shè)備昂貴，每臺(tái) 爐子需要單獨(dú)配置一臺(tái)自動(dòng)上下料機(jī)，提高了生產(chǎn)成本；且使用自動(dòng)上下料時(shí)，只能采用與 片盒同等槽距的石英舟，硅片的擺放方式單一，使用范圍有限。手動(dòng)上下料方式，操作難度 小，生產(chǎn)成本低，同時(shí)擺放方式可以選擇單片或雙片（面對(duì)面）擺放，石英舟也可以選擇任意 槽距。但目前所采用的手動(dòng)上下料方式在把放好硅片的石英舟放在低壓化學(xué)氣相沉積爐的 碳化硅槳上的過程中，存在有石英舟或硅片掉落風(fēng)險(xiǎn)，甚至因人員站立不穩(wěn)，跌落受傷或造 成碳化硅槳斷裂，尤其是在較高位置爐管上下料的時(shí)候風(fēng)險(xiǎn)更大。 實(shí)用新型內(nèi)容
[0003] 鑒于現(xiàn)有技術(shù)中所存在的實(shí)際問題，本實(shí)用新型設(shè)計(jì)了一種可拆卸式手動(dòng)硅片上 下料裝置，采取在低壓化學(xué)氣相沉積爐凈化工作臺(tái)的支撐架上，在碳化硅漿的下方增加一 個(gè)可拆卸上下料裝置的技術(shù)方案，以克服現(xiàn)有技術(shù)中手動(dòng)上下料過程中硅片或石英舟可能 掉落的風(fēng)險(xiǎn)，提高人員操作的安全性、穩(wěn)定性。
[0004] 為達(dá)到上述設(shè)計(jì)目的，本實(shí)用新型采取的具體技術(shù)方案是：一種可拆卸式手動(dòng)硅 片上下料裝置，主要由支撐三角架、支撐桿、支撐臂、片盒槽、止動(dòng)螺絲、插銷、墊片、內(nèi)六角 螺絲、止動(dòng)螺母、圓頭銷釘構(gòu)成；其中，兩個(gè)支撐三腳架使用內(nèi)六角螺絲、墊片固定在低壓化 學(xué)氣相沉積爐凈化工作臺(tái)的支撐架上；兩個(gè)支撐臂使用止動(dòng)螺絲和止動(dòng)螺母與支撐三角架 連接在一起，支撐臂可在支撐三角支架上旋轉(zhuǎn)，用插銷固定，兩根支撐桿采用圓頭銷釘固定 在支撐臂上；片盒槽底部設(shè)計(jì)有凸臺(tái)，方便片盒槽卡放在兩個(gè)支撐桿之上。所述的一種可拆 卸式手動(dòng)硅片上下料裝置，其中支撐桿長度尺寸為1000mm?1500mm，兩根支撐桿中心距為 50mm?200mm。所述的一種可拆卸式手動(dòng)娃片上下料裝置，其中支撐臂長度尺寸為450mm? 700mm。所述的一種可拆卸式手動(dòng)硅片上下料裝置，其中片盒槽上部槽口長度、寬度、高度尺 寸分別160mm?500mm、100mm?200mm、50mm?200mm。所述的一種可拆卸式手動(dòng)娃片上下 料裝置，其中片盒槽底部卡槽的長度、寬度、高度尺寸分別為160mm?500mm、50mm?100mm、 20mm?150mm。所述的一種可拆卸式手動(dòng)硅片上下料裝置，其中支撐桿、支撐臂均采用不銹 鋼方管制作。
[0005] 本實(shí)用新型設(shè)計(jì)的可拆卸式手動(dòng)硅片上下料裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，拆裝方便，幾乎不占 用設(shè)備原有操作空間。在上下料過程中其支撐桿一定程度上也起到保護(hù)碳化硅漿的作用。 片盒槽占用空間小、重量輕，卡放在支撐桿上，在支撐桿的上下料范圍內(nèi)滑動(dòng)，可防止片盒 槽掉落。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0006] 圖1為本實(shí)用新型安裝位置示意圖；
[0007] 圖2為本實(shí)用新型安裝位置示意圖的側(cè)視圖；
[0008] 圖3為支撐臂與支撐三角架組裝結(jié)構(gòu)示意圖；
[0009] 圖4為片盒槽結(jié)構(gòu)示意圖；
[0010] 圖5為支持桿組裝結(jié)構(gòu)示意圖；
[0011] 圖中：1、支撐三腳架，2、支撐桿，3、支撐臂，4、片盒槽，5、止動(dòng)螺絲，6、插銷，7、墊 片，8、內(nèi)六角螺絲，9、止動(dòng)螺母，10、圓頭銷釘，11、凸臺(tái)，12、凈化工作臺(tái)支撐架，13、石英 舟，14、碳化硅漿，15、凈化工作臺(tái)。

【具體實(shí)施方式】
[0012] 下面結(jié)合附圖給出本實(shí)用新型的實(shí)施方式（以BTU7351X擴(kuò)散爐為例）如下：
[0013] 如圖1、圖2、圖3、圖4、圖5所示，本實(shí)用新型所述的一種可拆卸式手動(dòng)硅片上下 料裝置，主要由支撐三腳架1、支撐桿2、支撐臂3、片盒槽4、止動(dòng)螺絲5、插銷6、墊片7、內(nèi) 六角螺絲8、止動(dòng)螺母9、圓頭銷釘10構(gòu)成。其中，兩個(gè)支撐三角架1用內(nèi)六角螺絲8、墊片 7固定在低壓化學(xué)氣相沉積爐凈化工作臺(tái)支撐支架12上，長度尺寸為450mm?700mm的兩 個(gè)支撐臂3使用止動(dòng)螺絲5和止動(dòng)螺母9與支撐三角架1連接在一起，支撐臂3可在支撐 三角架1上旋轉(zhuǎn)，用插銷6固定。長度尺寸為1000mm?1500mm的兩根支撐桿2采用圓頭 銷釘10固定在支撐壁3上，兩根支撐桿2的中心距為50mm?200mm。片盒槽4底部設(shè)有凸 臺(tái)11，片盒槽4卡放在兩根支撐桿2之上，保持片盒的穩(wěn)定性；片盒槽4上槽口的長度、寬 度、高度尺寸分別為160mm?500mm、100mm?200、50mm?200mm ;片盒槽4底部凸臺(tái)11的 長度、寬度、高度尺寸分別為160_?500mm、50mm?100mm、20mm?150mm。支撐桿2、支撐 臂3均采用不銹鋼方管制作。
[0014] 本實(shí)用新型所述的一種可拆卸式手動(dòng)硅片上下料裝置在需要上下料時(shí)，撥出插銷 6向外部方向旋轉(zhuǎn)支撐臂3呈90°，使支撐臂3與低壓化學(xué)氣相沉積爐的凈化工作臺(tái)垂直， 然后重新插入插銷6固定支撐臂3,避免支撐臂3轉(zhuǎn)動(dòng)。接著把插有圓頭銷釘10的兩根支 撐桿2通過圓頭銷釘10插入支撐臂3上，最后把片盒槽4卡在支撐桿2上，再把裝滿硅片的 片盒放在片盒槽4內(nèi)。石英舟13正常加工時(shí)一直放在碳化硅漿14上，不用取下，因片盒、 硅片、碳化硅漿4、石英舟13全部在一個(gè)較小的空間內(nèi)，上料時(shí)可直接把硅片從片盒內(nèi)取出 放入石英舟13上，下料時(shí)直接把硅片從石英舟13上取下，放入在片盒內(nèi)，減少了石英舟13 從碳化硅漿上取下或放上的重復(fù)動(dòng)作，避免了上下料過程中硅片或石英舟13掉落的風(fēng)險(xiǎn)。 在可拆卸式硅片手動(dòng)上下料裝置停止工作時(shí)，取下片盒槽4,拆下支撐桿2,將支撐臂3旋轉(zhuǎn) 到緊貼低壓化學(xué)氣相沉積爐凈化工作臺(tái)的位置。
【權(quán)利要求】
1. 一種可拆卸式手動(dòng)硅片上下料裝置，其特征是：可拆卸式手動(dòng)硅片上下料裝置主要 由支撐三腳架（1)、支撐桿（2)、支撐臂（3)、片盒槽（4)、止動(dòng)螺絲（5)、插銷（6)、墊片（7)、 內(nèi)六角螺絲（8)、止動(dòng)螺母（9)、圓頭銷釘（10)構(gòu)成；其中，兩個(gè)支撐三角架（1)用內(nèi)六角螺 絲（8)和墊片（7)固定在凈化工作臺(tái)支撐支架（12)上；兩個(gè)支撐臂（3)與支撐三角架（1) 采用止動(dòng)螺絲（5)和止動(dòng)螺母（9)連接在一起，支撐臂（3)可以旋轉(zhuǎn)，用插銷（6)固定；兩根 支撐桿（2)用圓頭銷釘（10)固定在支撐壁（3)上；片盒槽（4)底部設(shè)有凸臺(tái)（11)，凸臺(tái)（11) 卡放在兩個(gè)支撐桿（2)之上。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可拆卸式手動(dòng)硅片上下料裝置，其特征是：支撐桿（2)長 度尺寸為1000mm?1500mm，兩根支撐桿（2)中心距為50mm?200mm。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可拆卸式手動(dòng)硅片上下料裝置，其特征是：支撐臂（3)長 度尺寸為450mm?700mm。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可拆卸式手動(dòng)硅片上下料裝置，其特征是：片盒槽（4)上 部槽口的長度、寬度、高度尺寸分別為160mm?500mm、100mm?200mm、50mm?200mm。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可拆卸式手動(dòng)硅片上下料裝置，其特征是：片盒槽（4)底 部卡槽的長度、寬度、高度尺寸分別為160mm?500mm、50mm?100mm、20?150mm。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可拆卸式手動(dòng)硅片上下料裝置，其特征是：支撐桿（2)、 支撐臂（3)采用不銹鋼方管制作。
【文檔編號(hào)】C30B29/06GK203938750SQ201420269234
【公開日】2014年11月12日 申請(qǐng)日期:2014年5月26日 優(yōu)先權(quán)日:2014年5月26日
【發(fā)明者】苗利剛, 李海濤, 吳躍峰 申請(qǐng)人:洛陽單晶硅有限責(zé)任公司