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一種用于晶體生長(zhǎng)的冷卻裝置制造方法

文檔序號(hào):8100998閱讀:243來源:國(guó)知局
一種用于晶體生長(zhǎng)的冷卻裝置制造方法
【專利摘要】一種用于晶體生長(zhǎng)的冷卻裝置,包括制冷機(jī)、蓄水箱、水泵、浮球水位開關(guān)、溫度計(jì)、消防泵、可調(diào)節(jié)流量閥、單向閥、流量計(jì)、鍍鋅管,其中,蓄水箱設(shè)有觀察口、補(bǔ)水管道以及隔板,補(bǔ)水管道上安裝有浮球水位開關(guān);蓄水箱一側(cè)通過冷卻管道與制冷機(jī)想通,另一側(cè)放置水泵,水泵通過鍍鋅管與待冷卻的晶體生長(zhǎng)設(shè)備想通;待降溫的晶體生長(zhǎng)設(shè)備再通過鍍鋅管與蓄水箱想通,鍍鋅管上安裝有溫度計(jì)、消防泵、可調(diào)節(jié)流量閥、單向閥、流量計(jì)。本實(shí)用新型提供的一種用于晶體生長(zhǎng)的冷卻裝置,不管氣候變化還是周圍溫度環(huán)境的變化都可以提供一個(gè)恒溫恒量的冷卻水,通過簡(jiǎn)單的操作就能輕松管理整個(gè)系統(tǒng)。
【專利說明】—種用于晶體生長(zhǎng)的冷卻裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種冷卻系統(tǒng)裝置,特別是一種用于晶體生長(zhǎng)的冷卻裝置。
技術(shù)背景
[0002]冷卻系統(tǒng)裝置是工業(yè)領(lǐng)域中常用的一種設(shè)備,它性能的好與壞直接關(guān)系到設(shè)備能否正常運(yùn)轉(zhuǎn),甚至直接影響了產(chǎn)品的質(zhì)量,特別是在晶體生長(zhǎng)過程中,冷卻系統(tǒng)裝置尤為重要。目前市場(chǎng)上的用于晶體生長(zhǎng)的冷卻系統(tǒng)裝置,不能提供一個(gè)恒溫恒流量的冷卻水,常常因?yàn)闅夂蜃兓蛘咧車鷾囟拳h(huán)境的變化,冷卻水的溫度也隨之改變,這就容易造成晶體質(zhì)量的下降。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0003]為了解決上述問題,本實(shí)用新型提供的一種用于晶體生長(zhǎng)的冷卻裝置,包括制冷機(jī)、蓄水箱、水泵、浮球水位開關(guān)、溫度計(jì)、消防泵、可調(diào)節(jié)流量閥、單向閥、流量計(jì)、鍍鋅管,其中,蓄水箱設(shè)有觀察口、補(bǔ)水管道以及隔板,補(bǔ)水管道上安裝有浮球水位開關(guān);蓄水箱一側(cè)通過冷卻管道與制冷機(jī)想通,另一側(cè)放置水泵,水泵通過鍍鋅管與待冷卻的晶體生長(zhǎng)設(shè)備想通;待降溫的晶體生長(zhǎng)設(shè)備再通過鍍鋅管與蓄水箱想通,鍍鋅管上安裝有溫度計(jì)、消防泵、可調(diào)節(jié)流量閥、單向閥、流量計(jì)。
[0004]上述隔板的作用為避免回流的熱水直接被水泵抽送進(jìn)待冷卻的晶體生長(zhǎng)設(shè)備中。
[0005]優(yōu)選地,上述鍍鋅管為90mm鍍鋅管。
[0006]本實(shí)用新型提供的一種用于晶體生長(zhǎng)的冷卻裝置,不管氣候變化還是周圍溫度環(huán)境的變化都可以提供一個(gè)恒溫恒量的冷卻水,通過簡(jiǎn)單的操作就能輕松管理整個(gè)系統(tǒng)。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0007]圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖;
[0008]圖1中,I為制冷機(jī),2補(bǔ)水管道,3為觀察口,4為浮球水位開關(guān),5為隔板,6為冷卻管道,7為蓄水箱,8為水泵,9為待冷卻的晶體生長(zhǎng)設(shè)備,10為溫度計(jì),11為消防泵,12為可調(diào)節(jié)流量閥,13為單向閥,14為流量計(jì),15為90mm鍍鋅管,16為蓄水箱I區(qū),17為蓄水箱II區(qū),18為蓄水箱III區(qū)。
【具體實(shí)施方式】
[0009]下面將結(jié)合附圖作進(jìn)一步說明。
[0010]如圖1所示,本實(shí)用新型提供的一種用于晶體生長(zhǎng)的冷卻裝置,包括制冷機(jī)1、蓄水箱7、水泵8、浮球水位開關(guān)4、溫度計(jì)10、消防泵11、可調(diào)節(jié)流量閥12、單向閥13、流量計(jì)14、90mm鍍鋅管15,其中,蓄水箱7設(shè)有觀察口 3、補(bǔ)水管道2以及隔板5,補(bǔ)水管道2上安裝有浮球水位開關(guān)4,隔板5將蓄水箱7分為蓄水箱I區(qū)16、蓄水箱II區(qū)17、蓄水箱III區(qū)18 ;蓄水箱7的I區(qū)16通過冷卻管道6與制冷機(jī)I想通,蓄水箱的III區(qū)18放置水泵8,水泵8通過90mm鍍鋅管15與待冷卻的晶體生長(zhǎng)設(shè)備9想通;待降溫的晶體生長(zhǎng)設(shè)備9再通過90mm鍍鋅管15連接溫度計(jì)10,之后90_鍍鋅管15分兩路依次將消防泵11、可調(diào)節(jié)流量閥12、單向閥13串通在一起,然后兩路90mm鍍鋅管15合并之后連接上流量計(jì)14,最后流量計(jì)14通過90mm鍍鋅管15與蓄水箱7的I區(qū)16想通。
[0011]本實(shí)用新型的工作原理為:水通過補(bǔ)水管道2流進(jìn)蓄水箱7的I區(qū),此時(shí)制冷機(jī)I開始工作,將流進(jìn)I區(qū)的水進(jìn)行冷卻,當(dāng)水量達(dá)到一定程度之后,在浮球水位開關(guān)4的作用下,停止進(jìn)水,同時(shí),蓄水箱7的I區(qū)16冷卻的水會(huì)繞過隔板5流進(jìn)蓄水箱II區(qū)17、蓄水箱III區(qū)18,蓄水箱III區(qū)18的水泵將冷卻的水通過90_鍍鋅管15流進(jìn)待冷卻的晶體生長(zhǎng)設(shè)備9,冷卻之后的熱水通過90_鍍鋅管15回流進(jìn)蓄水箱7的I區(qū)16再重新冷卻,可以通過設(shè)置在90mm鍍鋅管15上的溫度計(jì)10、可調(diào)節(jié)流量閥12、流量計(jì)14來管理水溫、水量。
【權(quán)利要求】
1.一種用于晶體生長(zhǎng)的冷卻裝置,其特征在于:所述冷卻裝置包括制冷機(jī)、蓄水箱、水泵、浮球水位開關(guān)、溫度計(jì)、消防泵、可調(diào)節(jié)流量閥、單向閥、流量計(jì)、鍍鋅管,其中,蓄水箱設(shè)有觀察口、補(bǔ)水管道以及隔板,補(bǔ)水管道上安裝有浮球水位開關(guān);蓄水箱一側(cè)通過冷卻管道與制冷機(jī)想通,另一側(cè)放置水泵,水泵通過鍍鋅管與待冷卻的晶體生長(zhǎng)設(shè)備想通;待降溫的晶體生長(zhǎng)設(shè)備再通過鍍鋅管與蓄水箱想通,鍍鋅管上安裝有溫度計(jì)、消防泵、可調(diào)節(jié)流量閥、單向閥、流量計(jì)。
2.如權(quán)利要求1所述的一種用于晶體生長(zhǎng)的冷卻裝置,其特征在于:所述鍍鋅管為90mm鍍鋅管。
【文檔編號(hào)】C30B35/00GK203683729SQ201420033383
【公開日】2014年7月2日 申請(qǐng)日期:2014年1月20日 優(yōu)先權(quán)日:2014年1月20日
【發(fā)明者】陸文勝, 陳基平, 姜利飛 申請(qǐng)人:福建科彤光電技術(shù)有限公司
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