專利名稱：一種擴(kuò)散爐及其爐門密閉裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及爐門密封領(lǐng)域，尤其涉及ー種擴(kuò)散爐及其爐門密閉裝置。
背景技術(shù)：
目前的管式擴(kuò)散爐門密閉裝置與爐管密閉時(shí)一般采用硬接觸；加上爐門與爐管之間密閉性不是很好，容易漏源形成偏磷酸，導(dǎo)致與爐管連接的整個(gè)排氣室被污染；另外，管式擴(kuò)散爐門密閉裝置關(guān)閉置爐門時(shí)，為了達(dá)到更好的密閉效果，一般需要人工調(diào)整爐門的結(jié)構(gòu)，這樣的話，對管式擴(kuò)散爐門密閉裝置的安裝要求也較高，同時(shí)需要定期調(diào)整爐門，且效果不佳
發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明要解決的技術(shù)問題在干，針對現(xiàn)有技術(shù)具有硬接觸、密閉效果不佳和安裝復(fù)雜的缺陷，提供ー種具有柔性接觸、密閉效果佳且安裝要求低的擴(kuò)散爐及其爐門密閉裝置。本發(fā)明解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是構(gòu)造ー種爐門密閉裝置，其包括與爐管的端ロ面可活動(dòng)密閉連接的爐門；和支撐旋轉(zhuǎn)桿；將所述爐門與所述支撐旋轉(zhuǎn)桿的一端部可轉(zhuǎn)動(dòng)連接的活動(dòng)關(guān)節(jié)；所述支撐旋轉(zhuǎn)桿的中端部通過第一驅(qū)動(dòng)桿連接有控制所述爐門開關(guān)的開關(guān)機(jī)構(gòu)；所述支撐旋轉(zhuǎn)桿的另一端部通過第二驅(qū)動(dòng)桿連接有保證所述爐門密閉的水平運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)；以及所述水平運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)連接有驅(qū)動(dòng)其沿水平方向運(yùn)動(dòng)的氣缸組件。在本發(fā)明所述的爐門密閉裝置中，所述活動(dòng)關(guān)節(jié)和所述支撐旋轉(zhuǎn)桿之間設(shè)有用于調(diào)節(jié)所述爐門位置的調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)。在本發(fā)明所述的爐門密閉裝置中，所述第一驅(qū)動(dòng)桿與所述支撐旋轉(zhuǎn)桿的中端部通過第一軸套固定連接。在本發(fā)明所述的爐門密閉裝置中，所述第二驅(qū)動(dòng)桿與所述支撐旋轉(zhuǎn)桿的另一端部通過第二軸套固定連接。在本發(fā)明所述的爐門密閉裝置中，所述爐門設(shè)有用于檢測所述爐門位置的多個(gè)位
置傳感器。在本發(fā)明所述的爐門密閉裝置中，所述活動(dòng)關(guān)節(jié)垂直固定于所述爐門。在本發(fā)明所述的爐門密閉裝置中，所述活動(dòng)關(guān)節(jié)為支撐柱。在本發(fā)明所述的爐門密閉裝置中，所述爐門為石英爐門。在本發(fā)明所述的爐門密閉裝置中，所述開關(guān)機(jī)構(gòu)還用于定位所述爐門位置并緩沖所述爐門與所述爐管的端ロ面之間的接觸。
本發(fā)明還構(gòu)造ー種擴(kuò)散爐，所述擴(kuò)散爐包括上述的爐門密閉裝置。實(shí)施本發(fā)明的技術(shù)方案，具有以下有益效果通過爐門和爐管的可活動(dòng)密閉連接，能更好的防止擴(kuò)散源泄漏，從而達(dá)到提高密閉性能的同時(shí)節(jié)省成本的目的；爐門與爐管之間的柔性接觸，避免了爐門與爐管之間的硬碰撞導(dǎo)致零件損壞；通過開關(guān)機(jī)構(gòu)和水平運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)單獨(dú)控制爐門密閉氣壓，避免爐門與爐管沖撞；另外，該技術(shù)方案還可降低爐門安裝要求，從而降低了爐門密閉裝置的維護(hù)時(shí)間。


下面將結(jié)合附圖及實(shí)施例對本發(fā)明作進(jìn)ー步說明，附圖中圖I是本發(fā)明爐門密閉裝置的正視圖。
具體實(shí)施例方式為了使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下結(jié)合附圖及實(shí)施例，對本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)ー步詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施例僅僅用以解釋本發(fā)明，并不用于限定本發(fā)明。應(yīng)當(dāng)說明的是，本實(shí)施例中的擴(kuò)散爐包括爐門密閉裝置，爐管以及與該爐管連接且用于排放爐管內(nèi)的氣體的排氣裝置，在此不再贅述。請參閱圖1，圖I是本發(fā)明爐門密閉裝置的正視圖，如圖I所示，該爐門密閉裝置包括爐門I、活動(dòng)關(guān)節(jié)2、調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)3、支撐旋轉(zhuǎn)桿4、第一驅(qū)動(dòng)桿5、開關(guān)機(jī)構(gòu)6、第二驅(qū)動(dòng)桿
7、水平運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)8、氣缸組件9、第一軸套10、第二軸套11以及多個(gè)位置傳感器(圖未示)。下面具體介紹各個(gè)部分的連接關(guān)系及作用爐門I與爐管(圖未示)的端ロ面可活動(dòng)密閉連接，值得注意的是，爐門I和爐管的端ロ面具有相同的平面度，也就是說，爐管的端ロ面與爐門I密閉連接時(shí)可平行吻合。在本實(shí)施例中，所述爐門I為石英爐門，本領(lǐng)域的技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)了解，石英材料具有較好的絕熱效果，所以該石英爐門能承受高溫，在其他的實(shí)施例中，也可采用不銹鋼爐門，在此不再贅述?；顒?dòng)關(guān)節(jié)2將爐門I通過調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)3與支撐旋轉(zhuǎn)桿4的一端部可轉(zhuǎn)動(dòng)連接，在本實(shí)施例中，活動(dòng)關(guān)節(jié)2垂直固定于爐門1，這樣的結(jié)構(gòu)擁有一定的自由度，達(dá)到柔性接觸的目的，并且，當(dāng)爐門I關(guān)閉時(shí)，爐門I首先與爐管部分接觸，然后其通過氣缸組件9的驅(qū)動(dòng)緩慢閉合，直至完全密封，同時(shí)可以避免爐門I與爐管的直接沖撞，達(dá)到安全密封的目的。在其他的實(shí)施例中，所述活動(dòng)關(guān)節(jié)I為支撐柱，本領(lǐng)域的技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)了解，這里不再贅述。所述活動(dòng)關(guān)節(jié)I和所述支撐旋轉(zhuǎn)桿4之間設(shè)有調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)3，該調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)3用于調(diào)節(jié)爐門I的位置。從而使達(dá)到爐門I的中心與爐管的中心大致在同一直線上。固定桿4的中端部通過第一驅(qū)動(dòng)桿5連接有開關(guān)機(jī)構(gòu)6，該開關(guān)機(jī)構(gòu)6用于控制爐門I的打開和關(guān)閉；并且用于定位爐門I位置并緩沖爐門I與爐管的端ロ面之間的接觸爐，也就是說，通過一路氣壓實(shí)現(xiàn)單獨(dú)控制開關(guān)機(jī)構(gòu)6。 支撐旋轉(zhuǎn)桿4的另一端部通過第二驅(qū)動(dòng)桿7連接有水平運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)8，水平運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)8連接有驅(qū)動(dòng)其沿水平方向運(yùn)動(dòng)的氣缸組件9，該水平運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)8用于保證爐門I的密閉；也就是說，通過驅(qū)動(dòng)氣缸組件9控制爐門I密閉所需要的壓力，以保證爐門I的密閉，實(shí)現(xiàn)一路氣壓單獨(dú)控制，另外，通過驅(qū)動(dòng)該氣缸組件9可節(jié)約運(yùn)動(dòng)時(shí)間和保證運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)，從而避免爐門I沖撞爐管的端ロ面。另外，第一驅(qū)動(dòng)桿5與支撐旋轉(zhuǎn)桿4的中端部通過第一軸套10固定連接；第ニ驅(qū)動(dòng)桿7與支撐旋轉(zhuǎn)桿4的另一端部通過第二軸套11固定連接。爐門I設(shè)有多個(gè)位置傳感器，所述位置傳感器用于檢測爐門I的位置，以保證爐門I安全開關(guān)。相較于現(xiàn)有技術(shù)，通過爐門和爐管的可活動(dòng)密閉連接，能更好的防止擴(kuò)散源泄漏，從而達(dá)到提高密閉性能的同時(shí)節(jié)省成本的目的；爐門與爐管之間的柔性接觸，避免了爐門與爐管之間的硬碰撞導(dǎo)致零件損壞；通過開關(guān)機(jī)構(gòu)和水平運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)單獨(dú)控制爐門密閉氣壓，避免爐門與爐管沖撞；另外，該技術(shù)方案還可降低爐門安裝要求，從而降低了爐門密閉裝置的維護(hù)時(shí)間。 以上所述僅為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例而已，并不用于限制本發(fā)明，對于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來說，本發(fā)明可以有各種更改和變化。凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的權(quán)利要求范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1.ー種爐門密閉裝置，其特征在于，其包括 與爐管的端ロ面可活動(dòng)密閉連接的爐門； 和支撐旋轉(zhuǎn)桿； 將所述爐門與所述支撐旋轉(zhuǎn)桿的一端部可轉(zhuǎn)動(dòng)連接的活動(dòng)關(guān)節(jié)； 所述支撐旋轉(zhuǎn)桿的中端部通過第一驅(qū)動(dòng)桿連接有控制所述爐門開關(guān)的開關(guān)機(jī)構(gòu)； 所述支撐旋轉(zhuǎn)桿的另一端部通過第二驅(qū)動(dòng)桿連接有保證所述爐門密閉的水平運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)；以及 所述水平運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)連接有驅(qū)動(dòng)其沿水平方向運(yùn)動(dòng)的氣缸組件。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的爐門密閉裝置，其特征在于，所述活動(dòng)關(guān)節(jié)和所述支撐旋轉(zhuǎn)桿之間設(shè)有用于調(diào)節(jié)所述爐門位置的調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的爐門密閉裝置，其特征在于，所述第一驅(qū)動(dòng)桿與所述支撐旋轉(zhuǎn)桿的中端部通過第一軸套固定連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的爐門密閉裝置，其特征在于，所述第二驅(qū)動(dòng)桿與所述支撐旋轉(zhuǎn)桿的另一端部通過第二軸套固定連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的爐門密閉裝置，其特征在于，所述爐門設(shè)有用于檢測所述爐門位置的多個(gè)位置傳感器。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的爐門密閉裝置，其特征在于，所述活動(dòng)關(guān)節(jié)垂直固定于所述爐門。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的爐門密閉裝置，其特征在于，所述活動(dòng)關(guān)節(jié)為支撐柱。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的爐門密閉裝置，其特征在于，所述爐門為石英爐門。
9.根據(jù)權(quán)利要求I所述的爐門密閉裝置，其特征在于，所述開關(guān)機(jī)構(gòu)還用于定位所述
爐門位置并緩沖所述爐門與所述爐管的端ロ面之間的接觸。
10.ー種擴(kuò)散爐，其特征在于，所述擴(kuò)散爐包括上述權(quán)利要求I至9任一項(xiàng)所述的爐門密閉裝置。
全文摘要
本發(fā)明公開一種擴(kuò)散爐及其爐門密閉裝置，該裝置包括與爐管的端口面可活動(dòng)密閉連接的爐門；和支撐旋轉(zhuǎn)桿；將爐門與支撐旋轉(zhuǎn)桿的一端部可轉(zhuǎn)動(dòng)連接的活動(dòng)關(guān)節(jié)；支撐旋轉(zhuǎn)桿的中端部通過第一驅(qū)動(dòng)桿連接有控制爐門開關(guān)的開關(guān)機(jī)構(gòu)；支撐旋轉(zhuǎn)桿的另一端部通過第二驅(qū)動(dòng)桿連接有保證所述爐門密閉的水平運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)；以及水平運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)連接有驅(qū)動(dòng)其沿水平方向運(yùn)動(dòng)的氣缸組件。該技術(shù)方案能更好的防止擴(kuò)散源泄漏，從而達(dá)到提高密閉性能的同時(shí)節(jié)省成本的目的；爐門與爐管之間的柔性接觸，避免了其間的硬碰撞導(dǎo)致零件損壞；通過單獨(dú)控制爐門密閉氣壓，避免爐門與爐管沖撞；另外，還可降低爐門安裝要求，從而降低了爐門密閉裝置的維護(hù)時(shí)間。
文檔編號C30B31/06GK102851741SQ201210097620
公開日2013年1月2日 申請日期2012年4月5日 優(yōu)先權(quán)日2012年4月5日
發(fā)明者王俊朝, 李學(xué)文, 劉兵吉, 李軍陽 申請人:深圳市大族光伏科技股份有限公司