專利名稱：具有改進坩堝蓋部的定向凝固爐的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及例如單晶錠或者多晶錠的生產(chǎn)設備，尤其是涉及一種具有改進坩堝蓋 部的定向凝固爐。
背景技術：
在現(xiàn)有的制造多晶錠的定向凝固設備或者系統(tǒng)中，由于用于生產(chǎn)多晶錠(例如多 晶硅錠等)的原料為塊狀或顆粒狀，料塊之間存在大量縫隙，導致裝滿石英坩堝的固態(tài)多 晶給料熔化后體積大幅縮小。而利用定向凝固系統(tǒng)制造多晶錠成本昂貴，裝料量直接決定 生產(chǎn)效率和成本，由此就有必要采取技術措施來增加給料量。為了實現(xiàn)多裝料，可以考慮在 加裝多晶給料時，在多晶給料到達坩堝頂部后繼續(xù)加裝多晶給料，使多晶給料在坩堝的上 部堆積，然后將蓋板直接放置在多晶給料上。圖1為現(xiàn)有技術的定向凝固系統(tǒng)裝料時的結(jié)構(gòu)示意圖?，F(xiàn)有技術的定向凝固系統(tǒng) 100'包括上爐體101'；與所述上爐體101'相配合的下爐體102'；設置在所述下爐體 102'內(nèi)的支撐裝置6'，設置于所述支撐裝置6'上的石墨固定板5'和石墨固定板5'內(nèi) 設置的石英坩堝2'；設置在石墨坩堝5'外周的側(cè)加熱器32'和頂部加熱器31'；設置在 側(cè)加熱器32'和頂部加熱器31'外側(cè)的隔熱部件4'。在現(xiàn)有技術中，通常在坩堝2'之 上設置蓋板7'。而且，在多晶錠的整個制造的過程中，需要通過通氣管105'不斷地向熔 融的多晶給料的表面上吹入惰性氣體，以防止硅錠定向凝固這一高溫過程中產(chǎn)生的含碳的 氣體滯留在熔體表面造成的多晶錠質(zhì)量的嚴重下降，并將容易引起碳沾污的氣體通過通氣 孔103'吹出多晶爐，同時也將硅熔體中產(chǎn)生的大量揮發(fā)物(如一氧化硅)帶走。在現(xiàn)有技術的定向凝固系統(tǒng)中，從耐高溫等方面考慮，蓋板7'材料多采用碳-碳 復合材料。但是由此導致在裝料的過程中必須控制加料量，以防止塊狀或粒狀多晶給料堆 積過高而與蓋板7'接觸，因為與蓋板7'接觸有可能在多晶熔體中混入從蓋板7'的下表 面帶入的碳成分，而碳成分的過量混入會嚴重惡化所生成的多晶錠的質(zhì)量。更重要的是，多 晶給料壘高后，蓋板7'不能定位，在后續(xù)的化料過程中，蓋板7'可能會滑落或者偏離其 與坩堝的相對位置。因此，現(xiàn)有的定向凝固系統(tǒng)難以實現(xiàn)增加每次的多晶料給料量。針對上述問題，提出了取消蓋板7'的方案。然而，蓋板取消后，由于氣路終端(氣 嘴)與熔體表面的距離較遠，惰性氣體(比如氬氣)離開氣嘴后很快散開，在多晶給料的熔 化和定向凝固過程中，惰性氣體不能被有效地集中導入到熔體表面，不能起到有效吹掃熔 體表面的作用，從而不能有效地將熔體中的含碳氣體及一氧化硅等揮發(fā)物帶走，從而在熔 體中殘留碳雜質(zhì)的同時，熔料過程中產(chǎn)生的一氧化硅揮發(fā)物也易于在頂部隔熱部件和頂部 加熱器沉積。碳雜質(zhì)在硅晶體中會嚴重惡化硅晶體的電學性能，比如導致晶體硅太陽能電 池片轉(zhuǎn)換效率的惡化。而頂部加熱器以及隔熱部件頂部的大量沉積物一方面會影響頂部加 熱器的性能，另一方面也會掉入硅熔體內(nèi)，嚴重影響晶錠質(zhì)量。

發(fā)明內(nèi)容
有鑒于此，需要提供一種新的定向凝固爐，所述定向凝固爐能夠解決現(xiàn)有的定向 凝固爐中氣路的定位問題，并可以在確保晶體質(zhì)量的情況下提高每次的加料量從而提高整 個多晶錠的生產(chǎn)效率。根據(jù)本發(fā)明實施例的定向凝固爐，包括上爐體；下爐體，所述下爐體與所述上爐 體相配合以形成爐體空間；坩堝，所述坩堝設置在爐體空間內(nèi)并被構(gòu)造成容納給料；至少 一個加熱器，所述加熱器用于加熱坩堝并熔化容納在坩堝中的給料；坩堝保持器，所述坩堝 保持器用于保持所述坩堝；隔熱部件，所述隔熱部件容納在所述爐體空間內(nèi)，并被構(gòu)造成相 對于所述坩堝縱向可移動，以控制所述坩堝內(nèi)的給料的定向凝固；通氣管，所述通氣管連接 至外部氣源并豎直地貫穿所述隔熱部件；以及坩堝蓋部，所述坩堝蓋部可拆卸地設置于所 述通氣管的底端且其尺寸與所述坩堝頂端尺寸適配以蓋在所述坩堝上方。根據(jù)本發(fā)明的上述方案，通過設置于通氣管底端的坩堝蓋部在實現(xiàn)增加給料的同 時，能確保對爐腔不致造成污染，從而保證了所生產(chǎn)晶錠質(zhì)量的同時提高了生產(chǎn)效率、降低 了成本。另外，根據(jù)本發(fā)明上述實施例的定向凝固爐還可以具有如下的附加技術特征根據(jù)本發(fā)明的一個實施例，所述坩堝蓋部可縱向移動地設置于所述通氣管的底端。根據(jù)本發(fā)明的一個實施例，所述坩堝蓋部與所述通氣管之間通過套管進行連接， 其中所述坩堝蓋部被可拆卸地固定于所述套管底端，所述套管套在所述通氣管的底端。根據(jù)本發(fā)明的一個實施例，所述通氣管的底端外側(cè)設置有第一凸緣，而所述套管 頂端內(nèi)壁形成有與所述第一凸緣搭接的第二凸緣。根據(jù)本發(fā)明的一個實施例，所述通氣管的底端外側(cè)設置有第一凸緣，而所述套管 的頂端設置有彎折結(jié)構(gòu)，所述彎折結(jié)構(gòu)彈性地抵住所述通氣管的外壁。根據(jù)本發(fā)明的一個實施例，所述坩堝蓋部通過緊固件設置于所述套管的底端。根據(jù)本發(fā)明的一個實施例，所述坩堝蓋部通過螺紋連接固定于所述通氣管的底端。根據(jù)本發(fā)明的一個實施例，所述坩堝蓋部包括連接部，所述連接部為圓筒狀且位 于其頂端的連接部，通過所述連接部將所述坩堝蓋部設置于所述通氣管的底端；以及喇叭 狀部，所述喇叭狀部位于所述連接部底端且中間設有與所述連接部對應的開口，且所述喇 叭狀的大口端尺寸不小于所述坩堝的開口端尺寸以覆蓋整個坩堝開口端。根據(jù)本發(fā)明的一個實施例，所述坩堝蓋部包括連接部，所述連接部為圓筒狀且位 于其頂端的連接部，通過所述連接部將所述坩堝蓋部設置于所述通氣管的底端；平板狀部， 所述平板狀部位于所述連接部底端且中間設有與所述連接部對應的開口 ；以及懸垂部，所 述懸垂部設置于平板狀部邊緣下側(cè)。根據(jù)本發(fā)明的一個實施例，所述坩堝蓋部的內(nèi)表面形成有熱反射層，其中，所述熱 反射層由選自包括石墨、含硅化合物、耐2000°C金屬、硼化物、碳化物、氮化物的組中的任一 種或多種材料形成，其中所述含硅化合物包括碳化硅、氮化硅、硼化硅，所述耐2000°C金屬 包括鎢、鉬、鉭、鈮及其合金，所述硼化物包括碳化硼、氮化硼、硼化鋯、硼化鑭、硼化鈦、硼化 鉭、硼化鉻、硼化鎢、硼化鉬、硼化釩、硼化鈮，所述碳化物包括碳化鉻、碳化鉭、碳化釩、碳化 鋯、碳化鎢、碳化鉬、碳化鈦、碳化鈮，所述氮化物包括氮化鈦、氮化鎢、氮化鉬、氮化鉻、氮化
5鈮、氮化鋯、氮化鉭、氮化釩。具體而言，所述熱反射層的內(nèi)表面的表面粗糙度小于25μπι。根據(jù)本發(fā)明的一個實施例，所述熱反射層通過氣相沉積法形成于所述坩堝蓋部的 內(nèi)表面。根據(jù)本發(fā)明的一個實施例，所述熱反射層為1個或多個板狀襯墊，所述板狀襯墊 通過緊固件設置于所述坩堝蓋部的內(nèi)表面。本發(fā)明附加的方面和優(yōu)點將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變 得明顯，或通過本發(fā)明的實踐了解到。


本發(fā)明的上述和/或附加的方面和優(yōu)點從下面結(jié)合附圖對實施例的描述中將變 得明顯和容易理解，其中圖1顯示了現(xiàn)有技術的定向凝固爐在裝料結(jié)束后上下爐體閉合前的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2實現(xiàn)了根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的定向凝固爐在裝料結(jié)束后上下爐體閉合 前的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3顯示了根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的定向凝固爐在上下爐體閉合后的結(jié)構(gòu)示 意圖；圖4顯示了圖2中A部分的放大示意圖；圖5顯示了圖2中A部分的另一個可選的放大示意圖；圖6顯示了圖2中A部分的再一個可選的放大示意圖；圖7a顯示了圖2中A部分的其他可選的放大示意圖；圖7b顯示了圖7a中B向視圖的放大示意圖。
具體實施例方式下面詳細描述本發(fā)明的實施例，所述實施例的示例在附圖中示出，其中自始至終 相同或類似的標號表示相同或類似的元件或具有相同或類似功能的元件。下面通過參考附 圖描述的實施例是示例性的，僅用于解釋本發(fā)明，而不能解釋為對本發(fā)明的限制。本發(fā)明涉及生長多晶材料的系統(tǒng)或者設備。下面將以制造多晶的多晶爐為例來描 述根據(jù)本發(fā)明的定向凝固爐，其中圖2顯示了根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的定向凝固爐100 在裝料結(jié)束后而上下爐體閉合前的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3顯示了根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的定 向凝固爐在上下爐體閉合后的結(jié)構(gòu)示意圖。在根據(jù)本發(fā)明的一個實施例中，所述定向凝固爐100包括上爐體101 ；下爐體 102，所述下爐體102與所述上爐體101相配合以形成爐體空間104 ；坩堝1，所述坩堝1設 置在爐體空間104內(nèi)并被構(gòu)造成容納給料；至少一個加熱器32，所述加熱器32用于加熱坩 堝1以及容納于坩堝1中的給料以使給料熔化；坩堝保持器5，所述坩堝保持器5用于保持 所述坩堝1 ；隔熱部件4，所述隔熱部件4容納在所述爐體空間104內(nèi)，并被構(gòu)造成相對于所 述坩堝1縱向可移動，以控制所述坩堝1內(nèi)的給料的定向凝固；通氣管105，所述通氣管105 連接至外部氣源200并豎直地貫穿隔熱部件4 ；以及可拆卸地設置于通氣管105底端的坩 堝蓋部106，該坩堝蓋部106的尺寸與坩堝1頂端尺寸適配以蓋在所述坩堝1上方。
根據(jù)本發(fā)明的上述方案，通過可拆卸地設置于通氣管105底端的坩堝蓋部106，可 以實現(xiàn)增加每次的給料量。具體而言，如圖3所示，使多晶給料在坩堝上方累高，只要不至 于滑落至坩堝1外即可。由于固體熔化后形成的熔體體積小于固體的體積，根據(jù)計算，在確 保坩堝1可以容納全部多晶給料熔化后形成的熔體的情況下最多能夠增加大約30%的給 料量。同時，由于坩堝蓋部106的尺寸與坩堝1頂端尺寸適配，因此能確保對含碳氣體不會 在爐腔內(nèi)沉積進而造成硅錠生長環(huán)境的污染，且不用進行氣路對準，提高了整個定向凝固 爐生產(chǎn)單晶或者多晶的效率。而且由于坩堝蓋部106能夠拆卸，在使用一段時間后可以通 過簡單的操作進行清洗處理，從而能夠確保多晶錠的質(zhì)量穩(wěn)定。在本發(fā)明的一個實施例中，如圖2-圖3所示，隔熱部件4由頂隔熱部41和懸垂隔 熱部42構(gòu)成。除了四周設置的側(cè)加熱器32之外，在坩堝1的上方還設置有頂加熱器31。 通氣管105貫穿頂隔熱部件41和頂加熱器31，在其底端可拆卸地設置有坩堝蓋部106。當 然，如果省略了頂加熱器31，則通氣管105只須貫穿頂隔熱部件41，并在其底端可拆卸地設 置有坩堝蓋部106即可。其中，坩堝蓋部106即可以與通氣管105之間采取可拆卸方式進行固定連接，也可 以可縱向移動地設置于通氣管105的底端。作為將坩堝蓋部106可移動地設置于通氣管105底端的連接方式，圖5和圖6分 別列舉出2種連接方式。具體而言，如圖5所示，坩堝蓋部106與通氣管105之間通過套管 107進行連接。其中，坩堝蓋部106被可拆卸地固定于套管107的底端，而套管107套在所 述通氣管的底端。在本發(fā)明的一個示例中，如圖5所示，通氣管105的底端外側(cè)設置有第一凸緣108， 而套管107頂端內(nèi)壁形成有與所述第一凸緣108搭接的第二凸緣109。而在本發(fā)明的另一個示例中，如圖6所示，通氣管105的底端外側(cè)設置有第一凸緣 108'，而套管107的頂端設置有彎折結(jié)構(gòu)110，所述彎折結(jié)構(gòu)彈性地抵住通氣管105的外壁。根據(jù)上述方案，不僅可以根據(jù)需要在裝料、爐體閉合、熔料等整個生產(chǎn)過程中調(diào)節(jié) 坩堝蓋部106的高度，而且由于由氣源200、通氣管105、套管107、坩堝蓋部106所形成的氣 路可以根據(jù)需要在縱向上進行伸縮而無需考慮氣路的對準問題，且整個結(jié)構(gòu)簡單、易操作。另外，在本發(fā)明的一個示例中，如圖7a所示，坩堝蓋部106’通過緊固件112固定 于套管的底端。當然，坩堝蓋部106’也可以通過螺紋連接固定于通氣管的底端。此外，還 可以采用對于本領域的技術人員來說容易想到的其他連接方式比如通過卡扣結(jié)構(gòu)的連接、 通過銷釘?shù)倪B接等等。在本發(fā)明的一個示例中，如圖4所示，坩堝蓋部106包括位于其頂端的連接部 1061、以及位于連接部1061底端的喇叭狀部1062。其中，連接部1061為圓筒狀，通過連接部 1061坩堝蓋部106被設置于通氣管105的底端；喇叭狀部1062的中間設有與連接部1061 對應的開口，且喇叭狀1062的大口端尺寸不小于坩堝1的開口端尺寸以罩住整個坩堝開口 端上方。由此避免硅料通過還原反應生成單晶硅或多晶硅過程中所產(chǎn)生的含碳氣體在爐腔 內(nèi)的沉積。在本發(fā)明的一個示例中，如圖7a所示，坩堝蓋部106'包括位于頂端的連接部 1061'、平板狀部1062'以及設置于平板狀部1062'邊緣下側(cè)的1063'。其中，連接部1061'為圓筒狀，通過連接部1061'坩堝蓋部106'被設置于通氣管105的底端。平板狀 部1062'位于連接部1061'的底端且中間設有與連接部1061'對應的開口。在本發(fā)明的一個示例中，如圖7b所示，坩堝蓋部106'的內(nèi)表面形成有熱反射層 1062a'。其中，熱反射層1062a'由選自包括石墨、含硅化合物、耐2000°C金屬、硼化物、碳 化物、氮化物的組中的任一種或多種材料形成。由此，能夠?qū)捻敳考訜崞?1'輻射至坩堝 蓋部106'的熱量反射向坩堝，從而能提高加熱效率、降低能耗。其中，所述含硅化合物可以包括碳化硅、氮化硅、硼化硅。所述耐200(TC金屬包括鎢、鉬、鉭、鈮及其合金。所述硼化物包括碳化硼、氮化硼、硼化鋯、硼化鑭、硼化鈦、硼化鉭、硼化鉻、硼化 鎢、硼化鉬、硼化釩、硼化鈮，所述碳化物包括碳化鉻、碳化鉭、碳化釩、碳化鋯、碳化鎢、碳化 鉬、碳化鈦、碳化鈮，所述氮化物包括氮化鈦、氮化鎢、氮化鉬、氮化鉻、氮化鈮、氮化鋯、氮化 鉭、氮化釩。在本發(fā)明的一個示例中，所述熱反射層1062a'還可以具有比常規(guī)的保溫層更高 的光潔度，根據(jù)本發(fā)明的一個優(yōu)選實施例，可以將該熱反射材料板213的表面粗糙度(Ra) 加工成小于25 μ m,以使表面具有高熱反射率。根據(jù)本發(fā)明的一個實施例，所述熱反射層 213的表面粗糙度(Ra)加工成小于12.5 μ m，由此即使在后續(xù)的使用過程中，其表面沉積有 沉積物時也可以保證該熱反射層1062a'的熱反射性能。在本發(fā)明的一個示例中，熱反射層1062a'由通過氣相沉積方法在坩堝蓋部 106'的內(nèi)表面上形成的膜構(gòu)成。在本發(fā)明的一個示例中，熱反射層1062a'還可以由墊襯于坩堝蓋部106 ‘內(nèi)表 面上的墊襯構(gòu)成。墊襯即可以覆蓋頂板整體形成為一整塊，也可以如圖7b所示形成為適宜 大小的多個墊襯，通過緊固件1062b'與坩堝蓋部106'連接。需要說明的是，在以上描述中以形成有平板狀部的坩堝蓋部為例對熱反射層進行 了描述，然而，熱反射層也可以同樣地應用于任何其他形狀的坩堝蓋部中，比如其可以同樣 應用于圖5的喇叭狀部的坩堝蓋部。本發(fā)明提出的定向凝固爐不僅可以用于多晶硅和單晶硅的制備，也可用于定向凝 固法生長單晶和多晶鍺或其他化合物半導體晶體以及氧化物晶體材料的制備。另外，需要說明的是，任何提及“ 一個實施例”、“實施例”、“示意性實施例，，等意指 結(jié)合該實施例描述的具體構(gòu)件、結(jié)構(gòu)或者特點包含于本發(fā)明的至少一個實施例中。在本說 明書各處的該示意性表述不一定指的是相同的實施例。而且，當結(jié)合任何實施例描述具體 構(gòu)件、結(jié)構(gòu)或者特點時，所主張的是，結(jié)合其他的實施例實現(xiàn)這樣的構(gòu)件、結(jié)構(gòu)或者特點均 落在本領域技術人員的范圍之內(nèi)。盡管參照本發(fā)明的多個示意性實施例對本發(fā)明的具體實施方式
進行了詳細的描 述，但是必須理解，本領域技術人員可以設計出多種其他的改進和實施例，這些改進和實施 例將落在本發(fā)明原理的精神和范圍之內(nèi)。具體而言，在前述公開、附圖以及權利要求的范圍 之內(nèi)，可以在零部件和/或者從屬組合布局的布置方面作出合理的變型和改進，而不會脫 離本發(fā)明的精神。除了零部件和/或布局方面的變型和改進，其范圍由所附權利要求及其 等同物限定。
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權利要求
一種定向凝固爐，其特征在于，包括上爐體；下爐體，所述下爐體與所述上爐體相配合以形成爐體空間；坩堝，所述坩堝設置在爐體空間內(nèi)并被構(gòu)造成容納給料；至少一個加熱器，所述加熱器用于加熱坩堝并熔化容納在坩堝中的給料；坩堝保持器，所述坩堝保持器用于保持所述坩堝；隔熱部件，所述隔熱部件容納在所述爐體空間內(nèi)，并被構(gòu)造成相對于所述坩堝縱向可移動，以控制所述坩堝內(nèi)的給料的定向凝固；通氣管，所述通氣管連接至外部氣源并豎直地貫穿所述隔熱部件；以及坩堝蓋部，所述坩堝蓋部可拆卸地設置于所述通氣管的底端，且其尺寸與所述坩堝頂端尺寸適配以蓋在所述坩堝上方。
2.根據(jù)權利要求1所述的定向凝固爐，其特征在于，所述坩堝蓋部可縱向移動地設置 于所述通氣管的底端。
3.根據(jù)權利要求2所述的定向凝固爐，其特征在于，所述坩堝蓋部與所述通氣管之間 通過套管進行連接，其中所述坩堝蓋部被可拆卸地固定于所述套管底端， 所述套管套在所述通氣管的底端。
4.根據(jù)權利要求2所述的定向凝固爐，其特征在于，所述通氣管的底端外側(cè)設置有第 一凸緣，而所述套管頂端內(nèi)壁形成有與所述第一凸緣搭接的第二凸緣。
5.根據(jù)權利要求2所述的定向凝固爐，其特征在于，所述通氣管的底端外側(cè)設置有第 一凸緣，而所述套管的頂端設置有彎折結(jié)構(gòu)，所述彎折結(jié)構(gòu)彈性地抵住所述通氣管的外壁。
6.根據(jù)權利要求3所述的定向凝固爐，其特征在于，所述坩堝蓋部通過緊固件設置于 所述套管的底端。
7.根據(jù)權利要求3所述的定向凝固爐，其特征在于，所述坩堝蓋部通過螺紋連接固定 于所述通氣管的底端。
8.根據(jù)權利要求1所述的定向凝固爐，其特征在于，所述坩堝蓋部包括連接部，所述連接部為圓筒狀且位于其頂端的連接部，通過所述連接部將所述坩堝蓋 部設置于所述通氣管的底端；以及喇叭狀部，所述喇叭狀部部位于所述連接部底端且中間設有與所述連接部對應的開 口，且所述喇叭狀的大口端尺寸不小于所述坩堝的開口端尺寸以覆蓋整個坩堝開口端。
9.根據(jù)權利要求1所述的定向凝固爐，其特征在于，所述坩堝蓋部包括連接部，所述連接部為圓筒狀且位于其頂端的連接部，通過所述連接部將所述坩堝蓋 部設置于所述通氣管的底端；平板狀部，所述平板狀部位于所述連接部底端且中間設有與所述連接部對應的開口 ；以及懸垂部，所述懸垂部設置于平板狀部邊緣。
10.根據(jù)權利要求1所述的定向凝固爐，其特征在于，所述坩堝蓋部的內(nèi)表面設置有熱 反射層，其中，所述熱反射層由選自包括石墨、含硅化合物、耐2000°c金屬、硼化物、碳化物、 氮化物的組中的任一種或多種材料形成，其中所述含硅化合物包括碳化硅、氮化硅、硼化硅， 所述耐200(TC金屬包括鎢、鉬、鉭、鈮及其合金，所述硼化物包括碳化硼、氮化硼、硼化鋯、硼化鑭、硼化鈦、硼化鉭、硼化鉻、硼化鎢、硼 化鉬、硼化釩、硼化鈮，所述碳化物包括碳化鉻、碳化鉭、碳化釩、碳化鋯、碳化鎢、碳化鉬、碳化鈦、碳化鈮， 所述氮化物包括氮化鈦、氮化鎢、氮化鉬、氮化鉻、氮化鈮、氮化鋯、氮化鉭、氮化釩。
11.根據(jù)權利要求10所述的定向凝固爐，其特征在于，所述熱反射層的內(nèi)表面的表面 粗糙度小于25 μ m。
12.根據(jù)權利要求10所述的定向凝固爐，其特征在于，所述熱反射層通過氣相沉積法 形成于所述坩堝蓋部的內(nèi)表面。
13.根據(jù)權利要求10所述的定向凝固爐，其特征在于，所述熱反射層為1個或多個板狀 襯墊，所述板狀襯墊通過緊固件設置于所述坩堝蓋部的內(nèi)表面。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種定向凝固爐，包括上爐體；與上爐體相配合以形成爐體空間的下爐體；設置在爐體空間內(nèi)并被構(gòu)造成容納給料的坩堝；用于加熱坩堝并熔化容納在坩堝中的給料的至少一個加熱器；用于保持所述坩堝的坩堝保持器；被構(gòu)造成相對于所述坩堝縱向可移動以控制所述坩堝內(nèi)的給料的定向凝固的隔熱部件；連接至外部氣源并豎直地貫穿所述隔熱部件的通氣管；以及坩堝蓋部，所述坩堝蓋部可拆卸地設置于所述通氣管的底端，且其尺寸與所述坩堝頂端尺寸適配以蓋在所述坩堝上方。根據(jù)本發(fā)明的定向凝固爐，在實現(xiàn)增加給料的同時能確保對爐腔不造成污染，從而保證了所生產(chǎn)晶錠質(zhì)量的同時提高了生產(chǎn)效率、降低了成本。
文檔編號C30B11/00GK101914805SQ201010275428
公開日2010年12月15日 申請日期2010年9月7日 優(yōu)先權日2010年9月7日
發(fā)明者李園 申請人:王楚雯