專利名稱：電氣柜的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及電器設(shè)備散熱技術(shù)領(lǐng)域，且特別涉及一種應(yīng)用于光刻機中的電氣柜。
背景技術(shù)：
目前工業(yè)中的各種數(shù)控設(shè)備，越來越向小型化和機電氣一體化方向發(fā)展，由于采用了大量的集成電路和狹小的電器控制柜，當設(shè)備正常工作時，電路部分發(fā)熱量越來越大， 因此設(shè)備電氣柜的散熱已成相關(guān)行業(yè)所要解決的一項重要課題。在工程應(yīng)用中，電氣柜的控溫方式大多采用熱抽排的方式。熱抽排即將電氣柜內(nèi)板卡等熱源散發(fā)到內(nèi)部空氣中的熱量抽排到外部環(huán)境中，同時電氣柜內(nèi)不斷補充恒溫氣體。這樣，一方面可以保護板卡等電子元件，另一方面控制電氣柜外表面的溫度，使之不至于影響到系統(tǒng)的溫度分布，甚至影響到激光設(shè)備的正常運行。然而通過對熱抽排的長期研究發(fā)現(xiàn)，請參見圖1，現(xiàn)有的安裝熱抽排的電氣柜，都是在電氣柜殼體110—側(cè)(底部或其他位置)開一個足夠大的圓口作為出氣口 120，將抽排管路130直接安裝所開的出氣口 120上，這種普通抽排方式，熱抽排效率低，其原因主要是恒溫空氣平順的流過板卡等發(fā)熱元件，在電氣柜內(nèi)以行程最短的方式被抽掉，導致發(fā)熱元件無法與低溫空氣進行充分的熱交換，使發(fā)熱元件無法得到很好的散熱和降溫，進而無法保證電氣設(shè)備的穩(wěn)定運行。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明旨在解決現(xiàn)有技術(shù)中，由于電氣設(shè)備的電氣柜中的散熱部件的設(shè)計缺陷， 導致散熱效率低，發(fā)熱元件無法與低溫空氣進行充分的熱交換等技術(shù)問題。有鑒于此，本發(fā)明提供一種電氣柜，其特征在于，包括殼體；進氣口及出氣口，設(shè)置于所述殼體上；散熱導流裝置，設(shè)置于所述出氣口處。進一步的，所述散熱導流裝置為帶有軸流旋轉(zhuǎn)葉片式散熱導流裝置。進一步的，所述散熱導流裝置與排氣管道匹配。進一步的，所述的電氣柜，還包括散熱導流肋片，設(shè)置于所述殼體內(nèi)壁。進一步的，所述散熱導流肋片為螺旋式設(shè)置于所述殼體內(nèi)壁。本發(fā)明提供的電氣柜的散熱導流裝置集中在電氣柜抽排出口處，改善電氣柜內(nèi)部流場，氣流更充分的流過發(fā)熱部件，提高換熱效率，更好的保護板卡等電子元件，同時使電氣柜外表面的溫度更均勻可控。提高了抽排系統(tǒng)的效率，節(jié)約能耗，能有效保證設(shè)備系統(tǒng)內(nèi)的溫度，保證光刻機等設(shè)備的正常運行。另一方面，此散熱導流裝置固定于電氣柜外側(cè)，便于安裝與拆卸清洗，且與排氣管路完全貼合，易于實現(xiàn)標準化。


圖1所示為現(xiàn)有技術(shù)中熱抽排電氣柜的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2所示為本發(fā)明一實施例提供的電器柜的結(jié)構(gòu)示意圖3所示為本發(fā)明一實施例提供的電器柜中散熱導流裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4所示為本發(fā)明另一實施例提供的電器柜的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施例方式為使本發(fā)明的技術(shù)特征更明顯易懂，下面結(jié)合附圖，給出具體實施例，對本發(fā)明做進一步的描述。請參見圖2，其所示為本發(fā)明一實施例提供的電器柜的結(jié)構(gòu)示意圖。該電氣柜，包括殼體210，進氣口 220及出氣口 230，設(shè)置于所述殼體210上；散熱導流裝置對0，設(shè)置于所述出氣口 230處。舉例說明，該電氣柜采用的是熱抽排式散熱結(jié)構(gòu)，在電氣柜中的板卡直立的情況下，進氣口 220設(shè)置在電氣柜殼體210上部，出氣口 230設(shè)置在電氣柜殼體210下部，散熱導流裝置240安裝在電器柜的出氣口 230處，排氣管道與出氣口 230連接抽氣時，電氣柜中形成低壓，低溫空氣通過進氣口 220進入電氣柜內(nèi)，與板卡等發(fā)熱元件進行熱交換，當空氣被抽排到出氣口處時，藉由散熱導流裝置M0，改變了抽排流場，使空氣產(chǎn)生旋流，增加了空氣流過板卡等發(fā)熱元件的行程和速度，因而提高了熱交換的效率，更好的保護板卡等電子元件，保證電氣設(shè)備的穩(wěn)定運行。在本實施例中，請結(jié)合參見圖3，所述散熱導流裝置240為帶有軸流旋轉(zhuǎn)葉片式散熱導流裝置，其包括一軸對1，以及設(shè)置于軸241上的葉片M2。當進行熱抽排時，由于軸流旋轉(zhuǎn)葉片式散熱導流裝置的作用，電氣柜內(nèi)部空氣流線由最初的緩慢平順流過板卡變?yōu)榭焖傩D(zhuǎn)流過板卡等發(fā)熱元件，板卡與抽排空氣的對流換熱系數(shù)增加，空氣流過板卡的行程更長，換熱效率明顯提高。與普通的直接與抽排管路連接的電氣柜相比，增加軸流旋轉(zhuǎn)葉片式散熱導流裝置的新型電氣柜可以更好的保護板卡等電子元件，同時使電氣柜外表面的溫度更均勻可控。提高了抽排系統(tǒng)的效率，節(jié)約能耗，能有效保證設(shè)備系統(tǒng)內(nèi)的溫度，使得激光等設(shè)備的正常運行。另一方面，此散熱導流裝置固定于電氣柜出氣口處，便于安裝與拆卸清洗，此外， 散熱導流裝置與排氣管道匹配，與管道完全貼合，易于實現(xiàn)標準化。請參見圖4，其所示為本發(fā)明另一實施例提供的電器柜的結(jié)構(gòu)示意圖。該電氣柜，包括殼體410，進氣口 420及出氣口 430，設(shè)置于所述殼體410上；散熱導流裝置440，設(shè)置于所述出氣口 430處。該電氣柜還包括散熱導流肋片450，設(shè)置于所述殼體內(nèi)壁。在本實例中，散熱導流肋片450為螺旋式設(shè)置于所述殼體410內(nèi)壁。在電氣柜內(nèi)部四周壁面上布置與軸流旋轉(zhuǎn)葉片式散熱導流裝置同樣旋轉(zhuǎn)方向的散熱導流肋片，幫助氣流更快速的流過板卡的發(fā)熱部件。綜上所述，本發(fā)明實施例提供的電氣柜的散熱導流裝置集中在電氣柜抽排出口處，改善電氣柜內(nèi)部流場，氣流更充分的流過發(fā)熱部件，提高換熱效率，更好的保護板卡等電子元件，同時使電氣柜外表面的溫度更均勻可控。提高了抽排系統(tǒng)的效率，節(jié)約能耗，能有效保證設(shè)備系統(tǒng)內(nèi)的溫度，保證光刻機等設(shè)備的正常運行。另一方面，此散熱導流裝置固定于電氣柜外側(cè)，便于安裝與拆卸清洗，且與排氣管路完全貼合，易于實現(xiàn)標準化。雖然本發(fā)明已以較佳實施例揭露如上，然其并非用以限定本發(fā)明，任何所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識者，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，當可作些許的更動與潤飾，因此本發(fā)明的保護范圍當視權(quán)利要求書所界定者為準。
權(quán)利要求
1.一種電氣柜，其特征在于，包括 殼體；進氣口及出氣口，設(shè)置于所述殼體上； 散熱導流裝置，設(shè)置于所述出氣口處。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電氣柜，其特征在于，所述散熱導流裝置為帶有軸流旋轉(zhuǎn)葉片式散熱導流裝置。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電氣柜，其特征在于，所述散熱導流裝置與排氣管道匹配。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電氣柜，其特征在于，其還包括散熱導流肋片，設(shè)置于所述殼體內(nèi)壁。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的電氣柜，其特征在于，所述散熱導流肋片為螺旋式設(shè)置于所述殼體內(nèi)壁。
全文摘要
本發(fā)明揭示了一種電氣柜，其包括殼體；進氣口及出氣口，設(shè)置于所述殼體上；散熱導流裝置，設(shè)置于所述出氣口處。本發(fā)明提供的電氣柜的散熱導流裝置集中在電氣柜抽排出口處，改善電氣柜內(nèi)部流場，氣流更充分的流過發(fā)熱部件，提高換熱效率，更好的保護板卡等電子元件，同時使電氣柜外表面的溫度更均勻可控。提高了抽排系統(tǒng)的效率，節(jié)約能耗，能有效保證設(shè)備系統(tǒng)內(nèi)的溫度，保證光刻機等設(shè)備的正常運行。
文檔編號H05K5/02GK102348363SQ201010241669
公開日2012年2月8日 申請日期2010年7月30日 優(yōu)先權(quán)日2010年7月30日
發(fā)明者于文忠, 余斌, 張洪博, 王明 申請人:上海微電子裝備有限公司