專利名稱：傳熱裝置、電子設(shè)備及傳熱裝置制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
對(duì)于干粉氣霧劑，所吸入藥物的效果的關(guān)鍵因素是溶解入肺液。緩慢的本發(fā)明涉 及熱連接到電子設(shè)備的熱源的傳熱裝置、包括傳熱裝置的電子設(shè)備及傳熱裝置制造方法。
背景技術(shù)：
比如散熱器、熱管或毛細(xì)泵環(huán)的傳熱裝置已經(jīng)被用作熱連接到比如PC(個(gè)人計(jì)算 機(jī))的CPU(中央處理器)的電子設(shè)備的熱源的裝置，用以吸收并傳播熱源的熱。例如，已 知的有由例如銅板制成的固態(tài)金屬傳熱裝置，并且最近已經(jīng)提出了包括工作流體的傳熱裝置。已知比如碳納米管的納米材料具有高的導(dǎo)熱率并且有助于蒸發(fā)的加速。已知有使 用碳納米管、熱管的傳熱裝置(例如，見美國專利第7213637 ；列3第66行至列4第12行， 圖1，下文中參考為專利文獻(xiàn)1)。

發(fā)明內(nèi)容
碳納米管具有高的導(dǎo)熱率。然而，由于與其中用于工作流體的流路等是由具有平 的表面的金屬板等制成的情況相比，碳納米管具有納米結(jié)構(gòu)，摩擦和壓損較大。所以，擔(dān)心 的是工作流體不能在傳熱裝置中適當(dāng)?shù)亓鲃?dòng)，結(jié)果使得不適當(dāng)?shù)貍鳠帷？紤]到上述的情況，希望提供能實(shí)現(xiàn)更高的傳熱效率的傳熱裝置及包括該傳熱裝 置的電子設(shè)備。另外希望的是提供能以更高的可靠性實(shí)現(xiàn)更為容易的制造的傳熱裝置制造 方法。根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方式，提供的傳熱裝置包括工作流體、蒸發(fā)部、冷凝部、流路 部、凹部及突起部。蒸發(fā)部使得工作流體從流相蒸發(fā)到氣相。冷凝部與蒸發(fā)部連通，并使得 工作流體從氣相冷凝到液相。流路部使工作流體在冷凝部中冷凝到液相，以流到蒸發(fā)部。凹 部被設(shè)置于蒸發(fā)部和流路部中的至少一方，液相工作流在凹部中流動(dòng)。突起部由從凹部的 內(nèi)壁側(cè)表面突起的納米材料制成，使得突起部局部地覆蓋凹部的開口面。根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方式，納米材料可以是碳納米管。根據(jù)本實(shí)施方式，突起部由具有大的特定表面面積的納米材料制成，由此加速工 作流體的蒸發(fā)并實(shí)現(xiàn)更高的傳熱率。在其中突起部由具有高的導(dǎo)熱率的碳納米管制成的情 況中，液相工作流體的蒸發(fā)被進(jìn)一步加速，傳熱裝置更為有效地傳導(dǎo)熱量。另外，由于突起部由從凹部的內(nèi)壁側(cè)表面突起的碳納米管制成，在凹部中流動(dòng)的 液相工作流體很少與碳納米管制成的并且具有極小的納米結(jié)構(gòu)的突起部的極小頂部接觸。 因此，抑制了流過凹部和突起部的液相工作流體的摩擦阻力及壓損。結(jié)果，傳熱裝置更為有 效地導(dǎo)熱。根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方式，凹部的開口表面可以具有汽相流路，汽相工作流體在該 汽相流路中流動(dòng)，汽相流路沒有突起部。突起部、朝向突起部的凹部的底面、及凹部的內(nèi)壁 側(cè)表面可以形成液體流路，液相工作流體在該液體流路中流動(dòng)。
根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方式，凹部可以是槽狀。根據(jù)本實(shí)施方式，液相工作流在包括由碳納米管制成的突起部的液體流路中流 動(dòng)。由于液相工作流與碳納米管制成的突起部接觸，碳納米管的高的導(dǎo)熱率使液相工作液 體的蒸發(fā)加速。傳熱裝置由此更為有效地導(dǎo)熱。在其中突起部設(shè)置于槽狀凹部的朝向于彼此的內(nèi)壁側(cè)表面，多個(gè)液體流路形成在 凹部中。液相工作液體的流動(dòng)和蒸發(fā)由此被進(jìn)一步加速。傳熱裝置由此更為有效地導(dǎo)熱。另外，凹部的開口表面可以具有汽相流路，汽相工作液體在該流路中流動(dòng)，汽相流 路沒有突起部。因此，液體流路中蒸發(fā)的汽相工作流體經(jīng)由流路流到冷凝部，而不會(huì)被設(shè)置 于凹部的突起部阻擋。液相工作液體的流動(dòng)和冷凝由此被加速，并且傳熱裝置由此更為有 效地導(dǎo)熱。根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方式，提供有包括熱源和熱連接于該熱源的傳熱裝置。傳熱裝 置包括工作流體、蒸發(fā)部、冷凝部、流路部、凹部及突起部。蒸發(fā)部使工作液體從液相蒸發(fā)到 汽相。冷凝部與蒸發(fā)部連通并使工作流從汽相冷凝到液相。流路部使得冷凝部中冷凝到液 相的工作流體流動(dòng)到蒸發(fā)部。凹部設(shè)置于蒸發(fā)部和流路部中的至少一方，液相工作流體在 該凹部中流動(dòng)。突起部由從凹部的內(nèi)壁側(cè)表面突起的納米材料制成，使得突起部局部地覆 蓋凹部的開口表面。根據(jù)本實(shí)施方式，在傳熱裝置中，由于突起部由從凹部的內(nèi)壁側(cè)表面突起的納米 材料制成，在凹部中流動(dòng)的液相工作流體優(yōu)選地與不像頂部那樣小的突起部的部分接觸， 并且很少與具有極小的納米結(jié)構(gòu)的突起部的頂部接觸。因此，抑制了流過凹部和突起部的 液相工作流體的摩擦阻力及壓損。結(jié)果，傳熱裝置更為有效地導(dǎo)熱。根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方式，提供了制造傳熱裝置的方法，該傳熱裝置包括蒸發(fā)部， 其使得工作流體從流相蒸發(fā)到氣相；冷凝部，其使得工作流體從氣相冷凝到液相；和流路 部，其液相工作流體流到蒸發(fā)部。凹部形成在第一基部構(gòu)件上。由納米材料制成的突起部被 形成在第一基部構(gòu)件的凹部的內(nèi)壁側(cè)表面上，使得突起部局部地覆蓋凹部的開口表面以獲 得至少在蒸發(fā)部和流路部的至少一方處的第二基部構(gòu)件。窗口形成有至少第二基部構(gòu)件。 工作流體被引入到容器并且容器被密封。根據(jù)本實(shí)施方式，在其中納米材料被形成為從凹部的內(nèi)壁側(cè)表面突起以形成突起 部的情況中，液相工作流體優(yōu)選地與突起部的不像頂部那樣細(xì)小的部分接觸，并且很少與 突起部的具有極小的納米結(jié)構(gòu)的頂部接觸。因此，抑制了流過凹部和突起部的液相工作流 體的摩擦阻力及壓損。結(jié)果，能夠以更高的可靠性容易地制造能夠更為有效地導(dǎo)熱的傳熱
直o在以該方法制造的傳熱裝置中，在其中突起部被設(shè)置于槽狀凹部的朝向于彼此的 內(nèi)壁側(cè)表面的情況中，多個(gè)流路形成在凹部中。由此液相工作流體的流動(dòng)和蒸發(fā)被進(jìn)一步 地加速。傳熱裝置由此更為有效地導(dǎo)熱。另外，凹部的開口表面具有汽相流路，汽相工作流體在該流路中流動(dòng)，汽相流路沒 有突起部。因此，液體流路中蒸發(fā)的汽相工作流體經(jīng)由流路流到冷凝部，而不會(huì)被設(shè)置于凹 部的突起部阻擋。液相工作液體的流動(dòng)和冷凝由此被加速，并且傳熱裝置由此更為有效地 導(dǎo)熱。根據(jù)地本發(fā)明的實(shí)施方式的傳熱裝置，實(shí)現(xiàn)了更高的傳熱率。根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施
4方式的傳熱裝置制造方法，實(shí)現(xiàn)了更為容易的制造和更高的可靠性。 根據(jù)下面對(duì)于本發(fā)明的最佳模式實(shí)施方式的詳細(xì)描述，本發(fā)明的這些和其它目
標(biāo)、特性和優(yōu)點(diǎn)將變得明顯，如附圖所示。


圖1是本發(fā)明的第一實(shí)施方式的散熱器的側(cè)視圖，該散熱器熱連接到熱源
圖2是散熱器的平面圖3是示出散熱器的分解透視圖4是示出沿圖2的線A-A截取的示出散熱器的示意截面圖5是示出蒸發(fā)部的局部放大透視圖6是示出蒸發(fā)部的局部放大透視圖7是示出槽部中的液體冷卻劑流路的截面圖8是示出散熱器的操作的示意圖9是示出散熱器的制造方法的流程圖10A-10C是順序示出冷卻劑注入容器的注入方法示意圖11是示出根據(jù)本發(fā)明的第二實(shí)施方式的散熱器的截面圖12是示出蒸發(fā)部的局部透視圖13A-13C是示出線狀透出部的生產(chǎn)方法的示意圖14是根據(jù)本發(fā)明的第三實(shí)施方式的散熱器的分解透視圖15是示出流路板構(gòu)件的局部分解透視圖16是示出本發(fā)明的第四實(shí)施方式的散熱器的蒸發(fā)部的局部透視圖17A-17C是示出網(wǎng)狀突出部的生產(chǎn)方法的示意圖；和
圖18是示出作為包括散熱器的電子設(shè)備的桌面PC的透視圖。
具體實(shí)施例方式下文中，將參考

本發(fā)明的實(shí)施方式。在下面的實(shí)施方式中，將采用散熱器作為傳熱裝置來進(jìn)行說明。(第一實(shí)施方式)(散熱器1的構(gòu)造)圖1是示出本發(fā)明的第一實(shí)施方式的散熱器1的側(cè)視圖，該散熱器熱連接到熱源。 圖2是示出圖1的散熱器1的平面圖。如圖1和圖2所示，散熱器1包括容器2。容器2包括熱接收板4(第一基部構(gòu) 件)、熱輻射板3、及側(cè)壁5。熱輻射板3被設(shè)置為朝向熱接收板4。側(cè)壁5牢固地結(jié)合熱接 收板4和熱輻射板3。熱輻射板3、熱接收板4和側(cè)壁5可以通過銅焊即焊接而結(jié)合在一起，或者可以根 據(jù)材料而用粘結(jié)材料結(jié)合在一起。熱輻射板3、熱接收板4、及側(cè)壁5例如由金屬材料制成。 金屬材料例如是具有高的導(dǎo)熱率的銅、不銹鋼、或鋁，但并不局限于上述材料。在金屬材料 之外，可以采用比如碳的具有高的導(dǎo)熱率的材料。熱輻射板3、熱接收板4及側(cè)壁5可以分 別由不同的材料形成，或者它們中的兩者用相同材料制成，或者它們?nèi)坑上嗤牟牧现瞥?。熱?0熱連接到熱接收板4。短語“熱連接”是直接連接之外的、例如經(jīng)由熱導(dǎo)體 的連接。熱源50例如是產(chǎn)生熱的比如CPU(中央處理單元)或電阻器的電子設(shè)備、或者是 比如顯示器的電子設(shè)備。來自熱源50的熱經(jīng)由熱接收板4被傳輸?shù)缴崞?。比如散熱片55的熱輻射構(gòu)件被熱連接到熱輻射板3。從散熱器1傳輸?shù)缴崞?55的熱從散熱片55輻射出。容器2另外包括封裝在其中的冷卻劑(工作液體，如圖6和圖7中所示)。冷卻劑 可以通過將少量的載有羥基團(tuán)(0H團(tuán))的有機(jī)化合物添加到純凈水中而制備出。添加到純 凈水中的載有羥基團(tuán)(0H團(tuán))的有機(jī)化合物的具體實(shí)例包括醇類、二醇、多羥基化合物、及 酚類。載有羥基團(tuán)(0H團(tuán))的有機(jī)化合物更具體實(shí)例包括比如甲醇、乙醇、丙醇、酚類、及己 醇、比如乙二醇和丙二醇的二醇、比如丙三醇的甲醇、及比如苯酚和烷基酚的酚類?？商鎿Q地，作為冷卻劑，可以使用未添加醇類的純凈水、氟氯烴化合物、氫氟氯烴 化合物、氟、氨、丙酮等，但并不局限于上面所述。圖3是示出散熱器具的分解透視圖。圖4是示出圖2的沿線A-A截取的散熱器1 的示意截面圖。熱接收板4包括熱接收面41和蒸發(fā)面42 (蒸發(fā)部)。熱接收面41對(duì)應(yīng)于容器2 的外表面。蒸發(fā)面42是熱接收面41的背面，并且朝向熱輻射板3。熱源50熱連接到熱接收面41。圍繞蒸發(fā)面42的區(qū)域是用于結(jié)合側(cè)壁5的結(jié)合區(qū)域43。蒸發(fā)部7被設(shè)置于蒸發(fā) 面42。蒸發(fā)部7使液相冷卻劑(下文中參考為“液體冷卻劑”)蒸發(fā)。容器2的內(nèi)部空間主要用作用于液體冷卻劑和汽相冷卻劑(下文中參考為“汽相 冷卻劑”)的流路6。即，在流路6中，液體冷卻劑由于重力而從熱輻射板3側(cè)流到熱接收板 4側(cè)，并且汽相冷卻劑從熱接收板4側(cè)流到熱輻射板3側(cè)。熱輻射板3包括熱輻射面31和冷凝面32 (冷凝部)。熱輻射面31對(duì)應(yīng)于容器2 的外表面。冷凝面32是熱輻射面31的背面，并且朝向熱接收板4。冷凝面32使在蒸發(fā)部7中蒸發(fā)的汽相冷卻劑冷凝。比如散熱片55的熱輻射構(gòu)件被熱連接到熱輻射面31。側(cè)壁5的內(nèi)壁構(gòu)成毛細(xì)流路51 (流路部)。毛細(xì)流路51是用于在熱接收板3的冷 凝面32上冷凝的液體冷卻劑的流路。即，在毛細(xì)流路51中，液體冷卻劑從熱輻射板3側(cè)通 過毛細(xì)力和重力流到熱接收板4側(cè)。注意在圖4中，為更易于理解，改變了構(gòu)件的實(shí)際構(gòu)造。例如，蒸發(fā)部7與散熱器 1的大小比例本實(shí)施方式的散熱器1在平面圖中大致為方形。散熱器1在各側(cè)例如為大約 30-50mm長(e)(見圖2)。散熱器1在側(cè)視圖中大致為矩形。散熱器1例如具有大約2_5mm 的高度(h)。具有這樣的尺寸的散熱器1是用于PC(個(gè)人計(jì)算機(jī))的CPU，熱源50熱連接 到散熱器1。散熱器1的尺寸可以根據(jù)熱源50的尺寸來確定。例如，在其中熱連接到散熱 器1的熱源50是大尺寸顯示器等的大容量熱源時(shí)，長度e需要制作的更大，并且可以如約 2600mm —樣大。散熱器1的尺寸被限定為使得冷卻劑能夠適當(dāng)?shù)亓鲃?dòng)和冷凝，即，能夠順暢 地重復(fù)在容器2中流動(dòng)的冷卻劑的蒸發(fā)和冷凝的循環(huán)。散熱器1的操作溫度范圍例如近似地是-40C到+200C。散熱器1的熱流密度例如是8W/mm2或更低。(蒸發(fā)部7的結(jié)構(gòu))圖5是示出設(shè)置于熱接收板4的蒸發(fā)面42的蒸發(fā)部7的局部放大透視圖。圖6 是示出設(shè)置于蒸發(fā)部7的槽部71的突起部75的局部放大透視圖。如圖5、圖6所示，蒸發(fā)部7包括多個(gè)槽部71 (凹部)和突起部75。槽部71形成 在熱接收板4的蒸發(fā)面42上。突起部75被設(shè)置在槽部71上。具體地，蒸發(fā)部7具有下面 的結(jié)構(gòu)。多個(gè)線性槽部71形成在熱接收板4 (第二基部構(gòu)件)的蒸發(fā)面42上。槽部71被 形成，從而使液體冷卻劑在槽部71中由于毛細(xì)力而在縱向方向上流動(dòng)。槽部71具有矩形 的凹陷截面。槽部71具有底面72和朝向彼此的一對(duì)內(nèi)壁側(cè)面73。注意，槽部71可以具有 矩形截面或方形截面。槽部71的底面72平行于或大致平行于熱接收板4的蒸發(fā)面42而形成。在矩形截 面中，底面72的寬度例如大約是10 ii m到1mm。槽部71的深度例如是大約10 y m到1mm。注意，槽部71可以具有如上所述的矩形凹陷截面，或者可以具有V-形截面、半圓 形截面、圓角矩形截面、或圓角V-形截面。多個(gè)槽部71平行地形成，如附圖中所示，但并不 局限于上面所述。槽部71可以任意地布置，只要冷卻劑能夠在整個(gè)槽部71中均勻地流動(dòng)。 例如，多個(gè)槽部可以是同心圓或同心多邊形?？蛇x地，一個(gè)或多個(gè)槽部可以是螺旋狀?？蛇x 地，可以以彼此交叉的方式設(shè)置同心圓槽、同心多邊形槽、或螺旋槽或星形槽?？蛇x地，可以 設(shè)置類似柵格的槽。突起部75以突起的方式被分別設(shè)置在內(nèi)壁側(cè)面73上。突起部75從內(nèi)壁側(cè)面73 側(cè)局部地覆蓋槽部71的開口部。突起部75被設(shè)置在內(nèi)壁側(cè)面73的遠(yuǎn)離底面72的位置 (區(qū)域)處，使得在槽部71的突起部75和底面72之間形成空間。在圖5中，突起部75被 設(shè)置在槽部71的縱向方向(Y軸方向)的整個(gè)區(qū)域中?？蛇x地，突起部75可以設(shè)置在槽部 71的一部分中。突起部75由納米材料制成。納米材料的實(shí)例包括碳納米管、碳納米線等。在本實(shí) 施方式中，突起部75由碳納米管陣列制成。突起部75的突起長度限定為使得在從一對(duì)內(nèi)壁側(cè)面73突起的突起部75的頂端 部之間設(shè)置有空間部76 (汽相流路)?？臻g部76是這樣的地帶，在其中槽部71的開口面不 由突起部75覆蓋。槽部71中的汽相冷卻劑經(jīng)由該空間部76流到流路6。在蒸發(fā)部7的槽部71中產(chǎn)生的大部分汽相冷卻劑經(jīng)由槽部71的空間部76流到 容器2中的流路6。然后蒸發(fā)冷卻劑流到熱輻射板3。注意，一些汽相冷卻劑穿過構(gòu)成突起 部75的密集生成的碳納米管陣列中的間隙而流到流路6。注意，碳納米管對(duì)于純凈水具有疏水性。所在，在使用純凈水作為冷卻劑的情況 中，毛細(xì)力可能并不足夠地大。因此，根據(jù)要使用的冷卻劑的組成，期望改造突起部75的表 面，以改進(jìn)潤濕能力。表面改選處理的實(shí)例包括用紫外處理來引入比如羧基團(tuán)的親水基團(tuán)。 結(jié)果，改進(jìn)了突起部75的表面的潤濕能力并改進(jìn)了毛細(xì)力。例如，紫外處理如下地進(jìn)行。準(zhǔn)備波長為172nm的準(zhǔn)分子燈(例如，燈管表面的光 強(qiáng)為50mW/cm2)。作為突起部75的碳納米管陣列配置在準(zhǔn)分子燈下方2mm處。突起部75 的表面在大氣中由紫外線照射以改選表面。例如，照射時(shí)間為1分鐘。通過紫外處理，從大
7所中的氧產(chǎn)生活性氧或臭氧以氧化碳納米管陣列。比如羧基(C00H)團(tuán)的具有親水性的親 水基團(tuán)由此形成在突起部75的表面上。下面，將說明冷卻劑在具有上述結(jié)構(gòu)的蒸發(fā)部7的槽部71中的流動(dòng)。圖7是示出槽部71中的液體冷卻劑流路的截面圖。如圖7中所示，散熱器1的容器2中的液體冷卻劑R由于蒸發(fā)部7中的毛細(xì)力而在 槽71中沿縱向方向流動(dòng)。此時(shí)。液體冷卻劑R由于毛細(xì)力而在兩個(gè)液體冷卻劑流路74 (液 體流路)中流動(dòng)。液體冷卻劑流路74形成在槽部71的沿寬度方向的兩個(gè)端部處。各液體 冷卻劑流路74由內(nèi)壁側(cè)面73、突起部75、和底面72形成。液體冷卻劑R接收來自熱接收 板4的熱并蒸發(fā)成為汽相冷卻劑。突起部75由具有高的導(dǎo)熱率的碳納米管陣列制成。因 此，突起部75像熱接收板4 一樣有效地將熱傳輸?shù)揭后w冷卻劑R。另外，如小尺寸的金屬材 料相比，突起部75確保了更大的與液體冷卻劑R的接觸面積。結(jié)果，散熱器1能夠傳輸更 大量的熱。兩個(gè)液體冷卻劑流路74以朝向彼此的方式形成在槽部71中。液體冷卻劑流路74 中的液體冷卻劑R的表面，即朝向內(nèi)壁側(cè)面73的面，由于表面張力而成為半月面M。因此， 在液體冷卻劑流路74中，使得液體冷卻劑R與突起部75和底面72的接觸面積更大。另外， 形成了薄膜帶F，液體冷卻劑R在該薄膜帶F中的蒸發(fā)被加速。在該實(shí)施方式中，碳納米管陣列形成在槽部71的平行于或大致平行于底部72的 內(nèi)壁側(cè)面73上，以形成突起部75。總的來講，碳納米管陣列朝向其頂部逐漸變小。在其中 碳納米管陣列與液體冷卻劑R的接觸過小的情況中，液體冷卻劑R沿槽部71的流動(dòng)的摩擦 阻力增加。結(jié)果，液體冷卻劑R不能適當(dāng)?shù)卦谡舭l(fā)部7中流動(dòng)。在本實(shí)施方式中，由于碳納 米管陣列產(chǎn)生在槽部71的平行于或大致平行于底部72的內(nèi)壁側(cè)表面73上以形成突起部 75，碳納米管陣列的不與頂部一樣小的部分優(yōu)選地與液體冷卻劑R接觸。因此，液體冷卻劑 R能夠適當(dāng)?shù)卦谡舭l(fā)部7中流動(dòng)。總的來講，使得液體冷卻劑R在液體冷卻劑流路74中流動(dòng)的毛細(xì)力在半月圓半徑 減小時(shí)增大。然而，在通過比如切割或蝕刻的通常方法形成槽的情況中，對(duì)于使流路寬度更 小存在限制。因此對(duì)于使半月圓半徑更小存在限制。另外，在由用于熱接收板的金屬材料 等制成的板構(gòu)件上形成具有小的寬度的流路的情況中，液體冷卻劑R的流量減小，并且蒸 發(fā)效率降低。相反，根據(jù)本實(shí)施方式，納米材料生產(chǎn)在槽部71的內(nèi)壁側(cè)面73上以形成突起部 75。具有小的半月半徑的液體冷卻劑流路74由此形成在槽部71中。另外，兩個(gè)液體冷卻 劑流路74形成一個(gè)槽部71中。因此，毛細(xì)力增加，而不會(huì)使槽部71的槽寬更小，并且液體 冷卻劑R的流量不會(huì)減小。在本實(shí)施方式中，碳納米管陣列產(chǎn)生在槽部71的平行于或大致平行于槽部71的 底部72的內(nèi)壁側(cè)面73上以形成突起部75。然而，槽部71的形狀和碳納米管陣列的產(chǎn)生方 向并不局限于如上所述。例如，碳納米管陣列可以沿在朝向熱輻射板3的方向上包括組件 的方向突起。在該情況中，突起部75與液體冷卻劑R的接觸面積增加，由此進(jìn)一步加速了 蒸發(fā)。另外，薄液膜帶F變得更大，由此進(jìn)一步加速了蒸發(fā)。注意，該構(gòu)件也適用于下面的 實(shí)施方式，并具有相同效果。在本實(shí)施方式中，槽部71和突起部75僅設(shè)置在熱接收板4的蒸發(fā)面42上，但并不局限于如上所述。例如，在側(cè)壁5 (第一基部構(gòu)件)的毛細(xì)流路51上，線性槽可以沿?zé)峤?收板4的蒸發(fā)面42與熱輻射板3的冷凝面32彼此連通的方向形成。類似于突起部75的 突起部可以設(shè)置在槽(第二基部構(gòu)件)上。因此，加速了在熱輻射板3的冷凝面32上冷凝 的液體冷卻劑由于毛細(xì)力而到熱接收板4的蒸發(fā)面42的流動(dòng)。注意，該構(gòu)件也適用于如下 的實(shí)施方式，并具有相同效果。(散熱器1的操作)圖8是示出散熱器1的操作的示意圖。如圖8所示，當(dāng)熱源50產(chǎn)生熱時(shí)，熱接收板4的熱接收面41接收熱。然后，液體冷 卻劑由于毛細(xì)力而在設(shè)置于熱接收板4的蒸發(fā)面42上的蒸發(fā)部7的槽部71中流動(dòng)(箭頭 A)。具體地，液體冷卻劑由于毛細(xì)力而在形成在槽部71中的朝向于彼此的兩個(gè)液體冷卻劑 流路74中流動(dòng)。液體冷卻劑流路74中的液體冷卻劑接收熱并蒸發(fā)為汽相冷卻劑。一些汽 相冷卻劑在蒸發(fā)部7的槽部71中流動(dòng)，但大部分的汽相冷卻劑經(jīng)由形成在朝向于彼此的突 起部75之間的空間部76流到熱輻射板3側(cè)(箭頭B)。隨著汽相冷卻劑在流路6中流動(dòng)， 熱被散發(fā)，并且汽相冷卻劑在熱輻射板3的冷凝面32上冷凝到液相(箭頭C)。因此，由散 熱器1散發(fā)的熱從熱輻射板3的熱輻射面31傳遞到散熱片55。散熱片55輻射熱(箭頭 D)。液體冷卻劑由于毛細(xì)力而在毛細(xì)流路51中流動(dòng)或由于重力而在流路6中流動(dòng)以返回 到蒸發(fā)部7的槽部71 (箭頭E)。通過重復(fù)上面的操作，散熱器1傳遞熱源50的熱。箭頭A到E所示的操作帶僅是粗略的示意或粗略的標(biāo)準(zhǔn)，并且未清晰地限定，因?yàn)?各個(gè)操作帶可以根據(jù)熱源50等產(chǎn)生的熱量來變換。(散熱器1的制造方法)這個(gè)實(shí)施例將描述散熱器1的制造方法。圖9是示出散熱器1的制作方法的流程圖。槽部71通過切割或蝕刻而形成在熱接收板4的蒸發(fā)面42上(步驟101)。接著，比如鐵、鎳、或鈷層的觸媒層(未示出)被形成在槽部71的內(nèi)壁側(cè)面73的 上部。碳納米管密集地產(chǎn)生在觸媒層上，以由此形成碳納米管陣列來作為突起部75(步驟 102)。碳納米管陣列例如形成為平行于底面72。在提供的觸媒層中，可以施加并保留抗蝕 劑。碳納米管陣列可以通過等離子CVD(化學(xué)汽相沉積)或熱CVD而產(chǎn)生在觸媒層上，但并 不局限于如上所述。突起部75的面可以通過紫外處理進(jìn)行改選以改進(jìn)親水性。接著，具有槽部71和突起部75 (第二基部構(gòu)件)的熱接收板4、側(cè)壁5、及熱輻射 板3被結(jié)合以形成容器2(步驟103)。在結(jié)合過程中，各個(gè)構(gòu)件被精確地對(duì)準(zhǔn)。接著，冷卻劑被注入容器2并且容器2被密封(步驟104)。圖10是按順序示出冷卻劑被注入容器2的注入方法的示意圖。熱接收板4包括注入口 45和注入路徑46。如圖10A所示，例如，流路6的壓力經(jīng)由注入口 45和注入路徑46而減小，并且冷 卻劑從分配器(未示出)經(jīng)由注入口 45和注入路徑46被注入內(nèi)流路。如圖10B所示，壓力區(qū)47被施壓，并且注入路徑46被閉合(臨時(shí)封閉)。流路6 的壓力經(jīng)由另一個(gè)注入口 46和另一個(gè)注入路徑46而減小，并且當(dāng)流路6的壓力達(dá)到目標(biāo) 壓力時(shí)，壓力區(qū)47被施壓并且注入路徑46被閉合(臨時(shí)封閉)。如圖10C所示，在比壓力區(qū)47更接近于注入口 45的側(cè)上，注入路徑46通過例如
9激光焊接而閉合(最終封閉)。因此，散熱器1的內(nèi)部空間被緊密地密封。通過如上所述地 將冷卻劑注入容器2并密封容器2，制成散熱器1。接著，熱源50被安裝在熱接收板4的熱接收面41上(步驟105)。在其中熱源50 是CPU的情況中，該過程例如是回流焊接過程?；亓鬟^程和散熱器1的制造過程可以在不 同的區(qū)域(例如不同的工廠)執(zhí)行。這樣，在其中在回流過程后執(zhí)行工作液體的注入的情 況中，需要將散熱器1傳輸?shù)交螂x開工廠，這導(dǎo)致了成本、人工、時(shí)間、或工廠之間的傳輸?shù)?碎料的產(chǎn)生的問題。根據(jù)該制造方法，可以在散熱器1完工之后執(zhí)行回流處理，從而解決了 上述問題。根據(jù)上述的制造方法，在步驟102中，碳納米管密集地產(chǎn)生在槽部71的內(nèi)壁側(cè)面 73的上部以由此形成碳納米管陣列作為突起部75。形成具有小的半月半徑的半月面M的 液體冷卻劑流路74由此得以形成，而沒有具有小的寬度的槽。另外，形成突起部75的碳納米管陣列平行于或大致平行于底面72形成。這樣，在 液體冷卻劑流路74中流動(dòng)的液體冷卻劑R優(yōu)選地與碳納米管陣列的不與頂部一樣小的部 分接觸，并且很少與碳納米管陣列的小的頂部接觸。這樣，能夠抑制液體冷卻劑R和突起部 75的摩擦阻力及壓損。另外，當(dāng)碳納米管密集在產(chǎn)生在槽部71的內(nèi)壁側(cè)面73的上部以由此形成碳納米 管陣列時(shí)，汽相冷卻劑流動(dòng)所穿過的空間部76容易地形成在朝向于彼此的突起部75之間。 例如，在其中對(duì)應(yīng)于突起部75的部分由金屬板等制成的情況中，需要在熱接收板4上層壓 板構(gòu)件并通過蝕刻等形成微孔以由此形成空間部76。相反，根據(jù)本實(shí)施方式的制造方法，通 過控制碳納米管陣列的長度，能形成各自具有預(yù)定的形狀的突起部75和空間部76，而不用 進(jìn)行細(xì)化過程。(第二實(shí)施方式)(散熱器11的結(jié)構(gòu))圖11是示出根據(jù)本發(fā)明的第二實(shí)施方式的截面圖。下文中，與第一實(shí)施方式的散熱器1中的部件、功能等類似的部件、功能等將標(biāo)注 為類似的參考標(biāo)記，并且將簡化或省略對(duì)它們的描述，并且將主要說明不同的部分。散熱器11包括容器12。容器12包括熱接收板14、熱輻射板13和側(cè)壁15。熱輻 射板13設(shè)置為朝向熱接收板14。側(cè)壁15緊固地結(jié)合熱接收板14和熱輻射板13。容器12 還包括密封在其中的冷卻劑。容器12的內(nèi)部空間主要用作用于冷卻劑的流路16。熱接收板14包括熱接收面141、蒸發(fā)面142和結(jié)合區(qū)域143。熱源熱連接到熱接 收面141。蒸發(fā)部17被設(shè)置在蒸發(fā)面142上。熱輻射板13具有的結(jié)構(gòu)與熱輻射板3的結(jié)構(gòu)相同，并且包括熱輻射板面131和冷 凝面132。比如散熱片的熱輻射構(gòu)件被熱連接到熱輻射面131。側(cè)壁15的內(nèi)部面構(gòu)成毛細(xì) 流路151。(蒸發(fā)部17的結(jié)構(gòu))圖12是示出設(shè)置于熱接收板14的蒸發(fā)面142的蒸發(fā)部17的局部透視圖。如圖12所示，蒸發(fā)部17包括多條線171和突起部175。線171設(shè)置于熱接收板 14的蒸發(fā)面142。突起部175設(shè)置于線171。注意，在圖12中，為易于理解，示出了五條線 171。
線171由比如金屬材料或碳的具有高的導(dǎo)熱率的材料制成。金屬材料的示例包括 銅、不銹鋼、和鋁。線171被隔開并平行地布置，并通過銅焊即焊接被結(jié)合到熱接收板14的 蒸發(fā)面142，或者可以用粘結(jié)材料被結(jié)合。一條線171、鄰接于一條線171的另一條線171、 及蒸發(fā)面142構(gòu)成與第一實(shí)施方式的槽部(凹部)對(duì)應(yīng)的部分。線171可以具有圓形截面， 但并不局限于如上所述。線171可以可選地具有多邊形截面。另外，根據(jù)形成突起部175 的碳納米管的突起方向，線171可以被適當(dāng)?shù)靥幚聿⑶揖€171的形狀可以任意地改變。碳納米管陣列設(shè)置于線171的離開蒸發(fā)面142的部分，使得分別產(chǎn)生于鄰近的線 171的碳納米管陣列朝向于彼此，由此形成突起部175。突起部175經(jīng)由空間部176而朝向 于彼此。經(jīng)由空間部176朝向于彼此的突起部175局部地覆蓋隔開并平行地布置的相鄰兩 條線171之間的空間。在蒸發(fā)部17中，突起部175、線171的周面、及熱接收板14的蒸發(fā)面142形成液體 冷卻劑流路174。液體冷卻劑在液體冷卻劑流路174中通過毛細(xì)力沿液體冷卻劑流路174 的縱向方向流動(dòng)，即，沿線171的縱向方向流動(dòng)。在液體冷卻劑流路174中流動(dòng)的液體冷卻 劑具有半月面。另外，薄液膜帶形成在半月面的附近。在薄液膜帶中，液體冷卻劑的蒸發(fā)被 加速。具有如上結(jié)構(gòu)的散熱器11的操作與散熱器1的操作類似。(散熱器11的制造方法)接著，將說明本實(shí)施方式的散熱器的制造方法。具體地，將說明線171上的突起部 175的生產(chǎn)方法，其不同于第一實(shí)施方式的散熱器11的制造方法。圖13是示出線171上的突起部175的生產(chǎn)方法的示意圖。如圖13A所示，線171的繞圓形截面的圓心對(duì)稱的兩個(gè)部分被以預(yù)定的角度按壓。 線171的兩個(gè)部分配置為朝向熱輻射板13。線171可以可選地通過切割等進(jìn)行處理。圖13B示出了處理過的線171。在圖13B中，面177和面178形成在線171上。面 177經(jīng)由線171的截面的中心朝向彼此。面178與面177正交。在形成于線171的面177 上，通過汽相沉積法或?yàn)R射法形成比如鐵、鎳、或鈷層的觸媒層(未示出)。碳納米管密集地 產(chǎn)生在觸媒層上以由此形成碳納米管陣列作為突起部175。圖13C示出了由此形成的突起部175。具有突起部175的線171及熱接收板14的 蒸發(fā)面142通過銅焊即焊接而結(jié)合或者用粘結(jié)材料結(jié)合。蒸發(fā)部17由此形成在熱接收板14的蒸發(fā)面142上。此后，散熱器11僅需要通過 散熱器1的制造方法來制造郵購。(第三實(shí)施方式)(散熱器21的結(jié)構(gòu))圖14是根據(jù)本發(fā)明的第三實(shí)施方式的散熱器21的分解透視圖。散熱器21包括容器22。容器22包括熱接收板24、熱輻射板23、和多個(gè)流路板構(gòu) 件28的結(jié)合區(qū)域281。熱輻射板23設(shè)置為朝向熱接收板24。容器22另外包括密封在其 中的冷卻劑。熱接收板24具有的結(jié)構(gòu)與熱接收板4的結(jié)構(gòu)相同。熱接收板24包括熱接收面 241、蒸發(fā)面242、和結(jié)合區(qū)域243。結(jié)合區(qū)域243被結(jié)合到多個(gè)流路板構(gòu)件28的結(jié)合區(qū)域281。
具有與蒸發(fā)部7的結(jié)構(gòu)相同的結(jié)構(gòu)的蒸發(fā)部27設(shè)置在蒸發(fā)面242上。熱源熱連接到熱接收面241。熱輻射板23具有的結(jié)構(gòu)與熱輻射板3的結(jié)構(gòu)相同。熱輻射板23包括熱輻射231 和冷凝面232。比如散熱片的熱輻射構(gòu)件被熱連接到熱輻射面231。多個(gè)流路板構(gòu)件28被層疊在熱接收板24和熱輻射板23之間并形成用于冷卻劑 的流路26。流路板構(gòu)件28的數(shù)目根據(jù)從熱連接到熱接收板24的熱接收面241的熱源所產(chǎn) 生的熱量任意改變。圖15是示出流路板構(gòu)件28的局部分解透視圖。下文中，在多個(gè)流路板構(gòu)件28的各說明中，各構(gòu)件將被參考為“流路板構(gòu)件28a”、 “流路板構(gòu)件28b”等。如圖15所示，流路板構(gòu)件28具有的結(jié)構(gòu)類似于具有蒸發(fā)部7的熱接收板4的結(jié) 構(gòu)。流路板構(gòu)件28另外具有開口 282，這不同于熱接收板4。流路板構(gòu)件28具有結(jié)合區(qū)域281和線性槽部291 (凹部)。結(jié)合區(qū)域281設(shè)置于 流路板構(gòu)件28的一個(gè)面的周部。槽部291具有矩形截面，并彼此平行地形成，且設(shè)置于流 路板構(gòu)件28的除結(jié)合區(qū)域281之外的整個(gè)區(qū)域。槽部291包括底面292和內(nèi)壁側(cè)面293。 突起部295設(shè)置于槽部291的內(nèi)壁側(cè)面293的上啊的沿縱向方向的整個(gè)區(qū)域。突起部295 經(jīng)由空間部朝向彼此。在突起部295與槽部291的底面292之間，形成類似于液體冷卻劑 流路74的液體冷卻劑流路。液體冷卻劑在液體冷卻劑流路中通過毛細(xì)力沿液體冷卻劑流 路的縱向方向流動(dòng)，即，沿槽部291的縱向方向流動(dòng)。多個(gè)開口 282設(shè)置于形成在流路板構(gòu)件28上的槽部291的底面292。開口 282穿 過流路板構(gòu)件28，并以一定間隔沿槽部291的縱向方向設(shè)置。多個(gè)流路板構(gòu)件28彼此層疊，使得設(shè)置于一個(gè)流路板構(gòu)件28a的線性槽部291a 和設(shè)置于與一個(gè)流路板構(gòu)件28a鄰接的另一個(gè)流路板構(gòu)件28a的線性槽部291a彼此正交。 即，多個(gè)流路板構(gòu)件28彼此層疊，使得流路板構(gòu)件28在XY平面中旋轉(zhuǎn)90度。設(shè)置于槽部 291a的底面292a的多個(gè)開口 282a和設(shè)置于槽部291b的底面292b的多個(gè)開口 282b沿Z 軸方向穿過彼此。多個(gè)開口 282a和多個(gè)開口 282b沿Z方向從熱接收板24的蒸發(fā)面242到 熱輻射板23的冷凝面242彼此連通，由此形成用于汽相冷卻劑的流路26。在熱輻射板23 的冷凝面232上冷凝的液體冷卻劑通過毛細(xì)力在流路板構(gòu)件28上流動(dòng)，由此返回?zé)峤邮瞻?24的蒸發(fā)部27?？蛇x地，穿過孔可以設(shè)置在流路板構(gòu)件28的結(jié)合區(qū)域281的周圍，由此形 成加速液體冷卻劑至蒸發(fā)部27的流動(dòng)的返回流路。熱接收板24、多個(gè)流路板構(gòu)件28、及彼此層疊的熱輻射板23被擴(kuò)散結(jié)合。由此形 成散熱器21。在層疊中，各個(gè)板構(gòu)件被精確地對(duì)準(zhǔn)。在擴(kuò)散結(jié)合中，進(jìn)行金屬結(jié)合。由此改 進(jìn)了散熱器21的強(qiáng)度或剛度。在本實(shí)施方式中，除提供了開口 282之外，流路板構(gòu)件28具有的結(jié)構(gòu)與第一實(shí)施 方式的熱接收板4的結(jié)構(gòu)相同。這樣，流路板構(gòu)件28在各線性槽部291中具有兩個(gè)液體冷 卻劑流路。因此，增加了液體冷卻劑流路的數(shù)目并且使在液體冷卻劑流路中流動(dòng)的液體冷 卻劑的薄液膜帶更大，由此加速了蒸發(fā)。(第四實(shí)施方式)本發(fā)明的根據(jù)第四實(shí)施方式的散熱器31包括容器。容器包括熱接收板、熱輻射板、和側(cè)壁。熱輻射板設(shè)置為朝向熱接收板。側(cè)壁緊固地結(jié)合熱接收板和熱輻射板。容器 還包括密封在其中的冷卻劑。容器的內(nèi)部空間主要用作用于冷卻劑的流路。在散熱器31 的熱接收板上未形成槽。蒸發(fā)部37被設(shè)置于熱接收板的熱接收面。(蒸發(fā)部37的結(jié)構(gòu))圖16是示出本發(fā)明的第四實(shí)施方式的散熱器31的蒸發(fā)部37的局部透視圖。如圖16所示，蒸發(fā)部37包括網(wǎng)狀部371和突起部375。突起部375設(shè)置于網(wǎng)狀部 371。網(wǎng)狀部371是由比如金屬材料或碳的具有高的導(dǎo)熱率的材料制成的線379的網(wǎng)狀 部。金屬材料的示例包括銅、不銹鋼、和鋁。網(wǎng)狀部371并通過銅焊即焊接被結(jié)合到熱接收 板的蒸發(fā)面，或者用粘結(jié)材料被結(jié)合。網(wǎng)狀部371和蒸發(fā)面形成凹部。線379可以具有圓 形截面或多邊形截面，但并不局限于如上所述。根據(jù)突起部375的突起方向，網(wǎng)狀部371可 以適當(dāng)?shù)靥幚聿⑶揖W(wǎng)狀部的形狀可以任意地改變。突起部375設(shè)置于網(wǎng)狀部371的預(yù)定部分。例如，碳納米管陣列被形成于網(wǎng)狀啊 371的與熱接收板的蒸發(fā)面平行的預(yù)定部分，使得碳納米管陣列朝向于彼此。由此形成突起 部 375。在蒸發(fā)部37中，突起部375、網(wǎng)狀部371的線379的周面、及熱接收板的蒸發(fā)面形 成液體冷卻劑流路。即，兩條朝向于彼此的液體冷卻劑流路形成在沿X軸方向隔開并平行 地布置的兩條線379之間。另外，兩條朝向于彼此的液體冷卻劑流路形成在沿Y軸方向隔 開并平行地布置的兩條線379之間。另外，碳納米管平行于熱接收板的蒸發(fā)面而產(chǎn)生，由此 形成碳納米管陣列作為突起部375。這樣，液體冷卻劑滲入的網(wǎng)狀部371很少與碳納米管陣 列的頂部接觸。這樣，抑制了液體冷卻劑與突起部375之間的摩擦阻力和壓損。因此，本實(shí) 施方式的散熱器31的操作類似于散熱器1的操作方式。注意，各自具有突起部375的多個(gè)網(wǎng)狀部371可以彼此層疊。在該情況中，網(wǎng)狀部 371的開口 371a和另一網(wǎng)狀部371的開口 371a沿Z軸方向穿過彼此。S卩，多個(gè)開口 371a 沿Z方向從熱接收板的蒸發(fā)面到熱輻射板的冷凝面彼此連通，由此形成用于汽相冷卻劑的 流路。另外，在熱輻射板的冷凝面上冷凝的液體冷卻劑通過毛細(xì)力在網(wǎng)狀部371和突起部 375的表面流動(dòng)，由此返回?zé)峤邮瞻宓恼舭l(fā)部。(散熱器31的制造方法)下面，將說明散熱器31的制造方法。具體地，將說明網(wǎng)狀部371上突起部375的 生產(chǎn)方法，其不同于第一實(shí)施方式的散熱器1的制造方法。圖17是示出網(wǎng)狀部371上的突起部375的生產(chǎn)方法的示意圖。圖17A的網(wǎng)狀部371被從以預(yù)定角度朝向熱輻射板的側(cè)按壓。圖17B示出網(wǎng)狀部371。在圖17B中，面377和面378形成于網(wǎng)狀部371的線379。 面377經(jīng)由網(wǎng)狀部371的線379的截面的直徑朝向彼此。在形成于線379的面377上，通 過汽相沉積法或?yàn)R射法形成比如鐵、鎳、或鈷層的觸媒層(未示出)。碳納米管密集地生產(chǎn) 在觸媒層上，以由此形成碳納米管陣列作為突起部375。圖17C示出了由此形成的突起中375。在圖17C中，多個(gè)突起部375沿X方向和Y 方向設(shè)置。具有突起部375的網(wǎng)狀部371和熱接收板的蒸發(fā)面通過銅焊即焊接結(jié)合，或者 用粘結(jié)材料結(jié)合。之后，散熱器31僅需要通過散熱器1的制造方法來制造出。
13
(電子設(shè)備)圖18是示出作為包括散熱器1的電子設(shè)備的桌面PC120的透視圖。在PC120的殼體121中，設(shè)置有電路板122，并且例如作為熱源的CPU123安裝在電 路板122上。CPU123熱連接到散熱器1 (11、21、31)，并且散熱器1 (11、21、31)熱連接到散 熱片。根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方式不局限于上述的實(shí)施方式，并且可以期望多種變形例。作為傳熱裝置，示例性地示出了散熱器。但是，傳熱裝置并不局限如上所述，而可 以是熱管或CPL。散熱器1(11、21、31)的形狀在平面圖中是方形。但是，平面圖中的形狀可以是圓 形、橢圓形、多邊形或另外的任意形狀。作為電子設(shè)備，示例性地示出了桌面PC，但并不局限于如上所述。作為電子設(shè)備， 可以采用膝上型PC、PDA(個(gè)人數(shù)字助理)、電子詞典、照相機(jī)、顯示設(shè)備、AV設(shè)備、投影儀、移 動(dòng)電話、游戲機(jī)、機(jī)器人設(shè)備、或另外的電子設(shè)備。本申請包括涉及2009年4月3日在日本專利辦公室提交的日本專利權(quán)申請JP 2009-091215中公開的主旨內(nèi)容，這里并入其整個(gè)內(nèi)容作為參考。
1權(quán)利要求
一種傳熱裝置，包括工作流體；蒸發(fā)部，其使所述工作流體從液相蒸發(fā)到汽相；冷凝部，其與所述蒸發(fā)部連通，并使所述工作流體從汽相冷凝到液相；流路部，其使所述工作流體在所述冷凝部冷凝到液相以流到所述蒸發(fā)部；凹部，設(shè)置于所述蒸發(fā)部和所述流路部的至少一方，液相的所述工作流體在所述凹部中流動(dòng)；和由納米材料制成的突起部，所述納米材料從所述凹部的內(nèi)壁側(cè)面突起，使得所述突起部局部地覆蓋所述凹部的開口面。
2.如權(quán)利要求1所述的傳熱裝置，其特征在于， 所述納米材料是碳納米管。
3.如權(quán)利要求2所述的傳熱裝置，其特征在于，所述凹部的所述開口面具有汽相流路，汽相的工作流體在所述汽相流路中流動(dòng)，且所 述汽相流路無所述突起部；并且所述突起部、所述凹部的朝向所述突起部的底面、以及所述凹部的所述內(nèi)壁側(cè)面形成 液體流路，液相的工作流體在該液體流路中流動(dòng)。
4.如權(quán)利要求3所述的傳熱裝置，其特征在于， 所述凹部是槽狀的。
5.一種電子設(shè)備，包括 熱源；和熱連接到所述熱源的傳熱裝置，所述傳熱裝置包括工作流體；蒸發(fā)部，其使所述工作 流體從液相蒸發(fā)到汽相；冷凝部，其與所述蒸發(fā)部連通并使所述工作流體從汽相冷凝到液 相；流路部，其使在所述冷凝部冷凝到液相的所述工作流體流動(dòng)到所述蒸發(fā)部；凹部，其設(shè) 置于所述蒸發(fā)部和所述流路中的至少一方，液相的工作流體在該凹部中流動(dòng)；及由納米材 料制成的突起部，其從所述凹部的內(nèi)壁側(cè)面突起，使得所述突起部局部地覆蓋所述凹部的 開口面。
6.一種制造傳熱裝置的方法，所述傳熱裝置包括蒸發(fā)部，其使所述工作流體從液相 蒸發(fā)到汽相；冷凝部，其使所述工作流體從汽相冷凝到液相；和流路部，其使液相的工作流 體流動(dòng)到所述蒸發(fā)部，該方法包括在第一基部構(gòu)件上形成凹部；在所述第一基部構(gòu)件的所述凹部的內(nèi)壁側(cè)面上設(shè)置納米材料制成的突起部，使得所述 突起部局部地覆蓋所述凹部的開口面以獲得第二基部構(gòu)件，該第二基部構(gòu)件作為所述蒸發(fā) 部和所述流路部的至少一方；形成具有至少所述第二基部構(gòu)件的容器；和 將所述工作流體引入到所述容器并密封所述容器。
全文摘要
一種傳熱裝置，其包括工作流體、蒸發(fā)部、冷凝部、流路部、凹部、和突起部。蒸發(fā)部使工作流體從液相蒸發(fā)到汽相。冷凝部與蒸發(fā)部連通，并使工作流體從汽相冷凝到液相。流路部使工作流體在冷凝部冷凝到液相以流到蒸發(fā)部。凹部設(shè)置于蒸發(fā)部和流路部的至少一方，液相工作流體在凹部中流動(dòng)。突起部由納米材料制成，所述納米材料從凹部的內(nèi)壁側(cè)突起使得突起部局部地覆蓋凹部的開口面。
文檔編號(hào)H05K7/20GK101858701SQ20101014967
公開日2010年10月13日 申請日期2010年3月26日 優(yōu)先權(quán)日2009年4月3日
發(fā)明者橋本光生, 河西弘人, 矢澤和明, 石田佑一, 良尊弘幸 申請人:索尼公司