專利名稱:一種多晶硅冶煉爐用觀察窗系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明新型涉及一種多晶硅冶煉爐用觀察窗系統(tǒng)的研制,屬于物理冶金法提純多 晶硅相關(guān)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù):
物理冶金法提純多晶硅是指采用對(duì)冶金級(jí)的硅進(jìn)行造渣、精煉、酸洗(濕法冶 金)、定向凝固等方式,將雜質(zhì)去除,而提純得到太陽(yáng)能級(jí)多晶硅的方法,俗稱物理法。基于物理冶金法提純的原理研制的多晶硅冶煉爐一般需要在真空或封閉的條件 下工作,因此外圍是耐壓殼體。觀察窗系統(tǒng)是觀測(cè)冶煉爐內(nèi)部,保證其正常運(yùn)行的最重要的 設(shè)備。目前,觀察窗系統(tǒng)只能滿足觀察、測(cè)溫的需要,在復(fù)雜條件下或突發(fā)情況下無(wú)法使用。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于研制出一種觀察窗系統(tǒng),集成了觀察,測(cè)溫,滑板保護(hù),擦拭等 功能,使其滿足在各種條件下的使用要求。為了實(shí)現(xiàn)上述目的,本發(fā)明采用如下技術(shù)方案1. 一種多晶硅冶煉爐用觀察窗系統(tǒng),包括石英玻璃,旋轉(zhuǎn)擦拭裝置,底座,滑板,密 封墊圈,紅外測(cè)溫支架,其特征在于滑板水平安裝于底座的中間,旋轉(zhuǎn)擦拭裝置垂直安裝 于底座的側(cè)方。2.如項(xiàng)1所述的多晶硅冶煉爐用觀察窗系統(tǒng),其特征在于滑板部有一個(gè)圓形開(kāi) 口,開(kāi)口大小與觀察窗大小接近。3.如項(xiàng)1所述的多晶硅冶煉爐用觀察窗系統(tǒng),其特征在于旋轉(zhuǎn)擦拭裝置上固定 有耐高溫軟性材料,如炭纖維、石墨纖維等。本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,具有使用安全、改裝方便等優(yōu)點(diǎn)。可以方便的安裝在爐體表面, 必要時(shí)可以改成電動(dòng)以實(shí)現(xiàn)控制。
圖1為本發(fā)明實(shí)施例所采用的結(jié)晶爐的主觀結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為本發(fā)明實(shí)施例所采用的結(jié)晶爐的俯視結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式觀察窗系統(tǒng),包括石英玻璃1,旋轉(zhuǎn)擦拭裝置2,底座3,滑板4,密封墊圈5,紅外測(cè) 溫支架6。安裝有本發(fā)明的觀察窗系統(tǒng)的多晶硅爐,正常情況是滑板4的開(kāi)孔與觀察窗系統(tǒng) 的光路一致,旋轉(zhuǎn)擦拭裝置2位于窗口的一側(cè)。操作人員通過(guò)窗口和其上的紅外線測(cè)溫儀 了解爐內(nèi)情況。當(dāng)出現(xiàn)熔體飛濺等突發(fā)情況時(shí),操作人員可通過(guò)伸入滑板4,遮擋玻璃窗口以保護(hù)系統(tǒng)不受危害。待情況穩(wěn)定后適當(dāng)滑動(dòng)滑板4調(diào)整開(kāi)孔大小以實(shí)現(xiàn)觀測(cè)的目的。尤其是實(shí) 驗(yàn)情況比較危險(xiǎn)時(shí),該系統(tǒng)可通過(guò)加裝電動(dòng)裝置、攝像設(shè)備來(lái)實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程控制,安全性極高。
當(dāng)出現(xiàn)爐內(nèi)有高溫?fù)]發(fā)物污染窗口,使觀測(cè)無(wú)法實(shí)現(xiàn)時(shí),可使用旋轉(zhuǎn)擦拭來(lái)擦拭 窗口,使其重新可用。滿足了在各種情況下對(duì)觀察窗口的要求。
權(quán)利要求
1.一種多晶硅冶煉爐用觀察窗系統(tǒng),包括石英玻璃,旋轉(zhuǎn)擦拭裝置,底座,滑板,密封墊 圈,紅外測(cè)溫支架,其特征在于滑板水平安裝于底座的中間,旋轉(zhuǎn)擦拭裝置垂直安裝于底 座的側(cè)方。
2.如權(quán)利要求1所述的多晶硅冶煉爐用觀察窗系統(tǒng),其特征在于滑板部有一個(gè)圓形 開(kāi)口,開(kāi)口大小與觀察窗大小接近。
3.如權(quán)利要求1所述的多晶硅冶煉爐用觀察窗系統(tǒng),其特征在于旋轉(zhuǎn)擦拭裝置上固 定有耐高溫軟性材料,如炭纖維、石墨纖維等。
全文摘要
一種多晶硅冶煉爐用觀察窗系統(tǒng),包括石英玻璃,旋轉(zhuǎn)擦拭裝置,底座,滑板,密封墊圈,紅外測(cè)溫支架。觀察窗系統(tǒng)是多晶硅冶煉爐的重要附屬裝置,集成了觀察,測(cè)溫,滑板保護(hù),擦拭等功能。本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,具有使用安全、改裝方便等優(yōu)點(diǎn)??梢苑奖愕陌惭b在爐體表面,必要時(shí)可以改成電動(dòng)以實(shí)現(xiàn)控制。
文檔編號(hào)C30B35/00GK102140683SQ20101010538
公開(kāi)日2011年8月3日 申請(qǐng)日期2010年2月3日 優(yōu)先權(quán)日2010年2月3日
發(fā)明者呂佩文, 林鐘潮, 柯永燦, 董建平, 陳倫泰, 黃豐, 黃順樂(lè) 申請(qǐng)人:中國(guó)科學(xué)院福建物質(zhì)結(jié)構(gòu)研究所