專利名稱：：感光性膜的制造方法、感光性膜、感光性層疊體、永久圖案形成方法及印制電路板的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及高感度、高分辨率，感度的經(jīng)時(shí)穩(wěn)定性、膜固化性及耐熱沖擊性良好，能夠高效地形成高精細(xì)的永久圖案的感光性樹脂組合物、感光性膜、感光性層疊體、永久圖案形成方法及印制電路板。
背景技術(shù)：
：隨著電器的小型化、多功能化，目前印制配線板進(jìn)一步向高密度化的方向發(fā)展。例如，導(dǎo)體電路的細(xì)線化、高多層化、盲孔、巴立得孔(八'J一卜"*一>)等含有內(nèi)部導(dǎo)通孔的透孔的小徑化、利用小型芯片部件的表面安裝所進(jìn)行的高密度安裝等。以往的印制配線板用阻焊劑例如可以舉出在環(huán)氧樹脂、環(huán)氧基蜜胺樹脂等耐熱性熱固化性樹脂中調(diào)合有胺、咪唑、酸酐等熱固化催化劑和丁基溶纖劑、丁基卡必醇等有機(jī)溶劑的熱固化型阻焊劑；在丙烯酸酯、甲基丙烯酸酯等聚合性單體上配合環(huán)氧基丙烯酸酯、尿烷丙烯酸酯等交聯(lián)性聚合物以及苯偶姻乙基醚、二苯甲酮等光增感劑而成的紫外線固化型阻焊劑；組合有上述熱固化型阻焊劑和紫外線固化型阻焊劑所含各成分的雙固化(dualcure)型阻焊劑等。阻焊劑的形成方法例如可以舉出在形成有上述阻焊劑的鍍銅層疊板等的基體上形成由感光性樹脂組合物構(gòu)成的感光層，對(duì)上述感光層進(jìn)行曝光，該曝光后將上述感光層顯影，制成具有規(guī)定圖案的阻焊劑的方法。作為在基體上形成感光層的方法，例如可以舉出利用絲網(wǎng)涂布機(jī)、浸涂機(jī)、棒涂機(jī)等將液狀類型的感光性樹脂組合物涂布形成于基體上的方法。或者，利用由聚酯膜或聚乙烯構(gòu)成的保護(hù)膜將感光性樹脂組合物夾在中間從而制成3層結(jié)構(gòu)的干膜，利用軋輥層疊機(jī)或真空層疊機(jī)等將其層疊于基體上制成感光層的方法等。近年來，由于高密度化有所發(fā)展、配線密度增高，因此要求搭載部件時(shí)阻焊劑表面的平坦化。干膜型阻焊劑由于可以用真空層疊機(jī)等加壓成型、且溶劑揮發(fā)所導(dǎo)致的體積收縮小，因此與液狀類型的阻焊劑相比，對(duì)平坦化更為有利，因此收到關(guān)注。但是，為干膜型阻焊劑時(shí)，當(dāng)膜制造工序中發(fā)生針孔或凹陷等面狀缺陷時(shí)，難以通過在基體上的層疊后的工序?qū)⒃撊毕菪迯?fù)。在固化膜(阻焊劑)上殘留有針孔或凹陷等面狀缺陷的狀態(tài)下，由于印制配線板的絕緣可靠性降低，因此如何制造面狀缺陷少的干膜成為課題。這里，在日本特公平7-21626號(hào)公報(bào)中提出了為了形成均一膜厚的感光層，使抗蝕劑組合物中含有表面活性劑的技術(shù)方案。但是，日本特公平7-21626號(hào)公報(bào)所記載的抗蝕劑組合物是為了作為液狀類型涂布于基體上，而非作為干膜進(jìn)行利用。另外，當(dāng)在抗蝕劑組合物中含有表面活性劑時(shí)，具有感光層與基體的密合性變差的問題。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的課題在于解決上述以往的各問題，達(dá)成以下目的。S卩，本發(fā)明的目的在于提供涂布于基體時(shí)的膜厚均一、難易發(fā)生針孔或凹陷等面狀缺陷、且與印制配線形成用基板等基體的密合性優(yōu)異、可高效地形成高精細(xì)永久圖案的感光性膜、感光性膜的制造方法、感光性層疊體、永久圖案形成方法及印制電路板。.作為用于解決上述課題的方法如下所述。艮P，<1>一種感光性膜的制造方法，其特征在于，包括以下工序制備含有感光性樹脂組合物的涂布液的涂布液制備工序，該感光性樹脂組合物中含有i)導(dǎo)入有感光性基團(tuán)和用于賦予堿顯影性的酸基的化合物、ii)聚合性化合物、iii)光聚合引發(fā)劑；對(duì)上述涂布液實(shí)施消泡處理的消泡工序；在上述消泡工序后，將上述涂布液涂布于支撐體的涂布工序；使上述涂布液干燥，在上述支撐體上形成感光層的干燥工序。<2>如上述<1〉所述的感光性膜的制造方法，其中，消泡處理為超聲波消泡。<3〉如上述〈1〉<2>中任一項(xiàng)所述的感光性膜的制造方法，其中，感光性樹脂組合物還含有iv)熱交聯(lián)劑。〈4〉如上述〈1><3>中任一項(xiàng)所述的感光性膜的制造方法，其中，感光性樹脂組合物還含有V)填充物?！?〉如上述〈1><4>中任一項(xiàng)所述的感光性膜的制造方法，其特征在于，涂布液的粘度為5mPa"s100mPa's?！?〉如上述〈5〉所述的感光性膜的制造方法，其特征在于，涂布液的粘度為lOmPa.s50mPa's?！?〉一種感光性膜，其為利用上述〈1〉〈6〉中任一項(xiàng)所述的制造方法制作的感光性膜，其特征在于，其為長條狀，被巻繞成輥狀而成?！?〉一種感光性層疊體，其為具備基體和設(shè)置于上述基體上的感光層的感光性層疊體，其特征在于，上述感光層是由利用上述〈1〉〈6〉中任一項(xiàng)所述的制造方法制得的感光性膜轉(zhuǎn)印而成得感光層。〈9〉一種永久圖案形成方法，其特征在于，至少包括對(duì)上述〈8〉所述的感光性層疊體中的感光層進(jìn)行曝光的曝光工序。〈10〉一種印制電路板，其特征在于，具備通過上述〈9〉所述的永久圖案形成方法形成的永久圖案。通過本發(fā)明，可以解決上述以往的各問題，達(dá)到上述目的，能夠提供涂布于基體時(shí)的膜厚均一、難以產(chǎn)生針孔或凹陷等面狀缺陷、且與印制配線形成用基板等基體的密合性優(yōu)異、可高效地形成高精細(xì)的永久圖案的感光性膜、感光性膜的制造方法、感光性層疊體、永久圖案形成方法及印制電路板。具體實(shí)施例方式(感光性膜的制造方法)本發(fā)明的感光性膜的制造方法至少包括涂布液制備工序、消泡工序、涂布工序、干燥工序，進(jìn)而還含有根據(jù)需要適當(dāng)選擇的其他工序?！赐坎家褐苽涔ば颉瞪鲜鐾坎家褐苽涔ば?yàn)橹苽浜笫龅暮懈泄庑詷渲M合物的涂布液的工序。作為制備上述涂布液的方法并無特別限定，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如可以舉出將上述感光性樹脂組合物溶解于水或有機(jī)溶劑等溶劑中，使其乳化或分散的方法。另外，還可添加公知的表面活性劑。上述溶劑并無特別限定，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇?？梢耘e出甲乙酮、環(huán)己酮等酮類；甲苯、二甲苯、四甲基苯等芳香族烴類；甲基溶纖劑、丁基溶纖劑、甲基卡必醇、丁基卡必醇、丙二醇單甲基醚、雙丙甘醇單乙基醚、三甘醇單乙基醚等二醇醚類；醋酸乙酯、醋酸丁酯及上述二醇醚類的醋酸酯化物等酯類；乙醇、丙醇、乙二醇、丙二醇等醇類；石油醚、石油腦、加氫石油腦、溶劑油等石油系溶劑，，但并非限定于此。上述涂布液的粘度并無特別限定，可根據(jù)目的適當(dāng)選擇。例如優(yōu)選為5mPa"s100mPa"s、10mPa"s50mPa"s。-感光性樹脂組合物-上述感光性樹脂組合物至少含有i)導(dǎo)入有感光性基團(tuán)和用于賦予堿顯影性的酸基的化合物(粘合劑)、ii)聚合性化合物、iii)光聚合引發(fā)劑，進(jìn)而根據(jù)需要含有iv)熱交聯(lián)劑、v)填充物等其他成分而成。一粘合劑一上述粘合劑只要是導(dǎo)入有感光性基團(tuán)和用于賦予堿顯影性的酸基的化合物則無特別限定，可根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如可以舉出使具有2個(gè)以上環(huán)氧基的環(huán)氧樹脂和不飽和(甲基)丙烯酸反應(yīng)后進(jìn)而使之與多元酸酐反應(yīng)所得的聚合物；將(甲基)丙烯酸縮水甘油酯附加于由(甲基)丙烯酸酯和含有不飽和基團(tuán)且具有至少1個(gè)酸基化合物所獲得的共聚物的一部分酸基后的改性共聚物；通過含羧基的(甲基)丙烯酸系共聚樹脂和脂環(huán)式含環(huán)氧基的不飽和化合物的反應(yīng)所得的聚合物等。其中，由于將感光性樹脂組合物干膜化、制成感光層時(shí)，皺褶性低，因此優(yōu)選將(甲基)丙烯酸縮水甘油酯附加于由(甲基)丙烯酸酯和含有不飽和基團(tuán)且具有至少1個(gè)酸基化合物所獲得的共聚物的一部分酸基后的改性共聚物。上述粘合劑在上述感光性樹脂組合物固形成分中的固形成分含量優(yōu)選為580質(zhì)量％、更優(yōu)選為3060質(zhì)量％。該固形成分含量為5質(zhì)量％以上時(shí)，顯影性、曝光感度變得良好，為80質(zhì)量％以下時(shí)，可以防止感光層的粘合性變得過強(qiáng)?！酆闲曰衔镆簧鲜鼍酆闲曰衔锊o特別限定，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如優(yōu)選具有1個(gè)以上乙烯性不飽和鍵的化合物。上述乙烯性不飽和鍵例如可以舉出(甲基)丙烯?；?、(甲基)丙烯酰胺基、苯乙烯基、乙烯基酯或乙烯基醚等乙烯基、烯丙基醚或烯丙基酯等烯丙基等。具有1個(gè)以上上述乙烯性不飽和鍵的化合物并無特別限定，可根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如可優(yōu)選地舉出選自具有(甲基)丙烯酸基的單體的至少l禾中。上述具有(甲基)丙烯酸基的單體并無特別限定，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如可以舉出聚乙二醇單(甲基)丙烯酸酯、聚丙二醇單(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸苯氧基乙酯等單官能丙烯酸酯或單官能甲基丙烯酸酯；聚乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、聚丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、三羥甲基乙垸三丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三丙烯酸酯、三羥甲基丙垸二丙烯酸酯、新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、己二醇二(甲基)丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三(丙烯酰氧基丙基)醚、三(丙烯酰氧基乙基)異氰酸酯、三(丙烯酰氧基乙基)氰酸酯、甘油三(甲基)丙烯酸酯、三羥甲基丙垸或在甘油、雙苯酚等多官能醇上加成反應(yīng)氧化乙烯或氧化丙烯后進(jìn)行(甲基)丙烯酸酯化的產(chǎn)物、日本特公昭48-41708號(hào)、日本特公昭50-6034號(hào)、日本特開昭51-37193號(hào)等各公報(bào)所記載的尿烷丙烯酸酯類;日本特開昭48-64183號(hào)、日本特公昭49-43191號(hào)、日本特公昭52-30490號(hào)等各公報(bào)所記載的聚酯丙烯酸酯類；作為環(huán)氧樹脂和(甲基)丙烯酸的反應(yīng)產(chǎn)物的環(huán)氧基丙烯酸酯類等多官能丙烯酸酯或甲基丙烯酸酯等。其中，特別優(yōu)選為三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯。上述聚合性化合物在上述感光性樹脂組合物固形成分中的固形成分含量優(yōu)選為550質(zhì)量％、更優(yōu)選為1040質(zhì)量％。該固形成分含量為5質(zhì)量％以上時(shí)，顯影性、曝光感度變得良好，為50質(zhì)量％以下時(shí)，可以防止感光層的粘合性變得過強(qiáng)。一光聚合引發(fā)劑一上述光聚合引發(fā)劑只要具有引發(fā)上述聚合性化合物的聚合的能力，則無特別限定，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如優(yōu)選相對(duì)于紫外線區(qū)域可見區(qū)域的光線具有感光性，可以是與光激發(fā)的增感劑發(fā)生任何作用、產(chǎn)生活性自由基的活性劑，還可以是對(duì)應(yīng)單體的種類引發(fā)陽離子聚合的引發(fā)劑。上述光聚合引發(fā)劑優(yōu)選含有至少1種在波長約300800nm范圍內(nèi)具有至少約50的分子吸光系數(shù)的成分。上述波長更優(yōu)選為330500nm。上述光聚合引發(fā)劑例如可以舉出鹵化烴衍生物(例如具有三嗪骨架的、具有噁二唑骨架的等)、六芳基雙咪唑、肟衍生物、有機(jī)過氧化物、硫化合物、酮化合物、芳香族鐵鹽、金屬茂類等。其中，從感光層的感度、保存性及感光層與印制配線板形成用基板的密合性等觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選具有三嗪骨架的鹵化烴、肟衍生物、酮化合物、六芳基雙咪唑系化合物。上述六芳基雙咪唑例如可以舉出2，2，-雙(2-氯苯基)-4，4，，5，5，-四苯基雙咪唑、2，2，-雙(o-氟苯基)-4，4，，5，5，-四苯基雙咪唑、2，2，-雙(2-溴苯基)-4，4，，5，5，-四苯基雙咪唑、2，2，-雙(2，4-二氯苯基)-4，4，，5，5，-四苯基雙咪唑、2，2，-雙(2-氯苯基)-4，4，，5，5，-四(3-甲氧基苯基)雙咪唑、2，2，-雙(2-氯苯基)-4，4，，5，5，-四(4-甲氧基苯基)雙咪唑、2，2，-雙(4_甲氧基苯基)-4，4，，5，5，-四苯基雙咪唑、2，2，-雙(2，4-二氯苯基)-4，4，，5，5，-四苯基雙咪唑、2，2，-雙(2-硝基苯基)-4，4，，5，5，-四苯基雙咪唑、2，2，-雙(2-甲基苯基)-4，4，，5，5，-四苯基雙咪唑、2，2，-雙(2-三氟甲基苯基)-4，4，，5，5，-四苯基雙咪唑、WO00/52529號(hào)公報(bào)所記載的化合物等。上述雙咪唑類例如可以通過Bull.Chem.Soc.Japan,33，565(1960)及J.Org.Chem，36(16)2262(1971)所公開的方法容易地合成。作為具有三嗪骨架的鹵化烴化合物，例如可以舉出若林等著Bull.Chem.Soc.Japan,42、2924(1969)記載的化合物、英國專利1388492號(hào)說明書記載的化合物、日本特開昭53-133428號(hào)公報(bào)記載的化合物、德國專利3337024號(hào)說明書記載的化合物、F.C.Schaefer等的J.Org.Chem.;29、1527(1964)記載的化合物、日本特開昭62-58241號(hào)公報(bào)記載的化合物、日本特開平5-281728號(hào)公報(bào)記載的化合物、日本特開平5-34920號(hào)公報(bào)記載的化合物、美國專利第4212976號(hào)說明書所記載的化合物等。作為上述若林等著Bull.Chem.Soc.Japan,42、2924(1969)記載的化合物，例如可以舉出2-苯基-4，6-雙(三氯甲基)-1，3，5-三嗪、2-(4-氯苯基)-4，6-雙(三氯甲基)-1，3，5-三嗪、2-(4-甲苯基)-4，6-雙(三氯甲基)-1，3，5-三嗪、2-(4-甲氧基苯基)-4，6-雙(三氯甲基)-1，3，5-三嗪、2-(2，4-二氯苯基)-4，6-雙(三氯甲基)-l，3，5-三嗪、2，4，6-三(三氯甲基)-1，3，5-三嗪、2-甲基-4，6_雙(三氯甲基)-1，3，5-三嗪、2-正壬基-4，6-雙(三氯甲基)-1，3，5-三嗪及2-(a，a，3-三氯乙基)-4，6-雙(三氯甲基)-1，3，5-三嗪等。作為上述英國專利1388492號(hào)說明書記載的化合物，例如可以舉出2-苯乙烯基-4，6-雙(三氯甲基)-1，3，5-三嗪、2-(4-甲基苯乙烯基)-4，6-雙(三氯甲基)-1，3，5-三嗪、2-(4-甲氧基苯乙烯基)-4，6-雙(三氯甲基)-1，3,5-三嗪、2-(4-甲氧基苯乙烯基)-4-氨基-6-三氯甲基-1，3，5-三嗪等。作為上述日本特開昭53-133428號(hào)公報(bào)記載的化合物，例如可以舉出2-(4—甲氧基-萘—卜基)-4，6—雙(三氯甲基)-1，3，5-三嗪、2-(4-乙氧基-萘-1-基)-4，6-雙(三氯甲基)-1，3，5-三嗪、2-(4-(2-乙氧基乙基)-萘-1-基)-4，6-雙(三氯甲基)-1，3，5-三嗪、2-(4，7-二甲氧基-萘-1-基)-4，6-雙(三氯甲基)-1，3，5-三嗪及2-(苊-5_基)-4，6-雙(三氯甲基)-1,3，5-三嗪等。作為上述德國專利3337024號(hào)說明書記載的化合物，例如可以舉出2-(4-苯乙烯基苯基)-4、6-雙(三氯甲基)-1，3，5_三嗪、2-(4-(4-甲氧基苯乙烯基)苯基)-4、6-雙(三氯甲基)-1，3，5_三嗪、2-(l-萘基亞乙烯基苯基)-4、6-雙(三氯甲基)-1，3，5-三嗪、2-氯苯乙烯基苯基-4，6-雙(三氯甲基)-1，3，5-三嗪、2-(4-噻吩-2-亞乙烯基苯基)-4，6-雙(三氯甲基)-1，3，5-三嗪、2-(4-噻吩-3-亞乙烯基苯基)-4，6-雙(三氯甲基)-1，3，5-三嗪、2-(4-呋喃-2-亞乙烯基苯基)-4，6-雙(三氯甲基)-1，3，5-三嗉及2-(4-苯并呋喃-2-亞乙烯基苯基)-4，6-雙(三氯甲基)-1，3，5-三嗪等。作為上述F.C.Schaefer等的J.Org.Chem.;29、1527(1964)記載的化合物，例如可以舉出2-甲基-4，6-雙(三溴甲基)-1，3,5-三嗪、2，4，6-三(三溴甲基)-1，3，5-三嗪、2，4，6-三(二溴甲基)-1，3，5-三嗪、2-氨基-4-甲基-6-三(溴甲基)-1，3，5-三嗪及2-甲氧基-4-甲基-6_三氯甲基-1，3，5-三嗪等。作為上述日本特開昭62-58241號(hào)公報(bào)記載的化合物，例如可以舉出2-(4-苯基乙炔基苯基)-4，6-雙(三氯甲基)-1，3，5-三嗪、2-(4-萘基-l-乙炔基苯基-4，6-雙(三氯甲基)-1，3，5-三嗪、2-(4-(4-甲苯基乙炔基)苯基)-4，6-雙(三氯甲基)-1，3，5-三嗪、2-(4-(4-甲氧基苯基)乙炔基苯基)-4，6-雙(三氯甲基)-1，3,5-三嗪、2-(4-(4-異丙基苯基乙炔基)苯基)-4，6-雙(三氯甲基)-1，3，5-三嗪、2-(4-(4-乙基苯基乙炔基)苯基)-4，6-雙(三氯甲基)-1，3，5-三嗪等。作為上述日本特開平5-281728號(hào)公報(bào)記載的化合物，例如可以舉出2-(4-三氟甲基苯基)-4，6-雙(三氯甲基)-1,3，5-三嗪、2-(2，6-二氟苯基)-4，6-雙(三氯甲基)-1，3，5-三嗪、2-(2，6-二氯苯基)-4，6-雙(三氯甲基)-1，3，5-三嗪、2_(2，6-二溴苯基)-4，6-雙(三氯甲基)-1，3，5-三嗪等。作為上述日本特開平5-34920號(hào)公報(bào)記載的化合物，例如可以舉出2，4-雙(三氯甲基)-6-[4-(N，N-二乙氧基羰基甲基氨基)-3-溴苯基]-1，3，5-三嗪、美國專利第4239850號(hào)說明書所記載的三鹵甲基-s-三嗪化合物、2，4，6-三(三氯甲基)-s-三嗪、2-(4-氯苯基)-4，6-雙(三溴甲基)-s-三嗪等。作為上述美國專利第4212976號(hào)說明書所記載的化合物，例如可以舉出具有噁二唑骨架的化合物(例如2-三氯甲基-5-苯基-1，3，4-噁二唑、2-三氯甲基-5-(4-氯苯基)-1，3，4-噁二唑、2-三氯甲基-5-(1-萘基)-l，3，4-噁二唑、2-三氯甲基-5-(2-萘基)-1，3，4-噁二唑、2_三溴甲基-5-苯基-1，3，4-噁二唑、2-三溴甲基-5-(2-萘基)-1，3，4-噁二唑；2-三氯甲基-5-苯乙烯基-l，3，4-噁二唑、2-三氯甲基-5-(4-氯苯乙烯基)-1，3，4-噁二唑、2-三氯甲基-5-(4-甲氧基苯乙烯基)-1，3，4-噁二唑、2-三氯甲基-5-(1-萘基)-1，3，4-噁二唑、2-三氯甲基-5-(4-正丁氧基苯乙烯基)-1，3，4-噁二唑、2-三溴甲基-5-苯乙烯基-1，3，4-噁二唑等)等。作為本發(fā)明中優(yōu)選使用的肟衍生物例如用下述通式(1)表示。上述通式(1)中R'表示氫原子、可具有取代基的?；?、烷氧基羰基、芳氧基羰基、垸基磺?；胺蓟酋；娜我徽?，R2各自獨(dú)立地表示取代基。m表示04的整數(shù)，為2以上時(shí)，還可相互連接形成環(huán)。A表示4、5、6及7元環(huán)的任一者。另外，A優(yōu)選為5及6元環(huán)的任一者。另外，本發(fā)明中使用的肟衍生物(肟化合物)更優(yōu)選用下述通式(2)上述通式(2)中，Ri表示氫原子、可具有取代基的?；?、烷氧基羰基、芳氧基羰基、烷基磺?；胺蓟酋；娜我徽?，R2各自獨(dú)立地表示取代基。m表示04的整數(shù)，為2以上時(shí)，還可相互連接形成環(huán)。X表示CH2、O及S的任一者。A表示5及6元環(huán)的任一者。上述通式(1)及(2)中，R'所示的酰基可以是脂肪族、芳香族及雜環(huán)的任一者，還可具有取代基。脂肪族基可以舉出乙?；⒈；⒍□；⒓乎；?、癸酰基、苯氧基乙酰基、氯乙?；?。芳香族基可以舉出苯甲?；⑤刘；⒓籽趸郊柞；⑾趸郊柞；取ｋs環(huán)基可以舉出呋喃?；?7，7<A)、硫苯?；?千才7二7O)等。取代基優(yōu)選烷氧基、芳氧基及鹵原子的任一者。?；鶅?yōu)選總碳原子數(shù)為230者、更優(yōu)選總碳原子數(shù)為220者、特別優(yōu)選總碳原子數(shù)為216者。這種?；缈梢耘e出乙?；?、丙?；?、甲基丙酰基、丁酰基、特戊?；?、己?；?、環(huán)己烷羰基、辛?；⒐秕；?、十二烷?；⑹送轷；⑵S基羰基、苯氧基乙酰基、2-乙基己?；?、氯乙?；⒈郊柞；?、對(duì)甲氧基苯甲酰基、2，5-二丁氧基苯甲酰基、l-萘?；?、2-萘?；⑦拎せ驶?、甲基丙烯酰基、丙烯?；取Ｍ檠趸驶梢跃哂腥〈?，優(yōu)選總碳原子數(shù)為230的烷氧基羰基、更優(yōu)選總碳原子數(shù)為220者、特別優(yōu)選總碳原子數(shù)為216者。這種烷氧基羰基例如可以舉出甲氧基羰基、乙氧基羰基、異丙氧基羰基丁氧基羰基、異丁氧基羰基、烯丙基氧基羰基、辛氧基羰基、十二烷氧基羰基、乙氧基乙氧基羰基。芳氧基羰基可以具有取代基，優(yōu)選總碳原子數(shù)為730的垸氧基羰基、更優(yōu)選總碳原子數(shù)為720者、特別優(yōu)選總碳原子數(shù)為716者。這種芳氧基羰基例如可以舉出苯氧基羰基、2-萘氧基羰基、對(duì)甲氧基苯氧基羰基、2，5-二乙氧基苯氧基羰基、對(duì)氯苯氧基羰基、對(duì)硝基苯氧基羰基、對(duì)氰基苯氧基羰基。烷基磺?；删哂腥〈Ｔ撊〈鐑?yōu)選地舉出苯基、鹵原子、烷氧基、芳氧基、垸氧基羰基、酰氧基、酰氨基、氨基甲?；?、氰基、羧酸基、磺酸基、雜環(huán)基。垸基磺酰基特別優(yōu)選地舉出甲基磺?；⒍』酋；?、辛基磺?；⒐锘酋；?、十二垸基磺?；⑵S基磺?；?、三氟甲基磺?；７蓟酋；删哂腥〈?。該取代基例如優(yōu)選地舉出苯基、鹵原子、垸氧基、芳氧基、垸氧基羰基、酰氧基、酰氨基、氨基甲酰基、氰基、羧酸基、磺酸基、雜環(huán)基。芳基磺酰基特別優(yōu)選地舉出苯磺?；?、甲苯磺?；⒙缺交酋；⒍⊙趸交酋；?、2，5-二丁氧基苯磺酰基、對(duì)硝基苯磺酰基、全氟苯磺?；Ｉ鲜鐾ㄊ?1)及(2)中，R2所示的取代基可以舉出脂肪族、芳香族、雜芳香族、鹵原子、-OR3、-SR3、-NR3R4。R3及R4還可相互連接形成環(huán)。另外，R3及R4各自獨(dú)立地表示氫原子或脂肪族基、芳香族基、雜芳香族基的任一者。m為2以上，相互連接形成環(huán)時(shí)，各自獨(dú)立的R2之間可形成環(huán)，還可借助R3及R4的至少一者形成環(huán)。借助上述取代基R2形成環(huán)時(shí)，可舉出以下結(jié)構(gòu)。上述結(jié)構(gòu)式中，Y及Z表示CH2、-0-、-S-及-NR-的任一者。R2、R3及R4的脂肪族基、芳香族基及雜芳香族基的具體例可以舉出上述W相同的例子。上述通式(1)所示的肟化合物的具體例可以舉出下述結(jié)構(gòu)式(1)(51)所示的化合物，但本發(fā)明并非限定于此。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage15</formula>結(jié)構(gòu)式(29〉結(jié)構(gòu)式(加結(jié)構(gòu)式(31)結(jié)構(gòu)式(32)結(jié)構(gòu)式(33)結(jié)構(gòu)式(34)結(jié)構(gòu)式(35)結(jié)構(gòu)式(36)結(jié)構(gòu)式(37)結(jié)構(gòu)式(3a)結(jié)構(gòu)式(39)結(jié)構(gòu)式(柳結(jié)構(gòu)式(41〉結(jié)構(gòu)式(42)結(jié)構(gòu)式"3)結(jié)構(gòu)式(44)結(jié)構(gòu)式(45)結(jié)構(gòu)式(站)結(jié)構(gòu)式(47)結(jié)構(gòu)式(48)結(jié)構(gòu)式(49)結(jié)構(gòu)式(50)結(jié)構(gòu)式(51)予以說明，本發(fā)明中使用的肟化合物可以測(cè)定'H-腿R光譜、UV-vis吸收光譜而鑒定。-一肟化合物的制造方法一-上述肟化合物的制造方法通過在對(duì)應(yīng)的肟化合物和?；然锘驘o水物的堿(例如三乙基胺、吡啶)的存在下，在THF、DMF、乙腈等惰性溶劑中或者吡啶等堿性溶劑中反應(yīng)而容易地合成。上述反應(yīng)溫度優(yōu)選為-1060。C。另外，通過使用氯甲酸酯、烷基磺酰氯、芳基磺酰氯作為上述?；然铮梢院铣蓪?duì)應(yīng)的各種肟酯化合物。作為上述肟化合物制造時(shí)的起始材料而使用的肟化合物的合成方法可以通過標(biāo)準(zhǔn)化學(xué)教科書(例如J.March,AdvancedOrganicChemistry,4thEdition,WileyInterscience，1992)、或?qū)I(yè)的專題論文例如S.R.Sandler&W.Karo，Organicfunctionalgrouppreparations,Vol.3，AcademicPress所記載的各種方法而獲得。上述肟化合物的特別優(yōu)選的合成方法例如可以舉出在乙醇或乙醇水等極性溶劑中使乙醛或酮與羥基胺或其鹽反應(yīng)的方法。此時(shí)，加入乙酸鈉或吡啶等堿，控制反應(yīng)混合物的PH。已知反應(yīng)速度具有pH依存性，堿可在開始時(shí)加入或者反應(yīng)期間連續(xù)地加入?？梢允褂眠拎さ葔A性溶劑作為堿及/或溶劑或者輔助溶劑。上述反應(yīng)溫度一般為混合物的回流溫度、即約60120°C。上述肟化合物的其他不同的優(yōu)選合成方法可以舉出利用亞硝酸或亞硝酸垸基酯的"活性"亞甲基的亞硝基化的方法。例如OrganicSynthesescoll.Vol.VI(J.Wiley&Sons，紐約，1988)，pp.199和840所記載的堿性條件與例如OrganicSynthesiscoll.Vol.V，pp.32和373，coll.Vol.III，pp.191和513，coll.Vol.II，pp.202，204和363所記載的酸性條件對(duì)于作為本發(fā)明起始原料使用的肟化合物的合成優(yōu)選。上述亞硝酸通常由亞硝酸鈉產(chǎn)生。上述亞硝酸垸基酯例如可以舉出亞硝酸甲酯、亞硝酸乙酯、亞硝酸異丙酯、亞硝酸丁酯或亞硝酸異戊酯。上述肟酯的基團(tuán)可以以2種立體配置(Z)或(E)存在?？梢酝ㄟ^常用的方法將異構(gòu)體分離，還可以將異構(gòu)體混合物作為光引發(fā)用的種子直接使用。因此，本發(fā)明的肟化合物可以是上述結(jié)構(gòu)式(1)(51)化合物的立體配置上的異構(gòu)體的混合物。肟化合物由于保存穩(wěn)定性優(yōu)異、高感度，因此通過添加于聚合性組合物，在保存時(shí)不會(huì)發(fā)生聚合，保存穩(wěn)定性優(yōu)異，通過能量射線、特別是光的照射產(chǎn)生活性自由基，有效地引發(fā)聚合，可獲得該聚合性化合物在短時(shí)間內(nèi)可高效聚合的高感度的聚合性組合物。上述以外的光聚合引發(fā)劑可以舉出吖啶衍生物(例如9-苯基吖啶、1，7-雙(9、9'-吖啶基)庚垸等)、N-苯基甘氨酸等、聚鹵化合物(例如四溴化碳、苯基三溴甲基砜、苯基三氯甲基酮等)、香豆素類(例如3-(2-苯并呋喃甲?；?-7-二乙基氨基香豆素、3-(2-苯并呋喃甲?；?-7-(1-吡咯垸基)香豆素、3-苯甲?；?7-二乙基氨基香豆素、3-(2-甲氧基苯甲?；?-7-二乙基氨基香豆素、3-(4-二甲基氨基苯甲酰基)-7-二乙基氨基香豆素、3，3，-羰基雙(5，7-二-正丙氧基香豆素)、3，3，-羰基雙(7-二乙基氨基香豆素)、3-苯甲?；?7-甲氧基香豆素、3-(2-呋喃甲?；?-7-二乙基氨基香豆素、3-(4-二乙基氨基苯乙烯醛基)-7-二乙基氨基香豆素、7-甲氧基-3-(3-吡啶基羰基)香豆素、3-苯甲?；?5，7-二丙氧基香豆素、7-苯并三唑-2-基香豆素或者日本特開平5-19475號(hào)、日本特開平7-271028號(hào)、日本特開2002-363206號(hào)、日本特開2002-363207號(hào)、日本特開2002-363208號(hào)、日本特開2002-363209號(hào)公報(bào)等所記載的香豆素化合物等)、胺類(例如4-二甲基氨基苯甲酸乙酯、4-二甲基氨基苯甲酸正丁酯、4-二甲基氨基苯甲酸苯乙酯、4-二甲基氨基苯甲酸2-鄰苯二甲酰亞胺乙酯、4-二甲基氨基苯甲酸2-甲基丙烯酰氧基乙酯、五亞甲基雙(4-二甲基氨基苯甲酸酯)、3-二甲基氨基苯甲酸的苯乙基酯、五亞甲基酯、4-二甲基氨基苯甲醛、2-氯-4-二甲基氨基苯甲醛、4-二甲基氨基芐基醇、乙基(4-二甲基氨基苯甲?；?乙酸酯、4-哌啶基苯乙酮、4-二甲基氨基苯偶姻、N，N-二甲基-4-甲苯胺、N，N-二乙基-3-苯基噻嗪、三芐基胺、二芐基苯基胺、N-甲基-N-苯基芐基胺、4-溴-N，N-二甲基苯胺、三(十二烷基)胺、氨基熒烷類(0DB，ODBII等)、結(jié)晶紫內(nèi)酯、無色結(jié)晶紫等)、酰基氧化膦類(例如雙(2，4，6-三甲基苯甲?；?-苯基氧化膦、雙(2，6-二甲氧基苯甲?；?-2，4，4-三甲基-戊基苯基氧化膦、LucirinTPO等)等。進(jìn)而，還可舉出美國專利第2367660號(hào)說明書所記載的連位聚縮酮多尼爾(bicynalpolyketaldonyl)化合物、美國專利第2448828號(hào)說明書所記載的偶姻醚化合物、美國專利第2722512號(hào)說明書所記載的被ci-烴取代的芳香族偶姻化合物、美國專利第3046127號(hào)說明書及美國專利第2951758號(hào)說明書所記載的多核醌化合物、日本特開2002-229194號(hào)公報(bào)所記載的有機(jī)硼化合物、自由基產(chǎn)生劑、三芳基锍鹽(例如與六氟銻或六氟磷酸鹽的鹽)、轔鹽化合物(例如(苯基硫苯基)二苯基锍鹽等)(作為陽離子聚合引發(fā)劑有效)、W001/71428號(hào)公報(bào)所記載的鑰鹽化合物等。上述光聚合引發(fā)劑可以單獨(dú)使用1種，還可并用2種以上。作為2種以上的組合，例如可以舉出美國專利第3549367號(hào)說明書所記載的六芳基雙咪唑與4-氨基酮類的組合、日本特公昭51-48516號(hào)公報(bào)所記載的苯并噻唑化合物與三鹵甲基-s-三嗪化合物的組合、芳香族酮化合物(例如噻噸酮等)與供氫體(例如含二垸基氨基的化合物、苯酚化合物等)的組合、六芳基雙咪唑與茂鈦的組合、香豆素類與茂鈦與苯基甘氨酸類的組合等。上述光聚合引發(fā)劑的特別優(yōu)選例子可以舉出在后述的曝光中可對(duì)應(yīng)波長405nm激光的上述膦氧化物類、上述a-氨基烷基酮類、組合有上述具有三嗪骨架的鹵化烴化合物和作為后述增感劑的胺化合物的復(fù)合光引發(fā)劑、六芳基雙咪唑化合物或者茂鈦等。上述光聚合引發(fā)劑在上述感光性樹脂組合物中的含量優(yōu)選為0.130質(zhì)量％、更優(yōu)選為0.520質(zhì)量％、特別優(yōu)選為O.515質(zhì)量％。一其他成分一作為上述其他成分并無特別限定，可根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如可以舉出熱交聯(lián)劑、填充物、熱固化促進(jìn)劑、增感劑、熱聚合抑制劑、增塑劑、著色劑(著色顏料或染料)等，進(jìn)而還可并用對(duì)基材表面的密合促進(jìn)劑及其他的輔助劑類(例如導(dǎo)電性粒子、填充劑、消泡劑、阻燃劑、流平劑、剝離促進(jìn)劑、抗氧化劑、香料、表面張力調(diào)整劑、鏈轉(zhuǎn)移劑等)。通過適當(dāng)含有這些成分，可以調(diào)整目標(biāo)感光性膜的穩(wěn)定性、照片性、膜物性等性質(zhì)。-一熱交聯(lián)劑一-熱交聯(lián)劑并無特別限定，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，為了改良使用上述感光性膜形成的感光層的固化后的膜強(qiáng)度，在不對(duì)顯影性等造成不良影響的范圍內(nèi)，可以使用例如含有環(huán)氧基化合物的化合物(例如1分子內(nèi)具有至少2個(gè)環(huán)氧乙烷基的環(huán)氧基化合物)、1分子內(nèi)具有至少2個(gè)氧雜環(huán)丁垸基的氧雜環(huán)丁烷化合物，可以舉出日本特開2007-47729號(hào)公報(bào)所記載的具有環(huán)氧乙烷基的環(huán)氧基化合物、e位具有烷基的環(huán)氧基化合物、具有氧雜環(huán)丁烷基的氧雜環(huán)丁烷化合物、聚異氰酸酯化合物、使阻滯劑與聚異氰酸酯及其衍生物的異氰酸酯基反應(yīng)而獲得的化合物等。另外，上述熱交聯(lián)劑可以使用蜜胺衍生物。作為該蜜胺衍生物例如可以舉出羥甲基蜜胺、垸基化羥甲基蜜胺(用甲基、乙基、丁基等將羥甲基醚化的化合物)等。這些物質(zhì)可單獨(dú)使用1種，還可并用2種以上。其中，從保存穩(wěn)定性良好、對(duì)提高感光層的表面硬度或固化膜的膜強(qiáng)度本身有效的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選烷基化羥甲基蜜胺、特別優(yōu)選為六甲基化羥甲基蜜胺。上述熱交聯(lián)劑在上述感光性樹脂組合物固形成分中的固形成分含量優(yōu)選為1質(zhì)量％50質(zhì)量％、更優(yōu)選為3質(zhì)量％30質(zhì)量％。該固形成分含量為1質(zhì)量％以上時(shí)，固化膜的膜強(qiáng)度提高，為50質(zhì)量％以下時(shí)，顯影性、曝光感度變得良好。上述環(huán)氧基化合物例如可以舉出1分子中具有至少2個(gè)環(huán)氧乙烷基的環(huán)氧基化合物、1分子中含有至少2個(gè)P位具有烷基的環(huán)氧基的環(huán)氧基化合物等。作為上述1分子中具有至少2個(gè)環(huán)氧乙烷基的環(huán)氧基化合物，例如可以舉出對(duì)二甲苯酚型或聯(lián)苯型環(huán)氧樹脂("YX4000日本環(huán)氧基l^"^社制"等)或它們的混合物、具有異氰酸酯骨架等的雜環(huán)式環(huán)氧樹脂("TEPIC;日產(chǎn)化學(xué)工業(yè)(株)制".、"7，A義、卜PT810;汽巴精化社制"等)、雙酚A型環(huán)氧樹脂、清漆型環(huán)氧樹脂、雙酚F型環(huán)氧樹脂、氫化雙酚A型環(huán)氧樹脂、雙酚S型環(huán)氧樹脂、酚醛清漆型環(huán)氧樹脂、甲酚清漆型環(huán)氧樹脂、鹵化環(huán)氧樹脂(例如低溴化環(huán)氧樹脂、高鹵化環(huán)氧樹脂、溴化酚醛清漆型環(huán)氧樹脂等)、含烯丙基的雙酚A型環(huán)氧樹脂、三苯酚甲烷型環(huán)氧樹脂、二苯基二甲醇型環(huán)氧樹脂、苯酚亞聯(lián)苯型環(huán)氧樹脂、二環(huán)戊二烯型環(huán)氧樹脂("HP-7200，HP-7200H;大日本油墨化學(xué)工業(yè)(株)制"等)、縮水甘油基胺型環(huán)氧樹脂(二氨基二苯基甲垸型環(huán)氧樹脂、二縮水甘油基苯胺、三縮水甘油基氨基苯酚等)、縮水甘油基酯型環(huán)氧樹脂(苯二甲酸二縮水甘油基酯、己二酸二縮水甘油基酯、六氫苯二甲酸二縮水甘油基酯、二聚酸二縮水甘油基酯等)乙內(nèi)酰脲型環(huán)氧樹脂、脂環(huán)式環(huán)氧樹脂(3，4-環(huán)氧基環(huán)己基甲基-3'，4'-環(huán)氧基環(huán)己垸羧酸酯、雙(3，4-環(huán)氧基環(huán)己基甲基)己二酸酯、二環(huán)戊二烯二環(huán)氧化物、"GT-300、GT-400、ZEHPE3150;大賽璐化學(xué)工業(yè)制"等)、酰亞胺型脂環(huán)式環(huán)氧樹脂、三羥基苯基甲垸型環(huán)氧樹脂、雙酚A清漆型環(huán)氧樹脂、四苯酚基乙烷型環(huán)氧樹脂、縮水甘油基苯二甲酸酯樹脂、四縮水甘油基二甲苯酚基乙烷樹脂、含萘基的環(huán)氧樹脂(萘酚垸芳基型環(huán)氧樹脂、萘酚熱塑型環(huán)氧樹脂、4官能萘型環(huán)氧樹脂、市售品"ESN-190，ESN-360;新日鐵化學(xué)(株)制"、"HP-4032，EXA-4750，EXA-4700;大日本油墨化學(xué)工業(yè)(株)制"等)、酚化合物與二乙烯基苯或二環(huán)戊二烯等二烯烴化合物的加成反應(yīng)所獲得的聚酚化合物與表氯醇的反應(yīng)物、用過乙酸等將4-乙烯基環(huán)己烯-l-氧化物的開環(huán)聚合物環(huán)氧基化的物質(zhì)、具有線狀含磷結(jié)構(gòu)的環(huán)氧樹脂、具有環(huán)狀含磷結(jié)構(gòu)的環(huán)氧樹脂、a-甲基苯乙烯型液晶環(huán)氧樹脂、二苯甲酰氧基苯型液晶環(huán)氧樹脂、偶氮苯基型液晶環(huán)氧樹脂、偶氮甲堿苯基型液晶環(huán)氧樹脂、二萘基型液晶環(huán)氧樹脂、嗪型環(huán)氧樹脂、甲基丙烯酸縮水甘油酯共聚合系環(huán)氧樹脂("CP-50S，CP-50M;日本油脂(株)制"等)、環(huán)己基馬來酰亞胺與甲基丙烯酸縮水甘油酯的共聚環(huán)氧樹脂、雙(縮水甘油基氧基苯基)芴型環(huán)氧樹脂、雙(縮水甘油基氧基苯基)金剛烷型環(huán)氧樹脂等，但并非限定于這些。這些環(huán)氧樹脂可單獨(dú)使用l種，還可并用2種以上。另外，除了l分子中具有至少2個(gè)環(huán)氧乙烷基的上述環(huán)氧基化合物以外，還可使用1分子中含有至少2個(gè)在P位具有垸基的環(huán)氧基的環(huán)氧基化合物，特別優(yōu)選含有P位被垸基取代的環(huán)氧基(更具體地為e-烷基取代縮水甘油基等)的化合物。上述至少含有在3位具有烷基的環(huán)氧基的環(huán)氧基化合物可以是1分子中所含的2個(gè)以上的環(huán)氧基全部為e-烷基取代縮水甘油基，還可以是至少1個(gè)的環(huán)氧基為3-烷基取代縮水甘油基。上述氧雜環(huán)丁烷化合物例如可以舉出1分子內(nèi)具有至少2個(gè)氧雜環(huán)丁烷基的氧雜環(huán)丁垸化合物。具體地說，例如除了雙[(3-甲基-3-氧雜環(huán)丁垸基甲氧基)甲基]醚、雙[(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁垸基甲氧基)甲基]醚、1，4-雙[(3-甲基-3-氧雜環(huán)丁烷基甲氧基)甲基]苯、1，4-雙[(3-乙基_3-氧雜環(huán)丁垸基甲氧基)甲基]苯、(3-甲基-3-氧雜環(huán)丁烷基)甲基丙烯酸酯、(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁垸基)甲基丙烯酸酯、(3-甲基-3-氧雜環(huán)丁烷基)甲基甲基丙烯酸酯、(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁烷基)甲基甲基丙烯酸酯或它們的寡聚物或共聚物等多官能氧雜環(huán)丁垸類之外，還可舉出具有氧雜環(huán)丁垸基的化合物與清漆型樹脂、聚(對(duì)羥基苯乙烯)、卡路德(cardo)型雙酚類、杯芳烴類、杯間苯二酚芳烴(calixresorcinarene)類、硅倍半氧烷等具有羥基的樹脂等的醚化合物，另外，還可舉出具有氧雜環(huán)丁烷環(huán)的不飽和單體與垸基(甲基)丙烯酸酯的共聚物等。另外，上述聚異氰酸酯化合物可以使用日本特開平5-9407號(hào)公報(bào)記載的聚異氰酸酯化合物，該聚異氰酸酯化合物還可以從含有至少2個(gè)異氰酸酯基的脂肪族、環(huán)式脂肪族或芳香族基取代脂肪族化合物衍生而來。具體地說，可以舉出2官能異氰酸酯(例如1，3-亞苯基二異氰酸酯與1，4-亞苯基二異氰酸酯的混合物、2，4-及2，6-甲苯二異氰酸酯、1，3-及1，4-二甲苯二異氰酸酯、雙(4-異氰酸酯-苯基)甲烷、雙(4-異氰酸酯環(huán)己基)甲烷、異佛爾酮二異氰酸酯、六亞甲基二異氰酸酯、三甲基六亞甲基二異氰酸酯等)、該2官能異氰酸酯與三羥甲基丙烷、季戊四醇、甘油等的多官能醇；該多官能醇的氧化烯加成物與上述2官能異氰酸酯的加成體；六亞甲基二異氰酸酯、六亞甲基-1，6-二異氰酸酯及其衍生物等環(huán)式三倍體等。使阻滯劑與上述聚異氰酸酯化合物反應(yīng)而獲得化合物，也就是使阻滯劑與聚異氰酸酯及其衍生物的異氰酸酯基反應(yīng)而獲得化合物中，作為異氰酸酯基阻滯劑，可以舉出醇類(例如異丙醇、叔丁醇等)、內(nèi)酰胺類(例如e-己內(nèi)酰胺等)、酚類(例如、苯酚、甲酚、對(duì)-叔丁基苯酚、對(duì)-仲丁基苯酚、對(duì)-仲戊基苯酚、對(duì)辛基苯酚、對(duì)壬基苯酚等)、雜環(huán)式羥基化合物(例如、3-羥基吡啶、8-羥基喹啉等)、活性亞甲基化合物(例如丙二酸二垸基酯、甲乙酮肟、乙酰丙酮、烷基乙酰乙酸酯肟、丙酮肟、環(huán)己酮肟等)等。除此之外，還可使用日本特開平6-295060號(hào)公報(bào)記載的分子內(nèi)具有至少1個(gè)可聚合的雙鍵和至少1個(gè)嵌段異氰酸酯基的任一個(gè)的化合物等。上述蜜胺衍生物例如可以舉出羥甲基蜜胺、烷基化羥甲基蜜胺(用甲基、乙基、丁基等將羥甲基醚化的化合物)等。這些物質(zhì)可以單獨(dú)使用1種，還可并用2種以上。其中，從保存穩(wěn)定性良好、對(duì)提高感光層的表面硬度或固化膜的膜強(qiáng)度本身有效的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選垸基化羥甲基蜜胺，特別優(yōu)選為六甲基化羥甲基蜜胺?！?填充物-一上述感光性樹脂組合物中根據(jù)需要為了提高永久圖案的表面硬度、或者將線膨張系數(shù)抑制為很低、或者將固化膜本身的介電常數(shù)或介電損耗正切抑制為很低，可以添加無機(jī)填充物或有機(jī)填充物(有機(jī)微粒子)。上述無機(jī)填充物并無特別限定，可以從公知物質(zhì)中適當(dāng)選擇，例如可以舉出高嶺土、硫酸鋇、鈦酸鋇、氧化硅粉、微粉狀氧化硅、氣相法二氧化硅、無定形二氧化硅、結(jié)晶性二氧化硅、熔融二氧化硅、球狀二氧化硅、滑石、粘土、碳酸鎂、碳酸鈣、氧化鋁、氫氧化鋁、云母等。其中，從冷熱沖擊試驗(yàn)?zāi)托缘挠^點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選二氧化硅。上述無機(jī)填充物的平均粒徑優(yōu)選小于lOyiiK更優(yōu)選為3um以下。該平均粒徑小于lOnm日寸，可以防止由于光散射導(dǎo)致的分辨率惡化。上述有機(jī)填充物并無特別限定，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如可以舉出蜜胺樹脂、苯并胍胺樹脂、交聯(lián)聚苯乙烯樹脂等。另外，可以使用平均粒徑0.35um、吸油量100200m7g左右的二氧化硅、交聯(lián)樹脂所構(gòu)成的球狀多孔微粒子等。上述填充物的添加量優(yōu)選為560質(zhì)量％。該添加量為5質(zhì)量％以上時(shí)，可以充分地降低線膨脹系數(shù)，為60質(zhì)量％以下時(shí)，當(dāng)在感光層表面形成固化膜時(shí)，防止該固化膜的膜質(zhì)變脆，使用永久圖案形成配線時(shí)，可以回避損害作為配線的保護(hù)膜的功能。-一熱固化促進(jìn)劑一-為了促進(jìn)作為上述熱交聯(lián)劑的環(huán)氧基化合物或上述氧雜環(huán)丁烷化合物的熱固化，作為熱固化促進(jìn)劑例如可以使用胺化合物(例如雙氰胍、芐基二甲基胺、4-(二甲基氨基)-N，N-二甲基芐基胺、4-甲氧基-N，N-二甲基芐基胺、4-甲基-N，N-二甲基芐基胺等)、季銨鹽化合物(例如三乙基芐基氯化銨等)、嵌段異氰酸酯化合物(例如二甲基胺等)、咪唑衍生物二環(huán)式脒化合物及其鹽(例如咪唑、2-甲基咪唑、2-乙基咪唑、2-乙基-4-甲基咪唑、2-苯基咪唑、4-苯基咪唑、l-氰基乙基-2-苯基咪唑、1-(2-氰基乙基)-2-乙基-4-甲基咪唑等)、磷化合物(例如三苯基膦等)、胍胺化合物(例如蜜胺、胍胺、乙酰胍胺、苯并胍胺等)、S-三嗪衍生物(例如2，4-二氨基-6-甲基丙烯酰氧基乙基-S-三嗪、2-乙烯基-2，4-二氨基-S-三嗪、2-乙烯基-4，6-二氨基-S-三嗪'異氰酸加成物、2，4-二氨基-6-甲基丙烯酰氧基乙基-S-三嗪'異氰酸加成物等)等。這些物質(zhì)可單獨(dú)使用1種，還可并用2種以上。另外，只要是上述環(huán)氧樹脂化合物或上述氧雜環(huán)丁烷化合物的固化催化劑或者能夠促進(jìn)它們與羧基的反應(yīng)的物質(zhì)則無特別限定，可以使用上述以外的可促進(jìn)熱固化的化合物。上述環(huán)氧基化合物、上述氧雜環(huán)丁烷化合物及可促進(jìn)它們與羧酸的熱固化的熱固化促進(jìn)劑在上述感光性樹脂組合物固形成分中的固形成分含量通常為0.0115質(zhì)量％。另外，為了促進(jìn)作為上述熱交聯(lián)劑的環(huán)氧基化合物或上述氧雜環(huán)丁烷化合物以外的熱交聯(lián)劑的熱固化，作為熱固化促進(jìn)劑例如可以使用胺化合物(例如雙氰胍、芐基二甲基胺、4-(二甲基氨基)-N，N-二甲基芐基胺、4-甲氧基-N，N-二甲基芐基胺、4-甲基-N，N-二甲基芐基胺等)、季銨鹽化合物(例如三乙基芐基氯化銨等)、嵌段異氰酸酯化合物(例如、二甲基胺等)、咪唑衍生物二環(huán)式脒化合物及其鹽(例如咪唑、2-甲基咪唑、2-乙基咪唑、2-乙基-4-甲基咪唑、2-苯基咪唑、4-苯基咪唑、1-氰基乙基-2-苯基咪唑、1-(2-氰基乙基)-2-乙基-4-甲基咪唑等)、磷化合物(例如三苯基膦等)、胍胺化合物(例如蜜胺、胍胺、乙酰胍胺、苯并胍胺等)、5-三嗪衍生物(例如2，4-二氨基-6-甲基丙烯酰氧基乙基-S-三嗪、2-乙烯基-2，4-二氨基-S-三嗪、2-乙烯基-4，6-二氨基-S-三嗪'異氰酸加成物、2，4-二氨基-6-甲基丙烯酰氧基乙基-S-三嗪"異氰酸加成物等)等。這些物質(zhì)可單獨(dú)使用l種，還可并用2種以上。予以說明，只要是上述熱交聯(lián)劑的固化催化劑或者可促進(jìn)它們與羧基的反應(yīng)的物質(zhì)則無特別限定，可以使用上述以外的可促進(jìn)熱固化的化合物。上述熱交聯(lián)劑及可促進(jìn)它們與羧酸的熱固化的熱固化促進(jìn)劑在上述感光性樹脂組合物中的固形成分含量優(yōu)選為0.0115質(zhì)量％。一-增感劑-一上述增感劑并無特別限定，可從公知的增感劑中適當(dāng)選擇，例如可以舉出公知的多核芳香族類(例如芘、茈、三亞苯基)、氧雜蒽類(例如熒光黃、曙紅、赤蘚紅、羅丹明B、玫瑰紅)、菁類(例如吲哚菁、噻碳菁、噁碳菁)、部花青(例如部花青、碳部花青)、噻嗪類(例如硫堇、亞甲基藍(lán)、甲苯胺藍(lán))、吖啶類(例如吖啶橙、氯黃素、啶黃素、9-苯基吖啶、1，7-雙(9，9'-吖啶基)庚烷)、蒽醌類(例如蒽醌)、方菁類(例如方菁)、吖啶酮類(例如吖啶酮、氯吖啶酮、N-甲基吖啶酮、N-丁基吖啶酮、N-丁基-氯吖啶酮、2-氯-10-丁基吖啶酮等)、香豆素類(例如、3-(2-苯并呋喃甲酰基)_7-二乙基氨基香豆素、3-(2-苯并呋喃甲?；?-7-(1-吡咯垸基)香豆素、3-苯甲酰基-7-二乙基氨基香豆素、3-(2-甲氧基苯甲酰基)-7-二乙基氨基香豆素、3-(4-二甲基氨基苯甲?；?-7-二乙基氨基香豆素、3，3，-羰基雙(5，7-二-正丙氧基香豆素)、3，3，-羰基雙(7-二乙基氨基香豆素)、3-苯甲酰基-7-甲氧基香豆素、3-(2-呋喃甲?；?-7-二乙基氨基香豆素、3-(4-二乙基氨基肉桂?；?-7-二乙基氨基香豆素、7-甲氧基-3-(3-吡啶基撥基)香豆素、3-苯甲酰基-5，7-二丙氧基香豆素等)及噻噸酮化合物(噻噸酮、異丙基噻噸酮、2，4-二乙基噻噸酮、1-氯-4-丙氧基噻噸酮、QuantacureQTX等)等，另外，還可舉出日本特開平5-19475號(hào)、日本特開平7-271028號(hào)、日本特開2002-363206號(hào)、日本特開2002-363207號(hào)、日本特開2002-363208號(hào)、日本特開2002-363209號(hào)等各公報(bào)所記載的香豆素化合物等)，其中，優(yōu)選芳香族環(huán)或雜環(huán)稠合的化合物(稠環(huán)系化合物)，更優(yōu)選雜稠環(huán)系酮化合物及吖啶類。上述雜稠環(huán)系酮化合物中，特別優(yōu)選吖啶酮化合物及噻噸酮化合物。作為上述光聚合引發(fā)劑與上述增感劑的組合，例如可以舉出日本特開2001-305734號(hào)公報(bào)所記載的電子轉(zhuǎn)移型引發(fā)系[(l)供電子型引發(fā)劑及增感色素、(2)受電子型引發(fā)劑及增感色素、(3)供電子型引發(fā)劑、增感色素及受電子型引發(fā)劑(三元引發(fā)系)]等的組合。上述增感劑的含量相對(duì)于感光性膜用感光性樹脂組合物的總成分優(yōu)選為0.014質(zhì)量％、更優(yōu)選為0.022質(zhì)量％、特別優(yōu)選為0.051質(zhì)量%。上述含量為0.01質(zhì)量％以上時(shí)，感度變得良好，為4質(zhì)量％以下時(shí)，圖案的形狀變得良好。—-熱聚合抑制劑一-上述熱聚合抑制劑可以用于防止上述感光層的上述聚合性化合物的熱聚合或經(jīng)時(shí)聚合而添加。上述熱聚合禁止劑例如可以舉出4-甲氧基苯酚、氫醌、垸基或芳基取代氫醌、叔丁基兒茶酚、鄰苯三酚、2-羥基二苯甲酮、4-甲氧基-2-羥基二苯甲酮、氯化銅、吩噻嗪、四氯苯醌、萘基胺、萘酚、2，6-二叔丁基-4-甲酚、2，2，-亞甲基雙(4-甲基-6-叔丁基苯酚)、吡啶、硝基苯、二硝基苯、苦味酸、4-甲苯胺、亞甲基藍(lán)、銅和有機(jī)螯合劑反應(yīng)物、水楊酸甲酯及吩噻嗪、亞硝基化合物、亞硝基化合物與A1的螯合物等。上述熱聚合禁止劑的含量相對(duì)于上述感光性樹脂組合物優(yōu)選為0.0015質(zhì)量％、更優(yōu)選為0.0052質(zhì)量％、特別優(yōu)選為O.011質(zhì)量％。上述含量為0.001質(zhì)量％以上時(shí)，可以防止保存時(shí)的穩(wěn)定性降低，為5質(zhì)量％以下時(shí)，相對(duì)于活性能量射線的感度變得良好。---增塑劑-一上述增塑劑還可為了控制上述感光層的膜物性(可撓性)而添加。上述增塑劑例如可以舉出苯二甲酸二甲酯、苯二甲酸二丁酯、苯二甲酸二異丁酯、苯二甲酸二庚酯、苯二甲酸二辛酯、苯二甲酸二環(huán)己酯、苯二甲酸二(十三垸基)酯、苯二甲酸丁基芐酯、苯二甲酸二異癸酯、苯二甲酸二苯酯、苯二甲酸二烯丙酯、辛基辛酰苯二甲酸酯等苯二甲酸酯類；三甘醇二乙酸酯、四甘醇二乙酸酯、二甲基乙二醇苯二甲酸酯、乙基鄰苯二甲酰乙基乙醇酸酯、甲基鄰苯二甲酰乙基乙醇酸酯、丁基鄰苯二甲酰丁基乙醇酸酯、三甘醇二辛酸酯等二醇酯類；磷酸三甲苯酯、磷酸三苯酯等磷酸酯類；4-甲苯磺酰胺、苯磺酰胺、N-正丁基苯磺酰胺、N-正丁基乙酰胺等酰胺類；己二酸二異丁酯、二辛基己二酸酯、癸二酸二甲酯、癸二酸二丁酯、癸二酸二辛酯、壬二酸二辛酯、馬來酸二丁酯等脂肪族二元酸酯類；檸檬酸三乙酯、檸檬酸三丁酯、甘油三乙?；?、月桂酸丁酯、4，5-二環(huán)氧基環(huán)己垸-1，2-二羧酸二辛酯等聚乙二醇、聚丙二醇等二醇類。上述增塑劑的含量相對(duì)于上述感光層的總成分優(yōu)選為0.150質(zhì)量％、更優(yōu)選為0.540質(zhì)量％、特別優(yōu)選為130質(zhì)量％。著色顏料-一上述著色顏料并無特別限定，可根據(jù)目的適當(dāng)選擇例如可以舉出堿性艷藍(lán)B0(C.I.42595)、堿性槐黃(C.I.41000)、脂肪黑HB(C.I.26150)、莫努萊特(千乂，,卜)'黃GT(C.I.顏料'黃12)、永固'黃GR(C.I.顏料，黃17)、永固.黃服(C.I.顏料'黃83)、永固'胭脂紅FBB(C.I.顏料'紅146)、郝斯塔瑪姆(水^夕一"'一厶)紅ESB(C.I.顏料'紫19)、永固'紅玉色FBH(C.I.顏料'紅ll)、法斯特路(77;^亍粉B斯普啦(^7°，)(C.I.顏料'紅81)單星'耐曬'藍(lán)(C.I.顏料'藍(lán)15)、莫努萊特'耐曬'黑B(C.I.顏料'黑1)、碳、C.I.顏料'紅97、C.I.顏料'紅122、C.I.紅149、C.I.顏料'紅168、C,I.顏料'紅177、C.I.顏料-紅180、C.I.顏料-紅192、C.I.顏料-紅215、C.I.顏料'綠7、C.I.顏料'綠36、C.I.顏料'藍(lán)15:1、C.I.顏料.藍(lán)15:4、C.I.顏料'藍(lán)15:6、C.I.顏料'藍(lán)22、C.I.顏料'藍(lán)60、C.I.顏料'藍(lán)64等。這些物質(zhì)可單獨(dú)使用l種，還可并用2種以上。另外，還可使用根據(jù)需要從公知的染料中適當(dāng)選擇的染料。上述著色顏料在上述感光性樹脂組合物固形成分中的固形成分含量可以考慮永久圖案形成時(shí)的感光層的曝光感度、分辨率等決定，隨上述著色顏料的種類而不同，一般優(yōu)選為0.0110質(zhì)量％、更優(yōu)選為0.055質(zhì)-一密合促進(jìn)劑一-為了提高各層間的密合性、或者感光層與基體的密合性，可以在各層中使用公知的常說的密合促進(jìn)劑。上述密合促進(jìn)劑可以舉出例如日本特開平5-11439號(hào)公報(bào)、日本特開平5-341532號(hào)公報(bào)及日本特開平6-43638號(hào)公報(bào)等所記載的密合促進(jìn)劑。具體地說，苯并咪唑、苯并噁唑、苯并噻唑、2-巰基苯并咪唑、2-巰基苯并噁唑、2-巰基苯并噻唑、3-嗎啉代甲基-1-苯基-三唑-2-硫、3-嗎啉代甲基-5-苯基-噁二唑-2-硫、5-氨基_3-嗎啉代甲基-噻二唑-2-硫及2-巰基-5-甲基硫-噻二唑、三唑、四唑、苯并三唑、羧基苯并三唑、含氨基的苯并三唑、硅垸偶聯(lián)劑等。上述密合促進(jìn)劑的含量相對(duì)于上述感光層的總成分優(yōu)選為0.001質(zhì)量%20質(zhì)量％、更優(yōu)選為0.0110質(zhì)量％、特別優(yōu)選為0.1質(zhì)量％5質(zhì)量％。<消泡工序>上述消泡工序?yàn)閷?duì)上述涂布液實(shí)施消泡處理的工序。消泡處理的方法并無特別限定，可根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如可以舉出使用了真空泵的膜消泡或使用了離心力的離心分離消泡、使用了超聲波消泡裝置的超聲波消泡等。其中，從抑制針孔或凹陷等面狀缺陷的效果的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選超聲波消泡。上述超聲波消泡裝置是指通過利用超聲波照射產(chǎn)生空泡，促進(jìn)氣體的發(fā)泡的裝置。即，通過利用局部產(chǎn)生的微小壓力變化，發(fā)生液體中氣體的發(fā)泡或溶解，進(jìn)行液體的消泡。超聲波照射時(shí)的壓力并無特別限定，從控制氣體溶解性的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選常壓下的超聲波照射。裝置的控制通過電壓值進(jìn)行超聲波振子的功率控制。例如，可以舉出在配管或罐上設(shè)置在日本阿勒庫斯(7^'7^(株)或本多電子(株)超聲波發(fā)信器連接有超聲波振子的裝置。作為使用上述超聲波消泡裝置時(shí)的條件并無特別限定，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，作為功率例如優(yōu)選為IV以上200V以下、更優(yōu)選為10V以上150V以下、特別優(yōu)選為30V以上110V以下。另外，作為使用膜消泡裝置時(shí)的條件并無特別限定，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，作為功率例如優(yōu)選為大氣壓以下、更優(yōu)選為0.01氣壓以上0.5氣壓以下、特別優(yōu)選為0.05氣壓以上0.15氣壓以下?！赐坎脊ば颉瞪鲜鐾坎脊ば?yàn)樵谏鲜鱿莨ば蚝笤谥误w上涂布上述涂布液的工序。上述涂布液的涂布方法并無特別限定，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如可以舉出噴霧法、輥涂法、旋涂法、夾縫涂布法、擠壓涂布法、窗式涂法、模涂布法、凹版涂布法、絲棒涂布法、氣刀涂布法等各種涂布方法。-支撐體-上述支撐體并無特別限定，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，優(yōu)選可以剝離上述感光層、且透光性良好，更優(yōu)選表面的平滑性良好。上述支撐體優(yōu)選合成樹脂制、且透明，例如可以舉出聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚丙烯、聚乙烯、三醋酸纖維素、二醋酸纖維素、聚(甲基)丙烯酸烷基酯、聚(甲基)丙烯酸酯共聚物、聚氯乙烯、聚乙烯醇、聚碳酸酯、聚苯乙烯、玻璃紙、聚偏氯乙烯共聚物、聚酰胺、聚酰亞胺、氯乙烯'醋酸乙烯酯共聚物、聚四氟乙烯、聚三氟乙烯、纖維素系膜、尼龍膜等各種塑料膜，其中特別優(yōu)選聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯。這些物質(zhì)可以單獨(dú)使用1種，還可并用2種以上。上述支撐體的厚度并無特別限定，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如優(yōu)選為2150um、更優(yōu)選為5100um、特別優(yōu)選為850um。上述支撐體的形狀并無特別限定，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，優(yōu)選為長條狀。上述長條狀的支撐體長度并無特別限定，例如可以舉出1020000m的長度。〈干燥工序〉上述干燥工序?yàn)楦稍锷鲜鐾坎家涸谏鲜鲋误w上形成感光層的工序。上述干燥的條件隨各成分、溶劑的種類、使用比例等而不同，通常為60110。C的溫度下30秒鐘15分鐘左右。-感光層-上述感光層只要是由感光性樹脂組合物構(gòu)成的層則無特別限定，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇。上述感光層的厚度并無特別限定，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如優(yōu)選為l100um、更優(yōu)選為250iim、特別優(yōu)選為430um。另外，上述感光層的層疊數(shù)并無特別限定，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如可以為l層，還可以為2層以上。利用本發(fā)明的感光性膜的制造法，能夠制造面狀缺陷少的膜，因此可以高效地獲得絕緣性優(yōu)異的高精細(xì)的永久圖案(保護(hù)膜、層間絕緣膜及阻焊劑圖案等)。(感光性膜)本發(fā)明的感光性膜至少具有支撐體、在該支撐體上具有的由本發(fā)明感光性樹脂組合物構(gòu)成的感光層、根據(jù)需要的熱塑性樹脂層等適當(dāng)選擇的其他層。支撐體和感光層的構(gòu)成如上所述?！雌渌鼘印瞪鲜銎渌麑硬o特別限定，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如可以舉出保護(hù)膜、熱塑性樹脂層、阻擋層、剝離層、粘接層、光吸收層、表面保護(hù)層等層。上述感光性膜可以單獨(dú)具有這些層的l種，還可具有2種以上。《保護(hù)膜》上述感光性膜還可在上述感光層上形成保護(hù)膜。上述保護(hù)膜例如可以舉出在上述支撐體中使用的物質(zhì)，紙，層疊有聚乙烯、聚丙烯的紙等，其中優(yōu)選聚乙烯膜、聚丙烯膜。上述保護(hù)膜的厚度并無特別限定，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如優(yōu)選5100lim、更優(yōu)選為850ym、特別優(yōu)選為1030um。上述支撐體與保護(hù)膜的組合(支撐體/保護(hù)膜)例如可以舉出聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯/聚丙烯、聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯/聚乙烯、聚氯乙烯/玻璃紙、聚酰亞胺/聚丙烯、聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯/聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯等。另外，通過對(duì)支撐體及保護(hù)膜的至少1個(gè)進(jìn)行表面處理，可以調(diào)整層間粘接力。上述支撐體的表面處理可以為了提高與上述感光層的粘接力而實(shí)施，例如可以舉出底涂層的涂設(shè)、電暈放電處理、火焰處理、紫外線照射處理、高頻率照射處理、發(fā)光放電照射處理、活性等離子體照射處理、激光照射處理等。另外，上述支撐體與上述保護(hù)膜的靜摩擦系數(shù)優(yōu)選為0.31.4、更優(yōu)選為O.51.2。上述靜摩擦系數(shù)只要為0.3以上，則可以防止由于過滑巻繞成輥狀時(shí)發(fā)生巻繞偏差；為1.4以下時(shí)，可以巻繞成良好的輥狀。上述感光性膜例如優(yōu)選巻繞成圓筒狀巻芯，以長條狀巻繞成輥狀進(jìn)行保管。上述長條狀感光性膜的長度并無特別限定，例如可以從1020000m范圍中適當(dāng)選擇。另外，為了使用者易于使用，還可進(jìn)行夾縫加工、將1001000m范圍的長條體制成輥狀。另外，在此情況下優(yōu)選按照上述支撐體處于最外側(cè)進(jìn)行巻繞。另外，還可將上述輥狀感光性膜夾縫加工成片狀。在保管時(shí)，從保護(hù)端面、防止邊緣融合的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選在端面設(shè)置隔離物(特別是防濕性物質(zhì)、裝有干燥劑的物質(zhì))，另外包裝也優(yōu)選使用透濕性低的材料。上述保護(hù)膜還可為了調(diào)整上述保護(hù)膜與上述感光層的粘接性而進(jìn)行表面處理。上述表面處理例如在上述保護(hù)膜的表面上形成由聚有機(jī)硅氧烷、氟化聚烯烴、聚氟乙烯、聚乙烯醇等聚合物構(gòu)成的底涂層。該底涂層的形成可以通過將上述聚合物的涂布液涂布于上述保護(hù)膜表面后，在3015(TC下干燥130分鐘而形成。上述干燥時(shí)的溫度特別優(yōu)選為50120。C。(感光性層疊體)上述感光性層疊體至少具有基體、設(shè)置于上述基體上的感光層而成，層疊根據(jù)目的適當(dāng)選擇的其他層而成。上述感光層是由上述制造方法制作的上述感光性膜轉(zhuǎn)印而成，具有與上述相同的構(gòu)成?！椿w〉上述基體為形成有感光層的被處理基體或轉(zhuǎn)印有本發(fā)明感光性膜的至少感光層的被轉(zhuǎn)印體、并無特別限定，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如可以從表面平滑性高的物質(zhì)至具有凸凹表面的物質(zhì)中任意選擇。優(yōu)選板狀的基體，使用常說的基板。具體地可以舉出公知的印制配線板制造用基板(印制電路板)、玻璃板(堿玻璃板等)、合成樹脂性的膜、紙、金屬板等?！锤泄庑詫盈B體的制造方法〉上述感光性層疊體的制造方法可以舉出一邊對(duì)本發(fā)明感光性膜的至少感光層進(jìn)行加熱及加壓的至少一個(gè)一邊進(jìn)行轉(zhuǎn)印、層疊的方法。感光性層疊體的制造方法一邊對(duì)本發(fā)明感光性膜進(jìn)行加熱及加壓的至少一個(gè)一邊層疊于上述基體的表面上。予以說明，當(dāng)上述感光性膜具有上述保護(hù)膜時(shí)，優(yōu)選剝離該保護(hù)膜，按照上述感光層重疊于上述基體進(jìn)行層疊。上述加熱溫度并無特別限定，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如優(yōu)選為15180°C、更優(yōu)選為60140°C。上述加壓的壓力并無特別限定，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如優(yōu)選為0.11.0MP、更優(yōu)選為0.20.8MPa。作為進(jìn)行上述加熱的至少一個(gè)的裝置并無特別限定，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如優(yōu)選舉出層疊機(jī)(例如大成，$水一夕社制VP-II、二f"-一乇一卜>(株)制VP130)等。本發(fā)明的感光性膜及上述感光性層疊體由于膜厚均一、針孔或凹陷等面狀缺陷的發(fā)生比例極低，因此絕緣可靠性優(yōu)異、可高效地形成高精細(xì)的永久圖案(保護(hù)膜、層間絕緣膜及阻焊劑圖案等)。因此，可以作為電子材料領(lǐng)域的高精細(xì)永久圖案的形成用廣泛使用，特別可優(yōu)選用于印制電路板的永久圖案形成用。(永久圖案形成方法)本發(fā)明的永久圖案形成方法至少含有曝光工序，進(jìn)而含有根據(jù)需要選擇的顯影工序等其他工序。〈曝光工序>上述曝光工序是對(duì)本發(fā)明的感光性層疊體的感光層進(jìn)行曝光的工序。本發(fā)明的感光性層疊體如上所述。上述曝光的對(duì)象只要是上述感光性層疊體的感光層則無特別限定，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如如上所述，優(yōu)選對(duì)一邊對(duì)感光膜進(jìn)行加熱和加壓的至少一個(gè)一邊層疊于基材上而形成的層疊體進(jìn)行。上述曝光并無特別限定，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，可以舉出數(shù)碼曝光、模擬曝光等，其中優(yōu)選數(shù)碼曝光。<其他工序>上述其他工序并無特別限定，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如可以舉出基材的表面處理工序、顯影工序、固化處理工序、后曝光工序等。《顯影工序》上述顯影通過將上述感光層的未曝光部分除去而進(jìn)行。上述未固化區(qū)域的除去方法并無特別限定，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如可以舉出使用顯影液進(jìn)行除去的方法等。上述顯影液并無特別限定，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如可以舉出堿性水溶液、水系顯影液、有機(jī)溶劑等，其中優(yōu)選弱堿性水溶液。該弱堿水溶液的堿成分例如可以舉出氫氧化鋰、氫氧化鈉、氫氧化鉀、碳酸鋰、碳酸鈉、碳酸鉀、碳酸氫鋰、碳酸氫鈉、碳酸氫鉀、磷酸鈉、磷酸鉀、偏磷酸鈉、偏磷酸鉀、硼砂等。上述弱堿性水溶液的pH例如優(yōu)選為約812、更優(yōu)選為約911。上述弱堿性水溶液例如可以舉出0.15質(zhì)量％的碳酸鈉水溶液或碳酸鉀水溶液等。上述顯影液的溫度可對(duì)應(yīng)上述感光層的顯影性適當(dāng)選擇，例如優(yōu)選約為2540°C。上述顯影液還可以與表面活性劑、消泡劑、有機(jī)堿(例如乙二胺、乙醇胺、四甲基氫氧化銨、二乙撐三胺、三乙撐五胺、嗎啉、三乙醇胺等)或用于促進(jìn)顯影的有機(jī)溶劑(例如醇類、酮類、酯類、醚類、酰胺類、內(nèi)酯類等)等。另外，上述顯影液還可以是混合有水或堿水溶液和有機(jī)溶劑的水系顯影液，還可以是有機(jī)溶劑單獨(dú)?！豆袒幚砉ば颉飞鲜龉袒幚砉ば蚴窃谏鲜鲲@影工序進(jìn)行之后，對(duì)所形成的圖案的感光層進(jìn)行固化處理的工序。上述固化處理工序并無特別限定，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如優(yōu)選舉出全面曝光處理、全面加熱處理等。上述全面曝光處理的方法例如可以舉出在上述顯影后對(duì)形成有上述永久圖案的上述層疊體上的整個(gè)面進(jìn)行曝光的方法。通過該全面曝光，促進(jìn)形成上述感光層的感光性樹脂組合物中的樹脂固化，上述永久圖案的表面固化。進(jìn)行上述全面曝光的裝置并無特別限定，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如優(yōu)選舉出超高壓滎燈等UV曝光機(jī)。上述全面加熱處理的方法可以舉出在上述顯影后對(duì)形成有上述永久圖案的上述層疊體上的整個(gè)面進(jìn)行加熱的方法。通過該全面加熱，上述永久圖案的表面的膜強(qiáng)度增高。上述全面加熱的加熱溫度優(yōu)選為120250°C、更優(yōu)選為120200°C。該加熱溫度為12(TC以上時(shí)，通過加熱處理膜強(qiáng)度提高，為250。C以下時(shí)，可以防止上述感光性樹脂組合物中的樹脂發(fā)生分解、膜質(zhì)變?nèi)?、變脆。上述全面加熱的加熱時(shí)間優(yōu)選為10120分鐘、更優(yōu)選為1560分鐘。進(jìn)行上述全面加熱的裝置并無特別限定，可以從公知的裝置中根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如可以舉出干烘箱、加熱板、IR加熱器等。上述永久圖案的形成方法為形成保護(hù)膜、層間絕緣膜及阻焊劑圖案的至少一個(gè)的永久圖案形成方法時(shí)，可以利用上述永久圖案形成方法在印制配線板上形成永久圖案，進(jìn)而如下進(jìn)行焊錫。艮P，通過上述顯影形成作為上述永久圖案的固化層，金屬層露出至上述印制配線板的表面。對(duì)露出至該印制配線板表面的金屬層的部位進(jìn)行鍍金后，進(jìn)行焊錫。然后，在進(jìn)行了焊錫的部位安裝半導(dǎo)體或部件等。此時(shí)，上述固化層所形成的永久圖案發(fā)揮作為保護(hù)膜或絕緣膜(層間絕緣膜)、阻焊劑的功能，防止來自外部的沖擊或相鄰電極的導(dǎo)通。(印制電路板)本發(fā)明的印制電路板至少具有基體、由上述永久圖案形成方法形成的永久圖案而成，進(jìn)而還具有根據(jù)需要適當(dāng)選擇的其他構(gòu)成。作為其他構(gòu)成并無特別限定，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如可以舉出在基材和上述永久圖案之間進(jìn)一步設(shè)有絕緣層的高密度增層基板等。實(shí)施例以下舉出實(shí)施例和比較例更加具體地說明本發(fā)明，本發(fā)明并非限定于下述實(shí)施例。-粘合劑的合成-在1000mL三口燒瓶中放入1-甲氧基-2-丙醇159g，在氮?dú)鈿饬飨录訜嶂?5"C。向其中用2小時(shí)的時(shí)間滴加丙烯酸芐基甲酯63.4g、甲基丙烯酸72.3g、V-601(和光純藥制)3.0g的l-甲氧基-2-丙醇159g溶液。滴加結(jié)束后，進(jìn)一步加熱5小時(shí)使其反應(yīng)。接著，停止加熱，獲得丙烯酸芐基甲酯/甲基丙烯酸(30/70moP/。比)的共聚物。接著，在上述共聚物溶液內(nèi)的120.0g移至300mL三口燒瓶，加入甲基丙烯酸縮水甘油酯16.6g、對(duì)甲氧基苯酚O.16g，進(jìn)行攪拌使其溶解。溶解后，進(jìn)行空氣排氣，同時(shí)加入三苯基膦3.0g，加熱至10(TC，經(jīng)過20分鐘后，加入甲基丙烯酸縮水甘油酯進(jìn)行加成反應(yīng)。利用氣相色譜確認(rèn)甲基丙烯酸縮水甘油酯消失，停止加熱。加入l-甲氧基-2-丙醇，制備固形成分45質(zhì)量％的下述結(jié)構(gòu)式(29)所示粘合劑的溶液。利用以聚苯乙烯為標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)的凝膠滲透色譜法(GPC)測(cè)定所得粘合劑的質(zhì)均分子量(Mw)，結(jié)果為30000。另外，由使用了氫氧化鈉的滴定，單位固形成分的酸價(jià)為2.2meq/g。進(jìn)而，利用碘價(jià)滴定求得的單位固形成分的乙烯性不飽和鍵的含量(C二C價(jià))為2.lmeq/g。1幼結(jié)構(gòu)式(29)(實(shí)施例l)-感光性樹脂組合物的制備-以下述量配合各成分，制備感光性樹脂組合物溶液(涂布液)。〔感光性樹脂組合物溶液的各成分量〕-上述粘合劑(上述l-甲氧基-2-丙醇溶液中的固形成分質(zhì)量45質(zhì)量％)'■■45.51質(zhì)量份■季戊四醇四丙烯酸酯(聚合性化合物)'■■11.03質(zhì)量份結(jié)構(gòu)式(26)所示的光聚合引發(fā)劑'■0.35質(zhì)量份■二乙基噻噸酮'■■0.37質(zhì)量份■雙F型環(huán)氧樹脂(熱交聯(lián)劑、東都化成(株)制、YDF-170)'■■4.57質(zhì)量份■熱固化劑(雙氰胍>■■0.08質(zhì)量份.二氧化硅S0-C2((株)7卜-t于7夕7社制).■■7.ll質(zhì)量份-著色顏料(BASF社制、HELIOGENBLUED7086),■■0.17質(zhì)量份-甲乙酮'■■16.74質(zhì)量份-乙酸正丙酯'■■13.96質(zhì)量份予以說明，感光性樹脂組合物溶液的粘度為40mPa"s。-感光性膜的制造-將所得感光性樹脂組合物溶液通入超聲波消泡裝置(SDF)后，涂布于作為上述支撐體的厚度16um的PET(聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯)膜上將其干燥，形成膜厚30um的感光層。接著，在該感光層上作為上述保護(hù)膜用層疊機(jī)層疊20um厚的聚丙烯膜，制造上述感光性膜。予以說明，超聲波消泡裝置作為發(fā)信號(hào)機(jī)使用日本7^'7^^(株)NEOSONIC系列0833-16，將電壓值設(shè)定為35V、調(diào)整發(fā)信號(hào)功率進(jìn)行使用?！疵鏍钊毕莸脑u(píng)價(jià)〉記載評(píng)價(jià)順序/標(biāo)準(zhǔn)。利用紅色透過光目視評(píng)價(jià)用上述方法制作的感光性膜。作為評(píng)價(jià)基準(zhǔn)將直徑為lmm以上的氣泡作為凹陷(大)、lmm以下的氣泡作為凹陷(小)。予以說明，感光性膜的大小為lm2?！唇^緣可靠性試驗(yàn)〉在作為印制電路板的經(jīng)過配線形成的鍍銅層疊板(L/S=50ym/50um梳子型圖案、銅厚度12um)的表面實(shí)施化學(xué)研磨處理，進(jìn)行制備。在該鍍銅層疊板上按照上述感光性膜的感光層與上述鍍銅層疊板相連接的方式一邊剝離上述感光性膜的保護(hù)膜，一邊使用真空層疊機(jī)(二*^'一壬一卜>(株)社審ij、VP130)將其層疊，制備按順序?qū)盈B有上述鍍銅層疊板、上述感光層和上述聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯膜(支撐體)的感光性層疊體。壓接條件為抽真空的時(shí)間40秒、壓接溫度7(TC、壓接壓力0.2MPa、加壓時(shí)間10秒。使用該基板，在130°C/85%/0.196Mpa/10V/200h的條件下使用ETAC制、離子遷移評(píng)價(jià)裝置SIR12實(shí)施絕緣可靠性試驗(yàn)。予以說明，進(jìn)行10檢體試驗(yàn)，記載短路的個(gè)數(shù)。將結(jié)果示于表l。(實(shí)施例2)除了將SDF的條件從35V改變?yōu)?0V之外，與實(shí)施例1同樣地制造感光性膜、評(píng)價(jià)面狀缺陷及絕緣可靠性。將結(jié)果示于表l。(實(shí)施例3)除了將SDF的條件從35V改變?yōu)?00V之外，與實(shí)施例1同樣地制造感光性膜、評(píng)價(jià)面狀缺陷及絕緣可靠性。將結(jié)果示于表l。(比較例1)除了將SDF的條件從35V改變?yōu)?V之外，與實(shí)施例1同樣地制造感光性膜、評(píng)價(jià)面狀缺陷及絕緣可靠性。將結(jié)果示于表l。表1<table>tableseeoriginaldocumentpage36</column></row><table>由表1可知，未實(shí)施消泡工序的比較例1的感光性膜的面狀缺陷多、絕緣可靠性很差，與此相對(duì)實(shí)施了消泡工序的實(shí)施例13的感光性膜的面狀缺陷非常少、絕緣可靠性優(yōu)異。由于本發(fā)明的感光性膜中實(shí)施了消泡處理的涂布液可以大大抑制針孔或凹陷等面狀缺陷的發(fā)生比例，因此可以提供絕緣可靠性優(yōu)異的感光性膜、感光性層疊體。因此，可以高效地形成高精細(xì)的永久圖案(保護(hù)膜、層間絕緣膜及阻焊劑圖案等)，因此可以作為電子材料領(lǐng)域的高精細(xì)永久圖案的形成用廣泛使用，特別可優(yōu)選地用于印制電路板的永久圖案形成用。本發(fā)明的永久圖案形成方法由于使用本發(fā)明的上述感光性膜，因此可以優(yōu)選地使用需要高精細(xì)曝光的各種圖案的形成等，特別是可以優(yōu)選地用于印制電路板的永久圖案形成。權(quán)利要求1.一種感光性膜的制造方法，其特征在于，包括以下工序制備含有感光性樹脂組合物的涂布液的涂布液制備工序，所述感光性樹脂組合物含有i)導(dǎo)入有感光性基團(tuán)和用于賦予堿顯影性的酸基的化合物、ii)聚合性化合物、iii)光聚合引發(fā)劑；對(duì)所述涂布液實(shí)施消泡處理的消泡工序；在所述消泡工序后，將所述涂布液涂布于支撐體的涂布工序；使所述涂布液干燥，在所述支撐體上形成感光層的干燥工序。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的感光性膜的制造方法，其中，消泡處理為超聲波消泡。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的感光性膜的制造方法，其中，感光性樹脂組合物還含有iv)熱交聯(lián)劑。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的感光性膜的制造方法，其中，感光性樹脂組合物還含有v)填充物。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的感光性膜的制造方法，其特征在于，涂布液的粘度為5mPa's100mPa's。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的感光性膜的制造方法，其特征在于，涂布液的粘度為10mPa's50mPa's。7.—種感光性膜，其為利用包括以下工序的感光性膜制造方法制得的感光性膜-制備含有感光性樹脂組合物的涂布液的涂布液制備工序，所述感光性樹脂組合物含有i)導(dǎo)入有感光性基團(tuán)和用于賦予堿顯影性的酸基的化合物、ii)聚合性化合物、iii)光聚合引發(fā)劑；對(duì)所述涂布液實(shí)施消泡處理的消泡工序；在所述消泡工序后，將所述涂布液涂布于支撐體的涂布工序；使所述涂布液干燥，在所述支撐體上形成感光層的干燥工序，感光性膜為長條狀，被巻繞成輥狀。8.—種感光性層疊體，其為具備基體和設(shè)于所述基體上的感光層的感光性層疊體，其特征在于，所述感光層是由利用包括以下工序的感光性膜制造方法制得的感光性膜轉(zhuǎn)印而得的感光層制備含有感光性樹脂組合物的涂布液的涂布液制備工序，所述感光性樹脂組合物含有i)導(dǎo)入有感光性基團(tuán)和用于賦予堿顯影性的酸基的化合物、ii)聚合性化合物、iii)光聚合引發(fā)劑；對(duì)所述涂布液實(shí)施消泡處理的消泡工序；在所述消泡工序后，將所述涂布液涂布于支撐體的涂布工序；使所述涂布液干燥，在所述支撐體上形成感光層的干燥工序。9.一種永久圖案形成方法，其特征在于，至少包括對(duì)下述感光性層疊體中的感光層進(jìn)行曝光的曝光工序，所述感光性層疊體為具備基體和設(shè)于所述基體上的感光層的感光性層疊體，所述感光層是由利用包括以下工序的感光性膜制造方法制得的感光性膜轉(zhuǎn)印而得的感光層制備含有感光性樹脂組合物的涂布液的涂布液制備工序，所述感光性樹脂組合物含有i)導(dǎo)入有感光性基團(tuán)和用于賦予堿顯影性的酸基的化合物、ii)聚合性化合物、iii)光聚合引發(fā)劑；對(duì)所述涂布液實(shí)施消泡處理的消泡工序；在所述消泡工序后，將所述涂布液涂布于支撐體的涂布工序；使所述涂布液干燥，在所述支撐體上形成感光層的干燥工序。10.—種印制電路板，其特征在于，具備通過永久圖案形成方法形成的永久圖案，所述永久圖案形成方法至少包括對(duì)下述感光性層疊體中的感光層進(jìn)行曝光的曝光工序，所述感光性層疊體為具備基體和設(shè)于所述基體上的感光層的感光性層疊體，.所述感光層是由利用包括以下工序的感光性膜制造方法制得的感光性膜轉(zhuǎn)印而得的感光層制備含有感光性樹脂組合物的涂布液的涂布液制備工序，所述感光性樹脂組合物含有i)導(dǎo)入有感光性基團(tuán)和用于賦予堿顯影性的酸基的化合物、ii)聚合性化合物、iii)光聚合引發(fā)劑；對(duì)所述涂布液實(shí)施消泡處理的消泡工序；在所述消泡工序后，將所述涂布液涂布于支撐體的涂布工序；使所述涂布液干燥，在所述支撐體上形成感光層的干燥工序。全文摘要本發(fā)明的感光性膜的制造方法的特征在于包括以下工序制備含有感光性樹脂組合物的涂布液的涂布液制備工序，上述感光性樹脂組合物含有i)導(dǎo)入有感光性基團(tuán)和用于賦予堿顯影性的酸基的化合物、ii)聚合性化合物、iii)光聚合引發(fā)劑；對(duì)上述涂布液實(shí)施消泡處理的消泡工序；在上述消泡工序后，將上述涂布液涂布于支撐體的涂布工序；使上述涂布液干燥，在上述支撐體上形成感光層的干燥工序。文檔編號(hào)H05K1/00GK101685256SQ20091017863公開日2010年3月31日申請(qǐng)日期2009年9月24日優(yōu)先權(quán)日2008年9月25日發(fā)明者中澤隆浩,林利明申請(qǐng)人:富士膠片株式會(huì)社