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紫外線燈系統(tǒng)和用于控制發(fā)射的紫外線的方法

文檔序號(hào):8121553閱讀:714來(lái)源:國(guó)知局
專(zhuān)利名稱(chēng):紫外線燈系統(tǒng)和用于控制發(fā)射的紫外線的方法
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明總體上涉及紫外線燈系統(tǒng),尤其涉及微波激發(fā)紫外線燈系 統(tǒng)的功率調(diào)整。
背景技術(shù)
紫外線(UV)燈系統(tǒng)一般用于加熱和固化例如粘合劑、密封劑、墨 水和涂料等的材料。 一些紫外線燈系統(tǒng)具有無(wú)電極光源,通過(guò)微波能 量激發(fā)無(wú)電極等離子體燈來(lái)工作。在依賴(lài)于微波能量激發(fā)的無(wú)電極紫 外線燈系統(tǒng)中,無(wú)電極等離子體燈安裝在金屬微波腔或室內(nèi)。 一個(gè)或 多個(gè)微波發(fā)生器,例如磁電管,經(jīng)由波導(dǎo)耦合到微波室的內(nèi)部。磁電 管提供微波能量,以從封入等離子體燈的氣體混合物中激發(fā)并維持等 離子體。等離子體發(fā)射強(qiáng)烈偏重于具有紫外線和紅外線波長(zhǎng)的光譜線 或光子的電磁輻射的特征光譜。為了照射襯底,紫外線從微波室通過(guò)室出口對(duì)準(zhǔn)外部位置。室出 口能夠在允許紫外線透射到微波室外部的同時(shí),阻擋微波能量的輻射。多種傳統(tǒng)紫外線燈系統(tǒng)的室出口被細(xì)孔金屬柵網(wǎng)(screen)覆蓋。金屬 柵網(wǎng)中的開(kāi)孔透射紫外線,以用于照射放置在RF室外部的襯底;但是 基本上阻擋了微波能量的輻射。紫外線燈系統(tǒng)的一些應(yīng)用要求很精確的紫外線強(qiáng)度。這些應(yīng)用對(duì) 紫外線強(qiáng)度的變化敏感,要求光強(qiáng)度基本上恒定。提供基本上恒定的 紫外線強(qiáng)度提出了一些難題。首先,與磁電管相關(guān)的制造公差對(duì)于每 個(gè)磁電管的輸出起重要作用,磁電管的輸出與紫外線強(qiáng)度直接成比例。 磁電管制造商對(duì)于磁電管的輸出目標(biāo)值例如為大約3000W。但是由于制 造公差,磁電管的實(shí)際輸出值會(huì)低于或高于3000W的目標(biāo)輸出。有些制造商對(duì)他們的磁電管提供公差范圍,而不提供每個(gè)磁電管的具體輸出 值。這樣就對(duì)紫外線燈系統(tǒng)中使用的磁電管的實(shí)際輸出帶來(lái)不確定性。 磁電管之間公差的差異導(dǎo)致每個(gè)磁電管的輸出的差異,從而造成不同 燈系統(tǒng)之間紫外線強(qiáng)度的不同。從紫外線燈系統(tǒng)提供基本上恒定的光強(qiáng)度的第二個(gè)難題在于,當(dāng) 燈系統(tǒng)和磁電管加熱時(shí)輸出功率有下降的趨勢(shì)。當(dāng)紫外線燈系統(tǒng)加熱 時(shí),使磁電管中的陶質(zhì)磁體升溫,因此磁體的強(qiáng)度下降。磁電管的輸 入電壓是電流和磁場(chǎng)強(qiáng)度的函數(shù),磁場(chǎng)強(qiáng)度下降的結(jié)果是,磁電管的 輸入電壓也下降。假設(shè)磁電管的電流基本上恒定,則輸入電壓下降導(dǎo) 致輸入功率下降。當(dāng)至磁電管的輸入功率下降時(shí),輸出功率也下降, 從而降低紫外線強(qiáng)度。經(jīng)過(guò)約5到10分鐘的運(yùn)行,系統(tǒng)的熱變化穩(wěn)定, 從而使磁電管的輸出功率穩(wěn)定,并最終使紫外線強(qiáng)度穩(wěn)定。發(fā)明內(nèi)容通過(guò)提供紫外線燈組件和相應(yīng)的方法,本發(fā)明的實(shí)施例解決與現(xiàn) 有技術(shù)相關(guān)的上述和其他問(wèn)題,所述燈組件可操作地產(chǎn)生紫外線,以 用于照射襯底。所述紫外線燈組件包括磁電管;無(wú)電極燈,用于當(dāng) 由產(chǎn)生自所述磁電管的微波輻射而激發(fā)時(shí),發(fā)射紫外線;以及功率控 制電路裝置,用于控制磁電管的微波輻射的輸出功率以及由所述燈產(chǎn) 生的紫外線的相應(yīng)強(qiáng)度。所述功率控制電路裝置包括第一控制回路, 配置為基于與所述磁電管的期望輸出功率相關(guān)聯(lián)的輸入電流設(shè)置,調(diào) 整至所述磁電管的輸入電流;以及第二控制回路,耦合到所述第一控 制回路,并配置為基于至所述磁電管的輸入功率,調(diào)節(jié)所述第一控制 回路使用的輸入電流設(shè)置,以調(diào)整所述磁電管的所述輸入電流,所述 磁電管的輸入功率與由所述燈產(chǎn)生的光強(qiáng)度成比例。在一個(gè)實(shí)施例中,所述第二控制回路配置有分壓器,所述分壓器 用于測(cè)量至所述磁電管的輸入電壓。電流傳感器配置為感測(cè)第一控制 回路中的輸入電流,所述輸入電流被送往控制器,所述控制器也接收分壓器的輸入電壓??刂破魇褂脕?lái)自分壓器的電壓和來(lái)自第一控制回 路的電流計(jì)算輸入功率,以對(duì)輸入電流進(jìn)行調(diào)節(jié),提供基本上恒定的 輸入功率,從而提供基本上恒定的紫外線強(qiáng)度。通過(guò)第二控制回路中 的限流器限制第一控制回路中對(duì)輸入電流的調(diào)節(jié)。在一些實(shí)施例中,第二控制回路配置為周期性地調(diào)節(jié)第一控制回 路的輸入電流設(shè)置。對(duì)磁電管輸入功率的周期性調(diào)節(jié)提供了更恒定的 紫外線輸出,而不需要操作者干預(yù),也不需要連續(xù)校正。


附圖示出本發(fā)明的實(shí)施例,并與上文給出的對(duì)本發(fā)明的總體描述 和下文給出的詳細(xì)描述一起,用于說(shuō)明本發(fā)明的原理。圖l是示出根據(jù)本發(fā)明的紫外線燈組件的實(shí)施例的框圖,紫外線燈 組件包括用于磁電管的功率控制電路,磁電管用于激發(fā)無(wú)電極燈產(chǎn)生 紫外線。圖2是圖1的功率控制電路的一部分的示意圖。圖3是示出圖1的功率控制電路的實(shí)施例的操作的流程圖。圖4是示出圖1的功率控制電路的替代實(shí)施例的操作的流程圖。
具體實(shí)施方式
一般來(lái)說(shuō),紫外線燈系統(tǒng)中使用的磁電管的功率輸出存在差異。 這種差異可能是由于制造公差和工作溫度所致。磁電管功率輸出的這 種差異直接關(guān)系到燈系統(tǒng)中紫外線光強(qiáng)度的差異。輸出功率的差異通 常造成磁電管(或多個(gè)磁電管)升溫時(shí)燈的光強(qiáng)度下降,因此給某些 對(duì)紫外線光強(qiáng)度變化敏感的應(yīng)用帶來(lái)麻煩。這些關(guān)鍵處理傾向于要求 特定系統(tǒng)中所有燈之間的光強(qiáng)度一致。本發(fā)明的實(shí)施例提供一種娃外線燈系統(tǒng),其具有用于磁電管的功 率控制電路裝置,有助于提供與紫外線光強(qiáng)度直接成比例的、基本上恒定的功率輸出,而通常不需要操作者的干預(yù)。傳統(tǒng)的快速電流反饋 控制回路被用于調(diào)整至每個(gè)磁電管的輸入電流,并且周期性的第二控 制回路被用于自動(dòng)調(diào)節(jié)第一控制回路的電流設(shè)定點(diǎn),從而調(diào)整輸入功 率。對(duì)該應(yīng)用來(lái)說(shuō),當(dāng)以規(guī)則的間隔實(shí)現(xiàn)第二控制回路時(shí),"周期性 的"與"間歇的"同義,或者,校正之間的間隔可變,例如,在燈系 統(tǒng)的初始上電和加熱期間更加頻繁。參照附圖,其中,在所有的圖中相同的標(biāo)記表示相同的部件,圖 1示出根據(jù)本發(fā)明的具有示例性功率控制回路的燈系統(tǒng)的框圖。功率控 制回路電路設(shè)計(jì)為控制至磁電管的輸入功率,不像現(xiàn)有技術(shù)中常見(jiàn)的 那樣僅僅控制輸入電流,磁電管的輸入功率一般與磁電管的輸出功率、 紫外線光輸出強(qiáng)度密切相關(guān)。紫外線燈系統(tǒng)的操作者選擇功率設(shè)置10, 功率設(shè)置10向微控制器14發(fā)送期望的功率水平,期望的功率水平用圖示箭頭12表示。微控制器14最初為磁電管16設(shè)定電流水平,以獲 得期望的輸出功率。然后微控制器向用于電流調(diào)整控制回路22的電路 發(fā)送設(shè)定點(diǎn)電流18和實(shí)際磁電管電流20。電流調(diào)整控制回路22由可 操作地提供快速電流反饋控制回路的電路構(gòu)成,以調(diào)整并提供基本上 恒定的電流輸出,如同現(xiàn)有技術(shù)已知的那樣。電流調(diào)整電路22利用微控制器,微控制器可以是微控制器14, 也可以是專(zhuān)用于電流調(diào)整的獨(dú)立的微控制器。然后電流調(diào)整電路22將 調(diào)整后的電流送往相位控制電路24,相位控制電路24向高壓產(chǎn)生電路 28發(fā)出可變AC信號(hào),可變AC信號(hào)用圖示箭頭26表示。高壓產(chǎn)生電 路向磁電管16發(fā)出可變高壓DC信號(hào),以產(chǎn)生期望的輸出,可變高壓 DC信號(hào)用圖示箭頭30表示,期望的輸出激發(fā)紫外線燈36,所述紫外 線燈36產(chǎn)生從燈組件發(fā)射的紫外線。高壓產(chǎn)生電路28周期性地向微控制器14發(fā)出磁電管電壓信號(hào)和 磁電管電流信號(hào),磁電管電壓信號(hào)用圖示箭頭32表示,磁電管電流信 號(hào)用圖示箭頭34表示。微控制器14使用磁電管電壓信號(hào)32和電流信號(hào)34以確定實(shí)際的磁電管輸入功率,并且如果輸入功率偏離期望的功 率水平12,則確定對(duì)設(shè)定電流的調(diào)節(jié)。然后微控制器向電流調(diào)整電路22發(fā)送實(shí)際磁電管電流20和調(diào)節(jié)后的設(shè)定點(diǎn)電流18,以自動(dòng)調(diào)節(jié)磁 電管的輸入功率。圖2中示出相位控制電路24和高壓產(chǎn)生電路28的附加細(xì)節(jié)。在 一些實(shí)施例中,相位控制電路24由三相高壓電源40組成。用于電源 40的電壓可以例如是每相約480V。電源40的一個(gè)相42被送往SCR 相位控制器44。其他的相可以為具有附加磁電管的紫外線燈系統(tǒng)的替 代實(shí)施例中的其他磁電管供電,或者為紫外線燈系統(tǒng)的其他部件供電。 來(lái)自電流調(diào)整控制回路22(圖l)的輸出信號(hào)用于控制相位控制器44的 相位。然后來(lái)自相位控制器的輸出通過(guò)電流接觸器46a、 46b送往隔離 變壓器48。高壓AC功率經(jīng)由變壓器48轉(zhuǎn)移到高壓橋組件50,高壓橋 組件50將高壓AC功率轉(zhuǎn)換為高壓DC信號(hào)30,然后高壓DC信號(hào)30 被送往磁電管16。此外,橋組件還將磁電管輸入電壓信號(hào)32和磁電管 輸入電流信號(hào)34送往微控制器14(圖1),以用來(lái)在功率調(diào)節(jié)的控制循 環(huán)(control loop)期間確定磁電管16的輸入功率。如本領(lǐng)域技術(shù)人員已知的, 一般來(lái)說(shuō)磁電管的輸入功率和輸出功 率密切相關(guān)。因?yàn)檫@種相關(guān),就能夠通過(guò)調(diào)節(jié)磁電管的輸入功率來(lái)獲 得基本上恒定的輸出功率,從而獲得基本上恒定的紫外線光輸出強(qiáng)度。 對(duì)于磁電管的電流和功率調(diào)整包括第一內(nèi)部控制回路調(diào)整至磁電管 的電流;第二外部控制回路調(diào)整至磁電管的輸入功率。輸出功率的大 多數(shù)變化通常出現(xiàn)在當(dāng)紫外線燈系統(tǒng)加熱時(shí)的操作的最初5到10分 鐘,然后穩(wěn)定;因此,在第二控制回路中不必連續(xù)地監(jiān)測(cè)和調(diào)節(jié)輸入 功率。提供第二外部控制回路來(lái)調(diào)整輸入功率有助于在系統(tǒng)5到10分鐘的升溫階段提供接近恒定的輸出功率。對(duì)于那些有需要紫外線燈系 統(tǒng)周期性工作而不是系統(tǒng)持續(xù)工作的應(yīng)用的紫外線燈系統(tǒng)操作者,以 及那些有對(duì)紫外線的變化敏感、需要基本上恒定的輸出的關(guān)鍵應(yīng)用的 紫外線燈系統(tǒng)操作者而言,這是有利的。圖3和圖4是示出用于功率控制電路的控制循環(huán)的兩個(gè)實(shí)施例的 操作的流程圖。這些實(shí)施例采用相同的電流調(diào)整步驟,盡管其他實(shí)施 例也可以采用用于電流調(diào)整的不同方法。在框100開(kāi)始,輸入電流值 設(shè)定為起始值,以獲得與期望的紫外線光輸出強(qiáng)度相應(yīng)的特定輸出功 率。由紫外線燈系統(tǒng)操作者根據(jù)輸入電流與輸出功率之間的比例關(guān)系選擇起始值。輸入電流被選擇為產(chǎn)生例如輸出功率的大約35%至100%的初始輸出功率。在框102設(shè)定用于功率調(diào)整的第二控制回路的計(jì)時(shí)器,并且如果 計(jì)時(shí)器沒(méi)有超時(shí)(判定框104的"否"分支),則在框106通過(guò)電流傳感 器測(cè)量實(shí)際電流。然后在框108,像現(xiàn)有技術(shù)已知的那樣,例如通過(guò)電 流調(diào)整算法來(lái)調(diào)整電流。與紫外線燈系統(tǒng)兼容的、可操作地向磁電管 提供基本上恒定的電流源的任何方法或硬件配置都可以使用。該回路 持續(xù)調(diào)整至磁電管的輸入電流,直到功率調(diào)整的計(jì)時(shí)器超時(shí)(判定框 104的"是"分支)。為了適當(dāng)?shù)卣{(diào)整電流以提供接近恒定的電流源,完成第一控制循 環(huán)的時(shí)間約為4-5ms。在執(zhí)行第二控制循環(huán)之前,該控制循環(huán)可執(zhí)行多 次。第二回路計(jì)時(shí)器被設(shè)定為例如大約每5到IO秒啟動(dòng)第二控制回路。 在一些實(shí)施例中,可更頻繁或更不頻繁地調(diào)整輸入功率。已知經(jīng)過(guò)大 約5到IO分鐘的運(yùn)行后功率趨于穩(wěn)定,第二控制回路計(jì)時(shí)器具有可變 的時(shí)限,在升溫期間更頻繁地啟動(dòng)第二控制回路,而在持續(xù)運(yùn)行期間 不太頻繁。在圖3所示的實(shí)施例中,在框110,通過(guò)測(cè)量例如上述高壓橋組 件中分壓器的電壓以及第一控制回路中電流傳感器的電流(在框106測(cè) 得),第二控制循環(huán)開(kāi)始。在替代實(shí)施例中,也可以由橋組件供給電流。 在框112,根據(jù)電壓和輸入電流計(jì)算實(shí)際功率。然后在框114,通過(guò)從 設(shè)定功率中減去實(shí)際功率,計(jì)算出功率誤差。在其他實(shí)施例中,也可以用其他方法確定設(shè)定功率與實(shí)際測(cè)量功率之間的誤差或偏差。如果 設(shè)定功率與實(shí)際功率之間的差接近零,表示沒(méi)有誤差(判定框116的"是"分支),則不必調(diào)節(jié)輸入電流,并在框102設(shè)定第二回路計(jì)時(shí)器的新值。但是如果計(jì)算出有誤差(判定框116的"否"分支),則根據(jù)以下公式,在框118對(duì)輸入電流進(jìn)行調(diào)節(jié) 輸入電流=輸入電流+ (增益x功率誤差)其中,增益根據(jù)經(jīng)驗(yàn)得出。在一些實(shí)施例中,在框120,如果數(shù)值超過(guò) 設(shè)定的電流限制,則可以限制調(diào)節(jié)后的輸入電流。電流經(jīng)過(guò)調(diào)節(jié)后, 在框102,設(shè)定第二回路計(jì)時(shí)器的新值,第一控制回路繼續(xù)調(diào)整新的調(diào) 節(jié)后的輸入電流,直到下一次時(shí)間超時(shí)發(fā)生。圖4示出第二控制循環(huán)的另一實(shí)施例,利用不同的方法調(diào)節(jié)輸入 電流。與圖3的實(shí)施例相似,在框140測(cè)量電壓和電流,在框142根 據(jù)電壓和電流計(jì)算實(shí)際功率。此外與上述實(shí)施例相似,在框144計(jì)算 功率誤差。如果設(shè)定功率與實(shí)際功率之間的差接近零,表示沒(méi)有誤差(判 定框146的"是"分支),則不必調(diào)節(jié)輸入電流,并在框132設(shè)定第二 回路計(jì)時(shí)器的新值。但是如果有功率誤差(判定框146的"否"分支), 則對(duì)輸入電流進(jìn)行調(diào)節(jié)。如上所述,至磁電管的輸入電流與磁電管的 輸出功率近似為線性比例。此外,可假設(shè)無(wú)電極等離子體燈的效率在 燈系統(tǒng)的工作輸出功率范圍內(nèi)保持精確恒定?;谶@兩個(gè)數(shù)據(jù)點(diǎn),可 利用理論輸入功率與實(shí)際輸入功率的比率來(lái)修正輸入,以計(jì)算新的磁 電管輸入電流。因此本實(shí)施例中,在框148通過(guò)將電流值乘以比率來(lái) 調(diào)節(jié)電流,其中,比率為-比率=先前比率><1|^| 實(shí)際功率通過(guò)在比其他方法更少的周期內(nèi)產(chǎn)生用于穩(wěn)定功率輸入的輸入電流, 用上述比率可改善第二控制回路的響應(yīng)。在輸入電流經(jīng)過(guò)調(diào)節(jié)以后, 與前面的實(shí)施例相似,在框150,如果數(shù)值超過(guò)設(shè)定的電流限制,則可 以限制調(diào)節(jié)后的輸入電流。在電流經(jīng)過(guò)調(diào)節(jié)后,在框132,設(shè)定第二回 路計(jì)時(shí)器的新值,第一控制回路繼續(xù)調(diào)整新的調(diào)節(jié)后的輸入電流,直到下一次時(shí)間超時(shí)。盡管通過(guò)對(duì)不同實(shí)施例的描述示出了本發(fā)明,并且相當(dāng)詳細(xì)地描 述了這些實(shí)施例,但是申請(qǐng)人不希望將所附權(quán)利要求書(shū)的范圍限制于 或以任何方式限定于這些細(xì)節(jié)。附加的優(yōu)點(diǎn)和改型對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人 員來(lái)說(shuō)顯而易見(jiàn)。因此在更寬泛的方面中,本發(fā)明不受限于所示和所 述的具體細(xì)節(jié)、描述性的設(shè)備和方法以及示例性的實(shí)例。因此,對(duì)這 些細(xì)節(jié)可作出改變而不脫離申請(qǐng)人的總體發(fā)明構(gòu)思的精神和范圍。
權(quán)利要求
1.一種紫外線燈組件,用于照射襯底,所述紫外線燈組件包括磁電管;無(wú)電極燈,配置為當(dāng)由產(chǎn)生自所述磁電管的微波輻射激發(fā)時(shí),發(fā)射紫外線;以及功率控制電路,用于控制所述無(wú)電極燈的紫外線發(fā)射,所述功率控制電路包括第一控制回路,配置為基于與所述磁電管的期望輸出功率相關(guān)聯(lián)的輸入電流設(shè)置,調(diào)整至所述磁電管的輸入電流;以及第二控制回路,耦合到所述第一控制回路,并配置為基于至所述磁電管的輸入功率,調(diào)節(jié)所述第一控制回路使用的輸入電流設(shè)置,以調(diào)整至所述磁電管的所述輸入電流。
2. 如權(quán)利要求l所述的紫外線燈組件,其中所述第一控制回路是 所述第二控制回路的一部分。
3. 如權(quán)利要求l所述的紫外線燈組件,其中所述第二控制回路周 期性地調(diào)節(jié)所述第一控制回路的輸入電流設(shè)置。
4. 如權(quán)利要求l所述的紫外線燈組件,其中所述第二控制回路包括分壓器,配置為測(cè)量至所述磁電管的輸入電壓;電流傳感器,配置為感測(cè)所述第一控制回路中的所述輸入電流;以及控制器,從所述分壓器接收輸入電壓并且從所述電流傳感器接收 輸入電流,可操作地調(diào)節(jié)所述輸入電流以提供基本上恒定的輸入功率。
5. 如權(quán)利要求4所述的紫外線燈組件,其中所述分壓器包括封裝組件,包括二極管部件和相應(yīng)的電阻網(wǎng)。
6. 如權(quán)利要求4所述的紫外線燈組件,其中所述第二控制回路還 包括限流器,對(duì)所述第一控制回路中所述輸入電流提供限制。
7. —種通過(guò)調(diào)整至紫外線燈組件中磁電管的輸入功率來(lái)控制從 無(wú)電極燈發(fā)射的紫外線的方法,包括基于與所述磁電管的期望輸出功率相關(guān)聯(lián)的輸入電流設(shè)置,通過(guò) 第一控制回路調(diào)整輸入電流;測(cè)量提供至所述磁電管的輸入功率;基于測(cè)得的輸入功率,通過(guò)第二控制回路調(diào)節(jié)所述第一控制回路 使用的輸入電流設(shè)置;以及將來(lái)自所述磁電管的輸出功率提供給所述無(wú)電極燈,以發(fā)射紫外線。
8. 如權(quán)利要求7所述的方法,還包括 將調(diào)節(jié)限制在所述輸入電流設(shè)置。
9. 如權(quán)利要求7所述的方法,其中所述輸入電流設(shè)置的初始值是 最大電流值的一部分。
10. 如權(quán)利要求9所述的方法,其中所述初始值的范圍在所述最 大電流值的大約35%和大約100%之間。
11. 如權(quán)利要求7所述的方法,其中測(cè)量所述輸入功率包括 通過(guò)分壓器測(cè)量至所述磁電管的輸入電壓; 測(cè)量所述第一控制回路中的電流傳感器中的輸入電流。
12. 如權(quán)利要求11所述的方法,還包括根據(jù)測(cè)得的輸入電壓和測(cè)得的輸入電流,計(jì)算所述輸入功率;以及通過(guò)比較設(shè)定功率與所述輸入功率,計(jì)算所述輸入電流設(shè)置的變化。
13. 如權(quán)利要求12所述的方法,其中計(jì)算變化包括通過(guò)從所述設(shè)定功率中減去所述輸入功率,計(jì)算功率誤差;以及 響應(yīng)于非零的功率誤差,將所述功率誤差乘以增益與所述輸入電流設(shè)置相加。
14. 如權(quán)利要求12所述的方法,其中計(jì)算變化包括通過(guò)從所述設(shè)定功率中減去所述輸入功率,計(jì)算功率誤差;以及 響應(yīng)于非零的功率誤差,將所述輸入電流乘以比率。
15. 如權(quán)利要求14所述的方法,其中所述比率是先前比率乘以所 述設(shè)定功率與所述輸入功率的比率。
全文摘要
紫外線燈系統(tǒng)和用于控制發(fā)射的紫外線的方法。一種紫外線燈組件和相應(yīng)的方法,所述燈組件可操作地產(chǎn)生紫外線,以用于照射襯底。所述燈組件包括磁電管;無(wú)電極燈,用于當(dāng)由產(chǎn)生自所述磁電管的微波輻射而激發(fā)時(shí),發(fā)射紫外線;以及功率控制電路裝置,配置為相應(yīng)于由所述燈產(chǎn)生的紫外線的強(qiáng)度,控制由所述磁電管產(chǎn)生的微波輻射的輸出功率。所述功率控制電路的第一控制回路配置為,基于與所述燈的紫外線輸出的期望強(qiáng)度相關(guān)聯(lián)的輸入電流設(shè)置,調(diào)整至所述磁電管的輸入電流;第二控制回路耦合到所述第一控制回路,并配置為,基于至所述磁電管的輸入功率,調(diào)節(jié)所述第一控制回路使用的輸入電流設(shè)置,以調(diào)整至所述磁電管的所述輸入電流,所述磁電管的輸入功率與從所述燈輸出的紫外線的強(qiáng)度成比例。
文檔編號(hào)H05B41/14GK101335180SQ20081012955
公開(kāi)日2008年12月31日 申請(qǐng)日期2008年6月30日 優(yōu)先權(quán)日2007年6月29日
發(fā)明者卡爾·A·布雷梅日斯基, 詹姆斯·W·施米特康斯 申請(qǐng)人:諾信公司
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