專利名稱：估計(jì)襯底上的至少一個(gè)部件放置位置的方法和執(zhí)行這種方法的裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及估計(jì)待放置部件的襯底上的至少一個(gè)部件放置位置的方法，其中根據(jù)襯底上的至少一個(gè)標(biāo)記的位置估計(jì)該部件放置位置。
本發(fā)明也涉及適于執(zhí)行這種方法的裝置。
背景技術(shù)：
利用可從EP-A1-0 042 977中獲知的方法，測(cè)量襯底上的多個(gè)標(biāo)記的位置，并將其與期望的標(biāo)記位置進(jìn)行比較。根據(jù)標(biāo)記的測(cè)量位置和期望位置之間的差別，將變換應(yīng)用于待放置部件的襯底上的期望的或理論上的部件放置位置。
以此方式，對(duì)例如作為部件放置裝置中的襯底未對(duì)準(zhǔn)、襯底的伸長(zhǎng)的結(jié)果出現(xiàn)的誤差進(jìn)行糾正。
近幾十年來，待放置的部件已經(jīng)變得越來越小，且必須將這些部件以更高的精度放置在襯底上。如果較不精確地確定部件放置位置，則這將導(dǎo)致在部件放置位置的部件的不正確的放置，結(jié)果，襯底將在隨后的工藝中被拒絕。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種能估計(jì)將部件放置在襯底上的部件放置位置的精度的方法。
這個(gè)目的通過根據(jù)本發(fā)明的方法實(shí)現(xiàn)，該方法是-確定標(biāo)記的統(tǒng)計(jì)測(cè)量偏差，-此后，根據(jù)標(biāo)記的測(cè)量偏差估計(jì)襯底上的部件放置位置的位置精度，-隨后，將估計(jì)的部件放置位置的位置精度與預(yù)定的理想位置精度進(jìn)行比較，-此后，確定部件是否是以估計(jì)的部件放置位置的位置精度放置在襯底上。
例如，在利用光學(xué)相機(jī)確定部件放置裝置中的襯底上的標(biāo)記位置時(shí)，出現(xiàn)可以統(tǒng)計(jì)方式確定的測(cè)量偏差。利用根據(jù)本發(fā)明的方法，根據(jù)每個(gè)統(tǒng)計(jì)測(cè)量偏差對(duì)每個(gè)部件放置位置的位置精度進(jìn)行估計(jì)，并將其與預(yù)定的理想位置精度進(jìn)行比較。以此方式，能在將部件放在部件放置位置之前對(duì)部件將放置在理想的部件放置位置的概率進(jìn)行估計(jì)。如果估計(jì)的位置精度低于預(yù)定的理想位置精度，則可采取另外的措施來確保該部件將仍然利用理想精度放置在部件放置位置處。
如果估計(jì)的位置精度遠(yuǎn)高于多個(gè)部件放置位置的預(yù)定的理想位置精度，而估計(jì)的位置精度低于多個(gè)其它部件放置位置的理想位置精度，則舉例來說可確定，將襯底上的其它記號(hào)用作標(biāo)記。如果可能，對(duì)于新近選擇的標(biāo)記，估計(jì)的所有部件放置位置的位置精度高于理想的位置精度。
以此方式，能在所述放置發(fā)生之前估計(jì)部件被不正確地放置在部件放置位置的可能性，并通過采取另外的措施使所述可能性最小。
根據(jù)本發(fā)明的方法的一個(gè)實(shí)施例的特征在于，如果估計(jì)的位置精度低于理想的位置精度，則選擇至少一個(gè)其它標(biāo)記，結(jié)果，估計(jì)的位置精度變得高于理想的位置精度。
通過選擇至少一個(gè)其它標(biāo)記，且相對(duì)于該標(biāo)記估計(jì)的位置精度高于理想的位置精度，能在部件放置在部件放置位置之前采取措施避免部件不正確地放置在部件放置位置處的風(fēng)險(xiǎn)，從而避免部件不正確地放置在部件放置位置處的風(fēng)險(xiǎn)。
根據(jù)本發(fā)明的方法的另一實(shí)施例的特征在于，如果估計(jì)的位置精度低于理想的位置精度，則將估計(jì)的位置精度傳送給用戶。
以此方式，可執(zhí)行這種方法的部件放置裝置的用戶如果想要，將能夠調(diào)整每個(gè)部件放置位置的位置精度，或后來在檢查是否已經(jīng)實(shí)現(xiàn)理想精度時(shí)給予額外的關(guān)注。
根據(jù)本發(fā)明的方法的又一實(shí)施例的特征在于，如果估計(jì)的位置精度低于理想的位置精度，則利用離部件放置位置較近的至少一個(gè)標(biāo)記確定部件放置位置。
如果理想的位置精度較高，則對(duì)于該特定部件放置位置來說，可能有必要確定相對(duì)于離該部件放置位置較近的標(biāo)記的位置。如果想要，所述標(biāo)記也可以是部件放置位置本身。
根據(jù)本發(fā)明的方法的再一實(shí)施例的特征在于，根據(jù)測(cè)量標(biāo)記中的期望偏差、在部件放置裝置中對(duì)準(zhǔn)部件時(shí)出現(xiàn)的以統(tǒng)計(jì)方式確定的偏差、和在襯底上放置部件時(shí)出現(xiàn)的以統(tǒng)計(jì)方式確定的偏差，選擇襯底上的標(biāo)記位置以及部件放置位置，使得對(duì)于每個(gè)部件放置位置，理想的位置精度低于估計(jì)的位置精度。
以此方式，不僅對(duì)測(cè)量標(biāo)記中的期望偏差進(jìn)行調(diào)整，而且對(duì)部件放置機(jī)中的其它偏差進(jìn)行調(diào)整，這可根據(jù)對(duì)部件放置位置的位置精度的估計(jì)以統(tǒng)計(jì)方式確定，結(jié)果，可以較高的精度確定部件放置位置的位置精度。如果理想的位置精度高于估計(jì)的位置精度，則可在將部件放置在襯底上之前(如果想要，甚至可在設(shè)計(jì)襯底之前)調(diào)整襯底上的標(biāo)記的位置以及部件放置的位置。


現(xiàn)在將參看附圖以及公式頁(yè)上的公式更詳細(xì)地說明本發(fā)明。
在附圖中圖1示出設(shè)置有根據(jù)本發(fā)明的裝置的部件放置裝置的透視圖；圖2示出適于用作襯底的標(biāo)記的多個(gè)不同記號(hào)；圖3A至3C分別示出用于包括由部件放置裝置感測(cè)而無各向異性發(fā)生的兩個(gè)標(biāo)記的襯底、包括三個(gè)標(biāo)記的襯底、以及包括由部件放置裝置感測(cè)而無各向異性發(fā)生的兩個(gè)標(biāo)記的襯底的估計(jì)偏差的圖表。
在附圖中相似部分用相同標(biāo)號(hào)表示。
具體實(shí)施例方式
圖1示出部件放置裝置1，該部件放置裝置1包括可在X方向和和Y方向上移動(dòng)的部件拾取單元2，利用該部件拾取單元2，部件3可從部件供應(yīng)單元4移動(dòng)到襯底5上的理想的部件放置位置6。襯底5通過傳輸導(dǎo)向器7在X方向上穿過部件放置裝置1。為了確定襯底5相對(duì)于傳輸導(dǎo)向器7和相對(duì)于部件拾取裝置2的位置，將襯底設(shè)置有多個(gè)標(biāo)記8。所述標(biāo)記8舉例來說可以呈十字形9、正方形10、圓形11、或圓的部分12的形狀，如圖2中所示。標(biāo)記8的數(shù)量?jī)?yōu)選為兩個(gè)或三個(gè)，盡管在某些情形下將使用數(shù)量更大或更小的標(biāo)記。標(biāo)記8通過設(shè)置在部件拾取單元2旁邊的相機(jī)13感測(cè)，此后，根據(jù)通過相機(jī)13記錄的圖像計(jì)算標(biāo)記8相對(duì)于部件放置單元2的位置。出現(xiàn)在裝置1中的處理器14用于此目的。通過處理器14也可確定標(biāo)記8相對(duì)于部件放置單元2的期望位置。此外，將待放置部件的部件放置位置儲(chǔ)存在處理器14中。可相對(duì)于處理器14中的標(biāo)記8的位置確定部件放置位置。隨后，處理器14根據(jù)所測(cè)量的標(biāo)記的位置確定相對(duì)于部件放置單元2的部件放置位置，此后，通過部件放置單元2將理想部件3放置在正在討論的部件放置位置6處。迄今為止所述的部件放置裝置1本身是已知的，因此，此處沒有詳細(xì)說明。
部件放置裝置1設(shè)置有根據(jù)本發(fā)明的裝置，用于將部件3放置在襯底5上之前，確定是否可能實(shí)現(xiàn)部件放置位置6的理想的位置精度。該裝置包括處理器14以及輸入單元14′，該輸入單元14′用于輸入關(guān)于標(biāo)記8的測(cè)量偏差的統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)。是否可實(shí)現(xiàn)理想的位置精度和是否可將部件以足夠的精度放置在部件放置位置6處尤其取決于可確定的標(biāo)記8的位置的精度、部件3可相對(duì)于部件放置單元2和相機(jī)13對(duì)準(zhǔn)的精度、部件3從部件供應(yīng)裝置4傳輸?shù)讲考胖梦恢?的精度、機(jī)器磨損、震動(dòng)等。
使用根據(jù)本發(fā)明的方法和裝置，在放置部件之前，對(duì)部件放置位置6的位置精度、從而可將部件設(shè)置在所述部件放置位置處的精度進(jìn)行估計(jì)。
使用三個(gè)標(biāo)記時(shí)標(biāo)記位置的偏差模型在其中三個(gè)標(biāo)記將通過相機(jī)13感測(cè)的情況下，襯底5和上面的標(biāo)記8的變形和移動(dòng)模型是線性的，其中該變形和移動(dòng)可用于變換相對(duì)于標(biāo)記8的期望位置的標(biāo)記8的測(cè)量位置。對(duì)于每個(gè)標(biāo)記，利用所述模型精確再現(xiàn)利用相機(jī)13確定標(biāo)記8的位置中的誤差。
可利用公式A根據(jù)標(biāo)記8的位置寫下隨機(jī)部件放置位置6的位置Q。在所述公式A中，Q是部件放置位置6的位置，P0、P1、和P2是三個(gè)標(biāo)記8的位置。
位置精度sQ可利用例如J.A.Rice的書《Mathematical Statisticsand Data Analysis》中描述的誤差傳播公式得到。根據(jù)此公式可確定，部件放置位置6的位置Q中的統(tǒng)計(jì)誤差sa與公式B相同。在所述公式中，spi是標(biāo)記i的統(tǒng)計(jì)測(cè)量偏差的s值。每個(gè)標(biāo)記i都具有其自己的spi值，它通過測(cè)量多個(gè)不同的相似襯底5上的同一標(biāo)記i確定。
圖3B分別以三維視圖和二維視圖示出兩個(gè)實(shí)例圖表，其中，所示出的估計(jì)的位置精度用于整個(gè)襯底5。從所述圖中顯然的是，位置精度在由標(biāo)記8限定的區(qū)域中為50-60μm，位置精度在周圍區(qū)域22中為60-70μm，位置精度在圍繞所述區(qū)域22的區(qū)域中為70-80μm，而位置精度在襯底5的左下角23中為80-90μm。利用形成根據(jù)本發(fā)明的裝置的部分的處理器14確定，在區(qū)域21-24中的部件放置位置的理想的位置精度是高于還是低于區(qū)域21-24中的期望的位置精度。
如果對(duì)于特定的部件放置位置，估計(jì)的位置精度低于理想的位置精度，則可能有多種解決方法。如果對(duì)于特定襯底、可用標(biāo)記、和可用部件放置裝置及所選擇的模型，不能實(shí)現(xiàn)正在討論的部件放置位置的理想的位置精度，則可警告用戶這種情況，從而后來可檢查所實(shí)現(xiàn)的位置精度。在沒有實(shí)現(xiàn)理想精度的情形下，可人工矯正襯底。
也可能將襯底5上的其它記號(hào)用作標(biāo)記8。例如，所述記號(hào)可以是為此目的特別設(shè)置在襯底5上的基準(zhǔn)標(biāo)記(fiducial mark)，如圖2中所示。然而，也可能使用呈現(xiàn)在襯底5上的導(dǎo)體圖案的部分。
并且，可能利用相機(jī)13記錄部件放置位置附近的區(qū)域或部件放置位置的區(qū)域的單獨(dú)的圖像，例如，對(duì)于將以非常高的精度放置部件的特定部件放置位置，據(jù)此，隨后確定哪個(gè)圖像位于相對(duì)于部件放置單元2的部件放置位置處。然而，這是耗時(shí)的，且僅對(duì)數(shù)量有限的以較高精度放置的部件是理想的。
在上述方法中，不僅考慮了在測(cè)量標(biāo)記的位置時(shí)出現(xiàn)的測(cè)量偏差。根據(jù)該方法，在部件放置位置6(位置Q)處的總的部件放置精度CPAQ利用公式C確定。在所述公式中，F(xiàn)IX表示誤差，如可從各個(gè)部件放置裝置的測(cè)量確定的，所有部件都發(fā)生該誤差。這種誤差舉例來說由校準(zhǔn)誤差造成。字母OTH表示專用于特定部件和特定部件放置位置Q的誤差，誤差OTH取決于部件3相對(duì)于部件拾取單元2的對(duì)準(zhǔn)，例如，在部件3從部件供應(yīng)裝置4移動(dòng)到部件放置位置6時(shí)出現(xiàn)的以統(tǒng)計(jì)方式確定的誤差。
使用三個(gè)標(biāo)記時(shí)標(biāo)記位置的偏差模型盡管優(yōu)選使用三個(gè)標(biāo)記，但在某些情形下僅有兩個(gè)標(biāo)記呈現(xiàn)在襯底5上，這些標(biāo)記可利用相機(jī)13感測(cè)?，F(xiàn)在，部件放置位置6的位置Q根據(jù)公式D用兩個(gè)標(biāo)記8的位置P0和Pi表示。就此而論假定，變換可由線性變換建模，變換的近似(fit)等于標(biāo)記的測(cè)量位置。
根據(jù)誤差傳播公式可推導(dǎo)出，部件放置位置6的位置Q通過公式E得到。假定標(biāo)記8的統(tǒng)計(jì)誤差的X值和Y值相等，則得到，每個(gè)標(biāo)記的統(tǒng)計(jì)誤差或統(tǒng)計(jì)測(cè)量偏差如公式F中所表示的。
圖3B示出整個(gè)襯底5上所估計(jì)的位置精度的三維和二維圖表，其中襯底5具有兩個(gè)標(biāo)記8。在標(biāo)記8之間的區(qū)域25中，部件放置位置的位置精度舉例來說是50-60μm。在圍繞所述區(qū)域25的區(qū)域26中，精度為60-70μm，而在圍繞所述區(qū)域26的區(qū)域27中，位置精度為70-80μm。根據(jù)這些圖表，可利用處理器14確定，是否可能在襯底5上的所有位置處實(shí)現(xiàn)理想的位置精度。
在上述中，仍然不允許在襯底和部件放置裝置1之間有各向異性伸長(zhǎng)的情形下出現(xiàn)的可能的各向異性誤差，其中在X方向上的伸長(zhǎng)Sx不等于在Y方向上的伸長(zhǎng)Sy。如果與所期望的襯底的矩形形狀相比，襯底已經(jīng)變形為平行四邊形形狀，則各向異性jx、jy也可發(fā)生在襯底5相對(duì)于部件放置裝置1的X-Y坐標(biāo)系統(tǒng)的轉(zhuǎn)動(dòng)位置的情形下。例如，可能計(jì)算實(shí)際的各向異性變換的結(jié)果和各向同性模型的變換之間的差別。為了計(jì)算部件放置位置6的位置Q中的各向異性誤差，假定變換已經(jīng)由線性變換建模，且標(biāo)記的變換結(jié)果等于標(biāo)記8的測(cè)量位置。為了計(jì)算各向異性誤差，在此模型中描述了標(biāo)記8的測(cè)量偏差等于零。接著可利用公式G確定各向異性偏差A(yù)nisQ。在公式G中，F(xiàn)x和Fy分別是兩個(gè)標(biāo)記P1-P0的歸一化的差別向量的X部分和Y部分。b表示從位置Q到兩個(gè)標(biāo)記8之間的線的距離。h22、h12、和h21是變換矩陣H的元素，該變換矩陣H用于將標(biāo)記8的期望位置變換為標(biāo)記8的測(cè)量位置。
從公式G中顯然的是，位置Q處的各向異性誤差與到通過標(biāo)記8的線的距離b成線性。通過利用伸長(zhǎng)各向異性sy-sx和轉(zhuǎn)動(dòng)各向異性jy-jx去除二次項(xiàng)(term)，可估計(jì)各向異性誤差，其中各向異性誤差A(yù)nisQ在公式H中示出。各向異性誤差的絕對(duì)值在公式J中示出。
圖3C示出三維和二維圖表，其中對(duì)于已經(jīng)相對(duì)于部件放置裝置1進(jìn)行了各向異性伸長(zhǎng)的襯底5，繪出期望的位置偏差，其中jx＝j(luò)y＝0，sx＝sy＝0.0004。如圖表所示出的，可在以標(biāo)記8為界的區(qū)域31中實(shí)現(xiàn)50-60μm的位置精度，而在離標(biāo)記8最遠(yuǎn)的區(qū)域38中可實(shí)現(xiàn)不高于120-130μm的位置精度。
在可測(cè)量?jī)蓚€(gè)標(biāo)記8的襯底5的情形下，為了確定總的部件放置精度CPAQ，必須使用公式K，公式K與用于三個(gè)標(biāo)記的公式C的不同之處在于，已經(jīng)將各向異性誤差的絕對(duì)值加到公式K中。
實(shí)際上，每次將優(yōu)選將估計(jì)的部件放置精度CPAQ與理想的部件放置精度進(jìn)行比較，以便能采取必要措施確保，在部件在襯底上的放置實(shí)際發(fā)生之前將部件以理想的精度設(shè)置在部件放置位置處。
例如，可根據(jù)“所允許的最小可能位置精度”或“所允許的最小理想位置精度”使標(biāo)記以及部件放置位置的選擇最優(yōu)化。在后一情形下，可能有其它優(yōu)化準(zhǔn)則，例如將部件放在襯底上的速度，襯底設(shè)計(jì)的更大的自由度等。就此而論，也可能將襯底分成片段，在此情形下，對(duì)于每個(gè)片段確定一組最優(yōu)標(biāo)記。
根據(jù)本發(fā)明的方法適于預(yù)先估計(jì)部件不正確放置的風(fēng)險(xiǎn)，優(yōu)化襯底上的標(biāo)記選擇、優(yōu)化襯底設(shè)計(jì)，這依賴于將給其上的襯底設(shè)置部件的部件放置機(jī)等。
也可能將根據(jù)本發(fā)明的裝置配置成分開的裝置，其與部件放置裝置分開。
也可能將該方法用于監(jiān)控整個(gè)部件放置過程，在此情形下，可提供例如關(guān)于放置每個(gè)部件的精度的信息給用戶。
公式A----Q=Σi=02(αi*Pi);Σi=02αi=1]]>σQ=Σi=02(αi2*σP12)]]>c------CPAQ=FIX+σQ2+OTH2]]>DQx-P0，x＝α1*(P1，x-P0，x)+α2*(P1，y-P0，y)Qy-P0，y＝α1*(P1，y-P0，y)-α2*(P1，x-P0，x)；Σi=01αi=1]]>E---σx,Q=(1-α1)2*σx,P02+α12*σx,P12+α22*σy,P02+α22*σy,P12]]>σy,Q=α22*σx,P02+α22*σx,P12+(1-α1)2*σy,P02+α12*σy,P12]]>F----σx,Q=σy,Q=((1-α1)2+α22)*σP02+(α12+α22)*σP12]]>G---AnisQ=β*((h22-h11)*FyFx+(h12+h21)*Fx-Fy)]]> K---CPAQ=|AnisQ|+FIX+σQ2+OTH2]]>
權(quán)利要求
1.一種用于估計(jì)襯底上的將放置部件的至少一個(gè)部件放置位置的方法，其中根據(jù)所述襯底上的至少一個(gè)標(biāo)記的位置估計(jì)所述部件放置位置，其特征在于-確定所述標(biāo)記的統(tǒng)計(jì)測(cè)量偏差，-之后，根據(jù)所述標(biāo)記的測(cè)量偏差估計(jì)所述襯底上的部件放置位置的位置精度，-隨后，將所述部件放置位置的估計(jì)的位置精度與預(yù)定的理想位置精度進(jìn)行比較，-之后，確定所述部件是否將以所述部件放置位置的估計(jì)位置精度放置在所述襯底上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，如果所述估計(jì)的位置精度低于所述理想的位置精度，則選擇至少一個(gè)其它的標(biāo)記，結(jié)果，所述估計(jì)的位置精度變得高于所述理想的位置精度。
3.根據(jù)以上權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于，如果所述固定的位置精度低于所述理想的位置精度，則將所述估計(jì)的位置精度傳送給用戶。
4.根據(jù)以上權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于，如果所述估計(jì)的位置精度低于所述理想的位置精度，則利用至少一個(gè)標(biāo)記確定所述部件放置位置，其中所述至少一個(gè)標(biāo)記離所述部件放置位置較近。
5.根據(jù)以上權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于，所述標(biāo)記是專門為確定位置設(shè)置的基準(zhǔn)標(biāo)記，或待放置所述部件的所述襯底上的導(dǎo)體圖案的一部分。
6.根據(jù)以上權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于，所述位置精度的估計(jì)包括至少使用誤差傳播公式。
7.根據(jù)以上權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于，在估計(jì)所述位置精度時(shí)考慮在部件放置裝置中對(duì)準(zhǔn)部件時(shí)出現(xiàn)的以統(tǒng)計(jì)方式確定的偏差。
8.根據(jù)以上權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于，在估計(jì)所述位置精度時(shí)考慮在襯底上放置部件時(shí)出現(xiàn)的以統(tǒng)計(jì)方式確定的偏差。
9.根據(jù)以上權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于，在根據(jù)兩個(gè)標(biāo)記估計(jì)所述位置精度時(shí)也考慮估計(jì)的各向異性誤差。
10.根據(jù)以上權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于，為了使上面將放置部件的不同部件放置位置盡可能地多，同時(shí)使待測(cè)量的標(biāo)記數(shù)量最小，通過使所述理想的位置精度低于所述估計(jì)的位置精度來選擇所述標(biāo)記。
11.根據(jù)以上權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于，根據(jù)測(cè)量標(biāo)記時(shí)的期望偏差、在部件放置裝置中對(duì)準(zhǔn)部件時(shí)出現(xiàn)的以統(tǒng)計(jì)方式確定的偏差、和在襯底上放置部件時(shí)出現(xiàn)的以統(tǒng)計(jì)方式確定的偏差，選擇所述襯底上的所述標(biāo)記的位置以及部件放置位置，使得對(duì)于每個(gè)部件放置位置，所述理想的位置精度低于所述估計(jì)的位置精度。
12.一種用于執(zhí)行根據(jù)以上權(quán)利要求之一所述的方法的裝置，其中所述裝置包括輸入單元，所述輸入單元用于輸入標(biāo)記的至少一個(gè)位置、每個(gè)標(biāo)記的統(tǒng)計(jì)測(cè)量偏差、以及襯底上的至少一個(gè)部件放置位置，所述裝置還包括處理單元，利用所述處理單元，可根據(jù)所述標(biāo)記的統(tǒng)計(jì)測(cè)量偏差估計(jì)所述襯底上的每個(gè)部件放置位置的位置精度，所述裝置還包括比較裝置，所述比較裝置用于將所述估計(jì)的位置精度與預(yù)定的理想位置精度進(jìn)行比較。
全文摘要
一種用于估計(jì)襯底(5)上將放置部件的至少一個(gè)部件放置位置的方法，其中根據(jù)襯底(5)上的至少一個(gè)標(biāo)記(8)的位置估計(jì)部件放置位置(6)，其特征在于，確定標(biāo)記(8)的統(tǒng)計(jì)測(cè)量偏差；之后，根據(jù)標(biāo)記(8)的測(cè)量偏差估計(jì)襯底(5)上的部件放置位置(6)的位置精度；隨后，將部件放置位置(6)的估計(jì)的位置精度與預(yù)定的理想位置精度進(jìn)行比較；之后，確定部件(3)是否將以部件放置位置(6)的估計(jì)位置精度放置在襯底(5)上。
文檔編號(hào)H05K13/04GK1655667SQ20051000903
公開日2005年8月17日 申請(qǐng)日期2005年2月16日 優(yōu)先權(quán)日2004年2月13日
發(fā)明者R·M·A·L·佩蒂特, A·德博克, J·M·M·維巴克 申請(qǐng)人:阿森姆布里昂股份有限公司