高動態(tài)范圍的彩色及灰度圖像傳感器的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種高動態(tài)范圍的彩色及灰度圖像傳感器。其中彩色圖像傳感器的每個像素單元從下到上依次包括:襯底、金屬層、顏色濾鏡層、微透鏡層,襯底和顏色濾鏡層之間至少開設有兩條光通道,不同光通道的底部設置具有不同光敏感度的感光單元,用于感測不同光通道中的入射光并輸出大小不同的電信號;金屬層向外圍電路傳輸每個感光單元輸出的與感測的入射光對應的電信號;顏色濾鏡層用于顏色還原以輸出彩色圖像,同一像素單元中不同光通道底部設置的感光單元對應顏色濾鏡層中不同的濾鏡;微透鏡層對進入光通道的入射光進行匯聚處理,同一像素單元中不同光通道底部設置的感光單元對應微透鏡層中不同的微透鏡。本申請獲得了高動態(tài)范圍的動態(tài)圖像。
【專利說明】高動態(tài)范圍的彩色及灰度圖像傳感器
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于圖像傳感器【技術(shù)領(lǐng)域】,具體地說,涉及一種高動態(tài)范圍的彩色及灰度圖像傳感器。
【背景技術(shù)】
[0002]圖像傳感器在民用和商業(yè)范疇內(nèi)得到了廣泛的應用。目前,圖像傳感器包括CMOS圖像傳感器(CMOS IMAGE SENSOR,以下簡稱CIS)和電荷耦合圖像傳感器(Charge-coupledDevice,以下簡稱CCD)。
[0003]在專業(yè)的科研和工業(yè)領(lǐng)域,具有高信噪比的CXD成為首選;在高端攝影攝像領(lǐng)域,能提供高圖像質(zhì)量的CCD也頗受青睞。CCD在網(wǎng)絡攝像頭和手機拍照模塊得到了廣泛應用。
[0004]CCD與CIS相比來說,前者功耗較高、集成難度較大,而后者功耗低、易集成且分辨率較高。雖然說,在圖像質(zhì)量方面CCD可能會優(yōu)于CIS,但是,隨著CIS技術(shù)的不斷提高,一部分CIS的圖像質(zhì)量已經(jīng)接近于同規(guī)格的CCD。
[0005]現(xiàn)有技術(shù)中,CIS中的像素陣列采用有源像素偵測結(jié)構(gòu)(Active Pixel Sensor,簡稱APS)。一個APS偵測結(jié)構(gòu)即一個像素單元包括一個具有特定光敏感度的感光二極管(Photo D1de,簡稱H)),導致圖像傳感器輸出動態(tài)范圍固定的圖像,當環(huán)境的光線強度不同時,無法實現(xiàn)動態(tài)范圍可變。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0006]本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種高動態(tài)范圍的彩色及灰度圖像傳感器,用以解決現(xiàn)有技術(shù)中當環(huán)境的光線強度不同時無法實現(xiàn)動態(tài)范圍可變的技術(shù)問題。
[0007]為了解決上述技術(shù)問題,本發(fā)明提供了一種具有高動態(tài)范圍的彩色圖像傳感器,其包括若干個像素單元,每個像素單元從下到上依次包括:襯底、金屬層、顏色濾鏡層、微透鏡層,所述襯底和所述顏色濾鏡層之間至少開設有兩條光通道,不同光通道的底部設置具有不同光敏感度的感光單兀,用于感測不同光通道中的入射光并輸出大小不同的電信號;所述金屬層用于向外圍電路傳輸每個感光單兀輸出的與感測的入射光對應的電信號;所述顏色濾鏡層用于顏色還原以輸出彩色圖像,同一像素單元中不同光通道底部設置的感光單元對應所述顏色濾鏡層中不同的濾鏡;所述微透鏡層用于對進入所述光通道的入射光進行匯聚處理,同一像素單元中不同光通道底部設置的感光單元對應所述微透鏡層中不同的微透鏡。
[0008]優(yōu)選地,在本發(fā)明的一實施例中,不同光通道具有不同的深度,不同光通道底部設置的具有不同光敏感度的感光單元處于不同的水平面上。
[0009]優(yōu)選地,在本發(fā)明的一實施例中,每個光通道中設置有一光纖,所述光纖的頂端設置在所述顏色濾鏡層的下表面,光纖的底端設置在感光單元的上表面,用于對光通道中傳送的入射光進行匯聚處理。
[0010]為了解決上述技術(shù)問題,本發(fā)明提供了一種具有高動態(tài)范圍的彩色圖像傳感器,其包括若干個像素單元,每個像素單元從下到上依次包括:金屬層、襯底、顏色濾鏡層、微透鏡層,所述襯底中至少開設有兩條光通道,不同光通道的底部設置具有不同光敏感度的感光單元,用于感測不同光通道中的入射光并輸出大小不同的電信號;所述金屬層用于向外圍電路傳輸每個感光單元輸出的與感測的入射光對應的電信號;所述顏色濾鏡層用于顏色還原以輸出彩色圖像,同一像素單元中不同光通道底部設置的感光單元對應所述顏色濾鏡層中不同的濾鏡;所述微透鏡層用于對進入所述光通道的入射光進行匯聚處理,同一像素單元中不同光通道底部設置的感光單元對應所述微透鏡層中不同的微透鏡。
[0011]為了解決上述技術(shù)問題,本發(fā)明提供了一種具有高動態(tài)范圍的灰度圖像傳感器,其包括若干個像素單元,每個像素單元從下到上依次包括:襯底、金屬層、微透鏡層,所述襯底和微透鏡層之間至少開設有兩條光通道,不同光通道的底部設置具有不同光敏感度的感光單元,用于感測不同光通道中的入射光并輸出大小不同的電信號;所述金屬層用于向外圍電路傳輸每個感光單兀輸出的與感測的入射光對應的電信號;所述微透鏡層包括至少兩個微透鏡,分別用于對進入不同光通道的入射光進行匯聚處理。
[0012]為了解決上述技術(shù)問題,本發(fā)明提供了一種具有高動態(tài)范圍的灰度圖像傳感器,其包括若干個像素單元,每個像素單元從下到上依次包括:金屬層、襯底、微透鏡層,所述襯底中至少開設有兩條光通道,不同光通道的底部設置具有不同光敏感度的感光單元,用于感測不同光通道中的入射光并輸出大小不同的電信號;所述金屬層用于向外圍電路傳輸每個感光單元輸出的與感測的入射光對應的電信號;所述微透鏡層包括至少兩個微透鏡,分別用于對進入不同光通道的入射光進行匯聚處理。
[0013]優(yōu)選地,在本發(fā)明的一實施例中,每個光通道中設置有一光纖,所述光纖的頂端設置在所述微透鏡層的下表面,光纖的底端設置在感光單元的上表面,用于對光通道中傳送的入射光進行匯聚處理。
[0014]與現(xiàn)有的方案相比,本發(fā)明中,由于每個像素包括至少兩條光通道,不同光通道的底部設置具有不同光敏感度的感光單元,用于感測不同光通道中的入射光并輸出大小不同的電信號,實質(zhì)上相當于每個像素至少包括兩個子像素,不同子像素輸出不同的電信號,從而可獲得聞動態(tài)范圍的動態(tài)圖像。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0015]圖1為本發(fā)明實施例一彩色圖像傳感器的平面示意圖;
[0016]圖2為本發(fā)明實施例一彩色圖像傳感器的剖視圖;
[0017]圖3為本發(fā)明實施例二彩色圖像傳感器的剖視圖;
[0018]圖4為本發(fā)明實施例三灰度圖像傳感器的平面示意圖;
[0019]圖5為本發(fā)明實施例三灰度圖像傳感器的剖視圖。
【具體實施方式】
[0020]以下結(jié)合附圖和優(yōu)選實施例對本發(fā)明的技術(shù)方案進行詳細地闡述。應該理解,以下列舉的實施例僅用于說明和解釋本發(fā)明,而不構(gòu)成對本發(fā)明技術(shù)方案的限制。
[0021]本發(fā)明的核心思想之一
[0022]針對正面照射式FSI彩色圖像傳感器,本發(fā)明下述實施例的核心思想在于,其包括若干個像素單元,每個像素單元從下到上依次包括:襯底、金屬層、顏色濾鏡層、微透鏡層,所述襯底和所述顏色濾鏡層之間至少開設有兩條光通道,不同光通道的底部設置具有不同光敏感度的感光單元,用于感測不同光通道中的入射光并輸出大小不同的電信號;所述金屬層用于向外圍電路傳輸每個感光單兀輸出的與感測的入射光對應的電信號;所述顏色濾鏡層用于顏色還原以輸出彩色圖像,同一像素單元中不同光通道底部設置的感光單元對應所述顏色濾鏡層中不同的濾鏡;所述微透鏡層用于對進入所述光通道的入射光進行匯聚處理,同一像素單元中不同光通道底部設置的感光單元對應所述微透鏡層中不同的微透鏡。
[0023]本發(fā)明的核心思想之二
[0024]針對背照射式BSI彩色圖像傳感器,本發(fā)明下述實施例的核心思想在于,其包括若干個像素單元,每個像素單元從下到上依次包括:金屬層、襯底、顏色濾鏡層、微透鏡層,所述襯底中至少開設有兩條光通道,不同光通道的底部設置具有不同光敏感度的感光單元,用于感測不同光通道中的入射光并輸出大小不同的電信號;所述金屬層用于向外圍電路傳輸每個感光單元輸出的與感測的入射光對應的電信號;所述顏色濾鏡層用于顏色還原以輸出彩色圖像,同一像素單元中不同光通道底部設置的感光單元對應所述顏色濾鏡層中不同的濾鏡;所述微透鏡層用于對進入所述光通道的入射光進行匯聚處理,同一像素單元中不同光通道底部設置的感光單元對應所述微透鏡層中不同的微透鏡。
[0025]本發(fā)明的核心思想之三
[0026]針對正面照射式FSI灰度圖像傳感器,本發(fā)明下述實施例的核心思想在于,其包括若干個像素單元,每個像素單元從下到上依次包括:襯底、金屬層、微透鏡層,所述襯底和微透鏡層之間至少開設有兩條光通道,不同光通道的底部設置具有不同光敏感度的感光單元,用于感測不同光通道中的入射光并輸出大小不同的電信號;所述金屬層用于向外圍電路傳輸每個感光單兀輸出的與感測的入射光對應的電信號;所述微透鏡層包括至少兩個微透鏡,分別用于對進入不同光通道的入射光進行匯聚處理。
[0027]本發(fā)明的核心思想之四
[0028]針對背照射式BSI彩色圖像傳感器,本發(fā)明下述實施例的核心思想在于,其包括若干個像素單元,每個像素單元從下到上依次包括:金屬層、襯底、微透鏡層,所述襯底中至少開設有兩條光通道,不同光通道的底部設置具有不同光敏感度的感光單元,用于感測不同光通道中的入射光并輸出大小不同的電信號;所述金屬層用于向外圍電路傳輸每個感光單元輸出的與感測的入射光對應的電信號;所述微透鏡層包括至少兩個微透鏡,分別用于對進入不同光通道的入射光進行匯聚處理。
[0029]本發(fā)明下述實施例中,以基于紅綠藍RGB三原色的BAYER模式圖像傳感器為例,對本發(fā)明的上述核心思想進行說明。需要說明的是,本發(fā)明的上述核心思想也可以應用到基于青色Cyan、品紅色Magenta、黃色Ye 11ow (CMYK)的圖像傳感器,或者其他模式的圖像傳感器,詳細在下述實施例中將不再另行贅述。
[0030]實施例一
[0031]圖1為本發(fā)明實施例一彩色圖像傳感器的平面示意圖;如圖1所示,本實施例中將同時配置兩個光敏感度不同的感光單元以及每個感光單元配置一個光纖,同時實現(xiàn)高動態(tài)范圍,以及匯聚光通道中的入射光以提高光的利用效率。圖1中以RGGB共計四個像素為例,分別縱向、橫向均勻排布,每個像素對應兩個感光單元如感光二極管ro1i和光纖102,這兩個感光單元的幾何中心沿著其所在像素的對角線對齊,且這兩個感光單元具有不同的光敏感度。兩個感光單元的均為正方形,邊長分別為dl、d2,dl大于d2。
[0032]需要說明的是,在本發(fā)明的另外一實施例中,也可以不同時設置光纖,即無圖1中所示的光纖102,詳細實施例將不再贅述。
[0033]圖2為本發(fā)明實施例一彩色圖像傳感器的剖視圖;如圖2所示,本實施例具體涉及正面照射式FSI圖像傳感器,其中每個像素單元從下到上依次包括:襯底201、金屬層202、顏色濾鏡層203、微透鏡層204。其中:
[0034]所述襯底201和所述顏色濾鏡層203之間開設有兩條光通道205,每個光通道205中設置有一光纖206,所述光纖206的頂端設置在所述顏色濾鏡層的下表面,光纖206的底端設置在感光單元207的上表面,用于對光通道205中傳送的入射光進行進行匯聚處理,避免偵測結(jié)構(gòu)表面的金屬材質(zhì)反射掉一部分入射光以及進入光通道205的入射光被金屬層中金屬布線反射,提高入射光的利用率。不同光通道205的底部設置具有不同光敏感度的感光單兀207,用于感測不同光通道205中的入射光并輸出大小不同的電信號。
[0035]本實施例中,不同光通道205具有不同的深度,不同光通道205底部設置的具有不同光敏感度的感光單元207處于不同的水平面上,從而使具有不同光敏感度的感光單元207獲得相同的入射光強度。比如,光敏感度較小即動態(tài)范圍較大的感光單元207位于較低的水平面,而光敏感度較大即動態(tài)范圍較小的感光單元207位于較高的水平面。
[0036]本實施例中,由于是正面照射式FSI彩色圖像傳感器,光通道205實際縱向穿越襯底201、金屬層202。
[0037]所述金屬層202用于向外圍電路傳輸每個感光單兀207輸出的與感測的入射光對應的電信號。本實施例中,金屬層202實際包括若干層金屬布線,該金屬布線具體嵌在一作為中間層的半導體層如氧化硅層200中。
[0038]所述顏色濾鏡層203用于顏色還原以輸出彩色圖像,同一像素單元中不同光通道205底部設置的感光單元207對應所述顏色濾鏡層203中不同的濾鏡213 ;
[0039]本實施例中,顏色微透鏡層203包括分別對紅色red、綠色green、藍色blue進行還原的濾鏡,每個像素對應設置對某一特定顏色進行還原的濾鏡。
[0040]本實施例中,所述顏色濾鏡層203中每一個顏色濾鏡的幾何中心與所述襯底201對應設置的感光單元207幾何中心重疊。進一步地,所述光纖橫向剖面的幾何中心均與所述顏色濾鏡層203中每一個顏色濾鏡的幾何中心、所述襯底201中對應設置的感光單元207的幾何中心重疊。
[0041]所述微透鏡層204用于對進入所述光通道205的入射光進行匯聚處理,同一像素單元中不同光通道底部設置的感光單元207對應所述微透鏡層204中不同的微透鏡214。
[0042]實施例二
[0043]圖3為本發(fā)明實施例二彩色圖像傳感器的剖視圖;如圖3所示,本實施例具體涉及背照射式BSI圖像傳感器,其中每個像素單元從下到上依次包括:金屬層202、襯底201、顏色濾鏡層203、微透鏡層204。與上述實施例不同之處在于,金屬層202位于襯底201之下,具體地:
[0044]所述襯底201和所述顏色濾鏡層203之間開設有兩條光通道205,每個光通道205中設置有一光纖206,所述光纖206的頂端設置在所述顏色濾鏡層的下表面,光纖206的底端設置在感光單元207的上表面,用于對光通道205中傳送的入射光進行匯聚處理,避免偵測結(jié)構(gòu)表面的金屬材質(zhì)反射掉一部分入射光以及進入光通道205的入射光被金屬層中金屬布線反射,提高入射光的利用率。不同光通道205的底部設置具有不同光敏感度的感光單元207,用于感測不同光通道205中的入射光并輸出大小不同的電信號。
[0045]本實施例中,不同光通道205具有不同的深度,不同光通道205底部設置的具有不同光敏感度的感光單元207處于不同的水平面上,從而使具有不同光敏感度的感光單元207獲得相同的入射光強度。比如,光敏感度較小即動態(tài)范圍較大的感光單元207位于較低的水平面,而光敏感度較大即動態(tài)范圍較小的感光單元207位于較高的水平面。
[0046]本實施例中,由于是背照射式BSI彩色圖像傳感器,光通道205實際設置在襯底201和顏色濾鏡層203之間,金屬層202中無任何光通道。
[0047]所述金屬層202用于向外圍電路傳輸每個感光單兀207輸出的與感測的入射光對應的電信號。本實施例中,金屬層202實際包括若干層金屬布線,該金屬布線具體嵌在一作為中間層的半導體層如氧化硅層200中。
[0048]所述顏色濾鏡層203用于顏色還原以輸出彩色圖像,同一像素單元中不同光通道205底部設置的感光單元207對應所述顏色濾鏡層203中不同的濾鏡213 ;
[0049]所述微透鏡層204用于對進入所述光通道205的入射光進行匯聚處理,同一像素單元中不同光通道底部設置的感光單元207對應所述微透鏡層204中不同的微透鏡214。
[0050]在本發(fā)明的另外一實施例中,如果使用灰度圖像傳感器,則去除顏色濾鏡層,無論是正面照射式FSI或者背照式BSI圖像傳感器來說,光通道設置在襯底和微透鏡層之間,兩者的區(qū)別在于前者在金屬層對應有光通道,而后者由于金屬層在襯底之下,因此金屬層中無光通道。詳細本申請實施例將不再詳細贅述。
[0051]實施例三
[0052]圖4為本發(fā)明實施例三灰度圖像傳感器的平面示意圖;如圖4所示,本實施例具體涉及背面照射式BSI圖像傳感器,與上述實施例配置兩個光敏感度不同的感光單元不同的是,本實施例中將同時配置三個光敏感度不同的感光單元以及每個感光單元配置一個光纖,同時實現(xiàn)高動態(tài)范圍,以及匯聚光通道中的入射光以提高光的利用效率。圖4中以RGGB共計四個像素為例,分別縱向、橫向均勻排布,每個像素對應三個感光單元如感光二極管PDlOl和光纖102,這三個感光單元的幾何中心沿著其所在像素的對角線對齊以及水平對齊,且這三個感光單元具有不同的光敏感度。三個感光單元的面積從大到小依次為dl、d2、d3。dl與d2對應的感光單元的幾何中心沿著其所在像素的對角線對齊,dl與d2對應的感光單元的幾何中心水平對齊,d2與d3對應的感光單元的幾何中心垂直對齊。
[0053]圖5為本發(fā)明實施例三灰度圖像傳感器的剖視圖;如圖5所示與上述圖2所示實施例不同的是,本實施例涉及背照式BIS圖像傳感器,以及開設有三條光通道205。
[0054]每個像素單元從下到上依次仍然包括:金屬層202、襯底201、微透鏡層204。其中:
[0055]所述襯底201和微透鏡層204之間開設有三條光通道205,每個光通道205中設置有一光纖206,共計三條光纖,每個光纖206的頂端設置在所述微透鏡層204的下表面,光纖206的底端設置在感光單元207的上表面,用于對光通道205中傳送的入射光進行匯聚處理。不同光通道205的底部設置具有不同光敏感度的感光單元207,用于感測不同光通道205中的入射光并輸出大小不同的電信號。
[0056]本實施例中,不同光通道205具有不同的深度,不同光通道205底部設置的具有不同光敏感度的感光單元207處于不同的水平面上,從而使具有不同光敏感度的感光單元207獲得相同的入射光強度,即在襯底的垂直方向上堆疊不同光敏感度的感光單元。比如,邊長為dl的感光單元207位于中間的水平面,邊長為d2的感光單元207位于最高的水平面,邊長為d3的感光單元207位于最低的水平面。這三個感光單元可以在相同的光照條件下輸出三種不同大小等級的信號,從而可以獲得高動態(tài)范圍的灰度圖像。
[0057]所述金屬層202用于向外圍電路傳輸每個感光單兀207輸出的與感測的入射光對應的電信號。本實施例中,金屬層202實際包括若干層金屬布線,該金屬布線具體嵌在一作為中間層的半導體層如氧化硅層200中。
[0058]所述微透鏡層204用于對進入所述光通道205的入射光進行匯聚處理,同一像素單元中不同光通道底部設置的感光單元207對應所述微透鏡層中不同的微透鏡。
[0059]需要說明的是,在本實施例三的基礎(chǔ)上,在微透鏡層和襯底之間增加一顏色濾鏡層,從而形成可形成彩色圖像的彩色圖像傳感器,形成另外一實施例。與上述實施例三不同的是,光通道和光纖設置在襯底和顏色濾鏡層之間。對于背照式BSI和正面照射式FSI圖像傳感器來說,前者金屬層在襯底之下,而后者襯底在金屬層之下。本申請實施例將不再贅述。
[0060]本申請的上述實施例中,由于每個像素包括至少兩條光通道,不同光通道的底部設置具有不同光敏感度的感光單元,用于感測不同光通道中的入射光并輸出大小不同的電信號,實質(zhì)上相當于每個像素至少包括兩個子像素,不同子像素輸出不同的電信號,從而可獲得聞動態(tài)范圍的動態(tài)圖像
[0061]上述說明示出并描述了本發(fā)明的若干優(yōu)選實施例,但如前所述,應當理解本發(fā)明并非局限于本文所披露的形式,不應看作是對其他實施例的排除,而可用于各種其他組合、修改和環(huán)境,并能夠在本文所述發(fā)明構(gòu)想范圍內(nèi),通過上述教導或相關(guān)領(lǐng)域的技術(shù)或知識進行改動。而本領(lǐng)域人員所進行的改動和變化不脫離本發(fā)明的精神和范圍,則都應在本發(fā)明所附權(quán)利要求的保護范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種具有高動態(tài)范圍的彩色圖像傳感器,其特征在于,包括若干個像素單元,每個像素單元從下到上依次包括:襯底、金屬層、顏色濾鏡層、微透鏡層,所述襯底和所述顏色濾鏡層之間至少開設有兩條光通道,不同光通道的底部設置具有不同光敏感度的感光單元,用于感測不同光通道中的入射光并輸出大小不同的電信號;所述金屬層用于向外圍電路傳輸每個感光單元輸出的與感測的入射光對應的電信號;所述顏色濾鏡層用于顏色還原以輸出彩色圖像,同一像素單元中不同光通道底部設置的感光單元對應所述顏色濾鏡層中不同的濾鏡;所述微透鏡層用于對進入所述光通道的入射光進行匯聚處理,同一像素單元中不同光通道底部設置的感光單元對應所述微透鏡層中不同的微透鏡。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的圖像傳感器,其特征在于,不同光通道具有不同的深度,不同光通道底部設置的具有不同光敏感度的感光單元處于不同的水平面上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的圖像傳感器,其特征在于,每個光通道中設置有一光纖,所述光纖的頂端設置在所述顏色濾鏡層的下表面,光纖的底端設置在感光單元的上表面,用于對光通道中傳送的入射光進行匯聚處理。
4.一種具有高動態(tài)范圍的彩色圖像傳感器,其特征在于,包括若干個像素單元,每個像素單元從下到上依次包括:金屬層、襯底、顏色濾鏡層、微透鏡層,所述襯底中至少開設有兩條光通道,不同光通道的底部設置具有不同光敏感度的感光單元,用于感測不同光通道中的入射光并輸出大小不同的電信號;所述金屬層用于向外圍電路傳輸每個感光單元輸出的與感測的入射光對應的電信號;所述顏色濾鏡層用于顏色還原以輸出彩色圖像,同一像素單元中不同光通道底部設置的感光單元對應所述顏色濾鏡層中不同的濾鏡;所述微透鏡層用于對進入所述光通道的入射光進行匯聚處理,同一像素單元中不同光通道底部設置的感光單元對應所述微透鏡層中不同的微透鏡。
5.一種具有高動態(tài)范圍的灰度圖像傳感器,其特征在于,包括若干個像素單元,每個像素單元從下到上依次包括:襯底、金屬層、微透鏡層,所述襯底中至少開設有兩條光通道,不同光通道的底部設置具有不同光敏感度的感光單元,用于感測不同光通道中的入射光并輸出大小不同的電信號;所述金屬層用于向外圍電路傳輸每個感光單兀輸出的與感測的入射光對應的電信號;所述微透鏡層包括至少兩個微透鏡,分別用于對進入不同光通道的入射光進行匯聚處理。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的圖像傳感器,其特征在于,每個光通道中設置有一光纖,所述光纖的頂端設置在所述微透鏡層的下表面,光纖的底端設置在感光單元的上表面,用于對光通道中傳送的入射光進行匯聚處理。
7.一種具有高動態(tài)范圍的灰度圖像傳感器,其特征在于,包括若干個像素單元,每個像素單元從下到上依次包括:金屬層、襯底、微透鏡層,所述襯底中至少開設有兩條光通道,不同光通道的底部設置具有不同光敏感度的感光單元,用于感測不同光通道中的入射光并輸出大小不同的電信號;所述金屬層用于向外圍電路傳輸每個感光單兀輸出的與感測的入射光對應的電信號;所述微透鏡層包括至少兩個微透鏡,分別用于對進入不同光通道的入射光進行匯聚處理。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的圖像傳感器,其特征在于,每個光通道中設置有一光纖,所述光纖的頂端設置在所述微透鏡層的下表面,光纖的底端設置在感光單元的上表面,用于對光通道中傳送的入射光進行匯聚處理。
【文檔編號】H04N9/04GK104079903SQ201410338548
【公開日】2014年10月1日 申請日期:2014年7月16日 優(yōu)先權(quán)日:2014年7月16日
【發(fā)明者】陳嘉胤 申請人:上海集成電路研發(fā)中心有限公司