半導體芯片生產(chǎn)用化學品在線加熱器的制造方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種半導體芯片生產(chǎn)用化學品在線加熱器，包括：化學品加熱輸送管道，所述化學品加熱輸送管道具有進料口和出料口；設置在所述化學品加熱輸送管道內(nèi)的若干電爐加熱絲，所述外圍設置有第一傳熱層；設置在所述化學品加熱輸送管道內(nèi)的溫度控制傳感器，所述溫度控制傳感器外圍設置有第二傳熱層；設置在所述化學品加熱輸送管道內(nèi)表面的耐高溫隔熱層。本實用新型的有益效果在于：利用電爐加熱絲加熱，且設置有傳熱層，避免電爐加熱絲和溫度控制傳感器直接接觸化學品，防止電爐加熱絲和溫度控制傳感器老化，同時也防止避免污染化學品，保障化學品潔凈度，降低成本，易于制造，達到安全可靠、節(jié)能環(huán)保目的。
【專利說明】
半導體芯片生產(chǎn)用化學品在線加熱器
技術(shù)領(lǐng)域
[0001 ]本實用新型涉及一種半導體芯片生產(chǎn)用化學品在線加熱器。
【背景技術(shù)】
[0002]半導體芯片在生產(chǎn)過程中需要用到化學品加熱，當前化學品加熱是把電爐絲加熱器直接放置在化學品中加熱，或者是通過加熱水，利用管路循環(huán)在化學品中間接加熱，主要存在以下缺陷:1、直接投放加熱器，加熱器容易老化和損壞;2、加熱器表面潔凈度達不到要求，會給化學品造成污染，影響芯片的良率或者直接報廢;3、用水或者其他介質(zhì)通過管路間接加熱，消耗能耗大，濕度控制精度差，影響芯片生產(chǎn)良率或者直接報廢。
【實用新型內(nèi)容】
[0003]本實用新型的目的在于針對現(xiàn)有技術(shù)的上述不足和缺陷，提供一種半導體芯片生產(chǎn)用化學品在線加熱器，以解決上述問題。
[0004]本實用新型所解決的技術(shù)問題可以采用以下技術(shù)方案來實現(xiàn):
[0005]半導體芯片生產(chǎn)用化學品在線加熱器，其特征在于，包括:
[0006]化學品加熱輸送管道，所述化學品加熱輸送管道具有進料口和出料口；
[0007]設置在所述化學品加熱輸送管道內(nèi)的若干電爐加熱絲，所述外圍設置有第一傳熱層；
[0008]設置在所述化學品加熱輸送管道內(nèi)的溫度控制傳感器，所述溫度控制傳感器外圍設置有第二傳熱層；
[0009]設置在所述化學品加熱輸送管道內(nèi)表面的耐高溫隔熱層。
[0010]在本實用新型的一個優(yōu)選實施例中，還包括包覆在所述化學品加熱輸送管道外表面的保護罩。
[0011]在本實用新型的一個優(yōu)選實施例中，所述化學品加熱輸送管道為石英管道。
[0012]在本實用新型的一個優(yōu)選實施例中，所述電爐加熱絲為三根，且與所述化學品加熱輸送管道平行設置，三根電爐加熱絲周向均布在所述化學品加熱輸送管道內(nèi)，所述化學品加熱輸送管道內(nèi)設置有支撐三根電爐加熱絲的三腳支架。
[0013]在本實用新型的一個優(yōu)選實施例中，所述進料口和出料口分別設置在所述化學品加熱輸送管道的兩端，且所述進料口和出料口設置有環(huán)形卡槽。
[0014]由于采用了如上的技術(shù)方案，本實用新型的有益效果在于:利用電爐加熱絲加熱，且設置有傳熱層，避免電爐加熱絲和溫度控制傳感器直接接觸化學品，防止電爐加熱絲和溫度控制傳感器老化，同時也防止避免污染化學品，保障化學品潔凈度，降低成本，易于制造，達到安全可靠、節(jié)能環(huán)保目的。
【附圖說明】
[0015]為了更清楚地說明本實用新型實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0016]圖1是本實用新型一種實施例的主視圖。
[0017]圖2是圖1的左視圖。
[0018]圖3是圖1的右視圖。
【具體實施方式】
[0019]為了使本實用新型實現(xiàn)的技術(shù)手段、創(chuàng)作特征、達成目的與功效易于明白了解，下面進一步闡述本實用新型。
[0020]參見圖1至圖3所示的半導體芯片生產(chǎn)用化學品在線加熱器，包括化學品加熱輸送管道100，為了保證化學品加熱輸送管道100具有良好的加熱性能以及耐腐蝕性，本實施例中的化學品加熱輸送管道100為石英管道。在化學品加熱輸送管道100的兩端外側(cè)分別設置有進料口 110和出料口 120，進料口 110和出料口 120上分別設置有環(huán)形卡槽111、121，保證連接的密封性。
[0021]在化學品加熱輸送管道100內(nèi)設置有若干電爐加熱絲200，為了防止電爐加熱絲200直接和與化學品接觸，電爐加熱絲200外圍設置有第一傳熱層210。為了使得化學品加熱輸送管道100內(nèi)加熱充分且均勾，電爐加熱絲200為三根，且與化學品加熱輸送管道100平行設置，三根電爐加熱絲200周向均布在化學品加熱輸送管道100內(nèi)，化學品加熱輸送管道100內(nèi)設置有支撐三根電爐加熱絲200的三腳支架130。
[0022]在化學品加熱輸送管道100內(nèi)設置有溫度控制傳感器300，為了防止溫度控制傳感器300直接和與化學品接觸，溫度控制傳感器300外圍設置有第二傳熱層310。
[0023]在化學品加熱輸送管道100內(nèi)表面設置有耐高溫隔熱層140，避免化學品加熱輸送管道100內(nèi)的高溫外泄，達到節(jié)能效果。
[0024]在化學品加熱輸送管道100的外表面包覆有保護罩(圖中未示出)，保證使用人員的安全。
[0025]本實用新型利用電爐加熱絲200加熱，且設置有傳熱層，避免電爐加熱絲200和溫度控制傳感器300直接接觸化學品，防止電爐加熱絲200和溫度控制傳感器300老化，同時也防止避免污染化學品，保障化學品潔凈度，降低成本，易于制造，達到安全可靠、節(jié)能環(huán)保目的。
[0026]以上顯示和描述了本實用新型的基本原理和主要特征和本實用新型的優(yōu)點。本行業(yè)的技術(shù)人員應該了解，本實用新型不受上述實施例的限制，上述實施例和說明書中描述的只是說明本實用新型的原理，在不脫離本實用新型精神和范圍的前提下，本實用新型還會有各種變化和改進，這些變化和改進都落入要求保護的本實用新型范圍內(nèi)。本實用新型要求保護范圍由所附的權(quán)利要求書及其等效物界定。
【主權(quán)項】
1.半導體芯片生產(chǎn)用化學品在線加熱器，其特征在于，包括: 化學品加熱輸送管道，所述化學品加熱輸送管道具有進料口和出料口； 設置在所述化學品加熱輸送管道內(nèi)的若干電爐加熱絲，所述電爐加熱絲外圍設置有第一傳熱層； 設置在所述化學品加熱輸送管道內(nèi)的溫度控制傳感器，所述溫度控制傳感器外圍設置有第二傳熱層； 設置在所述化學品加熱輸送管道內(nèi)表面的耐高溫隔熱層。2.如權(quán)利要求1所述的半導體芯片生產(chǎn)用化學品在線加熱器，其特征在于，還包括包覆在所述化學品加熱輸送管道外表面的保護罩。3.如權(quán)利要求1所述的半導體芯片生產(chǎn)用化學品在線加熱器，其特征在于，所述化學品加熱輸送管道為石英管道。4.如權(quán)利要求1所述的半導體芯片生產(chǎn)用化學品在線加熱器，其特征在于，所述電爐加熱絲為三根，且與所述化學品加熱輸送管道平行設置，三根電爐加熱絲周向均布在所述化學品加熱輸送管道內(nèi)，所述化學品加熱輸送管道內(nèi)設置有支撐三根電爐加熱絲的三腳支架。5.如權(quán)利要求1所述的半導體芯片生產(chǎn)用化學品在線加熱器，其特征在于，所述進料口和出料口分別設置在所述化學品加熱輸送管道的兩端，且所述進料口和出料口設置有環(huán)形卡槽。
【文檔編號】H05B3/02GK205430635SQ201521076783
【公開日】2016年8月3日
【申請日】2015年12月21日
【發(fā)明人】陳景韶
【申請人】上海提牛機電設備有限公司