彈性波裝置的制造方法
【專利說明】彈性波裝置
[0001]本申請是申請日為2011年11月07日、題為“彈性波裝置”的發(fā)明專利申請201180053296.8的分案申請，該母案申請對應于2011年11月07日提交的具有相同發(fā)明名稱的國際申請PCT/JP2011/006181。
技術領域
[0002]本發(fā)明主要涉及在移動體通信設備等中使用的彈性波裝置。
【背景技術】
[0003]近年來，在便攜式電話等中，具備通過頻帶不同的多個高頻濾波器的彈性波裝置經(jīng)常被使用。
[0004]圖10是現(xiàn)有的彈性波裝置100的電路圖。
[0005]在圖10中，彈性波裝置100具有不平衡一平衡轉(zhuǎn)換型的低頻側(cè)濾波器2和不平衡一平衡轉(zhuǎn)換型的高頻側(cè)濾波器3，不平衡一平衡轉(zhuǎn)換型的低頻側(cè)濾波器2和不平衡一平衡轉(zhuǎn)換型的高頻側(cè)濾波器3設置在由壓電體單晶構成的壓電基板1上。低頻側(cè)濾波器2具有中心頻率相對低的通過頻帶。高頻側(cè)濾波器3具有中心頻率相對高的通過頻帶。在低頻側(cè)濾波器2和高頻側(cè)濾波器3中構成為，分別在不平衡端子4與平衡端子5之間串聯(lián)連接有縱向耦合型彈性波諧振器6和雙端子彈性波諧振器7。在與彈性波裝置100的低頻側(cè)濾波器2連接的平衡端子5和與高頻側(cè)濾波器3連接的平衡端子5上連接著其他的電子電路。彈性波裝置100進行不同的多個頻帶的電信號的過濾。
[0006]此外，作為與現(xiàn)有的彈性波裝置100有關的現(xiàn)有技術文獻信息，已知例如專利文獻1。
[0007]在使用這樣的現(xiàn)有的彈性波裝置100的通信裝置中，將與平衡端子5連接的電子電路通用化，有小型化、低成本化的傾向。例如，要求將與低頻側(cè)濾波器2連接的平衡端子5和與高頻側(cè)濾波器3連接的平衡端子5通用化。
[0008]在現(xiàn)有的彈性波裝置100中，在將平衡端子5通用化的情況下，低頻側(cè)濾波器2和高頻側(cè)濾波器3經(jīng)由平衡端子5連接。因此，平衡端子5側(cè)的低頻側(cè)濾波器2、高頻側(cè)濾波器3分別彼此受到阻抗的影響，隔離劣化。另外，由于低頻側(cè)濾波器2、高頻側(cè)濾波器3的阻抗的不匹配，導致插入損失增加，均衡降低。其結(jié)果是，彈性波裝置100的電氣特性劣化。
[0009]現(xiàn)有技術文獻
[0010]專利文獻
[0011]專利文獻1:國際公開第2008/096514號

【發(fā)明內(nèi)容】

[0012]本發(fā)明所涉及的彈性波裝置具有:具有低頻側(cè)通過頻帶的低頻側(cè)濾波器；具有高頻側(cè)通過頻帶的高頻側(cè)濾波器；以及第1和第2平衡端子。低頻側(cè)濾波器與第1不平衡端子連接。低頻側(cè)通過頻帶是從第1最小頻率至第1最大頻率的頻帶。高頻側(cè)濾波器與第2不平衡端子連接。高頻側(cè)頻帶是從第2最小頻率至第2最大頻率的頻帶。第1和第2平衡端子與低頻側(cè)和高頻側(cè)濾波器共同連接。低頻側(cè)濾波器具有:第1縱向耦合型彈性波諧振器；以及與第1縱向耦合型彈性波諧振器串聯(lián)連接的第1雙端子彈性波諧振器。第1雙端子彈性波諧振器的反諧振頻率設定為比第1最大頻率高且比第2最小頻率低。
[0013]該彈性波裝置抑制信號向另一方濾波器的混入，使通過頻帶中的阻抗的匹配提尚ο
[0014]具體來講，根據(jù)一個實施方式，本發(fā)明涉及一種彈性波裝置，其具備:第1不平衡端子和第2不平衡端子；第1平衡端子和第2平衡端子；高頻濾波器，其具有:第1縱向耦合型彈性波諧振器，其與所述第1不平衡端子連接；第1雙端子彈性波諧振器，其串聯(lián)連接在所述第1縱向耦合型彈性波諧振器和所述第1平衡端子之間；以及第2雙端子彈性波諧振器，其串聯(lián)連接在所述第1縱向耦合型彈性波諧振器和所述第2平衡端子之間，所述高頻濾波器具有第1最小頻率至第1最大頻率的高頻通過頻帶；以及低頻濾波器，其具有:第2縱向耦合型彈性波諧振器，其與所述第2不平衡端子連接；第3雙端子彈性波諧振器，其串聯(lián)連接在所述第2縱向耦合型彈性波諧振器和所述第1平衡端子之間；以及第4雙端子彈性波諧振器，其串聯(lián)連接在所述第2縱向耦合型彈性波諧振器和所述第2平衡端子之間，所述低頻濾波器具有第2最小頻率至比所述第1最小頻率低的第2最大頻率的低頻通過頻帶，所述第3雙端子彈性波諧振器的反諧振頻率和所述第4雙端子彈性波諧振器的反諧振頻率的至少一方處于所述第2最大頻率和所述第1最小頻率之間。
[0015]根據(jù)另一實施方式，本發(fā)明涉及一種彈性波裝置，其具備:第1不平衡端子和第2不平衡端子；第1平衡端子和第2平衡端子；高頻濾波器，其具有:第1縱向耦合型彈性波諧振器，其與所述第1不平衡端子連接；第1雙端子彈性波諧振器和第2雙端子彈性波諧振器，其串聯(lián)連接在所述第1縱向耦合型彈性波諧振器和所述第1平衡端子之間；第3雙端子彈性波諧振器和第4雙端子彈性波諧振器，其串聯(lián)連接在所述第1縱向耦合型彈性波諧振器和所述第2平衡端子之間，所述高頻濾波器具有第1最小頻率至第1最大頻率的高頻通過頻帶；以及電容元件，其被連接在第1連接點和第2連接點之間，所述第1連接點處于所述第1雙端子彈性波諧振器和所述第2雙端子彈性波諧振器之間，并且所述第2連接點處于所述第3雙端子彈性波諧振器和所述第4雙端子彈性波諧振器之間；以及低頻濾波器，其具有:第2縱向耦合型彈性波諧振器，其與所述第2不平衡端子連接；第5雙端子彈性波諧振器和第6雙端子彈性波諧振器，其串聯(lián)連接在所述第2縱向耦合型彈性波諧振器和所述第1平衡端子之間；以及第7雙端子彈性波諧振器和第8雙端子彈性波諧振器，其串聯(lián)連接在所述第2縱向耦合型彈性波諧振器和所述第2平衡端子之間，所述低頻濾波器具有第2最小頻率至比所述第1最小頻率低的第2最大頻率的低頻通過頻帶，所述第5雙端子彈性波諧振器、所述第6雙端子彈性波諧振器、所述第7雙端子彈性波諧振器和所述第8雙端子彈性波諧振器中的至少一方的反諧振頻率處于所述第2最大頻率和所述第1最小頻率之間，并且所述高頻濾波器的相對帶寬窄于所述低頻濾波器的相對帶寬。
【附圖說明】
[0016]圖1Α是實施方式1中的彈性波裝置的電路圖。
[0017]圖1Β是比較例的彈性波裝置的電路圖。
[0018]圖2A是實施方式1中的實施例和比較例各自的彈性波裝置的雙端子彈性波諧振器的通過特性的概念圖。
[0019]圖2B是對實施方式1中的彈性波裝置和比較例的彈性波裝置各自的雙端子彈性波諧振器的諧振頻率、反諧振頻率的值進行比較的圖。
[0020]圖3A是實施方式1和比較例中的彈性波裝置的駐波比特性圖。
[0021]圖3B是實施方式1和比較例中的彈性波裝置的駐波比特性圖。
[0022]圖4是實施方式1和比較例中的彈性波裝置的駐波比特性圖。
[0023]圖5A是實施方式1和比較例中的彈性波裝置的通過特性圖。
[0024]圖5B是實施方式1和比較例中的彈性波裝置的通過特性圖。
[0025]圖6A是實施方式1和比較例中的彈性波裝置的振幅平衡特性圖。
[0026]圖6B是實施方式1和比較例中的彈性波裝置的振幅平衡特性圖。
[0027]圖7A是實施方式1和比較例中的彈性波裝置的相位平衡特性圖。
[0028]圖7B是實施方式1和比較例中的彈性波裝置的相位平衡特性圖。
[0029]圖8是實施方式1中的其他的彈性波裝置的電路圖。
[0030]圖9是實施方式2中的彈性波裝置的電路圖。
[0031]圖10是現(xiàn)有的彈性波裝置的電路圖。
【具體實施方式】
[0032](實施方式1)
[0033]一邊參照附圖一邊對實施方式1中的彈性波裝置101進行說明。
[0034]圖1A是實施方式1中的彈性波裝置101的電路圖。在圖1A中，彈性波裝置101具有:低頻側(cè)濾波器12，其配置于壓電基板11上，具有中心頻率相對低的低頻側(cè)通過頻帶PB1 ;以及高頻側(cè)濾波器13，其具有中心頻率相對高的高頻側(cè)通過頻帶PB2。彈性波裝置101具有第1不平衡端子14、第2不平衡端子15、第1平衡端子16以及第2平衡端子17。不平衡端子14與低頻側(cè)濾波器12連接。不平衡端子15與高頻側(cè)濾波器13連接。平衡端子
16、17與低頻側(cè)濾波器12和高頻側(cè)濾波器13兩者連接。
[0035]低頻側(cè)濾波器12具有第1縱向耦合型彈性波諧振器18、第1第1級雙端子彈性波諧振器19以及第1第2級雙端子彈性波諧振器20。縱向耦合型彈性波諧振器18與不平衡端子14連接。雙端子彈性波諧振器19和雙端子彈性波諧振器20在縱向耦合型彈性波諧振器18與平衡端子16之間相互串聯(lián)連接。低頻側(cè)濾波器12還具有第2第1級雙端子彈性波諧振器21和第2第2級雙端子彈性波諧振器22。雙端子彈性波諧振器21和雙端子彈性波諧振器22在縱向耦合型彈性波諧振器18與平衡端子17之間相互串聯(lián)連接。
[0036]高頻側(cè)濾波器13具有第2縱向耦合型彈性波諧振器23、第3第1級雙端子彈性波諧振器24以及第3第2級雙端子彈性波諧振器25。第2縱向耦合型彈性波諧振器23與第2不平衡端子15連接。第1級雙端子彈性波諧振器24和第2級雙端子彈性波諧振器25在縱向耦合型彈性波諧振器23與平衡端子16之間在連接點40相互串聯(lián)連接。高頻側(cè)濾波器13還具有第4第1級雙端子彈性波諧振器26和第4第2級雙端子彈性波諧振器27。雙端子彈性波諧振器26和雙端子彈性波諧振器27在縱向耦合型彈性波諧振器23與平衡端子17之間在連接點41相互串聯(lián)連接。在連接點40與連接點41之間串聯(lián)連接著電容元件28。電容元件28由設置在壓電基板11上的導電圖案形成。彈性波裝置101被構成為:當在電子設備的內(nèi)部被連接使用時，在第1平衡端子16與第2平衡端子17之間連接著電感器101A作為外部電路而使用。
[0037]在實施方式1中，作為低頻側(cè)濾波器12的通過頻帶的低頻側(cè)通過頻帶PB1是1.805GHz?1.880GHz。低頻側(cè)通過頻帶PB1的中心頻率是該通過頻帶的中點的1.8425GHz，其帶寬是0.075GHz，將帶寬除以中心頻率所計算出的相對帶寬是4.07%。作為高頻側(cè)濾波器13的通過頻帶的高頻側(cè)通過頻帶PB2是1.930GHz?1.990GHz。高頻側(cè)通過頻帶PB2的中心頻率是該通過頻帶的中點的1.960GHz，其帶寬是0.060GHz，將帶寬除以中心