壓電振動器的制造方法
【專利摘要】提供能夠提高一對支撐臂部和安裝面的粘接力并且能夠抑制生產(chǎn)性的降低的壓電振動器。包括：封裝件，具有基底部件、和在與基底部件之間形成氣密密封的空腔的蓋部件；以及壓電振動片，粘接在基底部件中的安裝面并且被收納于空腔內(nèi)，壓電振動片包含：具有沿第一方向排列配置的一對振動臂部的振動部、連接一對振動臂部的端部彼此的基部、具有在第一方向上配置在振動部兩側(cè)的一對支撐臂部的支撐部、和連結(jié)基部與支撐部的連結(jié)部，壓電振動片通過一對支撐臂部的每一個利用粘接劑粘接到安裝面，而固定在基底部件上，將一對支撐臂部的每一個粘接在安裝面的粘接劑的形狀，成為在安裝面的面內(nèi)與第一方向正交的第二方向比第一方向長的形狀。
【專利說明】壓電振動器

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及壓電振動器。

【背景技術(shù)】
[0002]一直以來，人們知道一種壓電振動器，具備具有基底部件和蓋部件的封裝件、和粘接在基底部件中的安裝面的包含一對支撐臂部的壓電振動片。隨著壓電振動器的小型化，越來越要求減小一對支撐臂部與安裝面的粘接部。
[0003]例如，在專利文獻(xiàn)I記載的壓電振動器中，用粘接劑點焊(點付K)而固定了一對支撐臂部和安裝面。該壓電振動器中，在各支撐臂部的長邊方向上相分離的二點配置了俯視為圓形的粘接劑。
[0004]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
專利文獻(xiàn)1:日本特開2007 — 81570號公報。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]但是，在專利文獻(xiàn)I所涉及的壓電振動器中，由于一對支撐臂部和安裝面點焊，因此難以獲得充分的粘接力。
[0006]另一方面，為了得到充分的粘接力，還可以考慮將粘接劑多點分離配置的情形。但是，如果將粘接劑多點分離涂敷，則裝置的生產(chǎn)間隔時間變長，其結(jié)果，存在降低生產(chǎn)性的課題。
[0007]本發(fā)明為了解決上述的課題而構(gòu)思，目的在于提供能夠提高一對支撐臂部與安裝面的粘接力，且能夠抑制生產(chǎn)性的下降的壓電振動器。
[0008]為了達(dá)成上述的目的，本發(fā)明采用了以下的技術(shù)方案。
[0009](I) S卩，本發(fā)明所涉及的一方式的壓電振動器，其中包括:封裝件，該封裝件具有基底部件、和疊合在到所述基底部件而接合并且在與所述基底部件之間形成氣密密封的空腔的蓋部件；以及壓電振動片，該壓電振動片粘接在所述基底部件中的安裝面，并且被收納于所述空腔內(nèi)，所述壓電振動片包含:具有沿第一方向排列配置的一對振動臂部的振動部、連接所述一對振動臂部的端部彼此的基部、具有在所述第一方向上配置在所述振動部的兩側(cè)的一對支撐臂部的支撐部、和連結(jié)所述基部與所述支撐部的連結(jié)部，所述壓電振動片通過所述一對支撐臂部的每一個利用粘接劑粘接到所述安裝面而固定在所述基底部件上，將所述一對支撐臂部的每一個粘接在所述安裝面的所述粘接劑的形狀，成為在所述安裝面的面內(nèi)與所述第一方向正交的第二方向比所述第一方向長的形狀。
[0010]依據(jù)該構(gòu)成，由于粘接一對支撐臂部和安裝面的粘接劑的形狀成為順著支撐臂部的長邊方向的形狀，因此與一對支撐臂部和安裝面被點焊的構(gòu)成相比，能夠提高一對支撐臂部與安裝面的粘接力。并且，連續(xù)涂敷粘接劑即可，無需將粘接劑多點分離地涂敷，因此能夠抑制生產(chǎn)性的降低。因而，能夠提高一對支撐臂部與安裝面的粘接力，并且能夠抑制生產(chǎn)性的降低。[0011 ] ( 2)在上述(I)所述的壓電振動器中，所述一對支撐臂部通過所述粘接劑粘接到所述安裝面的位置，為所述一對支撐臂部振動時成為振動波節(jié)的位置也可。
[0012]依據(jù)該構(gòu)成，在成為振動波節(jié)的位置中不發(fā)生振動，因此能夠提高一對支撐臂部與安裝面的粘接力的同時，能夠抑制粘接部中的振動泄漏。
[0013]發(fā)明效果
依據(jù)本發(fā)明，能夠提供能夠提高一對支撐臂部與安裝面的粘接力并且能夠抑制生產(chǎn)性的降低的壓電振動器。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0014]圖1是示出第一實施方式的壓電振動片的外觀立體圖；
圖2是示出第一實施方式的壓電振動片的圖，(A)是平面圖，(B)是側(cè)面圖；
圖3是示出壓電振動器的一實施方式的外觀立體圖；
圖4是示出壓電振動器的一實施方式的內(nèi)部結(jié)構(gòu)的平面圖；
圖5是示出壓電振動器的一實施方式的圖，是圖4中的A — A截面圖；
圖6是示出本實施方式的壓電振動器的圖，是分解各部的分解立體圖；
圖7 (A)?(C)是示出壓電振動片的安裝方法的圖；
圖8是示出比較例所涉及的壓電振動器中的一對支撐臂部與安裝面的粘接部的平面圖；
圖9是示出本實施方式所涉及的壓電振動器中的一對支撐臂部與安裝面的粘接部的平面圖；
圖10是用于說明比較例所涉及的粘接劑的涂敷方法的圖；
圖11是用于說明本實施方式所涉及的粘接劑的涂敷方法的圖。

【具體實施方式】
[0015]以下，參照附圖，對本發(fā)明的實施方式所涉及的壓電振動片及壓電振動器進(jìn)行說明。
[0016]此外，本發(fā)明的范圍并不限定于以下的實施方式，在本發(fā)明的技術(shù)思想的范圍內(nèi)可任意進(jìn)行變更。此外，在以下的附圖中，為了方便理解各構(gòu)成，存在使實際的結(jié)構(gòu)與各結(jié)構(gòu)中的比例尺、數(shù)值等不同的情況。
[0017]再者，從圖1到圖9的說明中設(shè)定XYZ坐標(biāo)系，參照該XYZ坐標(biāo)系說明各部件的位置關(guān)系。這時，將與壓電振動片的面垂直的方向設(shè)為Z軸方向、將振動臂部的長邊方向設(shè)為Y軸方向、將與Y軸方向和Z軸方向這兩個方向正交的方向設(shè)為X軸方向。此外，從基部向振動臂部的前端的方向設(shè)為+ Y方向。
[0018][第一實施方式]
(壓電振動片)
首先，對本實施方式的壓電振動片I進(jìn)行說明。
[0019]圖1、圖2是示出本實施方式的壓電振動片的圖。圖1是外觀立體圖，圖2 (A)是平面圖，圖2 (B)是圖2 (A)的側(cè)面圖。
[0020]此外，在圖1、圖2中，以使對后述的壓電振動器進(jìn)行安裝時與封裝件的安裝面對置的對置面(一面)18a成為上側(cè)(+Z方向側(cè))的方式加以顯示。
[0021]本實施方式的壓電振動片1，如圖1、圖2所示，是平板狀。如圖2 (A)所示，壓電振動片I具備:具有沿第一方向(X方向)排列配置的一對振動臂部11、12的振動部20 ;錘頭部13、14 ;連接一對振動臂部11、12的端部彼此的基部10 ;具有在第一方向上配置在振動部20的兩側(cè)的一對支撐臂部15、16的支撐部21 ;以及連結(jié)基部10和支撐部21的連結(jié)部22。
[0022]壓電振動片I是由石英(水晶)或鉭酸鋰或鈮酸鋰等的壓電材料形成的側(cè)臂型振動片，當(dāng)施加了規(guī)定的電壓時振動。
[0023]作為與壓電振動片I的面垂直的方向的厚度(Z軸方向長度)，例如，可以設(shè)為30 μ m0
[0024]一對振動臂部11、12從基部10起分別向同一個方向(+ Y方向)伸出。振動臂部11、12沿著與長邊方向(Y軸方向)垂直且與壓電振動片I的面平行的方向(第一方向)、即X軸方向排列設(shè)置。在一對振動臂部11、12的外表面上，形成有使這一對振動臂部11、12振動的未圖示的激振電極。
[0025]錘頭部13、14以分別從振動臂部11、12的前端沿著振動臂部11、12的長邊方向(Y軸方向)的方式伸出而形成。錘頭部13、14的寬度(X軸方向長度)形成得比振動臂部11、12的寬度(X軸方向長度)大。錘頭部13、14設(shè)定在以基部10為固定端、在寬度方向(X軸方向)振動的自由端。
[0026]一對支撐臂部15、16從基部10向振動臂部11、12的寬度方向(X軸方向)兩側(cè)伸出后，沿著振動臂部11、12的長邊方向(Y軸方向)向振動臂部11、12的前端側(cè)(+Y方向偵D彎曲伸出而形成。
[0027]支撐臂部15、16分別具備裝配部15a、16a。裝配部15a、16a設(shè)在壓電振動片I的對置面18a上的、支撐臂部15、16的伸出方向側(cè)(+ Y方向側(cè))的前端部附近。設(shè)有裝配部15a、16a的位置，是在支撐臂部15、16振動時成為振動波節(jié)的位置。
[0028]在支撐臂部15、16的裝配部15a、16a形成有未圖示的裝配電極，通過未圖示的引出電極，與形成在振動臂部11、12的外表面上的激振電極連接。并且，對這些各電極施加了規(guī)定的電壓時，一對振動臂部11、12雙方的激振電極彼此的相互作用下，一對振動臂部11、12以規(guī)定的諧振頻率在互相接近或分離的方向(X軸方向)上振動。
[0029](壓電振動器)
接著，作為采用壓電振動片I的壓電振動器的一實施方式，對陶瓷封裝型的表面安裝型振動器進(jìn)行說明。
[0030]圖3至圖6是示出本實施方式的壓電振動器500的圖，圖3是外觀立體圖，圖4是示出壓電振動器的內(nèi)部構(gòu)成的、拆下封口板后的狀態(tài)的平面圖，圖5是圖4中的A — A截面圖，圖6是壓電振動器500的分解立體圖。
[0031]本實施方式的壓電振動器500,如圖3至圖6所不,具備:在內(nèi)部具有氣密密封的空腔C的封裝件510 ;和收納于空腔C內(nèi)的前述的壓電振動片I。
[0032]該壓電振動器500以大致直方體狀形成，在本實施方式中俯視時將壓電振動器500的長邊方向稱為長度方向(Y軸方向)，將短邊方向稱為寬度方向(X軸方向)，將與這些長度方向及寬度方向正交的方向稱為厚度方向(z軸方向)。
[0033]封裝件510具備:封裝件主體(基底部件)530 ；以及疊合在該封裝件主體530而接合并且在與封裝件主體530之間形成空腔C的封口板(蓋部件)540。
[0034]封裝件主體530具備:以互相疊合的狀態(tài)接合的第一基底基板550及第二基底基板560、和接合在第二基底基板560上的密封環(huán)570。
[0035]第一基底基板550設(shè)置成俯視時形成為大致長方形狀的陶瓷制的基板。第二基底基板560設(shè)置成形成為與第一基底基板550相同的外形形狀即俯視為大致長方形狀的陶瓷制的基板，在重疊到第一基底基板550上的狀態(tài)下通過燒結(jié)等而接合成一體。
[0036]在第一基底基板550及第二基底基板560的四角，遍及兩基板550、560的厚度方向的全體而形成有俯視為1/4圓弧狀的切口部580。這些第一基底基板550及第二基底基板560是，例如通過將圓片狀的陶瓷基板重疊2片并接合后，以矩陣狀形成貫通兩陶瓷基板的多個通孔，然后，以各通孔為基準(zhǔn)，并且以格子狀切斷兩陶瓷基板而制作的。此時，通孔被分割成4個部分，從而成為上述的切口部580。
[0037]此外，在第二基底基板560的上表面為裝配壓電振動片I的安裝面560a。
[0038]再者，設(shè)第一基底基板550及第二基底基板560為陶瓷制成，但是作為該陶瓷的具體材料，可舉出例如氧化招制的HTCC (高溫共燒陶瓷:High Temperature Co — FiredCeramic)、玻璃陶瓷制的 LTCC(低溫共燒陶瓷:Low Temperature Co 一 Fired Ceramic)等。
[0039]密封環(huán)570是比第一基底基板550及第二基底基板560的外形小一圈的導(dǎo)電性的框狀部件，接合到第二基底基板560的安裝面560a。
[0040]具體而言，密封環(huán)570通過銀焊料等的釬料或軟釬料等的燒焊來接合到安裝面560a上，或者，對形成在安裝面560a上(例如，通過電解鍍、化學(xué)鍍之外，蒸鍍、濺鍍法等)的金屬接合層焊接等而接合。
[0041]再者，作為密封環(huán)570的材料，可以舉出例如鎳基合金等，具體而言從科瓦合金、埃林瓦爾合金、因瓦合金、42 —合金等選擇即可。特別是，作為密封環(huán)570的材料，優(yōu)選選擇熱膨脹系數(shù)接近陶瓷制的第一基底基板550及第二基底基板560的材料。例如，作為第一基底基板550及第二基底基板560，在采用熱膨脹系數(shù)6.8 X 10 —6/°C的氧化鋁的情況下，作為密封環(huán)570，優(yōu)選采用熱膨脹系數(shù)5.2X10 — 7°C的科瓦合金或熱膨脹系數(shù)4.5 X 10 — 6/°C以上、6.5X10 —6/°C以下的42 —合金。
[0042]封口板540是重疊在密封環(huán)570上的導(dǎo)電性基板，通過銀焊料等的釬料或軟釬料等的燒焊等而與密封環(huán)570氣密接合。對于密封環(huán)570的接合，使得由該封口板540、密封環(huán)570、第二基底基板560的安裝面560a劃成的空間作為氣密密封的上述空腔C起作用。
[0043]再者，作為封口板540的焊接方法，可以舉出例如使?jié)L盤式電極接觸來進(jìn)行的滾焊、激光焊接、超聲波焊接等。此外，為了使封口板540與密封環(huán)570的焊接更加可靠，優(yōu)選將彼此適應(yīng)性良好的鎳、金等的接合層，至少分別形成在封口板540的下表面和密封環(huán)570的上表面。
[0044]在第二基底基板560的安裝面560a上，設(shè)有凸部(間隙形成部)81。凸部81向安裝有壓電振動片I的一側(cè)突出而形成，俯視形狀無特別限定，無論是矩形狀還是其他形狀都可(圖中矩形狀)。凸部81的上表面與安裝面560a平行。在安裝面560a中的后述的凹部660的一 Y方向側(cè)，夾著安裝面560a的寬度方向(X軸方向)的中心而對稱的2個位置設(shè)有凸部81。在凸部81的上表面，分別形成有作為與壓電振動片I的連接電極的一對電極焊盤610A、610B。
[0045]在第一基底基板550的下表面,一對外部電極620A、620B在長度方向(Y軸方向)隔著間隔而形成。
[0046]這些電極焊盤610A、610B及外部電極620A、620B，是例如用蒸鍍或濺鍍法等形成的以單一金屬形成的單層膜、或者不同的金屬層疊的層疊膜，彼此分別導(dǎo)通。
[0047]對該點詳細(xì)進(jìn)行說明。
[0048]如圖5所不,在第一基底基板550形成有與一個外部電極620A導(dǎo)通并且以厚度方向貫通第一基底基板550的一個第一貫通電極630A,并且在第二基底基板560形成有與一個電極焊盤610A導(dǎo)通并且以厚度方向貫通第二基底基板560的一個第二貫通電極640A。然后，在第一基底基板550與第二基底基板560之間，形成有連接一個第一貫通電極630A和一個第二貫通電極640A的一個連接電極650A。由此,一個電極焊盤610A和一個外部電極620A互相導(dǎo)通。
[0049]此外，在第一基底基板550形成有與另一外部電極620B導(dǎo)通并且以厚度方向貫通第一基底基板550的另一第一貫通電極630B，并且在第二基底基板560形成有與另一電極焊盤610B導(dǎo)通并且以厚度方向貫通第二基底基板560的另一第二貫通電極640B。然后，在第一基底基板550與第二基底基板560之間，形成有連接另一第一貫通電極630B和另一第二貫通電極640B的另一連接電極650B。由此，另一電極焊盤610B和另一外部電極620B彼此導(dǎo)通。
[0050]再者，以回避后述的凹部660的方式、例如以使密封環(huán)570的下方沿著密封環(huán)570而延伸的方式構(gòu)圖了另一連接電極650B。
[0051]在第二基底基板560的安裝面560a，如圖4及圖5所示，形成有凹部660，該凹部660在與振動臂部11、12的前端部對置的部分，因落下等的碰撞之影響而振動臂部11、12向厚度方向(Z軸方向)移位(撓曲變形)時，回避與振動臂部11、12的接觸。該凹部660有時作為貫通第二基底基板560的貫通孔，并且形成為在密封環(huán)570的內(nèi)側(cè)四角帶有圓度、且俯視為正方形狀。
[0052]再者，壓電振動片I如圖5所示，被裝配成經(jīng)由導(dǎo)電性粘接劑(粘接劑)80，形成在裝配部15a、16a的未圖示的裝配電極與電極焊盤610A、610B接觸。此外，對于壓電振動片I的詳細(xì)的粘接結(jié)構(gòu)后面敘述。
[0053]由此，壓電振動片I中，對于第二基底基板560的安裝面560a,對置面18a以平行的狀態(tài)被支撐，并且成為分別與一對電極焊盤610A、610B電連接的狀態(tài)。
[0054]在使這樣構(gòu)成的壓電振動器500工作的情況下,對于外部電極620A、620B施加規(guī)定的驅(qū)動電壓。由此，能夠使電流流過壓電振動片I的激振電極，并能使一個振動臂部11和另一振動臂部12沿著壓電振動片I的面以規(guī)定的頻率振動。再者，利用該振動，能夠作為時刻源、控制信號的定時源或參考信號源等而利用壓電振動器500。
[0055]接著，參照圖7，對本實施方式的壓電振動片的安裝方法進(jìn)行說明。
[0056]圖7是示出將本實施方式的壓電振動片I安裝到壓電振動器500的順序的截面圖，示出與圖4中的A — A截面同樣的截面。此外，圖7中將壓電振動器500的構(gòu)成要素適宜省略而圖示。
[0057]首先，如圖7(A)所示，向設(shè)于第二基底基板560的安裝面560a上的電極焊盤610A(610B)的上表面610Aa (610Ba)涂敷未硬化的導(dǎo)電性粘接劑64。
[0058]在能夠?qū)弘娬駝悠琁粘接到第二基底基板560上的范圍內(nèi)，未硬化的導(dǎo)電性粘接劑64無特別限定。在本實施方式中，是具有熱硬化性的粘接劑。
[0059]接著，如圖7 (B)所示，以使對置面18a與第二基底基板560的安裝面560a對置的方式，將壓電振動片I設(shè)置在第二基底基板560上。
[0060]此時，使壓電振動片I中的支撐臂部15、16的裝配部15a、16a，以與設(shè)在第二基底基板560的凸部81上的電極焊盤610A、610B的上表面610Aa，610Ba對置的方式抵接到未硬化的導(dǎo)電性粘接劑64。由此，壓電振動片I以使壓電振動片I的對置面18a和安裝面560a平行的姿勢，設(shè)置在第二基底基板560上。
[0061]接著，通過加熱使未硬化的導(dǎo)電性粘接劑64硬化。
[0062]通過該工序，利用硬化的導(dǎo)電性粘接劑80，分別固接壓電振動片I的裝配部15a、16a和設(shè)在第二基底基板560的凸部81上的電極焊盤610A、610B。
[0063]通過以上工序，壓電振動片I如圖7 (C)所示，對于第二基底基板560的安裝面560a，以使對置面18a平行的狀態(tài)被支撐，并且以分別電連接到一對電極焊盤610A、610B的狀態(tài)加以安裝。
[0064](壓電振動片的粘接結(jié)構(gòu))
以下，利用圖8、圖9，比較本實施方式所涉及的壓電振動片I的粘接結(jié)構(gòu)與比較例所涉及的壓電振動片1001的粘接結(jié)構(gòu)而進(jìn)行說明。
[0065]圖8是示出比較例所涉及的壓電振動器1500中的一對支撐臂部1015，1016和安裝面的粘接部的平面圖，圖9是示出本實施方式所涉及的壓電振動器500中的一對支撐臂部15、16和安裝面的粘接部的平面圖。
[0066]此外，在圖8、圖9中，一對支撐臂部粘接的安裝面，是作為與壓電振動片的連接電極的一對電極焊盤。此外，方便起見，一對電極焊盤較大地圖示。
[0067]如圖8所示，比較例所涉及的壓電振動片1001，一對支撐臂部1015、1016的每一個利用導(dǎo)電性粘接劑1080分別粘接到電極焊盤1610AU610B，并固定在封裝件主體1530上。一對支撐臂部1015、1016的每一個與電極焊盤1610AU610B的每一個以一點點焊。
[0068]將一對支撐臂部1015、1016的每一個分別粘接到電極焊盤1610A、1610B的導(dǎo)電性粘接劑1080的形狀，在俯視圖中為成為圓形。例如，導(dǎo)電性粘接劑1080的直徑為1ym以上、20 μ m以下。
[0069]與之相對，本實施方式所涉及的壓電振動片1，如圖9所示，一對支撐臂部15、16的每一個利用導(dǎo)電性粘接劑80分別粘接到電極焊盤610A、610B，從而被固定在封裝件主體530上。一對支撐臂部15、16的每一個與電極焊盤610A、610B的每一個，以比比較例所涉及的粘接面積更大的粘接面積加以固定。
[0070]將一對支撐臂部15、16的每一個分別粘接到電極焊盤610A、610B的導(dǎo)電性粘接劑80的形狀，在電極焊盤610A、610B的上表面的面內(nèi)成為與第一方向(X方向)正交的第二方向(Y方向)比第一方向長的形狀。即，導(dǎo)電性粘接劑80的形狀在俯視時為沿著支撐臂部15、16的長邊方向的形狀。
[0071]例如，導(dǎo)電性粘接劑80的尺寸，第一方向的長度Wl為30μπι以上、50 μ m以下，本實施方式中為40 μ m。第二方向的長度W2為15μηι以上、25μηι以下,本實施方式中為20ymo第一方向的長度Wl與第二方向的長度W2的長寬比W1/W2為2.0以上、3.0以下，本實施方式中為2.0。
[0072]本實施方式中，一對支撐臂部15、16的每一個利用導(dǎo)電性粘接劑80分別粘接到電極焊盤610Α、610Β的每一個的位置，是一對支撐臂部15、16振動時成為振動波節(jié)的位置(節(jié)點)NP。導(dǎo)電性粘接劑80以在俯視時中心與成為波節(jié)的位置NP重疊的方式進(jìn)行配置。
[0073]在此，“成為波節(jié)的位置” 一般被稱為節(jié)點，是指起因于各個振動臂部的振動互相抵消的點。該成為波節(jié)的位置，可根據(jù)壓電振動片的各種尺寸、電極的厚度等來確定。
[0074]例如，成為波節(jié)的位置NP被設(shè)置為從一對支撐臂部15、16的前端(+ Y方向側(cè)的端)向基端側(cè)(一 Y方向側(cè))，各自支撐臂部15、16的全長的1/5的位置。
[0075](粘接劑的涂敷方法)
以下，利用圖10、圖11，對本實施方式所涉及的導(dǎo)電性粘接劑64的涂敷方法，與比較例所涉及的導(dǎo)電性粘接劑1064的涂敷方法比較而進(jìn)行說明。
[0076]圖10是用于說明比較例所涉及的導(dǎo)電性粘接劑1064的涂敷方法的圖，圖11是用于說明本實施方式所涉及的導(dǎo)電性粘接劑64的涂敷方法的圖。
[0077]如上所述，在比較例所涉及的壓電振動片1001的粘接結(jié)構(gòu)中，一對支撐臂部1015、1016的每一個和電極焊盤1610Α、1610Β的每一個在一點點焊，因此難以獲得充分的粘接力。為了得到充分的粘接力，可考慮將導(dǎo)電性粘接劑1064多點分離配置。圖10中列舉將導(dǎo)電性粘接劑1064分開二點配置的例進(jìn)行說明。
[0078]如圖10所示，比較例所涉及的導(dǎo)電性粘接劑1064的涂敷方法，使注射器1030的針頭朝著電極焊盤1610Α、1610Β的上表面1610Aa、1610Ba的規(guī)定位置(第一點的點焊位置)下降，從注射器1030的針頭吐出導(dǎo)電性粘接劑1064而進(jìn)行第一點的點焊。接著，使注射器1030的針頭從電極焊盤1610AU610B的上表面1610Aa、1610Ba上升并且從第一點的點焊位置移動到第二點的點焊位置。然后，使注射器1030的針頭朝著電極焊盤1610AU610B的上表面1610Aa、1610Ba的第二點的點焊位置下降并從注射器1030的針頭吐出導(dǎo)電性粘接劑1064進(jìn)行第二點的點焊。
[0079]但是，將導(dǎo)電性粘接劑1064多點分離涂敷時，注射器1030的針頭的移動路徑成為“Z”字狀并且變長，因此裝置的生產(chǎn)間隔時間變長。其結(jié)果，出現(xiàn)生產(chǎn)性降低的課題。
[0080]與之相對，本實施方式所涉及的導(dǎo)電性粘接劑64的涂敷方法，使注射器30的針頭朝著電極焊盤610A、610B的上表面610Aa、610Ba的第一位置(從成為波節(jié)的位置向一側(cè)錯開規(guī)定量的位置)下降，并從注射器30的針頭吐出導(dǎo)電性粘接劑64，將導(dǎo)電性粘接劑64連續(xù)吐出的同時，從第一位置移動到第二位置(隔著成為波節(jié)的位置而向與第一位置相反一側(cè)錯開規(guī)定量的位置)，從而以線狀涂敷導(dǎo)電性粘接劑64。由此，導(dǎo)電性粘接劑64的形狀成為在俯視時沿著支撐臂部15、16的長邊方向的形狀。
[0081]依據(jù)該涂敷方法，注射器30的針頭的移動路徑成為直線狀，比比較例所涉及的移動路徑變短。
[0082]如以上說明的那樣，依據(jù)本實施方式所涉及的壓電振動器500，由于粘接一對支撐臂部15、16的每一個和電極焊盤610A、610B的每一個的導(dǎo)電性粘接劑80的形狀成為沿著支撐臂部15、16的長邊方向的形狀，因此與一對支撐臂部和電極焊盤點焊的構(gòu)成相比，能夠提高一對支撐臂部15、16的每一個與電極焊盤610A、610B的每一個的粘接力。進(jìn)而，將導(dǎo)電性粘接劑64連續(xù)涂敷即可，由于無需將導(dǎo)電性粘接劑多點分離而涂敷，能夠抑制生產(chǎn)性的降低。因而，能夠提高一對支撐臂部15、16的每一個與電極焊盤610A、610B的每一個的粘接力，且能夠抑制生產(chǎn)性的降低。
[0083]此外，依據(jù)該構(gòu)成，一對支撐臂部15、16的每一個利用導(dǎo)電性粘接劑80粘接到電極焊盤610A、610B的每一個的位置，是一對支撐臂部15、16振動時成為振動波節(jié)的位置NP，從而在成為振動波節(jié)的位置中不會產(chǎn)生振動，因此能夠提高一對支撐臂部15、16的每一個與電極焊盤610A、610B的每一個的粘接力，同時能夠抑制粘接部中的振動泄漏。
[0084]再者，本實施方式中，列舉側(cè)臂型的壓電振動片進(jìn)行了說明，但并限定于此。例如，對中心臂型的壓電振動片也可以適用本發(fā)明。
[0085]此外，本實施方式中，作為未硬化的導(dǎo)電性粘接劑64，列舉具有熱硬化性的而進(jìn)行了說明，但不限定于此。未硬化的導(dǎo)電性粘接劑64，例如，也可以具有光硬化性。在該情況下，取代加熱工序，而進(jìn)行通過照射紫外線等而使未硬化的導(dǎo)電性粘接劑64硬化的工序。
[0086]此外，本實施方式中，作為采用壓電振動片I的壓電振動器，對陶瓷封裝型的表面安裝型振動器進(jìn)行了說明，但也可以將壓電振動片I適用于通過陽極接合來接合利用玻璃材料形成的基底基板及蓋基板的玻璃封裝型的壓電振動器。
[0087]以上，一邊對照附圖一邊說明了本發(fā)明所涉及的優(yōu)選實施方式例，但本發(fā)明顯然并不局限于相關(guān)例子。在上述的例中所示的各構(gòu)成部件諸多形狀或組合等為一個例子，在不脫離本發(fā)明的主旨的范圍內(nèi)可根據(jù)設(shè)計要求等進(jìn)行各種變更。
[0088]標(biāo)號說明
I…壓電振動片，10...基部，11、12...振動臂部，15、16...支撐臂部，20...振動部，21…支撐部，22...連結(jié)部，80...導(dǎo)電性粘接劑(粘接劑)，500...壓電振動器，510...封裝件，530…封裝件主體(基底部件)，540...封口板(蓋部件)，560a…安裝面，C...空腔，NP…成為波節(jié)的位置。
【權(quán)利要求】
1.一種壓電振動器，其中包括: 封裝件，該封裝件具有基底部件、和疊合在到所述基底部件而接合并且在與所述基底部件之間形成氣密密封的空腔的蓋部件；以及 壓電振動片，該壓電振動片粘接在所述基底部件中的安裝面，并且被收納于所述空腔內(nèi)， 所述壓電振動片包含:具有沿第一方向排列配置的一對振動臂部的振動部、連接所述一對振動臂部的端部彼此的基部、具有在所述第一方向上配置在所述振動部的兩側(cè)的一對支撐臂部的支撐部、和連結(jié)所述基部與所述支撐部的連結(jié)部， 所述壓電振動片通過所述一對支撐臂部的每一個利用粘接劑粘接到所述安裝面而固定在所述基底部件上， 將所述一對支撐臂部的每一個粘接在所述安裝面的所述粘接劑的形狀，成為在所述安裝面的面內(nèi)與所述第一方向正交的第二方向比所述第一方向長的形狀。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電振動器，其中所述一對支撐臂部通過所述粘接劑粘接到所述安裝面的位置，為所述一對支撐臂部振動時成為振動波節(jié)的位置。
【文檔編號】H03H9/15GK104467731SQ201410496165
【公開日】2015年3月25日 申請日期:2014年9月25日 優(yōu)先權(quán)日:2013年9月25日
【發(fā)明者】清水敏志, 渡邊博巳 申請人:精工電子水晶科技股份有限公司