專利名稱：射頻微機(jī)械系統(tǒng)移相器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型是關(guān)于相控陣?yán)走_(dá)天線波束控制用的移相器，具體地說是一種射頻微機(jī)械系統(tǒng)移相器。
本實(shí)用新型技術(shù)解決方案本實(shí)用新型采用RF MEMS開關(guān)高通—低通濾波網(wǎng)絡(luò)實(shí)現(xiàn)移相，即在每一位移相信號(hào)輸入輸出電路中，接入兩組RF MEMS開關(guān)，每組又由兩只RF MEMS開關(guān)組成；兩組開關(guān)分別連接在低通和高通濾波網(wǎng)絡(luò)支路中。
本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)RF MEMS移相器與傳統(tǒng)的PIN二極管或FET制作的移相器相比有插入損耗小、功耗低，無常規(guī)的諧波失真，以及成本低等優(yōu)點(diǎn)，與國外現(xiàn)行的RF MEMS移相器設(shè)計(jì)相比有體積小，相移精度高，高可靠性等優(yōu)點(diǎn)。


圖1是RF MEMS移相器高通—低通濾波網(wǎng)絡(luò)電路原理圖。
權(quán)利要求1.一種射頻微機(jī)械系統(tǒng)移相器，其特征是在每一位移相信號(hào)輸入輸出電路中，接入兩組RF MEMS開關(guān)，每組又由兩只RF MEMS開關(guān)組成；兩組開關(guān)分別連接在低通和高通濾波網(wǎng)絡(luò)支路中。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的射頻微機(jī)械系統(tǒng)移相器，其特征是電感L1、電感L2與RF MEMS K1、RF MEMS K2串聯(lián)在低通濾波網(wǎng)絡(luò)支路1上，電容C1并聯(lián)在電感L1、電感L2之間，并接地。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的射頻微機(jī)械系統(tǒng)移相器，其特征是電容C2與RF MEMS K3、RF MEMS K4串聯(lián)在高通濾波網(wǎng)絡(luò)支路2上，電感L3、電感L4分別并聯(lián)在電容C2的兩側(cè)，并接地。
專利摘要本實(shí)用新型采用RF MEMS開關(guān)高通一低通濾波網(wǎng)絡(luò)實(shí)現(xiàn)移相，即在每一位移相信號(hào)輸入輸出電路中，接入兩組RF MEMS開關(guān)，每組又由兩只RF MEMS開關(guān)組成；兩組開關(guān)分別連接在低通和高通濾波網(wǎng)絡(luò)支路中。本實(shí)用新型具有體積小，相移精度高，高可靠性等優(yōu)點(diǎn)。
文檔編號(hào)H03H11/16GK2562496SQ0226374
公開日2003年7月23日 申請(qǐng)日期2002年8月15日 優(yōu)先權(quán)日2002年8月15日
發(fā)明者朱健 申請(qǐng)人:信息產(chǎn)業(yè)部電子第五十五研究所