專利名稱：用于臭氧發(fā)生器的負載諧振型電源的制作方法
用于臭氧發(fā)生器的負載諧振型電源本發(fā)明專利申請是國際申請?zhí)枮镻CT/US2006/031664，國際申請日為2006年8月14日，進入中國國家階段的申請?zhí)枮?00680034651. 6，名稱為“用于臭氧發(fā)生器的負載諧振型電源”的發(fā)明專利申請的分案申請。
背景技術：
臭氧對于需要高水平氧化的許多應用都是很有用的。例如,臭氧對于飲用水的消毒是有用的，并且早在1900年代就已經用于水處理。從更近的方面來說，臭氧已經用于半導體器件處理。臭氧在半導體器件處理中的一個應用是通過生長絕緣膜或通過在晶片上使薄膜氧化而在半導體晶片上形成絕緣層。例如，通過使用TEOS/臭氧處理可以實現高質量SiO2的高沉積速率化學汽相沉積。
臭氧在半導體器件處理中的另ー個應用是用于清洗半導體晶片以及半導體處理設備的處理容器。臭氧對于從半導體晶片和從處理容器的表面除去碳氫化合物是特別有用的。使用臭氧進行清洗是有利的，因為這避免使用需要花高價來處置的有危險性的化學物質。相反，臭氧不存在有毒廢物的處置問題，因為臭氧會分解成氧而沒有殘余物。

發(fā)明內容
可以根據所謂的“靜放電原理”從氧氣來產生臭氧。例如，可以通過使高純度的氧氣暴露于放電或電通量中來產生臭氧。放電或電通量激勵了氧分子，使它們分裂成它們的原子態(tài)。然后原子復合成臭氧(O3)和氧氣(O2)的混合物。一般使氧氣通過臭氧室(cell)而產生臭氧(03)，臭氧在臭氧室中受到放電的作用，導致氧原子分解和復合成臭氧分子。通過在臭氧室的相對立的板上施加高壓AC電源而產生制造臭氧所需要的放電或電通量。從基于變壓器的電源振蕩器產生高壓AC電源?；谧儔浩鞯碾娫?振蕩器)的缺點一般包括高成本、有限的可靠性以及有限的エ作范圍。例如，高成本一般是由于具有多個繞組和對于冷卻和絕緣有特殊封裝要求的高壓變壓器引起的。有限的可靠性一般是由于自激振蕩器的布局、與封裝質量有關而導致的高壓電暈、以及單個源唯一部件的使用引起的。相對于調整輸出電壓的有限的工作范圍是由于自激振蕩器布局和晶體管柵極驅動的變壓器反饋的使用引起的。本發(fā)明涉及用于臭氧制造的、使用包括變壓器一較低的高壓功率振蕩器的電源來提供功率的方法和裝置。本發(fā)明的實施例可以降低成本、増加可靠性和臭氧發(fā)生器的工作范圍。一個實施例包括具有功率源和直接耦合到功率源的諧振電路的電源，功率源把第一 AC電壓提供給諧振電路，諧振電路提供用于臭氧發(fā)生單元的第二 AC電壓，第二 AC電壓大于第一 AC電壓。諧振電路響應于頻率實質上接近諧振電路的諧振頻率的第一 AC電壓把實質上的諧振電壓施加于臭氧發(fā)生單元。在一些實施例中，諧振電路可以是包括與諧振電容器串聯耦合的諧振電感器的串聯諧振電路。諧振電容器可以是獨立的電容器、臭氧發(fā)生單元的固有電容或獨立電容器和臭氧發(fā)生単元的固有電容兩者的組合。諧振電路具有大于或等于10的Q-因子。在其它實施例中，諧振電路可以是包括與諧振電容器并聯的諧振電感器的并聯諧振電路。諧振電容器可以是獨立的電容器、臭氧發(fā)生単元的固有電容或獨立電容器和臭氧發(fā)生単元的固有電容兩者的組合。功 率源可以是半橋式反相器、全橋式反相器和/或開關功率源。開關元件可以是MOSFET、BJT、IGBT和/或任何其它類型的開關元件。電源還可以包括把信號提供給功率源導致功率源調制第一 AC電壓、導致第二 AC電壓具有所要求的電壓幅值的控制器?？梢允褂妹}沖寬度調制和/或頻率調制來調制第一AC電壓?？刂破骺梢园研盘柼峁┙o功率源使諧振電路在其最大工作諧振頻率下工作。控制器可以通過對檢測的輸入DC電流與設置點輸入電流進行比較而調諧到諧振電路的最大工作頻率。在通過對檢測的諧振電流與設置點諧振電流進行比較而自調諧到諧振電路的最大工作頻率期間，控制器可以控制臭氧發(fā)生単元的諧振電壓。本發(fā)明的ー些實施例還包括用于臭氧發(fā)生的電源?？梢詰帽景l(fā)明的其它實施例以提供用于產生任何反應氣體的電源。本發(fā)明ー些實施例的優(yōu)點包括通過免除了對于變壓器的需要而降低成本以及增加可靠性和臭氧發(fā)生器的工作范圍。使用高Q諧振電路(一般對于臭氧發(fā)生器為Q > 10)代替變壓器意味著電路諧振頻率峰較窄。由于其中心頻率與電路元件有關，通常具有比諧振峰寬度要寬的容差，控制如此的電路成了ー個問題。在臭氧發(fā)生器和其它應用中的諧振電源方面，控制高Q諧振電路的電路允許實現上述優(yōu)點。


從下述本發(fā)明較佳實施例的更特定的說明，本發(fā)明的上述和其它的目的、特征和優(yōu)點將變得顯而易見。附圖不必定符合比例，而是著重于用于說明本發(fā)明的原理。圖I是示出一般臭氧發(fā)生器的視圖；圖2是示出根據現有技術用于臭氧發(fā)生器的基于變壓器的電源的視圖；圖3是示出根據ー個實施例的電源的視圖，所述電源具有用于在單個臭氧室中產生臭氧的變壓器ー較低功率振蕩器；圖4是示出根據ー個特定實施例的電源的視圖，所述電源具有用于在單個臭氧室中產生臭氧的變壓器ー較低功率振蕩器；圖5A示出頻率調制控制器的一個實施例的詳細的示意圖；圖5B示出脈沖寬度調制控制器的一個實施例的詳細的示意圖；圖6不出表不設置點功率和諧振頻率之間關系的曲線圖；圖7是示出根據ー個實施例的電源的視圖，所述電源具有用于在多個臭氧室中產生臭氧的多個變壓器一較低功率振蕩器；以及圖8A和SB是示出根據其它特定實施例的電源的視圖，所述電源具有用于在單個臭氧室中產生臭氧的變壓器ー較低功率振蕩器。
具體實施方式
圖I是示出一般臭氧發(fā)生器100的視圖。臭氧發(fā)生器100包括這里稱為臭氧室IlOa…IlOn的一系列臭氧發(fā)生単元。通過氧氣入口 120把氧氣(O2)提供給每個臭氧室110以轉換成臭氧(O3)和氧氣(O2)的混合物。所產生的臭氧混合物通過臭氧出口 130流出臭氧發(fā)生器100。臭氧室110的部件一般包括對置電極板(未示出)以及電解質屏障(未示出)。電解質屏障的位置對著電極板中之一，形成電解質屏障和對置電極板之間的通道。在工作中，放電作用于通過通道的氧氣(02)，導致氧原子的分解和復合成臭氧分子。為了引起放電或電通量，在每個臭氧室110的對置電極板上施加高電壓AC功率。通過一系列功率振蕩器140a…140η提供高電壓AC功率，其中每個振蕩器140向各自的臭氧室110提供功率。功率振蕩器140耦合到公共DC電源150，該公共DC電源150可以使單相或三相AC線電壓152轉換成經調整的DC電壓(Vdc)。每個振蕩器140依次把經調整的DC電壓(Vdc)轉換成提供給對應的/各自的臭氧室110的高電壓AC功率，導致臭氧產生所需要的放電或電通量?？梢栽诿绹鴮＠?，932，180中發(fā)現臭氧室110的ー個示 范性實施例，這里結合該專利的完整內容作為參考。通常，使用變壓器實現功率振蕩器140以產生高電壓AC功率。圖2是示出根據現有技術用于臭氧發(fā)生器的基于變壓器的電源200的視圖。所示的電源200包括DC電源210和兩個附加級(I)用于調整輸出功率的補償轉換器(buck converter) 220以及(2)包括在臭氧室110上產生高電壓AC功率的變壓器232的自振蕩推挽轉換器230。圖3是示出根據ー個實施例的電源300的視圖，所述電源具有用于在單個臭氧室中產生臭氧的變壓器ー較低功率振蕩器310。功率振蕩器310包括耦合到諧振電路330的功率源320。諧振電路330依次耦合到臭氧室110。功率源320可以是開關功率源。在工作中，功率源320使來自DC電壓源210的經調整的DC電壓(Vdc)轉換成提供給諧振電路330的第一 AC電壓。較佳地，來自功率源320的第一 AC電壓的頻率實質上接近諧振電路330的諧振頻率。作為響應，諧振電路330把實質上諧振的第二 AC電壓施加于臭氧室110，導致臭氧室110中的放電或電通量。因此，通過把諧振電路330耦合到功率源320，電源300能夠提供在臭氧室110中產生臭氧所需要的高電壓AC功率(第二 AC電壓)而無需使用變壓器。參考圖3，控制器340把控制信號提供給功率源320使功率源320調制第一 AC電壓的頻率和/或占空比，導致諧振電路330把實質上具有所要求的幅值的第二 AC電壓提供給臭氧室110。在一些實施例中，第二 AC電壓在30kHz處可以是4. 5kV峰值。在工作中，控制器340對基準電流REF與功率源320處檢測的第二輸入電流進行比較，并且把控制信號(選通控制信號)發(fā)送到功率源320以對功率源320的工作頻率或占空比進行調節(jié)而得到所要求的幅值。可以使用脈沖寬度調制和/或頻率調制通過控制器340調制第一 AC電壓。在一些實施例中，可以配置控制器340使之檢測電壓、電流或它們的組合來確定和控制所要求的諧振電壓。圖4是示出根據ー個特定實施例的電源400的視圖，所述電源具有用于在單個臭氧室110中產生臭氧的變壓器ー較低功率振蕩器404。在所示的實施例中，諧振電路420是包括與諧振電容器424串聯耦合的諧振電感器422的串聯諧振電路。臭氧室110與諧振電容器424并聯耦合。諧振電容器424可以是分立的獨立電容器、臭氧室110的固有電容或它們的組合。在所示的實施例中，功率源410是包括兩個串聯連接的開關元件412a、412b的半橋式反相器。開關元件412a、412b可以是MOSFET、BJT、IGBT和/或本技術領域已知的任何其它類型的開關元件。開關元件412a、412b之間的電連接與諧振電路420連接。功率源410也可以是如圖8A和SB所示的全橋式反相器。在工作中，DC電源210把經調整的DC電壓(Vdc)提供給功率源/半橋式反相器410?？刂菩盘枏目刂破?40提供到柵極驅動器540 (圖5A和5B)，使開關412a、412b導通和截止，導致半橋式反相器410提供頻率實質上接近串聯諧振電路420的諧振頻率的第一AC電壓。尤其，施加于諧振電路420的第一AC電壓可以是具有受控制的占空比的方波脈沖?？刂菩盘栠€可以改變半橋式反相器410的占空比以改變施加于臭氧室110的第二 AC電壓的幅值。響應于接收到的來自半橋式反相器410的第一 AC電壓，串聯諧振電路420在臭氧室110上提供諧振電壓或實質上第二 AC電壓，以致在室中提供了放電或電通量而實現氧氣
(O2)到臭氧(O3)的轉換。尤其，諧振電路420把所施加的具有受控制的占空比的方波脈沖轉換成幅值受控制的高電壓正弦波。根據ー個實施例，第二 AC電壓的頻率和幅值在30kHz處接近4. 5kV峰值。臭氧(O3)對氧氣(O2)的比例取決于提供給臭氧室110的功率量。如上所述，提供給臭氧室110的功率與施加于臭氧室110的電壓成比例地增加，并且控制器340根據基準信號REF對所述功率進行調整。因此，控制器340可以通過改變半橋式反相器410的工作頻率或占空比來改變臭氧的濃度。此外，甚至電感量或電容量的很小的變化也會改變諧振頻率。因此，諧振電路420應該具有高Q因子(大于或等于10)，以排除對于變壓器的需求。因此，控制器340應該與諧振元件變化無關。圖5A和5B示出控制器500的一些實施例的詳細示意圖?？刂破?00的主要元件包括脈沖寬度調制集成電路(PWM IC) 510、第一運算/誤差放大器520、第二運算/誤差放大器530、柵極驅動電路540、第一電阻器550以及第二電阻器560。圖5A示出頻率調制控制器500’的一個實施例。在工作中，運算放大器/誤差放大器520對檢測到的DC輸入電流522與設置點DC電流524進行比較。電阻器550、560控制PWM IC 510的頻率。通過使誤差放大器520的輸出增加或減小來控制流過電阻器550的電流，因此控制了控制器510的頻率。控制器500’包括保證由誤差放大器520產生的起始頻率為諧振電路420的最大工作頻率(圖4)的自動調諧電路。調諧電路包括電阻器526、電容器528以及在誤差放大器520的檢測到的輸入處的小偏移電壓。在工作中，當調諧電路通電吋，DC電流設置點524通過由電阻器526和電容器528建立的延遲從零緩慢地増加到其設置點。此時，誤差放大器520處的偏移電壓保證誤差放大器產生的頻率是電路的最大工作頻率。通過考慮諧振電路元件的最大容差和開關器件的能力來確定最大諧振頻率。圖6不出表不設置點功率和諧振頻率之間關系的曲線圖。如所不，當設置點功率增加時，脈沖寬度調制頻率開始從其最大值向最小功率降低。即，脈沖寬度調制頻率利用其諧振曲線來得到最大功率?？刂瞥粞跏?10電壓是重要的，因為在自動調諧最大功率的頻率期間，臭氧室110電壓可以上升到極高的電壓。因此，控制器500’包括第二運算放大器/誤差放大器530。誤差放大器530通過對檢測到的諧振電流532與設置點諧振電流534進行比較而控制臭氧室110的諧振電壓。還可以通過使用脈沖寬度調制來控制諧振電流。圖5B示出脈沖寬度調制控制器500”的一個實施例。脈沖寬度調制控制器500”的工作與上述相對于頻率調制控制器500’的工作相似。圖7是示出根據ー個實施例的電源600的視圖，所述電源具有用于在多個臭氧室IlOa…IlOn中產生臭氧的多個變壓器一較低功率振蕩器404a…404η。在所不的實施例中，通過已知的全橋式高頻轉換器610提供經調整的DC電壓(Vdc)(例如，約400V)。高頻轉換器610包括整流器級612、全橋式開關級614、變壓器級616以及濾波器級618。還可以通過實施熟悉本領域的技術人員已知的其它電路來提供經調整的DC電壓。功率振蕩器404a…404η與對應的/各自的臭氧室I IOa…IlOn耦合以提供高電壓AC功率。每個振蕩器404包括與諧振電路420耦合的功率源410。在所示的實施例中，功率源410是使用MOSFET開關器件412a、412b實現的半橋式反相器。還可以使用熟悉本領域的技術人員已知的其它開關器件。同樣，還可以使用半橋式振蕩器、全橋式振蕩器以及其它已知器件的混合的實施方式。所示的實施例的工作與相對于圖I和4所述的工作相似。圖8A和8B是示出根據其它特定實施例的電源700的視圖，所述電源具有用于在單個臭氧室110中產生臭氧的變壓器ー較低功率振蕩器。在兩個實施例中，實施功率源710作為具有如圖所示地耦合的四個開關元件712a、712b、712c、712d的全橋式轉換器。如圖8A所示，電壓源210把經調整的DC電壓(Vdc)提供給全橋式轉換器710。全橋式轉換器710與具有與諧振電容器724串聯耦合的諧振電感器722的串聯諧振電路耦合。諧振電路720依次與臭氧室110耦合，如圖所示。如圖SB所示，電流源730把經調整的DC電流(Idc)提供給全橋式轉換器710。全橋式轉換器710與具有與諧振電容器744并聯耦合的諧振電感器742的并聯諧振電路耦合。諧振電路740依次與臭氧室110耦合，如圖所示。在各個實施例中，諧振電容器可以是分立的獨立電容器，或可以是臭氧室110的固有電容或獨立電容器和室的固有電容兩者的組合。在已經參考本發(fā)明的各個較佳實施例特定地示出和描述了本發(fā)明的同時，熟悉本領域的技術人員可以理解，可以在其中作出形式上和細節(jié)上的各種修改而不偏離由所附的權利要求書包含的本發(fā)明的范圍。權利要求
1.一種電源,包括 功率源； 諧振電路，在所述功率源和臭氧發(fā)生單元之間直接耦合，所述諧振電路與所述臭氧發(fā)生單元并聯耦合，其中所述諧振電路具有大于或等于10的Q-因子；以及 功率源把第一 AC電壓提供給諧振電路，諧振電路提供用于所述臭氧發(fā)生單元的第二AC電壓，第二 AC電壓大于第一 AC電壓。
2.如權利要求I所述的電源，其特征在于，所述諧振電路響應于頻率接近諧振電路的諧振頻率的第一 AC電壓，把諧振的電壓施加于臭氧發(fā)生單元。
3.如權利要求I所述的電源，其特征在于，所述諧振電路是包括與諧振電容器串聯耦合的諧振電感器的串聯諧振電路。
4.如權利要求3所述的電源，其特征在于，所述諧振電容器是獨立的電容器、臭氧發(fā)生單元的固有電容、或獨立電容器和臭氧發(fā)生單元的固有電容兩者的組合。
5.如權利要求I所述的電源，其特征在于，所述諧振電路是包括與諧振電容器并聯耦合的諧振電感器的并聯諧振電路。
6.如權利要求5所述的電源，其特征在于，所述諧振電容器是獨立的電容器、臭氧發(fā)生單元的固有電容、或獨立電容器和臭氧發(fā)生單元的固有電容兩者的組合。
7.如權利要求I所述的電源，其特征在于，所述功率源是半橋式反相器。
8.如權利要求I所述的電源，其特征在于，所述功率源是全橋式反相器。
9.如權利要求I所述的電源，其特征在于，所述功率源是開關功率源。
10.如權利要求9所述的電源，其特征在于，所述開關元件是MOSFET、BJT、或IGBT。
11.如權利要求I所述的電源，還包括 控制器，所述控制器把信號提供給功率源，致使功率源調制第一 AC電壓，從而產生具有所期望的電壓幅值的第二 AC電壓。
12.如權利要求11所述的電源，其特征在于，使用脈沖寬度調制來調制所述第一AC電壓。
13.如權利要求11所述的電源，其特征在于，使用頻率調制來調制所述第一AC電壓。
14.如權利要求11所述的電源，其特征在于，所述控制器把信號提供給功率源，從而使諧振電路在其諧振頻率處或接近其諧振頻率處工作。
15.如權利要求14所述的電源，其特征在于，所述控制器通過將檢測的輸入DC電流與設置點輸入電流進行比較，而調諧到諧振電路的最大工作頻率并且逼近電路的諧振頻率以得到所期望的工作電平。
16.如權利要求15所述的電源，其特征在于，所述控制器通過將檢測的諧振電流與設置點諧振電流進行比較，而在自調諧到諧振電路的最大工作頻率期間控制臭氧發(fā)生單元的諧振電壓，并且逼近電路的諧振頻率。
17.一種為臭氧產生提供電能的方法，包括 在功率源和臭氧發(fā)生單元之間直接耦合一諧振電路，所述諧振電路與所述臭氧發(fā)生單元并聯耦合，其中所述諧振電路具有大于或等于10的Q-因子； 將來自功率源的第一 AC電壓提供給諧振電路；以及 將來自諧振電路的第二 AC電壓提供給臭氧發(fā)生單元，第二 AC電壓大于第一 AC電壓。
18.如權利要求17所述的方法，還包括 響應于其頻率接近諧振電路的諧振頻率的第一 AC電壓，將來自諧振電路的諧振的電壓提供給臭氧發(fā)生單元。
19.如權利要求17所述的方法，還包括 通過耦合與諧振電容器串聯的諧振電感器，形成串聯諧振電路。
20.如權利要求19所述的方法，其特征在于，所述諧振電容器是獨立的電容器、臭氧發(fā)生單元的固有電容、或獨立電容器和臭氧發(fā)生單元的固有電容兩者的組合。
21.如權利要求17所述的方法，還包括 通過耦合與諧振電容器并聯的諧振電感器，形成并聯諧振電路。
22.如權利要求21所述的方法，其特征在于，所述諧振電容器是獨立的電容器、臭氧發(fā)生單元的固有電容、或獨立電容器和臭氧發(fā)生單元的固有電容兩者的組合。
23.如權利要求17所述的方法，其特征在于，所述功率源是半橋式反相器。
24.如權利要求17所述的方法，其特征在于，所述功率源是全橋式反相器。
25.如權利要求17所述的方法，其特征在于，所述功率源是開關功率源。
26.如權利要求25所述的方法，其特征在于，所述開關元件是MOSFET、BJT或IGBT。
27.如權利要求17所述的方法，還包括 把信號提供給功率源；以及 響應于這些信號，調制第一 AC電壓，從而產生具有所期望的電壓幅值的第二 AC電壓。
28.如權利要求27所述的方法，其特征在于，所述調制第一AC電壓包括 調制所述第一 AC電壓的脈沖寬度。
29.如權利要求27所述的方法，其特征在于，所述調制第一AC電壓包括 調制所述第一 AC電壓的頻率。
30.如權利要求27所述的方法，其特征在于，提供給功率源的信號允許所述諧振電路在其諧振頻率處或接近其諧振頻率處工作。
31.如權利要求30所述的方法，還包括通過將檢測的輸入DC電流與設置點輸入電流進行比較，而調諧到諧振電路的最大工作頻率并且逼近電路的諧振頻率以得到所期望的工作電平。
32.如權利要求31所述的方法，還包括 在調諧到諧振電路的最大工作頻率期間，控制臭氧發(fā)生單元的諧振電壓；以及 通過將檢測的諧振電流與設置點諧振電流進行比較，而逼近電路的諧振頻率。
33.一種為臭氧產生提供電能的方法，包括 在多個功率源和多個臭氧發(fā)生單元之間直接耦合多個諧振電路，所述多個諧振電路與所述臭氧發(fā)生單元并聯耦合，其中所述多個諧振電路的每個諧振電路具有大于或等于10的Q-因子； 將來自多個功率源中的每一個的第一 AC電壓提供給各個諧振電路；以及 將來自每個諧振電路的第二 AC電壓提供給各個臭氧發(fā)生單元，第二 AC電壓大于第一AC電壓。
34.一種用于產生臭氧的電源，包括 多個功率源；直接耦合在多個源和多個臭氧發(fā)生單元之間的多個諧振電路，所述諧振電路與所述多個臭氧發(fā)生單元并聯耦合，其中所述多個諧振電路的每個諧振電路具有大于或等于10的Q-因子；以及 多個功率源中的每一個把第一 AC電壓提供給各個諧振電路，各個諧振電路把第二 AC電壓提供給各個臭氧發(fā)生單元，第二 AC電壓大于第一 AC電壓。
35.一種為臭氧產生提供電能的方法,包括 在功率源和臭氧發(fā)生單元之間直接耦合一諧振電路且所述諧振電路與所述臭氧發(fā)生單元并聯耦合的步驟，其中所述諧振電路具有大于或等于10的Q-因子； 將來自功率源的第一 AC電壓提供給諧振電路的步驟；以及 將來自諧振電路的第二 AC電壓提供給臭氧發(fā)生單元的步驟，第二 AC電壓大于第一 AC電壓。
36.一種電源,包括 功率源；以及 直接耦合到功率源的諧振電路，其中所述諧振電路具有大于或等于10的Q-因子；以及 并聯耦合到所述諧振電路的臭氧發(fā)生器。
37.一種開關-模式電源,包括 具有大于或等于10的Q-因子的諧振電路；以及 耦合到高Q諧振電路的控制器，其中控制器通過下列方式調制頻率(i)從極高或極低值開始；(ii)逼近高Q諧振電路的諧振頻率以得到所期望的輸出電平；以及(iii)提供諧振元件值的較寬容差。
全文摘要
提供用于產生臭氧的一種諧振電源(300)。電源(300)的優(yōu)點是降低成本和增加臭氧產生器的可靠性。電源(300)從功率源(320)把第一AC電壓提供給諧振電路(330)，并且諧振電路(330)把第二AC電壓提供給臭氧產生單元(110)，第二AC電壓大于第一AC電壓?？刂破?340)對適于電路諧振的電源(300)提供控制，該控制對于電路的高Q電路元件值具有較寬的容差。
文檔編號H02M5/458GK102664536SQ20121013728
公開日2012年9月12日 申請日期2006年8月14日 優(yōu)先權日2005年8月16日
發(fā)明者A·R·米勒納, I·埃爾金, K·泰蘭, M·喬什 申請人:Mks儀器股份有限公司