一種可替換定位銷結(jié)構(gòu)的托盤的制作方法
【專利摘要】一種可替換定位銷結(jié)構(gòu)的托盤,包括托盤定位銷、托盤凸臺(tái)，在托盤上設(shè)置有定位槽，托盤定位銷設(shè)置在定位槽中，由定位螺絲穿過托盤定位銷與設(shè)置在定位槽中的螺紋孔聯(lián)接，托盤定位銷的上端插入在蓋板上的定位孔中。所述的定位槽的中心設(shè)置有螺紋孔，螺紋孔為盲孔；定位槽的四周形狀與托盤定位銷及蓋板上的定位孔四周形狀一致；托盤定位銷與定位槽之間的外形尺寸配合性質(zhì)選擇為過渡配合。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡單、合理，加工、維修、裝拆更換方便；對托盤上裸露在腐蝕性環(huán)境中的部分進(jìn)行鍍鎳處理，提高其耐腐蝕性能；被腐蝕部分設(shè)計(jì)成可更換式結(jié)構(gòu)，產(chǎn)生消耗后只需更換受損部件，大大延長了托盤及蓋板的使用壽命，降低了生產(chǎn)成本。
【專利說明】
一種可替換定位銷結(jié)構(gòu)的托盤
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型涉及到半導(dǎo)體工藝裝備中LED刻蝕技術(shù)領(lǐng)域，具體的說是涉及到LED刻蝕機(jī)中核心組件藍(lán)寶石托盤的結(jié)構(gòu)，一種可替換定位銷結(jié)構(gòu)的托盤。
【背景技術(shù)】
[0002]LED刻蝕機(jī)用托盤是LED刻蝕機(jī)核心部件之一，用來裝載藍(lán)寶石基片或者GaN外延片。工藝過程中托盤蓋板機(jī)構(gòu)中的蓋板上表面及托盤定位銷裸露在腐蝕性環(huán)節(jié)中，藍(lán)寶石晶片被刻蝕的同時(shí)，托盤蓋板的裸露部分也受到工藝氣體的腐蝕，根據(jù)實(shí)際使用過程中的經(jīng)驗(yàn)，每一次完整工藝后，托盤定位銷會(huì)被腐蝕掉約0.1mm。托盤及蓋板的平均壽命只能分別在150、100個(gè)完整工藝。在大批量的生產(chǎn)過程中，每件托盤及蓋板的成本費(fèi)用近4千元人民幣，現(xiàn)有技術(shù)中的托盤及蓋板的結(jié)構(gòu)，消耗量非常巨大，增加了企業(yè)生產(chǎn)成本。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本實(shí)用新型的目的就是要提供一種可替換定位銷結(jié)構(gòu)的托盤，它能克服現(xiàn)有技術(shù)存在的以上問題。本實(shí)用新型的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的，一種可替換定位銷結(jié)構(gòu)的托盤，包括托盤定位銷、托盤凸臺(tái)，其特征在于:在托盤上設(shè)置有定位槽，托盤定位銷設(shè)置在定位槽中，由定位螺絲穿過托盤定位銷與設(shè)置在定位槽中的螺紋孔聯(lián)接，托盤定位銷的上端插入在蓋板上的定位孔中。
[0004]所述的定位槽，在托盤的上表面可以對稱設(shè)置或均布三等分設(shè)置；
[0005]所述的定位槽的中心設(shè)置有螺紋孔，所述的螺紋孔為盲孔；
[0006]所述的托盤定位銷的表面鍍鎳處理；
[0007]所述的定位螺絲表面鍍鎳處理；
[0008]所述的定位槽的四周形狀與托盤定位銷及蓋板上的定位孔四周形狀一致;所述的托盤定位銷與定位槽之間的外形尺寸配合性質(zhì)選擇為過渡配合。
[0009]本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡單、合理，加工、維修、裝拆更換方便;對托盤上裸露在腐蝕性環(huán)境中的部分進(jìn)行鍍鎳處理，提高其耐腐蝕性能;被腐蝕部分設(shè)計(jì)成可更換式結(jié)構(gòu)，產(chǎn)生消耗后只需更換受損部件，大大延長了托盤及蓋板的使用壽命，降低了生產(chǎn)成本。
[0010]【附圖說明】:
[0011 ]圖1可替換定位銷結(jié)構(gòu)的托盤示意圖；
[0012]圖2托盤與蓋板工作裝配示意圖；
[0013]圖3托盤與蓋板工作裝配爆炸示意圖；
[0014]圖4托盤定位銷在托盤上的爆炸示意圖；
[0015]1.托盤定位銷，2.托盤凸臺(tái)，3.托盤外圍環(huán)成區(qū)域，4.定位孔，5.定位槽，6.螺紋孔，8.定位螺紋。
[0016]【具體實(shí)施方式】:
[0017]下面結(jié)合附圖對本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明；
[0018]—種可替換定位銷結(jié)構(gòu)的托盤，包括托盤定位銷1、托盤凸臺(tái)2，其特征在于:在托盤上設(shè)置有定位槽5，托盤定位銷I設(shè)置在定位槽5中，由定位螺絲8穿過托盤定位銷I與設(shè)置在定位槽5中的螺紋孔6聯(lián)接，托盤定位銷I的上端插入在蓋板上的定位孔4中。
[0019]所述的定位槽5，在托盤的上表面可以對稱設(shè)置或均布三等分設(shè)置；
[0020]所述的定位槽5的中心設(shè)置有螺紋孔6，所述的螺紋孔6為盲孔；
[0021 ]所述的托盤定位銷I的表面鍍鎳處理；
[0022]所述的定位螺絲的表面鍍鎳處理；
[0023]所述的定位槽5的四周形狀與托盤定位銷I及蓋板上的定位孔4四周形狀一致;所述的托盤定位銷I與定位槽5之間的外形尺寸配合性質(zhì)選擇為過渡配合。
[0024]如圖1所示，為可替換定位銷結(jié)構(gòu)的托盤示意圖；工作過程中兩個(gè)托盤定位銷I上表面暴露在腐蝕環(huán)境中；
[0025]如圖2托盤與蓋板工作裝配示意圖、圖3托盤與蓋板工作裝配爆炸示意圖所示；
[0026]環(huán)形配重塊壓在蓋板未覆蓋托盤外圍環(huán)形區(qū)域3，在固定托盤的同時(shí)避免此區(qū)域直接接觸腐蝕環(huán)境；
[0027]如圖4所示，托盤定位銷在托盤上的爆炸示意圖；(I)托盤上設(shè)計(jì)定位槽5;(2)定位槽底部設(shè)計(jì)有螺紋孔6，所述的螺紋孔6為盲孔，能避免破壞托盤的密封性能；；(3)托盤定位銷I表面鍍鎳處理，與定位槽5之間的配合性質(zhì)為過渡配合;(4)定位螺紋8表面鍍鎳處理。
[0028]本實(shí)用新型將直接暴露在腐蝕環(huán)境中的托盤定位銷，設(shè)計(jì)成可替換式結(jié)構(gòu)，并做表面鍍鎳處理增加其耐腐蝕性能。當(dāng)暴露在外的托盤定位銷被腐蝕、消耗后，進(jìn)行簡單的替換即可以重新使用，延長托盤的使用壽命，降低了企業(yè)生產(chǎn)成本。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種可替換定位銷結(jié)構(gòu)的托盤，包括托盤定位銷(I)、托盤凸臺(tái)(2)，其特征在于:在托盤上設(shè)置有定位槽(5)，托盤定位銷(I)設(shè)置在定位槽(5)中，由定位螺絲(8)穿過托盤定位銷(I)與設(shè)置在定位槽(5)中的螺紋孔(6)聯(lián)接，托盤定位銷(I)的上端插入在蓋板上的定位孔(4)中。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可替換定位銷結(jié)構(gòu)的托盤，其特征在于:所述的定位槽(5)，在托盤的上表面可以對稱設(shè)置或均布三等分設(shè)置。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種可替換定位銷結(jié)構(gòu)的托盤，其特征在于:所述的定位槽(5)的中心設(shè)置有螺紋孔(6)，所述的螺紋孔(6)為盲孔。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可替換定位銷結(jié)構(gòu)的托盤，其特征在于:所述的托盤定位銷(I)的表面鍍鎳處理。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可替換定位銷結(jié)構(gòu)的托盤，其特征在于:所述的定位螺絲(8)的表面鍍鎳處理。6.要據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可替換定位銷結(jié)構(gòu)的托盤，其特征在于:所述的定位槽(5)的四周形狀與托盤定位銷(I)及蓋板上的定位孔(4)四周形狀一致;所述的托盤定位銷(I)與定位槽(5)之間的外形尺寸配合性質(zhì)選擇為過渡配合。
【文檔編號(hào)】H01L33/00GK205645776SQ201620481667
【公開日】2016年10月12日
【申請日】2016年5月25日
【發(fā)明人】游利, 馮昌延
【申請人】靖江先鋒半導(dǎo)體科技有限公司