一種新型led芯片的互聯(lián)結(jié)構(gòu)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ]本實(shí)用新型涉及LED領(lǐng)域,具體涉及一種新型LED芯片的互聯(lián)結(jié)構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0002]LED發(fā)光芯片具有體積小、能耗低、壽命長以及環(huán)保等優(yōu)點(diǎn),廣泛應(yīng)用于照明領(lǐng)域。LED芯片的主體是一個(gè)發(fā)光PN結(jié),主要由N型半導(dǎo)體、發(fā)光層和P型半導(dǎo)體組成,所述N型半導(dǎo)體和P型半導(dǎo)體上分別設(shè)置有金屬電極?,F(xiàn)有的LED芯片一般在發(fā)光PN結(jié)外覆蓋一層鈍化層(S12層),起保護(hù)作用,光阻層(由光刻膠形成)設(shè)置在鈍化層外。由于現(xiàn)有的LED芯片在制作過程中需要分別添加鈍化層和光阻層,之后還需對(duì)金屬電極上方的光阻層和鈍化層分別進(jìn)行蝕刻,使金屬電極外露,工序繁瑣,制作麻煩,增加成本,同時(shí),當(dāng)多個(gè)LED芯片通過金屬導(dǎo)線連接時(shí),串聯(lián)用的金屬導(dǎo)線蒸鍍?cè)阝g化層上,由于S12的附著力低,容易使金屬導(dǎo)線脫離并斷開,影響LED芯片之間的連接;此外,由于S12是硬性材料,抗沖擊、抗壓的能力較差,鈍化層不能很好起到保護(hù)作用。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0003]為克服現(xiàn)有技術(shù)的不足,本實(shí)用新型的目的在于提供一種新型LED芯片的互聯(lián)結(jié)構(gòu),利用軟性材料的光刻膠取代鈍化層對(duì)LED芯片的主體進(jìn)行保護(hù),同時(shí)承托蒸鍍的金屬導(dǎo)線層。
[0004]本實(shí)用新型為解決其技術(shù)問題采用的技術(shù)方案是:
[0005]—種新型LED芯片的互聯(lián)結(jié)構(gòu),包括襯底,所述襯底上設(shè)置有至少兩塊LED芯片,所述LED芯片包括依次設(shè)置在襯底上的N型半導(dǎo)體層、發(fā)光層和P型半導(dǎo)體層,其中N型半導(dǎo)體層部分暴露在發(fā)光層外,所述N型半導(dǎo)體層的暴露區(qū)上設(shè)置有N電極,P型半導(dǎo)體層表面設(shè)置有P電極,所述襯底上表面和LED芯片外涂抹有透明絕緣的光刻膠,并通過光刻工藝形成光阻層,所述光阻層上設(shè)置有使P電極和N電極外露的缺口,所述光阻層表面蒸鍍有金屬導(dǎo)線層,所述金屬導(dǎo)線層兩端分別連接不同的LED芯片上的電極。
[0006]作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步改進(jìn),所述金屬導(dǎo)線層一端連接P電極,另一端連接N電極。
[0007]作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步改進(jìn),所述襯底上方設(shè)置有用于分隔LED芯片的絕緣的芯片隔離帶,所述芯片隔離帶用絕緣光刻膠填充,起到分隔LED芯片的作用。
[0008]本實(shí)用新型的有益效果是:
[0009]本實(shí)用新型采用透明絕緣的光阻層直接覆蓋LED芯片,金屬導(dǎo)線層蒸鍍?cè)诠庾鑼由?,由于光阻層是采用軟性的光刻膠制作而成,易填充在LED芯片之間的空間,形成良好的支撐面,能很好地降低金屬線的大幅度起伏引起的電壓升高,且具備一定的粘附力,能很好的粘附金屬導(dǎo)線層。此外,光刻膠的抗沖擊、抗壓的能力比硬性材料的S12更為優(yōu)秀,光阻層取代鈍化層能更好的起到保護(hù)作用;光阻層取代鈍化層還減少了設(shè)置鈍化層和蝕刻鈍化層兩道工序,提高了 LED芯片的生產(chǎn)效率,并降低制造成本。
【附圖說明】
[0010]以下結(jié)合附圖和實(shí)例作進(jìn)一步說明。
[0011]圖1是本實(shí)用新型的LED芯片的互聯(lián)結(jié)構(gòu)的示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0012]參照?qǐng)D1,本實(shí)用新型提供的一種新型LED芯片的互聯(lián)結(jié)構(gòu),包括襯底10,所述襯底10上設(shè)置有至少兩塊LED芯片,所述LED芯片包括依次設(shè)置在襯底10上的N型半導(dǎo)體層20、發(fā)光層30和P型半導(dǎo)體層40,其中N型半導(dǎo)體層20部分暴露在發(fā)光層30外,所述N型半導(dǎo)體層20的暴露區(qū)上設(shè)置有N電極52,P型半導(dǎo)體層40表面設(shè)置有P電極51,所述襯底10上表面和LED芯片外涂抹有透明絕緣的光刻膠,并通過光刻工藝形成光阻層60,所述光阻層60上設(shè)置有使P電極51和N電極52外露的缺口,所述光阻層60表面蒸鍍有金屬導(dǎo)線層70,所述金屬導(dǎo)線層70兩端分別連接不同的LED芯片上的電極,其中一端連接P電極51,另一端連接N電極52。
[0013]此外,本發(fā)明提供了一種制作上述LED芯片互聯(lián)結(jié)構(gòu)的方法,包括以下步驟:S1、準(zhǔn)備一襯底10,在襯底10上方依次設(shè)置N型半導(dǎo)體層20、發(fā)光層30、P型半導(dǎo)體層40,通過刻蝕工藝暴露部分N型半導(dǎo)體層20和形成絕緣的芯片隔離帶,芯片隔離帶通過干刻腐蝕到襯底10表面,得到多個(gè)由芯片隔離帶分隔的LED芯片;S2、在N型半導(dǎo)體層20暴露區(qū)設(shè)置N電極52,P型半導(dǎo)體層40上表面設(shè)置P電極51 ;S3、通過光刻工藝將透明絕緣的光刻膠直接覆蓋在襯底10、芯片隔離帶和LED芯片外,形成光阻層60,采用顯影液把P電極51和N電極52上方的光阻層60刻蝕,使P電極51和N電極52暴露出來;S4、在光阻層60上蒸鍍金屬導(dǎo)線層70,金屬導(dǎo)線層70的兩端分別連接不同的LED芯片上的電極。
[0014]進(jìn)一步,上述方法中的步驟S2和S3還可以進(jìn)行互換,形成另一種制備方法,包括以下步驟:T1、準(zhǔn)備一襯底10,在襯底10上方依次設(shè)置N型半導(dǎo)體層20、發(fā)光層30、P型半導(dǎo)體層40,通過刻蝕工藝暴露部分N型半導(dǎo)體層20和形成絕緣的芯片隔離帶,芯片隔離帶通過干刻腐蝕到襯底10表面,得到多個(gè)由芯片隔離帶分隔的LED芯片;T2、通過光刻工藝將透明絕緣的光刻膠直接覆蓋在襯底10、芯片隔離帶和LED芯片外,形成光阻層60,采用顯影液把N型半導(dǎo)體層20暴露區(qū)和P型半導(dǎo)體層40上表面的部分光阻層60刻蝕掉,使N型半導(dǎo)體層20和P型半導(dǎo)體層40暴露出來;T3、在暴露出來的N型半導(dǎo)體層20上設(shè)置N電極52,P型半導(dǎo)體層40上設(shè)置P電極51 ;T4、在光阻層60上蒸鍍金屬導(dǎo)線層70,金屬導(dǎo)線層70的兩端分別連接不同的LED芯片上的電極。
[0015]本實(shí)用新型采用透明絕緣的光阻層60直接覆蓋LED芯片,金屬導(dǎo)線層70蒸鍍?cè)诠庾鑼?0上,由于光阻層60是采用軟性的光刻膠制作而成,易填充在LED芯片之間的空間,形成良好的支撐面,能很好地降低金屬線的大幅度起伏引起的電壓升高,且具備一定的粘附力,能很好的粘附金屬導(dǎo)線層70。此外,光刻膠的抗沖擊、抗壓的能力比硬性材料的S12更為優(yōu)秀,光阻層60取代鈍化層能更好的起到保護(hù)作用;光阻層60取代鈍化層還減少了設(shè)置鈍化層和蝕刻鈍化層兩道工序,提高了 LED芯片的生產(chǎn)效率,并降低制造成本。
[0016]以上所述,只是本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已,本實(shí)用新型并不局限于上述實(shí)施方式,只要其以相同的手段達(dá)到本實(shí)用新型的技術(shù)效果,都應(yīng)屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種新型LED芯片的互聯(lián)結(jié)構(gòu),其特征在于:包括襯底(10),所述襯底(10)上設(shè)置有至少兩塊LED芯片,所述LED芯片包括依次設(shè)置在襯底(10)上的N型半導(dǎo)體層(20)、發(fā)光層(30)和P型半導(dǎo)體層(40),其中N型半導(dǎo)體層(20)部分暴露在發(fā)光層(30)外,所述N型半導(dǎo)體層(20)的暴露區(qū)上設(shè)置有N電極(52),P型半導(dǎo)體層(40)表面設(shè)置有P電極(51),所述襯底(10)上表面和LED芯片外涂抹有透明絕緣的光刻膠,并通過光刻工藝形成光阻層(60),所述光阻層(60)上設(shè)置有使P電極(51)和N電極(52)外露的缺口,所述光阻層(60)表面蒸鍍有金屬導(dǎo)線層(70),所述金屬導(dǎo)線層(70)兩端分別連接不同的LED芯片上的電極。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種新型LED芯片的互聯(lián)結(jié)構(gòu),其特征在于:所述金屬導(dǎo)線層(70)一端連接P電極(51),另一端連接N電極(52)。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種新型LED芯片的互聯(lián)結(jié)構(gòu),其特征在于:所述襯底(10)上方設(shè)置有用于分隔LED芯片的絕緣的芯片隔離帶。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種新型LED芯片的互聯(lián)結(jié)構(gòu),并具體公開了利用透明絕緣的光刻膠形成的光阻層對(duì)LED芯片進(jìn)行保護(hù),同時(shí)對(duì)連接LED芯片的金屬導(dǎo)線層進(jìn)行支撐和粘附,使其不易斷裂。由于光阻層是采用軟性的光刻膠制作而成,易填充在LED芯片之間的空間,形成良好的支撐面,能很好地降低金屬線的大幅度起伏引起的電壓升高,且具備一定的粘附力,能很好的粘附金屬導(dǎo)線層,此外,光刻膠的抗沖擊、抗壓的能力比硬性材料的SiO2更為優(yōu)秀,使光阻層能起到保護(hù)作用;本設(shè)計(jì)還減少了設(shè)置鈍化層和蝕刻鈍化層兩道工序,提高了LED芯片的生產(chǎn)效率,并降低制造成本。
【IPC分類】H01L33/62, H01L33/44, H01L27/15
【公開號(hào)】CN205231062
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520984662
【發(fā)明人】易翰翔, 郝銳, 劉洋, 許徳裕
【申請(qǐng)人】廣東德力光電有限公司
【公開日】2016年5月11日
【申請(qǐng)日】2015年11月30日