一種帶防靜電涂層的考夫曼電源的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種新型離子源，特別涉及一種帶防靜電涂層的考夫曼電源。
【背景技術(shù)】
[0002]離子束薄膜沉積和離子束材料改性技術(shù)是材料科學(xué)的一個(gè)重要分支，離子束技術(shù)的研宄和推廣取得了巨大的成就。目前，離子源的種類很多，Kaufman(考夫曼)離子源是使用較為廣泛的對(duì)薄膜進(jìn)行離子束轟擊的裝置，該裝置的基本工作原理為:首先由陰極在離子源內(nèi)腔產(chǎn)生等離子體，然后由兩層或三層陽極柵格將離子從等離子腔體中抽取出來，這種離子源產(chǎn)生的離子方向性強(qiáng)，離子能量帶寬集中，可廣泛應(yīng)用于真空鍍膜中。
[0003]在實(shí)際操作過程中，真空室充滿金屬離子，尤其是離子源附近。由于屏級(jí)和加速電極的靜電作用，在兩器件之間縫隙沉積金屬砰肩。沉積的金屬碎肩經(jīng)常引起電路短路。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]為解決上述實(shí)際問題，本實(shí)用新型提供一種帶防靜電涂層的考夫曼電源。防止屏級(jí)和加速電極之間的金屬離子靜電吸附。
[0005]一種帶防靜電涂層的考夫曼電源，包括進(jìn)氣口、陰極、陽極、放電室、磁棒、屏極、加速極、中和燈絲，其特征在于:加速電極靠近屏極的表面涂覆防靜電涂層。
[0006]所述防靜電涂層為金屬氧化物，有防靜電功能。
[0007]本實(shí)用新型有益效果:
[0008]防靜電涂層能夠消除加速電極的金屬離子沉積，能夠消除由于金屬沉積造成的短路現(xiàn)象。
【附圖說明】
[0009]圖1為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)圖
【具體實(shí)施方式】
[0010]如圖1所示離子源結(jié)構(gòu)圖，它由放電室和離子引出系統(tǒng)兩部分組成，其工作原理與現(xiàn)有考夫曼離子源工作原理相同。陰極2位于放電室中央，與陽極3共同作用，在工作電壓下發(fā)射電子。引出系統(tǒng)采用雙柵極系統(tǒng)，由一個(gè)屏極6與一個(gè)加速極7組成，進(jìn)氣口 I通入惰性氣體，一般采用氬氣進(jìn)入離子源，氣體在放電室4中電離形成的離子，由雙柵極系統(tǒng)拔出形成離子束。中和燈絲8發(fā)射電子對(duì)離子束進(jìn)行中和。磁棒5在此過程中起到控制與篩選等離子體的作用。
[0011]加速電極7靠近屏極6的表面涂覆防靜電涂層9。防靜電涂層9 一般采用具有防靜電功能的金屬氧化物。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種帶防靜電涂層的考夫曼電源，包括進(jìn)氣口⑴、陰極⑵、陽極⑶、放電室(4)、磁棒(5)、屏極(6)、加速極(7)、中和燈絲(8)，其特征在于:加速電極(7)靠近屏極(6)的表面涂覆防靜電涂層(9)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種帶防靜電涂層的考夫曼電源，其特征在于:防靜電涂層(9)為金屬氧化物，有防靜電功能。
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種新型離子源，特別涉及一種帶防靜電涂層的考夫曼電源。所述加速電極靠近屏極的表面涂覆防靜電涂層，所述防靜電涂層為金屬氧化物，有防靜電功能。防靜電涂層能夠消除加速電極的金屬離子沉積，能夠消除由于金屬沉積造成的短路現(xiàn)象。
【IPC分類】H01J37-08
【公開號(hào)】CN204497191
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520291209
【發(fā)明人】喬憲武, 吳昊
【申請(qǐng)人】中國(guó)計(jì)量學(xué)院
【公開日】2015年7月22日
【申請(qǐng)日】2015年4月30日