用于輸送和倒裝部件的設(shè)備和方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及與轉(zhuǎn)塔模塊聯(lián)合使用的用于輸送和倒裝部件的設(shè)備。設(shè)備包括安裝在平臺(tái)上的至少一對(duì)間隔開(kāi)的倒裝臂，即，第一倒裝臂和第二倒裝臂。每個(gè)倒裝臂設(shè)置有一個(gè)噴嘴，噴嘴具有被構(gòu)造成拾取部件的一端和被固定地安裝在軸上的另一端，軸被支承在倒裝臂上，并且軸操作地連接至旋轉(zhuǎn)致動(dòng)裝置。旋轉(zhuǎn)致動(dòng)裝置適于能夠?qū)崿F(xiàn)軸的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，從而使所述噴嘴在相反方向上旋轉(zhuǎn)大致90度。設(shè)備還設(shè)置有適合安裝在平臺(tái)上的線性致動(dòng)裝置。該線性致動(dòng)裝置能夠操作地連接至倒裝臂中至少一者，并且線性致動(dòng)裝置適于能夠使倒裝臂在水平方向上運(yùn)動(dòng)使得將噴嘴定位成彼此靠近，以用于在倒裝臂之間傳送部件并且從而將部件倒裝180度。
【專利說(shuō)明】
用于輸送和倒裝部件的設(shè)備和方法
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及用于輸送和倒裝部件的設(shè)備和方法，更具體地涉及在半導(dǎo)體工業(yè)中與轉(zhuǎn)塔模塊聯(lián)合使用的用于輸送和倒裝部件的設(shè)備和方法。
【背景技術(shù)】
[0002]半導(dǎo)體加工可以分成通常被稱為前端工藝和后端工藝的兩個(gè)順序子工藝。轉(zhuǎn)塔模塊由于其高吞吐率而廣泛用在后端工藝中，比如測(cè)試、檢查和封裝半導(dǎo)體部件。
[0003]在半導(dǎo)體部件的加工期間，會(huì)需要在后端工藝中根據(jù)各種狀況或需求來(lái)改變半導(dǎo)體部件的取向。例如，在可以執(zhí)行測(cè)試或檢查之前需要將半導(dǎo)體部件中的一些半導(dǎo)體部件從“活蟲(chóng)(live-bug) ”位置改變至“死蟲(chóng)(dead-bug) ”位置，或者反之，從“死蟲(chóng)”位置改變至“活蟲(chóng)”位置。應(yīng)當(dāng)注意，可以通過(guò)將部件倒裝或顛倒180度來(lái)改變半導(dǎo)體部件的期望取向。工業(yè)上使用的現(xiàn)有倒裝模塊涉及復(fù)雜過(guò)程，因而可能會(huì)影響整個(gè)后端工藝的進(jìn)程，這是因?yàn)閷雽?dǎo)體部件的取向改變或顛倒成期望取向花費(fèi)較多時(shí)間。
[0004]因此，期望提供下述設(shè)備:該設(shè)備被構(gòu)造成柔性地與轉(zhuǎn)塔模塊聯(lián)合使用，并且能夠執(zhí)行簡(jiǎn)單又高效的工藝來(lái)改變半導(dǎo)體部件的取向以用于進(jìn)一步加工。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明涉及一種與轉(zhuǎn)塔模塊聯(lián)合使用的用于輸送和倒裝部件的設(shè)備。在優(yōu)選實(shí)施方式中，設(shè)備包括適合安裝在平臺(tái)上的至少一對(duì)間隔開(kāi)的倒裝臂，即，第一倒裝臂和第二倒裝臂。應(yīng)當(dāng)注意，倒裝臂優(yōu)選地定位成彼此相鄰。
[0006]每個(gè)倒裝臂設(shè)置有一個(gè)噴嘴，其中，第一噴嘴與第一倒裝臂相關(guān)聯(lián)，并且第二噴嘴與第二倒裝臂相關(guān)聯(lián)。第一噴嘴和第二噴嘴各自具有被構(gòu)造成從轉(zhuǎn)塔模塊的拾取頭拾取部件的一端和被固定地安裝在軸上的另一端，其中噴嘴的縱軸線基本上垂直于該軸的縱軸線。根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式，軸被支承在倒裝臂上，并且該軸能夠操作地連接至旋轉(zhuǎn)致動(dòng)裝置。該旋轉(zhuǎn)致動(dòng)裝置適于能夠?qū)崿F(xiàn)軸繞該軸的縱軸線的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，從而使噴嘴旋轉(zhuǎn)大致90度。應(yīng)當(dāng)注意，噴嘴在相反方向上被旋轉(zhuǎn)，使得噴嘴的拾取部件的端被定位成彼此面對(duì)。優(yōu)選地，設(shè)備設(shè)置有氣動(dòng)裝置，該氣動(dòng)裝置控制噴嘴的壓力以使噴嘴夾持或釋放部件。
[0007]優(yōu)選地，設(shè)備設(shè)置有線性致動(dòng)裝置，該線性致動(dòng)裝置適合安裝在平臺(tái)上。應(yīng)當(dāng)注意，線性致動(dòng)裝置操作地連接至倒裝臂中至少一者。線性致動(dòng)裝置適于能夠使一個(gè)或者多個(gè)倒裝臂在水平方向上運(yùn)動(dòng)。
[0008]在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式中，線性致動(dòng)裝置能夠操作地連接至第一倒裝臂。在此實(shí)施方式中，第一倒裝臂水平地接近或遠(yuǎn)離第二倒裝臂運(yùn)動(dòng)。在另一實(shí)施方式中，線性致動(dòng)裝置能夠操作地連接至第二倒裝臂。在此實(shí)施方式中，第二倒裝臂水平地接近或遠(yuǎn)離第一倒裝臂運(yùn)動(dòng)。在本發(fā)明的又一實(shí)施方式中，線性致動(dòng)裝置操作地連接至第一倒裝臂和第二倒裝臂。在此實(shí)施方式中，倒裝臂能夠水平地彼此接近或遠(yuǎn)離地運(yùn)動(dòng)。
[0009]應(yīng)當(dāng)注意，以上三個(gè)實(shí)施方式各自的線性致動(dòng)裝置設(shè)置有傳感器和/或編碼器。傳感器和/或編碼器適于控制和確定由一個(gè)或者多個(gè)運(yùn)動(dòng)的倒裝臂行進(jìn)的距離，使得將被構(gòu)造成拾取部件的噴嘴的端定位成彼此靠近，從而允許從第一噴嘴至第二噴嘴傳送部件。將理解的是，當(dāng)從第一噴嘴至第二噴嘴傳送部件時(shí)，部件被倒裝180度。
[0010]本發(fā)明包括若干新穎特征和后文在所附【具體實(shí)施方式】和附圖中充分描述并且說(shuō)明的部分的組合，應(yīng)當(dāng)理解，可以在不偏離本發(fā)明的范圍的情況下或者在不犧牲本發(fā)明的任何優(yōu)點(diǎn)的情況下對(duì)細(xì)節(jié)進(jìn)行各種變化。
【附圖說(shuō)明】
[0011]根據(jù)本文下面給出的【具體實(shí)施方式】和附圖，將充分理解本發(fā)明，附圖僅以示例而給出，因此不限制本發(fā)明，其中:
[0012]圖1示出了與轉(zhuǎn)塔模塊聯(lián)合使用的用于輸送和倒裝部件的設(shè)備的立體圖；
[0013]圖2示出了設(shè)備的后視圖，其中第一噴嘴夾持從轉(zhuǎn)塔模塊的拾取頭拾取的部件；
[0014]圖3示出了設(shè)備的后視圖，其中第一倒裝臂和第二倒裝臂的噴嘴被旋轉(zhuǎn)大致90度；以及
[0015]圖4示出了設(shè)備的后視圖，其中第二噴嘴夾持被倒裝180度的部件。
【具體實(shí)施方式】
[0016]本發(fā)明涉及與轉(zhuǎn)塔模塊聯(lián)合使用的用于輸送和倒裝部件的設(shè)備。在后文中，本說(shuō)明書(shū)將根據(jù)優(yōu)選實(shí)施方式來(lái)描述本發(fā)明。然而，應(yīng)當(dāng)理解的是，將【具體實(shí)施方式】限于本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式僅是便利論述本發(fā)明，并且能夠想到的是，本領(lǐng)域內(nèi)技術(shù)人員可以在不偏離所附權(quán)利要求的范圍的情況下設(shè)計(jì)各種修改和等同內(nèi)容。
[0017]現(xiàn)在將根據(jù)附圖，即圖1至圖4，單獨(dú)地或者以其任意組合的方式來(lái)描述根據(jù)執(zhí)行本發(fā)明的優(yōu)選方式的與轉(zhuǎn)塔模塊聯(lián)合使用的用于輸送和倒裝部件的設(shè)備。
[0018]參照?qǐng)D1和圖2，其中示出了根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式的用于輸送和倒裝部件10的設(shè)備I。設(shè)備I包括至少一對(duì)間隔開(kāi)的倒裝臂，即，第一倒裝臂100和第二倒裝臂300。倒裝臂100和300優(yōu)選地定位成彼此相鄰，并且適合安裝在平臺(tái)500上。應(yīng)當(dāng)注意，倒裝臂
100、300各自設(shè)置有噴嘴，S卩，第一噴嘴110和第二噴嘴310，其中，第一噴嘴110與第一倒裝臂100相關(guān)聯(lián)，并且第二噴嘴310與第二倒裝臂300相關(guān)聯(lián)。
[0019]在本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式中，噴嘴110、310各自具有被構(gòu)造成優(yōu)選地從轉(zhuǎn)塔模塊30的拾取頭31拾取部件10的一端111、311和被固定地安裝在軸130、330上的另一端113、313，其中噴嘴110、310的縱軸線基本上垂直于軸130、330的縱軸線。應(yīng)當(dāng)注意，部件10可以包括但不限于半導(dǎo)體晶片(die)或芯片。在優(yōu)選實(shí)施方式中，軸130、330各自被支承在倒裝臂100、300上，并且軸130、330各自操作地連接至旋轉(zhuǎn)致動(dòng)裝置150、350。作為示例而非限制，旋轉(zhuǎn)致動(dòng)裝置150、350屬于音圈型等。
[0020]根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式的旋轉(zhuǎn)致動(dòng)裝置150和350適于能夠?qū)崿F(xiàn)軸130和330繞該軸130、330的縱軸線的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，使得將噴嘴110和310旋轉(zhuǎn)大致90度。應(yīng)當(dāng)注意，使第一噴嘴110和第二噴嘴310在相反方向上旋轉(zhuǎn)，使得將第一噴嘴110的端111和第二噴嘴310的端311被定位成彼此面對(duì)，如圖3所示。根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式，設(shè)備I設(shè)置有氣動(dòng)裝置(未示出)，該氣動(dòng)裝置控制噴嘴110和310的壓力，使得能夠使噴嘴110和310夾持或釋放部件10。應(yīng)當(dāng)注意，氣動(dòng)裝置可以包括但不限于壓力調(diào)節(jié)器或真空栗。
[0021]設(shè)備I設(shè)置有線性致動(dòng)裝置400。線性致動(dòng)裝置400適合安裝在平臺(tái)500上，并且線性致動(dòng)裝置400操作地連接至倒裝臂100、300中至少一者。線性致動(dòng)裝置400適于能夠使倒裝臂100、300或者倒裝臂100和300在水平方向上運(yùn)動(dòng)，使得使噴嘴110、310彼此接近或遠(yuǎn)離。線性致動(dòng)裝置400設(shè)置有傳感器和/或編碼器(未示出)。應(yīng)當(dāng)注意，傳感器和/或編碼器適于控制和確定由運(yùn)動(dòng)的倒裝臂100、300或者倒裝臂100和300行進(jìn)的距離。使被構(gòu)造成拾取部件10的噴嘴110和310的端111和311在將部件10從第一噴嘴110至第二噴嘴310傳送期間彼此緊靠近。當(dāng)部件10被傳送至第二噴嘴310時(shí)，線性致動(dòng)裝置400可操作地使倒裝臂100、300或者倒裝臂100和300返回至相應(yīng)原始位置。然后，旋轉(zhuǎn)致動(dòng)裝置150和350使軸130和330繞該軸130和330的縱軸線旋轉(zhuǎn)，以使噴嘴110和310返回至相應(yīng)原始位置。這樣，夾持在第二噴嘴310上的部件10將會(huì)被倒裝180度，同時(shí)第一噴嘴110準(zhǔn)備好接收要被倒裝的另一部件，如圖4所示。
[0022]在一個(gè)實(shí)施方式中，線性致動(dòng)裝置400被操作地連接至第一倒裝臂100，從而實(shí)現(xiàn)第一倒裝臂100接近或遠(yuǎn)離第二倒裝臂300的水平運(yùn)動(dòng)。在另一實(shí)施方式中，線性致動(dòng)裝置400被操作地連接至第二倒裝臂300。在此實(shí)施方式中，第二倒裝臂300水平地接近或遠(yuǎn)離第一倒裝臂100運(yùn)動(dòng)。在又一實(shí)施方式中，線性致動(dòng)裝置被操作地連接至第一倒裝臂100和第二倒裝臂300，從而實(shí)現(xiàn)第一倒裝臂100和第二倒裝臂300彼此接近或遠(yuǎn)離的水平運(yùn)動(dòng)。作為示例而非限制，線性致動(dòng)裝置400屬于音圈型等。
[0023]本發(fā)明還涉及根據(jù)上述設(shè)備I的與轉(zhuǎn)塔模塊30聯(lián)合使用的用于輸送并且倒裝部件10的方法，其中，該方法包括下述步驟:
[0024]a、將與第一倒裝臂100相關(guān)聯(lián)的第一噴嘴110與負(fù)壓源相連接；
[0025]b、用第一噴嘴110優(yōu)選地從轉(zhuǎn)塔模塊30的拾取頭31來(lái)拾取部件10 ;
[0026]C、使第一噴嘴110和與第二倒裝臂300相關(guān)聯(lián)的第二噴嘴310在相反方向上旋轉(zhuǎn)大致90度，使得將噴嘴110和310定位成彼此面對(duì)；
[0027]d、使倒裝臂100、300、或者100和300中至少一者在水平方向上運(yùn)動(dòng)，從而使噴嘴110和310彼此緊靠近；
[0028]e、將負(fù)壓源連接至第二噴嘴310 ;
[0029]f、中和第一噴嘴110處的負(fù)壓力，從而將部件10從第一噴嘴110至第二噴嘴310
傳送；
[0030]g、使倒裝臂100和300在水平方向上遠(yuǎn)離地進(jìn)行運(yùn)動(dòng)；
[0031]h、使第一噴嘴110和第二噴嘴310運(yùn)動(dòng)至豎直向上位置，從而將部件10倒裝180度；以及
[0032]1、重復(fù)步驟a至h，以用于拾取并且倒裝第二部件。
[0033]方法還包括下述步驟:提供轉(zhuǎn)塔裝置150、350，該轉(zhuǎn)塔裝置150、350被操作地連接至軸130、330，其中該軸130,330被支承在倒裝臂100,300上。應(yīng)當(dāng)注意，倒裝臂100,300的噴嘴110、310的一端111、311被構(gòu)造成拾取部件10，并且倒裝臂100、300的噴嘴110、310的另一端113、313被固定地安裝在軸130、330上，其中噴嘴110、310的縱軸線基本上垂直于該軸130、330的縱軸線。旋轉(zhuǎn)致動(dòng)裝置150、350適于能夠?qū)崿F(xiàn)軸130、330繞該軸130、330的縱軸線的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，從而實(shí)現(xiàn)噴嘴110、310在相反方向上的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。
[0034]在優(yōu)選實(shí)施方式中，方法還包括下述步驟:提供氣動(dòng)裝置，該氣動(dòng)裝置控制噴嘴110、310的壓力，使得能夠使噴嘴110、310夾持或釋放部件10。應(yīng)當(dāng)注意，根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式的方法還包括下述步驟:提供線性致動(dòng)裝置400，該線性致動(dòng)裝置400操作地連接至倒裝臂100、300與100和300中至少一者。在優(yōu)選實(shí)施方式中，線性致動(dòng)裝置400適合安裝在平臺(tái)500上。
[0035]線性致動(dòng)裝置400被構(gòu)造成實(shí)現(xiàn)倒裝臂100、300或者倒裝臂100和300的水平運(yùn)動(dòng)，使得將噴嘴110、310定位成彼此充分靠近，以用于在第一噴嘴110與第二噴嘴310之間傳送部件10。在一個(gè)實(shí)施方式中，第一倒裝臂100適于水平地接近或遠(yuǎn)離第二倒裝臂300運(yùn)動(dòng)。在另一實(shí)施方式中，第二倒裝臂300適于水平地接近或遠(yuǎn)離第一倒裝臂100運(yùn)動(dòng)。在又一實(shí)施方式中，第一倒裝臂100和第二倒裝臂300適于水平地彼此接近或遠(yuǎn)離地運(yùn)動(dòng)。線性致動(dòng)裝置400設(shè)置有傳感器和/或編碼器以確定和控制通過(guò)倒裝臂100、300或者倒裝臂100和300行進(jìn)的距離。
[0036]當(dāng)部件10已被傳送至第二噴嘴310時(shí)，倒裝臂100和300遠(yuǎn)離地運(yùn)動(dòng)，然后使第一噴嘴110和第二噴嘴310旋轉(zhuǎn)回到其相應(yīng)原始位置。夾持在第二噴嘴310中的部件10將會(huì)被倒裝180度并且準(zhǔn)備好通過(guò)轉(zhuǎn)塔模塊30的拾取頭31被拾取以用于進(jìn)一步加工，同時(shí)第一噴嘴準(zhǔn)備好接收另一部件10。
[0037]明顯的是，這樣描述的本發(fā)明可以按照許多方式修改。這種修改不應(yīng)當(dāng)視為偏離本發(fā)明的原理和范圍，本領(lǐng)域技術(shù)人員能夠理解，所有這種修改旨在包括在所附權(quán)利要求的范圍內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種與轉(zhuǎn)塔模塊(30)聯(lián)合使用的用于輸送和倒裝部件(10)的設(shè)備(I)，所述設(shè)備(I)包括: 安裝在平臺(tái)(500)上的至少一對(duì)間隔開(kāi)的倒裝臂(100、300)，S卩，第一倒裝臂(100)和第二倒裝臂(300);其中，每個(gè)所述倒裝臂(100、300)設(shè)置有一個(gè)噴嘴，S卩，與所述第一倒裝臂(100)相關(guān)聯(lián)的第一噴嘴(110)和與所述第二倒裝臂(300)相關(guān)聯(lián)的第二噴嘴(310)，每個(gè)所述噴嘴具有被構(gòu)造成拾取所述部件(10)的一端(111、311)和被固定地安裝在軸(130.330)上的另一端(113、313)，其中所述噴嘴(110、310)的縱軸線基本上垂直于所述軸(130、330)的縱軸線；所述軸(130、330)被支承在所述倒裝臂(100、300)上，并且被操作地連接至旋轉(zhuǎn)致動(dòng)裝置(150、350);其中，所述旋轉(zhuǎn)致動(dòng)裝置(150、350)適于能夠?qū)崿F(xiàn)所述軸(130.330)繞所述軸(130、330)的縱軸線的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，從而實(shí)現(xiàn)所述噴嘴(110、310)大致90度的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，其中，所述噴嘴(110、310)在相反方向上被引起旋轉(zhuǎn)，使得被構(gòu)造成拾取所述部件(10)的所述噴嘴(110、310)的端(111、311)被定位成彼此面對(duì)； 氣動(dòng)裝置，所述氣動(dòng)裝置用于控制所述噴嘴(110、310)處的壓力，以使所述噴嘴(110、310)能夠夾持或釋放所述部件(10);以及 線性致動(dòng)裝置(400)，所述線性致動(dòng)裝置(400)安裝在所述平臺(tái)(500)上，并且被操作地連接至所述倒裝臂(100、300、與100和300)中至少一者，所述線性致動(dòng)裝置(400)適于能夠使所述倒裝臂(100、300、與100和300)中至少一者在水平方向上運(yùn)動(dòng)，以使所述噴嘴(110、310)彼此接近或遠(yuǎn)離。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于輸送和倒裝部件(10)的設(shè)備(I)，其中，兩個(gè)所述倒裝臂(100和300)優(yōu)選地被定位成彼此相鄰。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于輸送和倒裝部件(10)的設(shè)備(I)，其中，所述第一倒裝臂(100)水平地接近或遠(yuǎn)離所述第二倒裝臂(300)運(yùn)動(dòng)。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于輸送和倒裝部件(10)的設(shè)備(I)，其中，所述第二倒裝臂(300)水平地接近或遠(yuǎn)離所述第一倒裝臂(100)運(yùn)動(dòng)。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于輸送和倒裝部件(10)的設(shè)備(I)，其中，所述第一倒裝臂(100)和所述第二倒裝臂(300)水平地彼此接近或遠(yuǎn)離地運(yùn)動(dòng)。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于輸送和倒裝部件(10)的設(shè)備(I)，其中，所述線性致動(dòng)裝置(400)設(shè)置有傳感器和/或編碼器。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的用于輸送和倒裝部件(10)的設(shè)備(I)，其中，所述傳感器和/或編碼器確定通過(guò)運(yùn)動(dòng)的倒裝臂(100、300)或者多個(gè)倒裝臂(100和300)行進(jìn)的距離，使得被構(gòu)造成拾取所述部件(10)的所述噴嘴(110、310)的端(111、311)彼此緊靠近，以實(shí)現(xiàn)將所述部件(10)從所述第一噴嘴(110)傳送至所述第二噴嘴(310)。8.—種與轉(zhuǎn)塔模塊(30)聯(lián)合使用的用于輸送和倒裝部件(10)的方法，所述方法根據(jù)所述用于輸送和倒裝部件(10)的設(shè)備(I)，所述方法包括下述步驟: a、將與第一倒裝臂(100)相關(guān)聯(lián)的第一噴嘴(110)與負(fù)壓源相連接； b、用所述第一噴嘴(110)來(lái)拾取部件(10); c、使所述第一噴嘴(110)和與第二倒裝臂(300)相關(guān)聯(lián)的第二噴嘴(310)在相反方向上旋轉(zhuǎn)大致90度，使得將所述噴嘴(110和310)定位成彼此面對(duì)； d、使所述倒裝臂(100、300、與100和300)中至少一者在水平方向上運(yùn)動(dòng)，從而使所述噴嘴(110和310)彼此緊靠近； e、將所述負(fù)壓源連接至所述第二噴嘴(310); f、中和所述第一噴嘴(110)處的負(fù)壓力，從而將所述部件(10)從所述第一噴嘴(110)傳送至所述第二噴嘴(310); g、使所述倒裝臂(100和300)在所述水平方向上遠(yuǎn)離地進(jìn)行運(yùn)動(dòng)； h、使所述第一噴嘴(110)和所述第二噴嘴(310)運(yùn)動(dòng)至豎直向上位置，從而將所述部件(10)倒裝180度；以及 1、重復(fù)步驟a至h，以用于拾取和倒裝另一部件。9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的用于輸送和倒裝部件(10)的方法，其中，在步驟b中，所述第一噴嘴(110)優(yōu)選地從所述轉(zhuǎn)塔模塊(30)的拾取頭(31)拾取所述部件(10)。10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的用于輸送和倒裝部件(10)的方法，其中，在步驟h中，優(yōu)選地通過(guò)所述轉(zhuǎn)塔模塊(30)的(31)來(lái)拾取被倒裝180度的部件(10)。11.根據(jù)權(quán)利要求8所述的用于輸送和倒裝部件(10)的方法，其中，所述噴嘴(110、310)具有被構(gòu)造成拾取所述部件(10)的一端(111、311)和被固定地安裝在軸(130、330)上的另一端(113、313)，所述軸(130,330)被支承在所述倒裝臂(100,300)上。12.根據(jù)權(quán)利要求8所述的用于輸送和倒裝部件(10)的方法，其中，所述軸(130、330)被操作地連接至旋轉(zhuǎn)致動(dòng)裝置(150、350)。13.根據(jù)權(quán)利要求8或12所述的用于輸送和倒裝部件(10)的方法，其中，所述旋轉(zhuǎn)致動(dòng)裝置(150、350)適于能夠?qū)崿F(xiàn)所述軸(130、330)的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，從而實(shí)現(xiàn)噴嘴(110、310)在相反方向上的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，使得將被構(gòu)造成拾取所述部件(10)的所述噴嘴(110、310)的端(111、311)定位成彼此面對(duì)。14.根據(jù)權(quán)利要求8所述的用于輸送和倒裝部件(10)的方法，其中，在步驟a、e和f中，通過(guò)氣動(dòng)裝置來(lái)控制所述噴嘴(110、310)的壓力。15.根據(jù)權(quán)利要求8所述的用于輸送和倒裝部件(10)的方法，其中，在步驟d和g中，通過(guò)線性致動(dòng)裝置(400)來(lái)實(shí)現(xiàn)所述倒裝臂(100、300)的水平運(yùn)動(dòng)，所述線性致動(dòng)裝置(400)被操作地連接至所述倒裝臂(100、300、與100和300)中至少一者。16.根據(jù)權(quán)利要求8或15所述的用于輸送和倒裝部件(10)的方法，其中，所述第一倒裝臂(100)水平地接近或遠(yuǎn)離所述第二倒裝臂(300)運(yùn)動(dòng)。17.根據(jù)權(quán)利要求8或15所述的用于輸送和倒裝部件(10)的方法，其中，所述第二倒裝臂(300)水平地接近或遠(yuǎn)離所述第一倒裝臂(100)運(yùn)動(dòng)。18.根據(jù)權(quán)利要求8或15所述的用于輸送和倒裝部件(10)的方法，其中，所述第一倒裝臂(100)和所述第二倒裝臂(300)水平地彼此接近或遠(yuǎn)離地運(yùn)動(dòng)。19.根據(jù)權(quán)利要求8或15所述的用于輸送和倒裝部件(10)的方法，其中，通過(guò)傳感器和/或編碼器來(lái)確定通過(guò)運(yùn)動(dòng)的倒裝臂(100、300)或者多個(gè)倒裝臂(100和300)行進(jìn)的距離。
【文檔編號(hào)】H01L21/677GK105895567SQ201510329968
【公開(kāi)日】2016年8月24日
【申請(qǐng)日】2015年6月15日
【發(fā)明人】李興利
【申請(qǐng)人】利益高科技有限公司