具備冷卻共振器部的風(fēng)扇的激光振蕩器的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種激光振蕩器，其具備冷卻共振器部的風(fēng)扇。本發(fā)明的激光振蕩器具備：共振器部，其用于使所輸出的激光進行共振；熱交換器，其與共振器部鄰接地配置，并用于供給冷卻液；風(fēng)扇，其配置于隔著共振器部及熱交換器的雙方的兩個位置中的至少一方，產(chǎn)生通過共振器部及熱交換器的雙方的一方向的風(fēng)；共振器溫度測定部，其測定共振器部的溫度；以及風(fēng)扇控制部，其控制風(fēng)扇。風(fēng)扇控制部基于共振器部的溫度，切換兩風(fēng)扇的送風(fēng)方向。
【專利說明】
具備冷卻共振器部的風(fēng)扇的激光振蕩器
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及采用了利用冷卻水冷卻機箱內(nèi)的方式的激光振蕩器，尤其涉及冷卻設(shè)置在用于激光加工機的激光振蕩器的機箱內(nèi)的共振器部的風(fēng)扇的控制。
【背景技術(shù)】
[0002]已知通過對金屬照射激光來進行金屬的切削、切斷等的激光加工機，在激光加工機上搭載激光振蕩器。
[0003]激光振蕩器具備通過對激光介質(zhì)(例如C02、YAG等)進行激發(fā)，使激發(fā)出的激光介質(zhì)產(chǎn)生的光在兩張反射鏡之間往復(fù)，對該光進行增幅的共振器部。具體地說，共振器部具備對激光介質(zhì)進行激發(fā)且使激光振蕩的軸形的振蕩部(例如放電管、YAG桿)和分別配置在振蕩部的光軸方向的兩端的全反射鏡及半反射鏡。因此，激光振蕩器具備收納及保護共振器部的機箱。
[0004]另外，在激光振蕩器中，需要冷卻共振器部及機箱，已知使用冷卻水冷卻機箱內(nèi)的方式、即水冷式。
[0005]以往，在水冷式激光振蕩器的機箱內(nèi)，在上述共振器部與風(fēng)扇之間配置熱交換器。
[0006]在使由于共振器部的發(fā)熱而變熱的機箱內(nèi)的溫度下降時，利用冷卻裝置、例如冷機將冷卻水控制為一定的溫度并供給至熱交換器。并且，以吸引共振器部的周邊的熱空氣的方式使風(fēng)扇進行動作，由此，使該熱空氣與熱交換器接觸并冷卻，將冷卻后的空氣輸送到共振器部的周邊。
[0007]上述那樣的冷卻風(fēng)扇的動作與激光振蕩器的起動同時進行。另外，在共振器部幾乎沒有發(fā)熱，不需要冷卻機箱內(nèi)時，不需要使風(fēng)扇進行動作。因此，也進行只在機箱內(nèi)的溫度上升時使風(fēng)扇進行動作，減少激光振蕩器的消耗電力的動作。
[0008]另外，作為控制水冷式激光振蕩器的機箱內(nèi)的風(fēng)扇的現(xiàn)有例，具有專利第2992860號公報及日本特開平8-204263號公報所記載的方法。
[0009]在專利第2992860號公報中記載了為了使冷卻水的溫度下降，根據(jù)冷卻水的溫度或供給至激光振蕩器的電力，使風(fēng)扇的轉(zhuǎn)數(shù)的變化的方法。
[0010]在日本特開平8-204263號公報中記載了設(shè)置與半導(dǎo)體激光陣列接觸地配設(shè)的冷卻氣體流道、使冷卻氣體在冷卻氣體流道中流動的冷卻氣體流生成機構(gòu)及半導(dǎo)體激光陣列的溫度檢測機構(gòu)，基于溫度檢測機構(gòu)的檢測信號對冷卻氣體流生成機構(gòu)進行驅(qū)動控制的方法。
[0011]順便地，激光加工機不僅如恒溫室那樣溫度恒定的場所，有時還設(shè)置在溫度變化的場所、例如氣溫下降的工場的屋內(nèi)以及屋外。尤其在冬季，在從周圍的溫度低溫的狀態(tài)起動激光振蕩器的情況下，需要進行暖機動作直到機箱內(nèi)的溫度上升，共振器部的溫度成為正常狀態(tài)。即，存在在激光振動器起動后，直到激光振蕩器能夠穩(wěn)定地使用，需要花費時間的問題。
[0012]另外，在現(xiàn)有的水冷式激光振蕩器中，為了使機箱內(nèi)尤其使共振器部的溫度下降的目的，控制風(fēng)扇及其送風(fēng)方向。因此，在將現(xiàn)有的水冷式激光振蕩器采用于激光加工機的情況下，由在上述暖機動作中將機箱內(nèi)的冷氣輸送到共振器部，共振器部的溫度反而難以上升。其結(jié)果，還存在暖機時間變長之類的問題點。
[0013]另外，在激光加工機中，為了減少激光振蕩器的消耗電力，在中斷激光加工時，還進行使激光介質(zhì)的激發(fā)動作、風(fēng)扇的旋轉(zhuǎn)停止，使激光振蕩器成為待機狀態(tài)的動作。但是，若是激光振蕩器的周圍溫度為低溫的狀態(tài)時，共振器部的停止時間越長，構(gòu)成共振器部的部件的溫度也越下降。因此，在使激光振蕩器從待機狀態(tài)轉(zhuǎn)移到能進行激光加工的狀態(tài)時，直到共振器部的溫度成為正常狀態(tài)，還存在激光振蕩器的動作不穩(wěn)定之類的問題點。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0014]本發(fā)明在于提供一種激光振蕩器，其能在低溫環(huán)境下，縮短在使激光振蕩器起動或再開后，直到能穩(wěn)定地使用激光振蕩器的時間。
[0015]根據(jù)本發(fā)明的第一方案，提供一種激光振蕩器，具備:共振器部，其用于使所輸出的激光進行共振；熱交換器，其與共振器部鄰接地配置，并供給冷卻液；風(fēng)扇，其配置于隔著共振器部及熱交換器的雙方的兩個位置中的至少一方，產(chǎn)生通過共振器部及熱交換器的雙方的一方向的風(fēng)；共振器溫度測定部，其測定共振器部的溫度；以及風(fēng)扇控制部，其控制風(fēng)扇。在第一方案的激光振蕩器中，風(fēng)扇控制部基于由共振器溫度測定部測定出的共振器部的溫度，切換風(fēng)扇的送風(fēng)方向。
[0016]根據(jù)本發(fā)明的第二方案，是一種第一方案的激光振蕩器，在測定出的共振器部的溫度比規(guī)定的溫度低時，風(fēng)扇控制部將風(fēng)扇的送風(fēng)方向控制為從熱交換器朝向共振器部的方向，在測定出的共振器部的溫度與規(guī)定的溫度相同或比規(guī)定的溫度高時，風(fēng)扇控制部將風(fēng)扇的送風(fēng)方向控制為從共振器部朝向熱交換器的方向。
[0017]根據(jù)本發(fā)明的第三方案，是一種第一方案或第二方案的激光振蕩器，多個風(fēng)扇沿共振器部的長度方向配置，風(fēng)扇控制部還基于測定出的共振器部的溫度，改變多個上述風(fēng)扇的至少一個的風(fēng)量。
[0018]根據(jù)本發(fā)明的第四方案，是一種第一方案至第三方案中的任一方案的激光振蕩器，多個風(fēng)扇沿共振器部的長度方向配置，風(fēng)扇控制部還基于測定出的共振器部的溫度，使多個上述風(fēng)扇的至少一個停止。
[0019]根據(jù)本發(fā)明的第五方案，是一種第二方案的激光振蕩器，還具備測定冷卻液的溫度的冷卻液溫度測定部，規(guī)定的溫度是由冷卻液溫度測定部測定出的冷卻液的溫度。
[0020]根據(jù)本發(fā)明的第六方案，是一種第一方案至第五方案中的任一方案的激光振蕩器，還具備用于將=冷卻液控制為恒定的溫度的冷機。
[0021]本發(fā)明的效果如下。
[0022]根據(jù)本發(fā)明的第一方案，由于風(fēng)扇配置在機箱內(nèi)的隔著共振器部及熱交換器的雙方的兩個位置中的至少一方，因此，能產(chǎn)生通過共振器部及熱交換器的雙方的一方向的風(fēng)。另外，能利用風(fēng)扇控制部基于共振器部的溫度切換風(fēng)扇的送風(fēng)方向。例如，在共振器部的溫度比熱交換器的溫度低時，通過將風(fēng)扇的送風(fēng)方向改變?yōu)閺臒峤粨Q器朝向共振器部的方向，能將熱交換器的熱量供給到共振器部。因此，能縮短在低溫環(huán)境下使激光振蕩器起動或再開始后直到激光振蕩器能穩(wěn)定地使用的時間。
[0023]根據(jù)本發(fā)明的第二方案，在共振器部的溫度是熱交換器的溫度以上的情況下，通過將風(fēng)扇的送風(fēng)方向改變?yōu)閺墓舱衿鞑砍驘峤粨Q器的方向，熱交換器能將共振器部周圍的空氣的熱量奪走。另一方面，在共振器部的溫度比熱交換器的溫度低時，通過將風(fēng)扇的送風(fēng)方向改變?yōu)閺臒峤粨Q器朝向共振器部，能將熱交換器的熱量供給至共振器部。
[0024]根據(jù)本發(fā)明的第三方案，通過沿共振器部的長度方向配置多個風(fēng)扇，基于共振器部的溫度改變多個風(fēng)扇的至少一個的風(fēng)量，使共振器部均勻地升溫。
[0025]根據(jù)本發(fā)明的第四方案，通過沿共振器部的長度方向配置多個風(fēng)扇，基于共振器部的溫度使多個風(fēng)扇的至少一個停止，能使共振器部均勻地升溫。
[0026]S卩，根據(jù)上述第三及第四方案，預(yù)先通過實驗獲得共振器部的溫度分布，或者，通過在共振器部整體地配置的多個溫度測定部，獲得共振器部的溫度分布。并且，基于這種溫度分布，能向溫度相對低的共振器部的部分更多地供給溫暖的空氣。其結(jié)果，由于能使共振器部均勻地升溫，因此，能使激光振蕩器的動作穩(wěn)定。
[0027]根據(jù)本發(fā)明的第五方案，具備測定冷卻液的溫度的冷卻液溫度測定部，并且，將冷卻水的溫度設(shè)定為規(guī)定的溫度。因此，基于對冷卻液的溫度和共振器部的溫度進行比較所得的結(jié)果，能切換風(fēng)扇的送風(fēng)方向。
[0028]根據(jù)本發(fā)明的第六方案，通過具備用于將冷卻液控制為恒定的溫度的冷機，不論周圍的溫度如何，都能將冷卻液的溫度保持為恒定。
【附圖說明】
[0029]根據(jù)附圖所表示的本發(fā)明的優(yōu)選的實施方式的詳細的說明，本發(fā)明的這些目的、特征及優(yōu)點及其他目的、特征及優(yōu)點變得更明確。
[0030]圖1是示意地表示本發(fā)明的一實施方式的激光振蕩器的結(jié)構(gòu)的主視圖。
[0031]圖2是示意地表示本發(fā)明的一實施方式的激光振蕩器的結(jié)構(gòu)的俯視圖。
[0032]圖3是表示本實施方式的風(fēng)扇的控制流程的圖。
[0033]圖4A是表示由順方向的風(fēng)扇的旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生的風(fēng)的方向的圖。
[0034]圖4B是表示由反方向的風(fēng)扇的旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生的風(fēng)的方向的圖。
[0035]圖5A是表示使激光振蕩器從低溫狀態(tài)起動的情況下的、與共振器部的溫度對應(yīng)的風(fēng)扇的動作的圖。
[0036]圖5B是表示使激光振蕩器從低溫狀態(tài)起動的情況下的、與共振器部的溫度對應(yīng)的風(fēng)扇的動作的圖。
[0037]圖5C是表示使激光振蕩器從待機狀態(tài)復(fù)位的情況下的、與共振器部的溫度對應(yīng)的風(fēng)扇的動作的圖。
[0038]圖6A是表不本實施方式的風(fēng)扇的一控制例的第一圖。
[0039]圖6B是表示本實施方式的風(fēng)扇的一控制例的第二圖。
[0040]圖6C是表不本實施方式的風(fēng)扇的一控制例的第三圖。
[0041 ]圖7是表示本實施方式的風(fēng)扇的其他控制例的圖。
【具體實施方式】
[0042]接著，參照【附圖說明】本發(fā)明的實施方式。以下，作為激光振蕩器，以高速軸流型氣體激光裝置為例進行說明，但本發(fā)明并未限定于此。
[0043]圖1不意地表不本發(fā)明的一實施方式的激光振蕩器的主視圖。
[0044]本實施方式的激光振蕩器I具備用于使所輸出的激光進行共振的共振器部2、與共振器部2的一端鄰接地設(shè)置的熱交換器3以及分別設(shè)置在隔著共振器部2及熱交換器3的雙方的兩個位置的第一風(fēng)扇4及第二風(fēng)扇5。
[0045]另外，激光振蕩器I具備收納并保護共振器部2、熱交換器3及風(fēng)扇4、5的機箱6。在機箱6的外側(cè)設(shè)有作為將冷卻水一邊控制為恒定的溫度、例如20°C —邊向熱交換器3供給的設(shè)備的冷機7。另外，在本實施方式中，使向熱交換器3供給的冷卻用液為水，但本發(fā)明并未限定于此。
[0046]在機箱6的內(nèi)部具備測定共振器部2的溫度的共振器溫度測定部8、控制風(fēng)扇4、5的風(fēng)扇控制部9及測定在熱交換器3和冷機7之間流動的冷卻水的溫度的冷卻水溫度測定部10。
[0047]在圖1中，在機箱6的內(nèi)側(cè)圖示了風(fēng)扇控制部9和冷卻水溫度測定部10，但這些部件未限定在圖示的位置，例如可以位于機箱6的外側(cè)。
[0048]另外，風(fēng)扇控制部9使用第一風(fēng)扇4和第二風(fēng)扇5雙方產(chǎn)生一方向的風(fēng)(參照圖4A、圖4B的箭頭)。但是，風(fēng)扇只要能夠產(chǎn)生一方向的風(fēng)，則只要配置在隔著共振器部及熱交換器雙方的兩個位置中的至少一方即可。另外，為了使這種一方向的風(fēng)有效地流向共振器部2及熱交換器3，如圖1所示，優(yōu)選共振器部2由兩個風(fēng)扇4、5和兩個板狀部件11包圍。
[0049]另外，參照圖2說明共振器部2的結(jié)構(gòu)。圖2是示意地表示圖1的激光振蕩器I的俯視圖。
[0050]共振器部2具有收納作為激光介質(zhì)的氣體(例如CO2)，通過放電對氣體進行激發(fā)并放出激光的軸形的放電部。該軸形放電部例如串聯(lián)地連接四根放電管12，使四根放電管12以兩根為單位折返地配置在機箱6內(nèi)。在這種放電部的作為光軸方向的兩端的位置分別配置全反射鏡13和半反射鏡14(輸出鏡)。在放電部的中間位置配置折返鏡15。
[0051]另外，放電管12的總根數(shù)及所折返的放電管的單位數(shù)未限定于上述根數(shù)。
[0052]另外，在共振器部2的一側(cè)(圖2的圖面下側(cè))，沿共振器部2的長度方向依次配置六個風(fēng)扇4。另外，在共振器部2的另一側(cè)(圖2的圖面上側(cè))，沿共振器部2的長度方向依次配置兩個熱交換器3。另外，與這些熱交換器3鄰接地沿?zé)峤粨Q器3的長度方向依次配置六個風(fēng)扇5。
[0053]即，在機箱6內(nèi)，與共振器部2的一端鄰接地配置的熱交換器3配置在共振器部2和第二風(fēng)扇5之間。另外，與共振器部2的另一端鄰接地配置第一風(fēng)扇4(參照圖1)。
[0054]另外，熱交換器3及風(fēng)扇4、5的個數(shù)未限定于上述個數(shù)。
[0055]接著，說明設(shè)置在激光振蕩器I的機箱6內(nèi)的風(fēng)扇4、5的控制方法。圖3表示風(fēng)扇4、5的控制流程。
[0056]參照圖3，首先，利用共振器溫度測定部8測定共振器部2的溫度Ta，利用冷卻水溫度測定部10，測定從冷機7流向熱交換器3的冷卻水的溫度Tb (步驟SI)。
[0057]接著，在步驟S2中，比較共振器部2的溫度Ta與冷卻水的溫度Tb。其結(jié)果，在判斷為共振器部2的溫度Ta比冷卻水的溫度Tb低(Ta〈Tb)時，分別使風(fēng)扇4、5向順方向旋轉(zhuǎn)(步驟S3)。在圖4A中使用箭頭表示由順方向的風(fēng)扇4、5的旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生的風(fēng)的方向。SP，在共振器部2的溫度Ta比冷卻水的溫度Tb低的情況下，利用風(fēng)扇4、5形成從熱交換器3向共振器部2的風(fēng)。
[0058]這種步驟SI?S3繼續(xù)到共振器部2的溫度Ta為冷卻水的溫度Tb以上。
[0059]另一方面，在步驟S2中，在判斷為共振器部2的溫度Ta是冷卻水的溫度Tb以上(Ta ^ Tb)時，分別使風(fēng)扇4、5向逆向旋轉(zhuǎn)(步驟S4)。圖4B使用箭頭表示由逆向的風(fēng)扇
4、5的旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生的風(fēng)的方向。在共振器部2的溫度Ta是冷卻水的溫度Tb以上的情況下，利用風(fēng)扇4、5形成從共振器部2向熱交換器3的風(fēng)。
[0060]在步驟S4后，在沒有使激光振蕩器I待機的指令時，從激光振蕩器I的起動直到振蕩準(zhǔn)備結(jié)束，使風(fēng)扇4、5按照步驟SI?S4進行動作。但是，如果有使激光振蕩器I待機的指令，則使風(fēng)扇4、5停止(步驟S5、S6)。
[0061]另外，上述控制流程的開始時機不僅是使激光振蕩器I起動時，還包括從使激光振蕩器I待機的狀態(tài)再次開始時。
[0062]另外，在圖3中表示對共振器部2的測定溫度和冷卻水的測定溫度進行比較的例子，但本發(fā)明未限定于此。
[0063]例如，可以代替圖3的步驟S1、S2，是對共振器部2的測定溫度和預(yù)定的溫度(例如20°C )進行比較，控制風(fēng)扇4、5的動作的方法。對該設(shè)定溫度，通過成為進行共振器的光軸調(diào)整等制造時的調(diào)整作業(yè)的溫度，則構(gòu)成共振器的部件能再現(xiàn)調(diào)整時的狀態(tài)，能最有效地得到激光輸出。
[0064]接著，對從激光振蕩器I的起動到振蕩準(zhǔn)備結(jié)束期間的風(fēng)扇4、5的動作進行敘述。
[0065]圖5A、圖5B及圖5C表示與激光振蕩器I的運轉(zhuǎn)狀態(tài)和共振器部2的溫度對應(yīng)的風(fēng)扇4、5的動作。特別地，圖5A表示使激光振蕩器I從周圍低溫的狀態(tài)起動的場合，圖5B表不使激光振蕩器I從低溫狀態(tài)起動的場合，圖5C表不使激光振蕩器I從待機狀態(tài)復(fù)位的情況。
[0066]當(dāng)使作為高速軸流形0)2激光裝置的激光振蕩器I從停止?fàn)顟B(tài)起動時，該CO2激光裝置的計算機數(shù)值控制裝置(未圖示)從上向下依次實施圖5A的左端欄表示的工序。SP，依次實施1.進行放電管12內(nèi)的抽真空、2.開始放電管12內(nèi)的氣壓控制、3.使在放電管12內(nèi)用于使CO2氣體高速流通的渦輪鼓風(fēng)機(未圖示)起動、4.開始向放電管12內(nèi)的放電、
5.結(jié)束振蕩準(zhǔn)備這一連串的工序。
[0067]但是，即使開始向放電管12內(nèi)的放電，在共振器部2的溫度比設(shè)定值低的情況下，也優(yōu)選如圖5B及圖5C的各左端欄所示進行暖機動作。在此，“暖機動作”是指在從激光振蕩器I不放出激光的狀態(tài)下繼續(xù)激光振蕩。通過向放電管12內(nèi)的氣體供給及放電，能使共振器部2發(fā)熱，使機箱6內(nèi)升溫。
[0068]另外，在使激光加工中斷時，優(yōu)選使向放電管12內(nèi)的放電和風(fēng)扇4、5的旋轉(zhuǎn)停止，將激光振蕩器I轉(zhuǎn)移到待機狀態(tài)。由此，能減少激光振蕩器I的消耗電力。另外，當(dāng)再次開始激光加工時，通過使向放電管2內(nèi)的放電、風(fēng)扇4、5的動作開始，振蕩準(zhǔn)備結(jié)束。
[0069]在使進行以上說明的工序的激光振蕩器I從周圍不是低溫的狀態(tài)起動的情況下，共振器部2的溫度為冷卻水的溫度以上。因此，相對于圖5A的左端欄所示的各工序，風(fēng)扇
4、5產(chǎn)生在圖4B中從圖面左向右流的風(fēng)。S卩，由風(fēng)扇4、5產(chǎn)生的風(fēng)從共振器部2向熱交換器3供給。因此，熱交換器3奪去共振器部2周圍的空氣的熱量，使空氣的溫度下降。
[0070]溫度下降后的空氣從第二風(fēng)扇5排出，沿機箱6的內(nèi)側(cè)面繞入第一風(fēng)扇4側(cè)，由第一風(fēng)扇4吹向共振器部2。利用這種送風(fēng)，共振器部2的溫度為正常狀態(tài)，激光輸出、光束模式穩(wěn)定。
[0071]當(dāng)在寒冷的場所使用激光振蕩器I時，共振器部2及機箱6與周圍的溫度相同地成為低溫，產(chǎn)生使激光振蕩器I從低溫狀態(tài)起動的情況。另一方面，供給冷卻水的冷機7以冷卻水不會冷凍的程度的溫度保持冷卻水的溫度。特別地，本實施方式的冷機7具備冷凍防止功能、即包圍送水栗的功能、使冷卻水變暖的加熱器等，將冷卻水的溫度提高到20°C左右并保持。
[0072]在以上的情況下，共振器部2的溫度比冷卻水的溫度低。因此，相對于圖5B的左端欄所示的各工序，風(fēng)扇4、5產(chǎn)生在圖4A中從圖面右向左流的風(fēng)。S卩，由風(fēng)扇4、5產(chǎn)生的風(fēng)從熱交換器3向共振器部2輸送。因此，通過熱交換器3的空氣從熱交換器3接受熱量，空氣的溫度提高。溫度上升后的空氣吹向共振器部2，因此，能提高共振器部2的溫度。
[0073]如上所述，提高共振器部2的溫度的操作不僅是從暖機動作進行中，從暖機動作之前的工序也能提高共振器部2的溫度。因此，能在低溫環(huán)境下，縮短從激光振蕩器I的停止?fàn)顟B(tài)到振蕩準(zhǔn)備結(jié)束所需的時間。
[0074]另外，有時中斷激光加工，使激光振蕩器I待機。此時，當(dāng)激光振蕩器I的周圍溫度是低溫的狀態(tài)時，共振器部2及機箱6與周圍的溫度相同，為低溫，產(chǎn)生使激光振蕩器I從低溫狀態(tài)起動的情況。在該情況下，共振器部2的溫度比冷卻水的溫度低。因此，如圖5C的左端欄所示，在使激光振蕩器I從待機的狀態(tài)再次開始時，風(fēng)扇4、5以產(chǎn)生在圖4A中從圖面右向左流的風(fēng)的方式進行動作。即，通過利用風(fēng)扇4、5將風(fēng)從熱交換器3向共振器2輸送，能提高共振器部2的溫度。
[0075]因此，當(dāng)在低溫環(huán)境下從待機狀態(tài)再次開始時，能縮短直到激光振蕩器I能穩(wěn)定地使用的時間。
[0076]如上所述，在本實施方式中，在從激光振蕩器I的起動到振蕩準(zhǔn)備結(jié)束期間，對共振器部2的測定溫度和冷卻水的測定溫度或共振器部2的設(shè)定溫度進行比較，基于其比較結(jié)果，切換風(fēng)扇4、5的動作和風(fēng)向。此時，在本實施方式中，優(yōu)選還采用以下那樣的風(fēng)扇控制。
[0077]圖6A、圖6B及圖6C是表不本實施方式的風(fēng)扇4、5的一控制例的圖，圖2中表不該風(fēng)扇的風(fēng)向。另外，圖6A及圖6B表示共振器部2的測定溫度比冷卻水的測定溫度或共振器部2的設(shè)定溫度低的情況的風(fēng)扇控制例，圖6C表示共振器部2的測定溫度與冷卻水的測定溫度或共振器部2的設(shè)定溫度相同或比之高的情況的控制。另外，圖6A、圖6B及圖6C中的箭頭表示在機箱6內(nèi)由風(fēng)扇4、5產(chǎn)生的風(fēng)，其箭頭的長度表示風(fēng)量的多少。
[0078]在共振器2的測定溫度與冷卻水的測定溫度或共振器部2的設(shè)定溫度相同或比之高時，如圖6A所示，使第一風(fēng)扇4和第二風(fēng)扇5的各風(fēng)量為相同的風(fēng)量。但是，在共振器部2的測定溫度比冷卻水的測定溫度或共振器部2的設(shè)定溫度低時，如圖6A所示，將兩風(fēng)扇
4、5的風(fēng)向切換為與圖6C時相反的方向，使第二風(fēng)扇5的轉(zhuǎn)數(shù)比第一風(fēng)扇4多。換言之，使第二風(fēng)扇5的風(fēng)量比第一風(fēng)扇4多。由此，能盡快使共振器部2周圍的空氣的溫度上升。
[0079]另外，在圖6A的控制例中，共振器溫度測定部8為了把握共振器部2整體的溫度狀況，優(yōu)選設(shè)于離開熱交換器3、放電管12等高溫部的場所。因此，只要能把握共振器部2整體的溫度狀況，則共振器溫度測定部8的場所未限定于圖示的位置。
[0080]另外，如圖6B所示，可以從圖6A所示的控制例，只使配置在共振器部2的兩端部的各附近的兩個第一風(fēng)扇4的風(fēng)量比剩下的第一風(fēng)扇4的風(fēng)量增加。由此，能向機箱6內(nèi)有效地產(chǎn)生用于提高共振器部2的溫度的風(fēng)流。
[0081]當(dāng)然，用于增加風(fēng)量的風(fēng)扇未僅限于配置在共振器部2的兩端部的各附近的兩個第一風(fēng)扇4。例如，可以增大靠近共振器部2的溫度比其他低的部位的風(fēng)扇4、5的風(fēng)量。在該情況下，預(yù)先對共振器部2的溫度分布進行動作試驗并存儲在存儲裝置(未圖示)中，基于其溫度分布數(shù)據(jù)，改變多個風(fēng)扇4、5的至少一個的風(fēng)量?；蛘?，可以除了共振器部溫度測定部8之外，分別沿共振器部2的整體配置多個溫度測定部(未圖示)，基于這些溫度測定部的測定值，把握共振器部2的溫度分布并改變多個風(fēng)扇4、5的至少一個的風(fēng)量。通過這種控制，由于能夠向溫度相對低的部分更多地供給溫暖的空氣，因此，能均勻地使共振器部2升溫。
[0082]另外，圖7是表不本實施方式的風(fēng)扇4、5的其他控制例的圖，圖2中表不該風(fēng)扇的風(fēng)向。
[0083]在上述的圖6的控制例中，在共振器部2的測定溫度比冷卻水的測定溫度或共振器部2的設(shè)定溫度低時，使全部的風(fēng)扇4和全部的風(fēng)扇5進行動作，從熱交換器3向共振器部2供給風(fēng)。但是，如圖7所示的例子，可以使多個風(fēng)扇4、5中的一部分(風(fēng)扇4a、5a)的動作停止。即，優(yōu)選根據(jù)能如上那樣得到的共振器2的溫度分布，使多個風(fēng)扇4、5的全部或一部分進行動作。由此，由于能使利用共振器部2的發(fā)熱部分變暖的空氣流向不進行發(fā)熱的部分，因此，能均勻地使共振器部2變暖。
[0084]如上所述，通過使風(fēng)扇4、5的風(fēng)向和送風(fēng)的強弱(轉(zhuǎn)數(shù))分別獨立或進行組合，能縮短在低溫環(huán)境下從激光振蕩器I的起動或再開始至振蕩準(zhǔn)備結(jié)束所需的時間。除此之夕卜，能均勻地使共振器部2及機箱6內(nèi)變暖。
[0085]以上，以激光高速軸流型氣體激光裝置為例說明了本發(fā)明，但本發(fā)明未限于氣體激光裝置，也能適用于固體激光或半導(dǎo)體激光。另外，本發(fā)明只要是在機箱內(nèi)對產(chǎn)生熱量的發(fā)熱結(jié)構(gòu)部進行密封，通過熱交換器和風(fēng)扇的協(xié)同動作冷卻機箱內(nèi)，則能適用于任一個。
[0086]另外，以上表示了優(yōu)選的實施方案，但本發(fā)明未限定于上述實施方式，能在不脫離本發(fā)明的思想的范圍內(nèi)將上述實施方式改變?yōu)槎喾N形式、結(jié)構(gòu)、材料等。
【主權(quán)項】
1.一種激光振蕩器，其特征在于， 具備: 共振器部(2)，其用于使所輸出的激光進行共振； 熱交換器(3)，其與上述共振器部(2)鄰接地配置，并用于供給冷卻液； 風(fēng)扇(4、5)，其配置于隔著上述共振器部(2)及上述熱交換器(3)的雙方的兩個位置中的至少一方，產(chǎn)生通過上述共振器部(2)及上述熱交換器(3)的雙方的一方向的風(fēng)； 共振器溫度測定部(8)，其測定上述共振器部⑵的溫度；以及 風(fēng)扇控制部(9)，其控制上述風(fēng)扇(4、5)， 上述風(fēng)扇控制部(9)基于由上述共振器溫度測定部(8)測定出的上述共振器部(2)的溫度，切換上述風(fēng)扇(4、5)的送風(fēng)方向。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光振蕩器，其特征在于， 在上述測定出的上述共振器部(2)的溫度比規(guī)定的溫度低時，上述風(fēng)扇控制部(9)將上述風(fēng)扇(4、5)的送風(fēng)方向控制為從上述熱交換器(3)朝向上述共振器部(2)的方向， 在上述測定出的上述共振器部(2)的溫度與上述規(guī)定的溫度相同或比上述規(guī)定的溫度高時，上述風(fēng)扇控制部(9)將上述風(fēng)扇(4、5)的送風(fēng)方向控制為從上述共振器部(2)朝向上述熱交換器(3)的方向。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的激光振蕩器，其特征在于， 多個上述風(fēng)扇(4、5)沿上述共振器部(2)的長度方向配置， 上述風(fēng)扇控制部(9)還基于上述測定出的上述共振器部(2)的溫度，改變上述多個上述風(fēng)扇(4、5)的至少一個的風(fēng)量。4.根據(jù)權(quán)利要求1?3任一項所述的激光振蕩器，其特征在于， 多個上述風(fēng)扇(4、5)沿上述共振器部(2)的長度方向配置， 上述風(fēng)扇控制部(9)還基于上述測定出的上述共振器部(2)的溫度，使上述多個上述風(fēng)扇(4、5)的至少一個停止。5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的激光振蕩器，其特征在于， 還具備測定上述冷卻液的溫度的冷卻液溫度測定部(10)， 上述規(guī)定的溫度是由上述冷卻液溫度測定部(10)測定出的上述冷卻液的溫度。6.根據(jù)權(quán)利要求1?5任一項所述的激光振蕩器，其特征在于， 還具備用于將上述冷卻液控制為恒定的溫度的冷機(7)。
【文檔編號】H01S3/042GK105870765SQ201510984745
【公開日】2016年8月17日
【申請日】2015年12月24日
【發(fā)明人】佐藤孝德
【申請人】發(fā)那科株式會社