晶圓夾持機(jī)構(gòu)的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種晶圓夾持機(jī)構(gòu)，晶圓夾持機(jī)構(gòu)包括：轉(zhuǎn)盤；多個(gè)卡爪，多個(gè)卡爪包括至少一個(gè)活動(dòng)卡爪，活動(dòng)卡爪活動(dòng)地設(shè)置在轉(zhuǎn)盤上，在至少一個(gè)活動(dòng)卡爪處于夾持位置時(shí)活動(dòng)卡爪夾持晶圓，至少一個(gè)活動(dòng)卡爪處于非夾持位置時(shí)晶圓脫離至少一個(gè)活動(dòng)卡爪；感應(yīng)組件，感應(yīng)組件包括第一感應(yīng)件和第二感應(yīng)件，第一感應(yīng)件設(shè)置在至少一個(gè)活動(dòng)卡爪上，第二感應(yīng)件適于在活動(dòng)卡爪位于夾持位置時(shí)感應(yīng)第一感應(yīng)件且發(fā)出信號(hào)。通過設(shè)置感應(yīng)組件，可以通過第二感應(yīng)件感應(yīng)第一感應(yīng)件的方式來判斷活動(dòng)卡爪的位置，從而可以判斷晶圓是否處于轉(zhuǎn)盤上，可以有效了解晶圓夾持機(jī)構(gòu)上的晶圓狀態(tài)，可以提升晶圓夾持機(jī)構(gòu)夾持晶圓的安全性，可以有效保護(hù)晶圓。
【專利說明】
晶圓夾持機(jī)構(gòu)
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及晶圓制造技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種晶圓夾持機(jī)構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0002]大規(guī)模集成電路生產(chǎn)過程中，晶圓需要經(jīng)過多道工序最終形成產(chǎn)品。在每一道工序中，以及在晶圓傳輸過程中，都需要夾持機(jī)構(gòu)固定晶圓，使晶圓保持一定狀態(tài)，或按一定方式運(yùn)動(dòng)。
[0003]如果在不知道夾持機(jī)構(gòu)狀態(tài)的情況下，發(fā)出夾持機(jī)構(gòu)運(yùn)動(dòng)的命令，可能會(huì)對(duì)晶圓造成損傷，同時(shí)也可能損壞晶圓夾持機(jī)構(gòu)，甚至發(fā)生安全事故。在晶圓夾持機(jī)構(gòu)運(yùn)動(dòng)過程中，如果晶圓破碎而無法檢測(cè)，無法使夾持機(jī)構(gòu)及時(shí)停止運(yùn)動(dòng)，也會(huì)造成非常嚴(yán)重的后果。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明旨在至少在一定程度上解決相關(guān)技術(shù)中的技術(shù)問題之一。為此，本發(fā)明提出一種可以檢測(cè)晶圓狀態(tài)的晶圓夾持機(jī)構(gòu)。
[0005]根據(jù)本發(fā)明的晶圓夾持機(jī)構(gòu)，包括:轉(zhuǎn)盤；多個(gè)卡爪，所述多個(gè)卡爪包括至少一個(gè)活動(dòng)卡爪，所述活動(dòng)卡爪活動(dòng)地設(shè)置在所述轉(zhuǎn)盤上，在所述至少一個(gè)活動(dòng)卡爪處于夾持位置時(shí)所述活動(dòng)卡爪夾持所述晶圓，所述至少一個(gè)活動(dòng)卡爪處于非夾持位置時(shí)所述晶圓脫離所述至少一個(gè)活動(dòng)卡爪;感應(yīng)組件，所述感應(yīng)組件包括第一感應(yīng)件和第二感應(yīng)件，所述第一感應(yīng)件設(shè)置在所述至少一個(gè)活動(dòng)卡爪上，所述第二感應(yīng)件適于在所述活動(dòng)卡爪位于所述夾持位置時(shí)感應(yīng)所述第一感應(yīng)件且發(fā)出信號(hào)。
[0006]根據(jù)本發(fā)明的晶圓夾持機(jī)構(gòu)，通過設(shè)置感應(yīng)組件，可以通過第二感應(yīng)件感應(yīng)第一感應(yīng)件的方式來判斷活動(dòng)卡爪的位置，從而可以判斷晶圓是否處于轉(zhuǎn)盤上，可以有效了解晶圓夾持機(jī)構(gòu)上的晶圓狀態(tài)，進(jìn)而可以保證當(dāng)晶圓夾持機(jī)構(gòu)工作時(shí)，多個(gè)卡爪可以有效夾持晶圓，可以提升晶圓夾持機(jī)構(gòu)夾持晶圓的安全性，可以有效保護(hù)晶圓。
[0007]另外，根據(jù)本發(fā)明的晶圓夾持機(jī)構(gòu)還可以具有以下區(qū)別技術(shù)特征:
[0008]在本發(fā)明的一些示例中，所述第一感應(yīng)件設(shè)置在所述至少一個(gè)活動(dòng)卡爪的遠(yuǎn)離所述晶圓的一端。
[0009]在本發(fā)明的一些示例中，所述第二感應(yīng)件適于在所述活動(dòng)卡爪處于夾持位置時(shí)與所述第一感應(yīng)件正對(duì)。
[0010]在本發(fā)明的一些示例中，所述第一感應(yīng)件為感應(yīng)片，所述第二感應(yīng)件為傳感器。[0011 ]在本發(fā)明的一些示例中，所述晶圓夾持機(jī)構(gòu)還包括:反射式傳感器，所述反射式傳感器設(shè)定的接收參考值為T0，在所述活動(dòng)卡爪處于所述夾持位置時(shí)，所述反射式傳感器的接收信號(hào)值τι>το，所述反射式傳感器不發(fā)出信號(hào);在所述活動(dòng)卡爪處于所述非夾持位置時(shí)，所述反射式傳感器的接收信號(hào)值Τ2<Τ0，所述反射式傳感器發(fā)出信號(hào)。
[0012]在本發(fā)明的一些示例中，所述反射式傳感器與所述轉(zhuǎn)盤的中心相對(duì)設(shè)置。
[0013]在本發(fā)明的一些示例中，所述晶圓夾持機(jī)構(gòu)還包括:彈性夾持力組件，所述彈性夾持力組件設(shè)置成用于提供給所述活動(dòng)卡爪夾持所述晶圓的彈性夾持力。
[0014]在本發(fā)明的一些示例中，所述彈性夾持力組件包括:壓簧，所述壓簧的兩端分別連接在所述活動(dòng)卡爪和所述轉(zhuǎn)盤上。
[0015]在本發(fā)明的一些示例中，所述轉(zhuǎn)盤包括:本體和設(shè)置在所述本體一側(cè)的支撐座，所述本體上設(shè)置有用于安裝所述活動(dòng)卡爪的避讓槽，所述支撐座上設(shè)置有配合槽，所述配合槽內(nèi)設(shè)置有支撐銷，所述支撐銷構(gòu)成所述活動(dòng)卡爪的樞轉(zhuǎn)軸。
【附圖說明】
[0016]圖1是根據(jù)本發(fā)明第一個(gè)實(shí)施例的晶圓夾持機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0017]圖2是圖1中的晶圓夾持機(jī)構(gòu)中的支撐座的示意圖；
[0018]圖3是圖1中的晶圓夾持機(jī)構(gòu)中的活動(dòng)卡爪的示意圖；
[0019]圖4是圖1中的晶圓夾持機(jī)構(gòu)中的轉(zhuǎn)盤的本體的示意圖；
[0020]圖5是未夾持有晶圓的晶圓夾持機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0021]圖6是夾持有晶圓的晶圓夾持機(jī)構(gòu)的示意圖，其中推桿推動(dòng)活動(dòng)卡爪解除夾持狀態(tài)；
[0022]圖7是根據(jù)本發(fā)明的第二個(gè)實(shí)施例的晶圓夾持機(jī)構(gòu)的示意圖；
[0023]圖8是圖7中的晶圓夾持機(jī)構(gòu)的支撐座的示意圖；
[0024]圖9是圖7中的晶圓夾持機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)桿的不意圖；
[0025]圖10是根據(jù)本發(fā)明的第三個(gè)實(shí)施例的晶圓夾持機(jī)構(gòu)的剖視圖；
[0026]圖11是圖1O中的晶圓夾持機(jī)構(gòu)的活動(dòng)卡爪的示意圖。
[0027]附圖標(biāo)記:
[0028]晶圓夾持機(jī)構(gòu)1000;
[0029]轉(zhuǎn)盤100;本體110;避讓槽111;支撐座120;配合槽121;支撐銷130;端板140;壓簧安裝槽141;拉簧安裝槽142;
[0030]活動(dòng)卡爪200;固定卡爪210;支撐銷安裝孔220;壓簧承載孔230;第二磁性件安裝槽240;第三磁性件安裝槽250;
[0031]晶圓300;
[0032]第一磁性件410;第二磁性件420;第三磁性件430;第四磁性件440;
[0033]推桿500;
[0034]彈性夾持力組件600.壓簧610 ；拉簧620 ；驅(qū)動(dòng)桿630 ；拉簧承載孔631 ；短肢632 ；長(zhǎng)肢633;通孔640;
[0035]感應(yīng)組件700 ；第一感應(yīng)件710;第二感應(yīng)件720 ；
[0036]反射式傳感器800。
【具體實(shí)施方式】
[0037]下面詳細(xì)描述本發(fā)明的實(shí)施例，所述實(shí)施例的示例在附圖中示出。下面通過參考附圖描述的實(shí)施例是示例性的，旨在用于解釋本發(fā)明，而不能理解為對(duì)本發(fā)明的限制。
[0038]下面參考附圖詳細(xì)描述根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的晶圓夾持機(jī)構(gòu)1000。
[0039]根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的晶圓夾持機(jī)構(gòu)1000可以包括:轉(zhuǎn)盤100、多個(gè)卡爪和感應(yīng)組件700。如圖1所示，轉(zhuǎn)盤100上可以設(shè)置有多個(gè)卡爪，多個(gè)卡爪可以包括至少一個(gè)活動(dòng)卡爪200，活動(dòng)卡爪200活動(dòng)地設(shè)置在轉(zhuǎn)盤100上，在至少一個(gè)活動(dòng)卡爪200處于夾持位置時(shí)活動(dòng)卡爪200夾持晶圓300，在至少一個(gè)活動(dòng)卡爪200處于非夾持位置時(shí)晶圓300脫離至少一個(gè)活動(dòng)卡爪200?？梢岳斫獾氖?，活動(dòng)卡爪200的數(shù)量可以根據(jù)實(shí)際情況進(jìn)行調(diào)整，通過選取合理的活動(dòng)卡爪200的數(shù)量可以保持多個(gè)卡爪夾持晶圓300的可靠性，而且還可以保證多個(gè)卡爪夾持晶圓300的高效性。
[0040]根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例，如圖1所示，多個(gè)卡爪還可以包括至少一個(gè)固定卡爪210，固定卡爪210與活動(dòng)卡爪200配合使用，晶圓300可以先預(yù)安裝在固定卡爪210后，再通過活動(dòng)卡爪200夾持，從而可以提高晶圓300的安裝拆卸效率。
[0041]如圖1所示，感應(yīng)組件700包括第一感應(yīng)件710和第二感應(yīng)件720，第一感應(yīng)件710設(shè)置在至少一個(gè)活動(dòng)卡爪200上，第二感應(yīng)件720適于在活動(dòng)卡爪200位于夾持位置時(shí)感應(yīng)第一感應(yīng)件710且發(fā)出信號(hào)?？梢岳斫獾氖?，感應(yīng)組件700的數(shù)量可以與活動(dòng)卡爪200的數(shù)量相同，當(dāng)活動(dòng)卡爪200為一個(gè)時(shí)，第二感應(yīng)件720通過第一感應(yīng)件710感應(yīng)到活動(dòng)卡爪200處于夾持位置后，第二感應(yīng)件720可以發(fā)出夾持信號(hào)，從而晶圓夾持機(jī)構(gòu)1000可以工作，轉(zhuǎn)盤100可以帶動(dòng)晶圓300同步轉(zhuǎn)動(dòng)。當(dāng)活動(dòng)卡爪200為多個(gè)時(shí)，如果有一個(gè)第二感應(yīng)件720無法感應(yīng)到相對(duì)應(yīng)的第一感應(yīng)件710，該第二感應(yīng)件720無法發(fā)出夾持信號(hào)，晶圓夾持機(jī)構(gòu)1000將無法開始工作。
[0042]由此，根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的晶圓夾持機(jī)構(gòu)1000，通過設(shè)置感應(yīng)組件700，可以通過第二感應(yīng)件720感應(yīng)第一感應(yīng)件710的方式來判斷活動(dòng)卡爪200的位置，從而可以判斷晶圓300是否夾持在轉(zhuǎn)盤100上，可以有效了解晶圓夾持機(jī)構(gòu)1000上的晶圓300狀態(tài)，進(jìn)而可以保證當(dāng)晶圓夾持機(jī)構(gòu)1000工作時(shí)，多個(gè)卡爪可以有效夾持晶圓300，可以提升晶圓夾持機(jī)構(gòu)1000夾持晶圓300的安全性，可以有效保護(hù)晶圓300。
[0043]在本發(fā)明的一些示例中，如圖1和圖3所示，第一感應(yīng)件710設(shè)置在至少一個(gè)活動(dòng)卡爪200的遠(yuǎn)離晶圓300的一端。由此，一方面可以便于第一感應(yīng)件710在活動(dòng)卡爪200上的布置，另一方面還可以便于第二感應(yīng)件720的布置，從而可以提升晶圓夾持機(jī)構(gòu)1000的各部件之間的布置合理性。
[0044]可選地，如圖1所示，第二感應(yīng)件720適于在活動(dòng)卡爪200處于夾持位置時(shí)與第一感應(yīng)件710正對(duì)。由此，可以保證第二感應(yīng)件720感應(yīng)第一感應(yīng)件710的準(zhǔn)確性，從而可以提高感應(yīng)組件700的工作可靠性，進(jìn)一步地可以提升晶圓300的安全性。
[0045]如圖5和圖6所示，當(dāng)晶圓300未夾持在轉(zhuǎn)盤100上時(shí)，活動(dòng)卡爪200相對(duì)第二感應(yīng)件720傾斜設(shè)置，從而第二感應(yīng)件720無法感應(yīng)到第一感應(yīng)件710，第二感應(yīng)件720無法發(fā)出夾持信號(hào)。
[0046]可選地，第一感應(yīng)件710可以為感應(yīng)片，第二感應(yīng)件720可以為傳感器。
[0047]根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，如圖1、圖5和圖6所示，晶圓夾持機(jī)構(gòu)1000還可以包括:反射式傳感器800，反射式傳感器800設(shè)定的接收參考值為TC，在活動(dòng)卡爪200處于夾持位置時(shí)，反射式傳感器800的接收信號(hào)值Tl >T0，反射式傳感器800不發(fā)出信號(hào)；在活動(dòng)卡爪200處于非夾持位置時(shí)，反射式傳感器800的接收信號(hào)值Τ2<Τ0，反射式傳感器800發(fā)出信號(hào)。當(dāng)晶圓夾持機(jī)構(gòu)1000正常工作時(shí)，反射式傳感器800可以接收晶圓300的反射信號(hào)，當(dāng)接收信號(hào)值Tl >Τ0時(shí)，說明晶圓300正常夾持在轉(zhuǎn)盤100上，反射式傳感器800不發(fā)出信號(hào)。當(dāng)接收信號(hào)值T2<T0時(shí)，說明晶圓300未正常夾持在轉(zhuǎn)盤100上，反射式傳感器800發(fā)出信號(hào)，晶圓夾持機(jī)構(gòu)1000停止工作。通過設(shè)置反射式傳感器800，進(jìn)一步地可以提高晶圓夾持機(jī)構(gòu)1000夾持晶圓300的可靠性，可以提尚晶圓300的安全性。
[0048]可選地，如圖1、圖5和圖6所示，反射式傳感器800可以與轉(zhuǎn)盤100的中心相對(duì)設(shè)置。當(dāng)然，本發(fā)明并不限于此，反射式傳感器800還可以設(shè)置在轉(zhuǎn)盤100的其他上方位置。
[0049]其中，晶圓夾持機(jī)構(gòu)1000上可以設(shè)置有夾持力組件，夾持力組件可以設(shè)置成用于提供給活動(dòng)卡爪200夾持晶圓300的夾持力。通過設(shè)置夾持力組件，可以有效保證活動(dòng)卡爪200夾持晶圓300的夾持力的力度，從而可以保證晶圓300夾持在轉(zhuǎn)盤100上的安全性。
[0050]下面詳細(xì)介紹兩種夾持力組件的布置方式。
[0051]根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，如圖7所示，夾持力組件可以為彈性夾持力組件600，彈性夾持力組件600可以設(shè)置成用于提供給活動(dòng)卡爪200夾持晶圓300的彈性夾持力。
[0052]可選地，轉(zhuǎn)盤100上可以設(shè)置有樞轉(zhuǎn)軸，活動(dòng)卡爪200可繞樞轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)，彈性夾持力組件600設(shè)置在樞轉(zhuǎn)軸的遠(yuǎn)離晶圓300的一側(cè)。由此，活動(dòng)卡爪200可以構(gòu)造成杠桿結(jié)構(gòu)，彈性夾持力組件600可以提供給活動(dòng)卡爪200—個(gè)與活動(dòng)卡爪200夾持晶圓300的力反向的力，從而可以使得活動(dòng)卡爪200可以較好地夾持晶圓300。另外，通過將彈性夾持力組件600設(shè)置在樞轉(zhuǎn)軸的遠(yuǎn)離晶圓300的一側(cè)，可以使得彈性夾持力組件600與晶圓300相互隔離開，從而至少一定程度上可以避免晶圓300和彈性夾持力組件600之間的干涉，從而可以使得晶圓夾持機(jī)構(gòu)1000設(shè)計(jì)合理。
[0053]可選地，如圖1和圖7所示，彈性夾持力組件600可以包括:壓簧610，壓簧610的兩端分別連接在活動(dòng)卡爪200和轉(zhuǎn)盤100上。其中，需要說明的是，壓簧610可以設(shè)置一定的預(yù)緊力。活動(dòng)卡爪200可以相對(duì)轉(zhuǎn)盤100轉(zhuǎn)動(dòng)，如圖5所示，當(dāng)晶圓300未夾持在轉(zhuǎn)盤100上時(shí)，壓簧610可以向外推出活動(dòng)卡爪200，從而活動(dòng)卡爪200可以逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)。如圖1和圖7所示，當(dāng)晶圓300夾持在轉(zhuǎn)盤100上時(shí)，晶圓300可以阻止活動(dòng)卡住逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)，壓簧610可以提供給活動(dòng)卡爪200夾緊晶圓300的夾持力。
[0054]在一個(gè)可選的實(shí)施方式中，結(jié)合圖4、圖7和圖8所示，轉(zhuǎn)盤100可以包括:本體110和設(shè)置在本體110—側(cè)的支撐座120，本體110上設(shè)置有用于安裝活動(dòng)卡爪200的避讓槽111，支撐座120上設(shè)置有配合槽121，配合槽121內(nèi)設(shè)置有支撐銷130，支撐銷130構(gòu)成樞轉(zhuǎn)軸。換言之，活動(dòng)卡爪200可以繞支撐座120上的支撐銷130轉(zhuǎn)動(dòng)，從而活動(dòng)卡爪200可以相對(duì)轉(zhuǎn)盤100轉(zhuǎn)動(dòng)。如圖3和圖11所示，活動(dòng)卡爪200上設(shè)置有適于支撐銷130穿過的支撐銷安裝孔220。通過設(shè)置避讓槽111和配合槽121，可以便于活動(dòng)卡爪200的布置和活動(dòng)卡爪200的轉(zhuǎn)動(dòng)。優(yōu)選地，避讓槽111和配合槽121的形狀可以相同。
[0055]可選地，如圖1、圖2和圖7所示，支撐座120上可以設(shè)置有與活動(dòng)卡爪200相對(duì)的端板140，壓簧610連接在端板140的一側(cè)和活動(dòng)卡爪200之間。通過設(shè)置端板140，可以將壓簧610穩(wěn)定設(shè)置在端板140和活動(dòng)卡爪200之間，可選地，壓簧610的兩端分別與端板140和活動(dòng)卡爪200固定連接。如圖2所示，端板140上可以設(shè)置有用于安裝壓簧610的壓簧安裝槽141，活動(dòng)卡爪200上可以設(shè)置有用于安裝壓簧610的壓簧承載孔230。
[0056]進(jìn)一步地，如圖7所示，彈性夾持力組件600還可以包括:拉簧620和驅(qū)動(dòng)桿630，拉簧620連接在端板140的另一側(cè)和驅(qū)動(dòng)桿630之間，而且驅(qū)動(dòng)桿630的一端止抵在活動(dòng)卡爪200上。端板140的一側(cè)指的是端板140的外側(cè)，端板140的另一側(cè)指的是端板140的內(nèi)側(cè)，端板140的內(nèi)側(cè)和外側(cè)根據(jù)距離本體110的中心的近遠(yuǎn)設(shè)定。端板140相對(duì)本體110固定，拉簧620設(shè)置在驅(qū)動(dòng)桿630和端板140之間，拉簧620上可以設(shè)定有預(yù)緊力，拉簧620可以朝向端板140的方向拉動(dòng)驅(qū)動(dòng)桿630，從而拉簧620可以朝向外側(cè)拉動(dòng)驅(qū)動(dòng)桿630，驅(qū)動(dòng)桿630可以朝向外側(cè)壓緊活動(dòng)卡爪200的遠(yuǎn)離晶圓300的一端，進(jìn)而拉簧620和驅(qū)動(dòng)桿630可以提供給活動(dòng)卡爪200更大地夾持晶圓300的夾持力，可以保證晶圓300的安全性。
[°°57] 可選地，拉簧620和壓簧610可以關(guān)于端板140相對(duì)設(shè)置。由此，拉簧620和壓簧610設(shè)置簡(jiǎn)單，可以有效簡(jiǎn)化彈性夾持力組件600，從而可以簡(jiǎn)化晶圓夾持機(jī)構(gòu)1000的結(jié)構(gòu)。
[0058]可選地，如圖8所示，端板140上可以設(shè)置有供驅(qū)動(dòng)桿630穿過的通孔640。當(dāng)驅(qū)動(dòng)桿630穿設(shè)在通孔640上時(shí)，端板140可以限制驅(qū)動(dòng)桿630的移動(dòng)方向，可以保證拉簧620和驅(qū)動(dòng)桿630的工作可靠性，可以提升拉簧620和驅(qū)動(dòng)桿630提供給活動(dòng)卡爪200的夾持力。
[0059]可選地，如圖9所示，驅(qū)動(dòng)桿630構(gòu)可以造成L形結(jié)構(gòu)，驅(qū)動(dòng)桿630的短肢632與拉簧620相連，驅(qū)動(dòng)桿630的長(zhǎng)肢633與穿設(shè)在通孔640上，而且長(zhǎng)肢633的一端止抵在活動(dòng)卡爪200上。具體地，驅(qū)動(dòng)桿630的短肢632上可以設(shè)置有拉簧安裝槽142，如圖8所示，端板140的內(nèi)側(cè)可以設(shè)置有拉簧承載孔631。
[0060]根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施例，夾持力組件還可以為磁性夾持力組件，磁性夾持力組件可以設(shè)置成用于提供給活動(dòng)卡爪200夾持晶圓300的磁性夾持力。
[0061 ]可選地，如圖10所示，轉(zhuǎn)盤100上可以設(shè)置有樞轉(zhuǎn)軸，活動(dòng)卡爪200可繞樞轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)，磁性夾持力組件設(shè)置在樞轉(zhuǎn)軸的至少一側(cè)。
[0062]下面詳細(xì)描述磁性夾持力組件的可選的布置方式。如圖10所示，磁性夾持力組件可以包括:相互吸引的第一磁性件410和第二磁性件420，第一磁性件410設(shè)置在轉(zhuǎn)盤100上，而且第二磁性件420設(shè)置在活動(dòng)卡爪200上，第一磁性件410和第二磁性件420位于樞轉(zhuǎn)軸和晶圓300之間。可以理解的是，第二磁性件420設(shè)置在活動(dòng)卡爪200的鄰近晶圓300的一端。由于第一磁性件410和第二磁性件420相互吸引，第二磁性件420具有帶動(dòng)活動(dòng)卡爪200的鄰近晶圓300的一端朝向晶圓300運(yùn)動(dòng)的趨勢(shì)，晶圓300可以阻止活動(dòng)卡爪200運(yùn)動(dòng)的趨勢(shì)，從而第二磁性件420通過與第一磁性件410磁性配合可以提供給活動(dòng)卡住夾持晶圓300的夾持力。通過設(shè)置第一磁性件410和第二磁性件420，可以使得夾持力組件結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單且工作牢靠。
[0063]可選地，第一磁性件410和第二磁性件420中的一個(gè)可以為磁鐵，而且第一磁性件410和第二磁性件420中的另一個(gè)可以為鐵質(zhì)件?；蛘呖蛇x地，第一磁性件410和第二磁性件420可以為相對(duì)設(shè)置且磁性不同的磁鐵。
[0064]如圖10所示，性夾持力組件還可以包括:相互排斥第三磁性件430和第四磁性件440，第三磁性件430設(shè)置在活動(dòng)卡爪200上，第四磁性件440設(shè)置在轉(zhuǎn)盤100上，第三磁性件430和第四磁性件440相對(duì)樞轉(zhuǎn)軸位于遠(yuǎn)離晶圓300的一端。由此，通過第三磁性件430和第四磁性件440的磁性配合，第三磁性件430可以提供給活動(dòng)卡爪200夾持晶圓300的夾持力。另外，通過設(shè)置第三磁性件430和第四磁性件440，可以使得磁性夾持力組件結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單且工作可靠。可選地，第三磁性件430和第四磁性件440可以為相對(duì)設(shè)置的同極性磁鐵。
[0065]在一個(gè)可選的實(shí)施方式中，結(jié)合圖4和圖10所示，轉(zhuǎn)盤100可以包括:本體110和設(shè)置在本體110—側(cè)的支撐座120，本體110上設(shè)置有用于安裝活動(dòng)卡爪200的避讓槽111，支撐座120上設(shè)置有配合槽121，配合槽121內(nèi)設(shè)置有支撐銷130，支撐銷130構(gòu)成樞轉(zhuǎn)軸。換言之，活動(dòng)卡爪200可以繞支撐座120上的支撐銷130轉(zhuǎn)動(dòng)，從而活動(dòng)卡爪200可以相對(duì)轉(zhuǎn)盤100轉(zhuǎn)動(dòng)。通過設(shè)置避讓槽111和配合槽121，可以便于活動(dòng)卡爪200的布置和活動(dòng)卡爪200的轉(zhuǎn)動(dòng)。優(yōu)選地，避讓槽111和配合槽121的形狀可以相同。
[0066]可選地，如圖10所示，支撐座120上可以設(shè)置有與活動(dòng)卡爪200相對(duì)的端板140，第四磁性件440設(shè)置在端板140上，第三磁性件430與第四磁性件440相對(duì)設(shè)置。優(yōu)選地，端板140上可以設(shè)置有用于安裝第四磁性件440的槽狀結(jié)構(gòu)。
[0067]如圖11所示，活動(dòng)卡爪200上可以分別設(shè)置有第二磁性件安裝槽240和第三磁性件安裝槽250，第二磁性件安裝槽240和第三磁性件安裝槽250可以位于樞轉(zhuǎn)軸的兩側(cè)。優(yōu)選地，第二磁性件安裝槽240和第三磁性件安裝槽250可以關(guān)于樞轉(zhuǎn)軸對(duì)稱布置。
[0068]在本發(fā)明的一些示例中，活動(dòng)卡爪200的鄰近晶圓300的一端到樞轉(zhuǎn)軸的慣性矩可以小于活動(dòng)卡爪200的另一端到樞轉(zhuǎn)軸的慣性矩。由此，夾持力組件可以提供給活動(dòng)卡爪200更大地夾持晶圓300的夾持力。
[0069]可選地，如圖1、圖7和圖1O所示，晶圓夾持機(jī)構(gòu)1000還可以包括:推桿500，推桿500適于驅(qū)動(dòng)活動(dòng)卡爪200解除對(duì)晶圓300的夾持。推桿500可以快速推動(dòng)活動(dòng)卡爪200解除對(duì)晶圓300的夾持，從而可以提高晶圓夾持機(jī)構(gòu)1000的工作效率?？蛇x地推桿500的推動(dòng)端可以構(gòu)造成圓弧形。
[0070]可選地，固定卡爪210的數(shù)量為a，活動(dòng)卡爪200的數(shù)量為b，a+b2 3。當(dāng)卡爪的數(shù)量大于等于3時(shí)，多個(gè)卡爪可以較好地夾持晶圓300，從而可以提高晶圓300夾持在轉(zhuǎn)盤100上的安全性。優(yōu)選地，固定卡爪210的數(shù)量可以為2個(gè)，活動(dòng)卡爪200的數(shù)量為I個(gè)。
[0071]可選地，如圖4所示，轉(zhuǎn)盤100上設(shè)置有用于安裝卡爪的避讓槽111，兩個(gè)相鄰的避讓槽111所對(duì)應(yīng)的圓心角小于180°。滿足上述數(shù)值關(guān)系的轉(zhuǎn)盤100可以使得多個(gè)卡爪布置合理，從而多個(gè)卡爪可以較好地夾持晶圓300，可以保證晶圓300的安全性。
[0072]在本發(fā)明的描述中，需要理解的是，術(shù)語“中心”、“縱向”、“橫向”、“長(zhǎng)度”、“寬度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“頂”、“底” “內(nèi)”、“外”、“順時(shí)針”、“逆時(shí)針”、“軸向”、“徑向”、“周向”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本發(fā)明和簡(jiǎn)化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對(duì)本發(fā)明的限制。
[0073]此外，術(shù)語“第一”、“第二”僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對(duì)重要性或者隱含指明所指示的技術(shù)特征的數(shù)量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隱含地包括至少一個(gè)該特征。在本發(fā)明的描述中，“多個(gè)”的含義是至少兩個(gè)，例如兩個(gè)，三個(gè)等，除非另有明確具體的限定。
[0074]在本發(fā)明中，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語“安裝”、“相連”、“連接”、“固定”等術(shù)語應(yīng)做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或成一體;可以是機(jī)械連接，也可以是電連接或彼此可通訊；可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，可以是兩個(gè)元件內(nèi)部的連通或兩個(gè)元件的相互作用關(guān)系，除非另有明確的限定。對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以根據(jù)具體情況理解上述術(shù)語在本發(fā)明中的具體含義。
[0075]在本發(fā)明中，除非另有明確的規(guī)定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接觸，或第一和第二特征通過中間媒介間接接觸。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或僅僅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或僅僅表示第一特征水平高度小于第二特征。
[0076]在本說明書的描述中，參考術(shù)語“一個(gè)實(shí)施例”、“一些實(shí)施例”、“示例”、“具體示例”、或“一些示例”等的描述意指結(jié)合該實(shí)施例或示例描述的具體特征、結(jié)構(gòu)、材料或者特點(diǎn)包含于本發(fā)明的至少一個(gè)實(shí)施例或示例中。在本說明書中，對(duì)上述術(shù)語的示意性表述不必須針對(duì)的是相同的實(shí)施例或示例。而且，描述的具體特征、結(jié)構(gòu)、材料或者特點(diǎn)可以在任一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例或示例中以合適的方式結(jié)合。此外，在不相互矛盾的情況下，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以將本說明書中描述的不同實(shí)施例或示例以及不同實(shí)施例或示例的特征進(jìn)行結(jié)合和組合。
[0077]盡管上面已經(jīng)示出和描述了本發(fā)明的實(shí)施例，可以理解的是，上述實(shí)施例是示例性的，不能理解為對(duì)本發(fā)明的限制，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員在本發(fā)明的范圍內(nèi)可以對(duì)上述實(shí)施例進(jìn)行變化、修改、替換和變型。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種晶圓夾持機(jī)構(gòu)，其特征在于，包括: 轉(zhuǎn)盤； 多個(gè)卡爪，所述多個(gè)卡爪包括至少一個(gè)活動(dòng)卡爪，所述活動(dòng)卡爪活動(dòng)地設(shè)置在所述轉(zhuǎn)盤上，在所述至少一個(gè)活動(dòng)卡爪處于夾持位置時(shí)所述活動(dòng)卡爪夾持所述晶圓，所述至少一個(gè)活動(dòng)卡爪處于非夾持位置時(shí)所述晶圓脫離所述至少一個(gè)活動(dòng)卡爪； 感應(yīng)組件，所述感應(yīng)組件包括第一感應(yīng)件和第二感應(yīng)件，所述第一感應(yīng)件設(shè)置在所述至少一個(gè)活動(dòng)卡爪上，所述第二感應(yīng)件適于在所述活動(dòng)卡爪位于所述夾持位置時(shí)感應(yīng)所述第一感應(yīng)件且發(fā)出信號(hào)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓夾持機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述第一感應(yīng)件設(shè)置在所述至少一個(gè)活動(dòng)卡爪的遠(yuǎn)離所述晶圓的一端。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的晶圓夾持機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述第二感應(yīng)件適于在所述活動(dòng)卡爪處于夾持位置時(shí)與所述第一感應(yīng)件正對(duì)。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓夾持機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述第一感應(yīng)件為感應(yīng)片，所述第二感應(yīng)件為傳感器。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓夾持機(jī)構(gòu)，其特征在于，還包括:反射式傳感器，所述反射式傳感器設(shè)定的接收參考值為TO，在所述活動(dòng)卡爪處于所述夾持位置時(shí)，所述反射式傳感器的接收信號(hào)值T1>T0，所述反射式傳感器不發(fā)出信號(hào)； 在所述活動(dòng)卡爪處于所述非夾持位置時(shí)，所述反射式傳感器的接收信號(hào)值Τ2<Τ0，所述反射式傳感器發(fā)出信號(hào)。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的晶圓夾持機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述反射式傳感器與所述轉(zhuǎn)盤的中心相對(duì)設(shè)置。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓夾持機(jī)構(gòu)，其特征在于，還包括:彈性夾持力組件，所述彈性夾持力組件設(shè)置成用于提供給所述活動(dòng)卡爪夾持所述晶圓的彈性夾持力。8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的晶圓夾持機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述彈性夾持力組件包括:壓簧，所述壓簧的兩端分別連接在所述活動(dòng)卡爪和所述轉(zhuǎn)盤上。9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的晶圓夾持機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述轉(zhuǎn)盤包括:本體和設(shè)置在所述本體一側(cè)的支撐座，所述本體上設(shè)置有用于安裝所述活動(dòng)卡爪的避讓槽，所述支撐座上設(shè)置有配合槽，所述配合槽內(nèi)設(shè)置有支撐銷，所述支撐銷構(gòu)成所述活動(dòng)卡爪的樞轉(zhuǎn)軸。
【文檔編號(hào)】H01L21/687GK105826229SQ201610011801
【公開日】2016年8月3日
【申請(qǐng)日】2016年1月5日
【發(fā)明人】許振杰, 徐海濱, 王同慶, 李昆, 路新春
【申請(qǐng)人】天津華海清科機(jī)電科技有限公司, 清華大學(xué)