一種真空傳輸裝置的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種真空傳輸裝置，包括：真空傳輸系統(tǒng)、真空傳輸壓力調(diào)節(jié)系統(tǒng)和真空傳輸溫度調(diào)節(jié)系統(tǒng)；其中，所述真空傳輸系統(tǒng)，用于真空傳輸平臺提供高真空度；所述真空傳輸壓力調(diào)節(jié)系統(tǒng)，用于真空傳輸平臺提供穩(wěn)定的真空度及調(diào)節(jié)壓力；所述真空傳輸溫度調(diào)節(jié)系統(tǒng)，用于真空傳輸平臺工作環(huán)境提供穩(wěn)定的溫度。本發(fā)明采用真空傳輸系統(tǒng)、以及穩(wěn)定真空傳輸平臺真空度的真空傳輸壓力調(diào)節(jié)系統(tǒng)，以及穩(wěn)定真空傳輸平臺環(huán)境溫度的真空傳輸溫度調(diào)節(jié)系統(tǒng)；真空傳輸系統(tǒng)有益于高真空度及高潔凈度的獲得，真空傳輸壓力調(diào)節(jié)系統(tǒng)有益于真空度穩(wěn)定及調(diào)節(jié)，真空傳輸溫度調(diào)節(jié)系統(tǒng)有益于真空傳輸平臺傳輸環(huán)境溫度的穩(wěn)定，從而有效提高半導(dǎo)體產(chǎn)品合格率。
【專利說明】
一種真空傳輸裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種用于真空傳輸平臺的真空傳輸裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，全球半導(dǎo)體消費市場和產(chǎn)業(yè)增長速度十分迅猛，尤其是，國內(nèi)的半導(dǎo)體消費市場和產(chǎn)業(yè)增長速度是全球的10倍多。隨著半導(dǎo)體行業(yè)極其激烈的競爭，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)越來越需要極大規(guī)模的集成化，并伴隨著半導(dǎo)體行業(yè)要求越來越高的產(chǎn)品合格率。
[0003]現(xiàn)有半導(dǎo)體制造過程中，有效提高半導(dǎo)體制造過程中的潔凈度以及穩(wěn)定半導(dǎo)體制造過程環(huán)境的溫度，可以有效提高半導(dǎo)體的產(chǎn)品合格率。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明旨在克服現(xiàn)有真空傳輸平臺的缺陷，實現(xiàn)穩(wěn)定的高真空度，高潔凈度，控制容易，提供一種真空傳輸裝置。
[0005]為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案:
[0006]本發(fā)明提供一種真空傳輸裝置，包括:真空傳輸系統(tǒng)、真空傳輸壓力調(diào)節(jié)系統(tǒng)和真空傳輸溫度調(diào)節(jié)系統(tǒng)；其中，所述真空傳輸系統(tǒng)，用于真空傳輸平臺提供高真空度；所述真空傳輸壓力調(diào)節(jié)系統(tǒng)，用于真空傳輸平臺提供穩(wěn)定的真空度及調(diào)節(jié)壓力；所述真空傳輸溫度調(diào)節(jié)系統(tǒng)，用于真空傳輸平臺工作環(huán)境提供穩(wěn)定的溫度。
[0007]—些實施例中，所述真空傳輸系統(tǒng)包括LoadLock A腔室、LoadLock B腔室、真空傳輸腔室、真空規(guī)、真空壓力計、真空抽氣管路、氣動抽氣角閥，所述LoadLock A腔室、LoadLock B腔室和真空傳輸腔室為獨立的三個腔室，所述真空抽氣管路分別通過所述氣動抽氣角閥控制抽取所述三個腔室，所述三個腔室分別與所述真空規(guī)和真空壓力計連接。
[0008]一些實施例中，所述真空傳輸系統(tǒng)還包括機械無油干栗和低溫栗，所述機械無油干栗通過所述抽氣管路分別連接所述LoadLock A腔室、LoadLock B腔室和真空傳輸腔室；所述低溫栗連接所述真空傳輸腔室。
[0009]—些實施例中，還包括大氣傳輸系統(tǒng)，所述大氣傳輸系統(tǒng)通過LLA大氣門閥和LLB大氣門閥與所述LoadLock A腔室、LoadLock B腔室連通和隔離。
[0010]—些實施例中，大氣手將半導(dǎo)體由潔凈度等級達(dá)到百級的大氣傳輸系統(tǒng)傳輸?shù)絃oadLock A腔室中緩存；LoadLock A腔室由機械無油干栗抽取前級真空；通過真空手將半導(dǎo)體由LoadLock A腔室傳輸?shù)秸婵諅鬏斍皇遥徽婵諅鬏斍皇矣傻蜏乩醭槿「哒婵?；由真空手將半?dǎo)體傳輸進入工藝腔進行加工。
[0011]—些實施例中，所述真空傳輸壓力調(diào)節(jié)系統(tǒng)包括純凈氮氣氣源、充氣管路及充氣氣閥，所述充氣氣閥設(shè)置在充氣管路上，所述純凈氮氣氣源與充氣管路連接，所述充氣管路分別連接LoadLock A腔室、LoadLock B腔室和真空傳輸腔室。
[0012]—些實施例中，所述充氣管路上設(shè)置氮氣總管路手動閥控制總管路氮氣的通斷，所述充氣管路的主管路上設(shè)置有壓力計。
[0013]—些實施例中，所述真空傳輸溫度調(diào)節(jié)系統(tǒng)包括工業(yè)純水冷卻水水源、冷卻水管路、開關(guān)球閥和流量溫度傳感器，所述開關(guān)球閥和流量溫度傳感器設(shè)置在冷卻水管路上，所述冷卻水管路與工業(yè)純水冷卻水水源連接；所述工業(yè)純水冷卻水水源，用于提供冷卻水水源；所述冷卻水管路，用于提供供水管路；所述開關(guān)球閥，用于控制冷卻水開關(guān)及其流量大小；所述流量溫度傳感器，用于檢測冷卻水溫度及即時流量。
[0014]本發(fā)明的有益效果在于:采用真空傳輸系統(tǒng)、以及穩(wěn)定真空傳輸平臺真空度的真空傳輸壓力調(diào)節(jié)系統(tǒng)，以及穩(wěn)定真空傳輸平臺環(huán)境溫度的真空傳輸溫度調(diào)節(jié)系統(tǒng)；真空傳輸系統(tǒng)有益于高真空度及高潔凈度的獲得，真空傳輸壓力調(diào)節(jié)系統(tǒng)有益于真空度穩(wěn)定及調(diào)節(jié)，真空傳輸溫度調(diào)節(jié)系統(tǒng)有益于真空傳輸平臺傳輸環(huán)境溫度的穩(wěn)定，從而有效提高半導(dǎo)體產(chǎn)品合格率。
【附圖說明】
[0015]圖1示意性示出根據(jù)本發(fā)明一個實施例的真空傳輸裝置的示意圖。
[0016]圖2示意性示出根據(jù)本發(fā)明一個實施例的空傳輸壓力調(diào)節(jié)系統(tǒng)的示意圖。
[0017]圖3示意性示出根據(jù)本發(fā)明一個實施例的真空傳輸溫度調(diào)節(jié)系統(tǒng)的示意圖。
【具體實施方式】
[0018]為了使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點更加清楚明白，以下結(jié)合附圖及具體實施例，對本發(fā)明進行進一步詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實施例僅用以解釋本發(fā)明，而不構(gòu)成對本發(fā)明的限制。
[0019]本發(fā)明提供一種真空傳輸裝置，包括:真空傳輸系統(tǒng)、真空傳輸壓力調(diào)節(jié)系統(tǒng)和真空傳輸溫度調(diào)節(jié)系統(tǒng)；其中，所述真空傳輸系統(tǒng)，用于真空傳輸平臺提供高真空度；所述真空傳輸壓力調(diào)節(jié)系統(tǒng)，用于真空傳輸平臺提供穩(wěn)定的真空度及調(diào)節(jié)壓力；所述真空傳輸溫度調(diào)節(jié)系統(tǒng)，用于真空傳輸平臺工作環(huán)境提供穩(wěn)定的溫度。
[0020]本發(fā)明真空傳輸系統(tǒng)有益于高真空度及高潔凈度的獲得，真空傳輸壓力調(diào)節(jié)系統(tǒng)有益于真空度穩(wěn)定及調(diào)節(jié)，真空傳輸溫度調(diào)節(jié)系統(tǒng)有益于真空傳輸平臺傳輸環(huán)境溫度的穩(wěn)定，從而有效提尚半導(dǎo)體廣品合格率。
[0021]所述真空傳輸系統(tǒng)包括LoadLock A腔室、LoadLock B腔室、真空傳輸腔室、真空規(guī)、真空壓力計、真空抽氣管路、氣動抽氣角閥，所述LoadLock A腔室、LoadLock B腔室和真空傳輸腔室為獨立的三個腔室，三個腔室的真空度的監(jiān)測，易于提供三個腔室不同的真空度，以及三個腔室真空密封的檢漏。所述真空抽氣管路分別通過所述氣動抽氣角閥控制抽取所述三個腔室，所述三個腔室分別與所述真空規(guī)和真空壓力計連接。
[0022]所述真空傳輸系統(tǒng)還包括提供前級真空的機械無油干栗和提供高真空的低溫栗，所述機械無油干栗通過所述抽氣管路分別連接所述LoadLock A腔室、LoadLock B腔室和真空傳輸腔室；所述低溫栗連接所述真空傳輸腔室。
[0023]大氣手將半導(dǎo)體由潔凈度等級達(dá)到百級的大氣傳輸系統(tǒng)傳輸?shù)絃oadLock A腔室中緩存；LoadLock A腔室由機械無油干栗抽取前級真空，使半導(dǎo)體的傳輸環(huán)境潔凈度提高；通過真空手將半導(dǎo)體由LoadLock A腔室傳輸?shù)秸婵諅鬏斍皇遥徽婵諅鬏斍皇矣傻蜏乩醭槿「哒婵眨拱雽?dǎo)體的傳輸環(huán)境潔凈度得到極大提高；由真空手將半導(dǎo)體傳輸進入工藝腔進行加工。
[0024]所述真空傳輸壓力調(diào)節(jié)系統(tǒng)包括純凈氮氣氣源、充氣管路及充氣氣閥，所述充氣氣閥設(shè)置在充氣管路上，所述純凈氮氣氣源與充氣管路連接，所述充氣管路分別連接LoadLock A腔室、LoadLock B腔室和真空傳輸腔室。
[0025]純凈氮氣氣源吹掃三個腔室達(dá)到潔凈目的，純凈氮氣氣源與機械無油干栗及低溫栗配合得到穩(wěn)定的真空度。三個腔室之間閥門的兩側(cè)需一定的壓力差，即一定的真空度差，通過純凈氮氣氣源與機械無油干栗及低溫栗配合獲得。
[0026]所述真空傳輸溫度調(diào)節(jié)系統(tǒng)包括工業(yè)純水冷卻水水源、冷卻水管路、開關(guān)球閥和流量溫度傳感器，所述開關(guān)球閥和流量溫度傳感器設(shè)置在冷卻水管路上，所述冷卻水管路與工業(yè)純水冷卻水水源連接；所述工業(yè)純水冷卻水水源，用于提供冷卻水水源；所述冷卻水管路，用于提供供水管路；所述開關(guān)球閥，用于控制冷卻水開關(guān)及其流量大小；所述流量溫度傳感器，用于檢測冷卻水溫度及即時流量。
[0027]實施例1
[0028]如圖1所示，真空傳輸系統(tǒng)(真空傳輸平臺)包括LoadLock A腔室1、LoadLockB腔室2和真空傳輸腔室3，LLA插入式門閥6設(shè)置在LoadLock A腔室I與真空傳輸腔室3之間，LLB插入式門閥7設(shè)置在LoadLock B腔室2與真空傳輸腔室3之間，真空傳輸腔室3根據(jù)實際工藝需求安裝不同數(shù)量工藝腔室。
[0029]本實施例中，安裝工藝腔室A、工藝腔室B和工藝腔室C三個工藝腔室，分別使用工藝腔A門閥、工藝腔B門閥和工藝腔C門閥實現(xiàn)與真空傳輸腔室3之間的連通和隔離；大氣傳輸系統(tǒng)26通過LLA大氣門閥4和LLB大氣門閥5實現(xiàn)大氣傳輸系統(tǒng)26和真空傳輸系統(tǒng)的LoadLock A腔室1、LoadLock B腔室2之間的連通和隔離。
[0030]LLA大氣門閥4打開，半導(dǎo)體通過大氣傳輸系統(tǒng)26進入LoadLock A腔室I中，LLA插入式門閥6打開，半導(dǎo)體通過LoadLockA腔室I進入真空傳輸腔室3中。
[0031]依據(jù)工藝需求，工藝腔A門閥打開，半導(dǎo)體通過真空傳輸腔室3進入工藝腔室A中；當(dāng)加工完成后，工藝腔A門閥打開，半導(dǎo)體通過工藝腔室A進入真空傳輸腔室3中，LLB插入式門閥7打開，半導(dǎo)體通過真空傳輸腔室3進入LoadLock B腔室2中，LLB大氣門閥5打開，半導(dǎo)體通過LoadLock B腔室2進入大氣傳輸系統(tǒng)26。
[0032]以上實現(xiàn)半導(dǎo)體真空傳輸提供傳輸平臺；同時，各腔室通過閥門隔開，使真空栗只抽取工作中使用的腔室，并可以使各腔室達(dá)到不同的真空度，提高半導(dǎo)體生產(chǎn)效率。
[0033]實施例2
[0034]如圖1所示，機械無油干栗24通過抽氣管路分別連接LoadLockA腔室ULoadLockB腔室2和真空傳輸腔室3，抽氣通斷分別由LLA粗抽抽氣閥IULLB粗抽抽氣閥12和真空腔室粗抽抽氣閥13控制。
[0035]機械無油干栗24用于LoadLock A腔室1、LoadLock B腔室2和真空傳輸腔室3提供前級真空環(huán)境；低溫栗25連接在真空傳輸腔室3上，通過氣動插板閥14控制高真空抽氣的通斷；低溫栗25用于提供真空傳輸腔室3的高真空環(huán)境，即為半導(dǎo)體真空傳輸提供真空環(huán)境。
[0036]LLA真空規(guī)15，用于檢測LoadLock A腔室I的真空度；LLB真空規(guī)16，用于檢測LoadLock B腔室2的真空度；真空腔室真空規(guī)17，用于檢測真空傳輸腔室3的真空度。
[0037]LLA真空壓力計18，用于檢測LoadLock A腔室I的壓力；LLB真空壓力計19，用于檢測LoadLock B腔室2的壓力；真空腔室壓力計20，用于檢測真空傳輸腔室3的壓力。
[0038]大氣傳輸系統(tǒng)26用于半導(dǎo)體傳輸提供百級潔凈度要求，半導(dǎo)體經(jīng)過大氣傳輸系統(tǒng)26進入LoadLock A腔室I中，機械無油干栗24對LoadLock A腔室I進行粗抽，達(dá)到所設(shè)定真空度，使半導(dǎo)體達(dá)到更進一步的潔凈度要求。
[0039]半導(dǎo)體經(jīng)過LoadLock A腔室I進入真空傳輸腔室3中，低溫栗25對真空傳輸腔室3進行高真空抽取，達(dá)到超高真空度，使半導(dǎo)體達(dá)到極高的潔凈度要求，半導(dǎo)體經(jīng)過真空傳輸腔室3進入工藝腔室A中進行對應(yīng)的工藝處理，極高的半導(dǎo)體潔凈度實現(xiàn)較高的生產(chǎn)合格率。
[0040]半導(dǎo)體傳輸過程中，潔凈度逐級遞增，真空度逐級遞增，上述布置真空傳輸系統(tǒng)有益于超高真空度的獲得和超高潔凈度要求的實現(xiàn)。
[0041]實施例3
[0042]如圖2所示，純凈氮氣氣源34通過供氣管路提供LoadLock A腔室ULoadLock B腔室2和真空傳輸腔室3供給氮氣。氮氣供氣主管路上設(shè)置氮氣總管路手動閥32控制總管路氮氣的通斷；主管路上安裝壓力計33，用于檢測氮氣總管路壓力。
[0043]LLA快充充氣閥27、LLA慢充充氣閥28安裝在LoadLock A腔室I上，控制LoadLockA腔室I的快充氮氣和慢充氮氣；LLB快充充氣閥29、LLB慢充充氣閥30安裝在LoadLockB腔室2上，控制LoadLock B腔室2的快充氮氣和慢充氮氣；真空腔室充氣閥31安裝在真空傳輸腔室3上，控制真空傳輸腔室的氮氣充氣。
[0044]純凈氮氣對LoadLock A腔室ULoadLock B腔室2和真空傳輸腔室3實現(xiàn)潔凈吹掃，半導(dǎo)體由高真空度環(huán)境向低真空度環(huán)境傳輸時，閥門開啟和關(guān)閉動作時要求閥門兩側(cè)壓力在一定范圍內(nèi)，氮氣進行充氣，使閥門兩側(cè)壓力調(diào)節(jié)到閥門可開啟條件下，進行閥門開啟和關(guān)閉。
[0045]實施例4
[0046]如圖3所示，LLA冷盤45安裝在LoadLock A腔室I上，LLB冷盤46安裝在LoadLockB腔室2上，工業(yè)純水冷卻水水源48為真空傳輸系統(tǒng)提供冷卻所需冷卻水，冷卻水手動總閥47控制冷卻水供給總管路的通斷和總管路的流量大小。
[0047]真空傳輸腔室3冷卻水供給管路的通斷通過真空腔室冷卻水球閥35控制，真空傳輸腔室3冷卻水回路上安裝真空腔室流量溫度傳感器40檢測真空傳輸腔室中冷卻水的溫度和流量，反饋調(diào)節(jié)真空腔室冷卻水球閥35的開關(guān)大小。
[0048]同理，LLA冷卻水球閥36、LLB冷卻水球閥37、LLA冷盤球閥38、LLB冷盤球閥39控制供給冷卻水的開關(guān)及其流量大小，LLA冷卻水流量溫度傳感器41、LLB冷卻水流量溫度傳感器42、LLA冷盤冷卻水流量溫度傳感器43、LLB冷盤冷卻水流量溫度傳感器44分別實現(xiàn)檢測回路上的冷卻水的溫度和流量。
[0049]以上所述本發(fā)明的【具體實施方式】，并不構(gòu)成對本發(fā)明保護范圍的限定。任何根據(jù)本發(fā)明的技術(shù)構(gòu)思所作出的各種其他相應(yīng)的改變與變形，均應(yīng)包含在本發(fā)明權(quán)利要求的保護范圍內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種真空傳輸裝置，其特征在于，包括:真空傳輸系統(tǒng)、真空傳輸壓力調(diào)節(jié)系統(tǒng)和真空傳輸溫度調(diào)節(jié)系統(tǒng)； 其中，所述真空傳輸系統(tǒng)，用于真空傳輸平臺提供高真空度； 所述真空傳輸壓力調(diào)節(jié)系統(tǒng)，用于真空傳輸平臺提供穩(wěn)定的真空度及調(diào)節(jié)壓力； 所述真空傳輸溫度調(diào)節(jié)系統(tǒng)，用于真空傳輸平臺工作環(huán)境提供穩(wěn)定的溫度。2.如權(quán)利要求1所述的真空傳輸裝置，其特征在于，所述真空傳輸系統(tǒng)包括LoadLockA腔室、LoadLock B腔室、真空傳輸腔室、真空規(guī)、真空壓力計、真空抽氣管路、氣動抽氣角閥， 所述LoadLock A腔室、LoadLock B腔室和真空傳輸腔室為獨立的三個腔室，所述真空抽氣管路分別通過所述氣動抽氣角閥控制抽取所述三個腔室，所述三個腔室分別與所述真空規(guī)和真空壓力計連接。3.如權(quán)利要求2所述的真空傳輸裝置，其特征在于，所述真空傳輸系統(tǒng)還包括機械無油干栗和低溫栗，所述機械無油干栗通過所述抽氣管路分別連接所述LoadLock A腔室、LoadLock B腔室和真空傳輸腔室；所述低溫栗連接所述真空傳輸腔室。4.如權(quán)利要求3所述的真空傳輸裝置，其特征在于，還包括大氣傳輸系統(tǒng)，所述大氣傳輸系統(tǒng)通過LLA大氣門閥和LLB大氣門閥與所述LoadLock A腔室、LoadLock B腔室連通和隔咼。5.如權(quán)利要求4所述的真空傳輸裝置，其特征在于，大氣手將半導(dǎo)體由潔凈度等級達(dá)到百級的大氣傳輸系統(tǒng)傳輸?shù)絃oadLock A腔室中緩存；LoadLock A腔室由機械無油干栗抽取前級真空；通過真空手將半導(dǎo)體由LoadLock A腔室傳輸?shù)秸婵諅鬏斍皇遥徽婵諅鬏斍皇矣傻蜏乩醭槿「哒婵?；由真空手將半?dǎo)體傳輸進入工藝腔進行加工。6.如權(quán)利要求2所述的真空傳輸裝置，其特征在于，所述真空傳輸壓力調(diào)節(jié)系統(tǒng)包括純凈氮氣氣源、充氣管路及充氣氣閥，所述充氣氣閥設(shè)置在充氣管路上，所述純凈氮氣氣源與充氣管路連接，所述充氣管路分別連接LoadLock A腔室、LoadLock B腔室和真空傳輸腔室。7.如權(quán)利要求6所述的真空傳輸裝置，其特征在于，所述充氣管路上設(shè)置氮氣總管路手動閥控制總管路氮氣的通斷，所述充氣管路的主管路上設(shè)置有壓力計。8.如權(quán)利要求1所述的真空傳輸裝置，其特征在于，所述真空傳輸溫度調(diào)節(jié)系統(tǒng)包括工業(yè)純水冷卻水水源、冷卻水管路、開關(guān)球閥和流量溫度傳感器，所述開關(guān)球閥和流量溫度傳感器設(shè)置在冷卻水管路上，所述冷卻水管路與工業(yè)純水冷卻水水源連接； 所述工業(yè)純水冷卻水水源，用于提供冷卻水水源；所述冷卻水管路，用于提供供水管路；所述開關(guān)球閥，用于控制冷卻水開關(guān)及其流量大?。凰隽髁繙囟葌鞲衅?，用于檢測冷卻水溫度及即時流量。
【文檔編號】H01L21/677GK105826227SQ201510009908
【公開日】2016年8月3日
【申請日】2015年1月6日
【發(fā)明人】李學(xué)威, 趙治國, 邊弘曄, 何書龍, 曲征輝, 管莉娜
【申請人】沈陽新松機器人自動化股份有限公司