太陽能電池的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實施例涉及太陽能電池。
【背景技術(shù)】
[0002]近來，關(guān)于環(huán)境污染和自然資源的消耗的關(guān)注已經(jīng)增加，因此，太陽能電池作為具有高的能量效率而沒有環(huán)境污染的問題的替代能源被關(guān)注。根據(jù)太陽能電池的構(gòu)成，太陽能電池被分類為娃半導(dǎo)體太陽能電池(silicon semiconductor solar cell)、化合物半導(dǎo)體太陽能電池(compound semiconductor solar cell)和堆疊型太陽能電池(stack-typesolar cell)。根據(jù)本實施例的包括CIGS光吸收層的太陽能電池可以屬于化合物半導(dǎo)體太陽能電池。
[0003]1-1I1-VI族化合物半導(dǎo)體CIGS具有l(wèi)eV或更大的直接躍迀能帶隙以及在半導(dǎo)體中最高的光吸收系數(shù)。CIGS具有非常穩(wěn)定的電光特性，因此CIGS是用于太陽能電池的光吸收層的理想材料。
[0004]通過依次沉積基板、背電極層、光吸收層、緩沖層和前電極層來制造太陽能電池。此外，該太陽能電池具有:第一通孔，用于將背電極層短路；第二通孔，用于將光吸收層和緩沖層短路；第三通孔，用于將前電極層短路；以及，第四通孔，用于將邊緣部分短路。
[0005]可以通過激光蝕刻或通過在執(zhí)行激光蝕刻后使用針狀物(needle)執(zhí)行機(jī)械蝕刻來形成第四通孔。
[0006]然而，在激光蝕刻的情況下，前電極層可能因為激光的高能量而熔化，因此前電極層可以與背電極層接觸，由此引起短路。另外，在兩步驟處理中可能會增加處理步驟，因此可能降低處理效率。
[0007]因此，需要提供具有新穎結(jié)構(gòu)的太陽能電池，其中，可以更有效地形成第四通孔。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0008]【技術(shù)問題】
[0009]本實施例提供了一種太陽能電池，其具有新穎結(jié)構(gòu)，該新穎結(jié)構(gòu)包括具有傾斜表面的第四通孔。
[0010]【技術(shù)方案】
[0011]根據(jù)第一實施例，提供了一種太陽能電池，包括:支撐基板；在所述支撐基板上的背電極層；在所述背電極層上的光吸收層；在所述光吸收層上的緩沖層；在所述緩沖層上的前電極層；以及，被形成為穿過所述背電極層、所述光吸收層、所述緩沖層和所述前電極層的第四通孔，其中，所述第四通孔相對于所述支撐基板的頂表面傾斜。
[0012]根據(jù)第二實施例，提供了一種太陽能電池，包括:支撐基板；在所述支撐基板上的背電極層；在所述背電極層上的光吸收層；在所述光吸收層上的前電極層；以及，被形成為穿過所述背電極層、所述光吸收層和所述前電極層的第四通孔，其中，所述第四通孔包括與所述支撐基板的所述頂表面垂直的第一表面和從所述第一表面延伸并且相對于所述支撐基板的所述頂表面傾斜的第二表面。
[0013]【有益效果】
[0014]在根據(jù)第一實施例的太陽能電池中，所述第四通孔相對于所述支撐基板的所述頂表面傾斜預(yù)定的傾斜角。
[0015]根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)，如同所述第一至第三通孔那樣，第四通孔被形成為與所述支撐基板的頂表面垂直。在這種情況下，通過激光蝕刻來形成所述第四通孔，或者，通過在執(zhí)行激光蝕刻后使用針狀物執(zhí)行機(jī)械蝕刻來形成所述第四通孔。
[0016]然而，如果根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)執(zhí)行激光蝕刻或激光蝕刻和機(jī)械蝕刻，則前電極層可能因為激光的高能量而熔化，因此前電極層可能與在前電極層下布置的背電極層接觸，由此引起短路。另外，如果通過初步蝕刻和第二蝕刻來形成第四通孔，則可能增加處理步驟，因此可能降低處理效率。
[0017]因為這個原因，根據(jù)第一實施例的太陽能電池，當(dāng)形成所述第四通孔時所述第四通孔的內(nèi)表面是傾斜的。
[0018]因此，可以增大在前電極層和背電極層之間的間隔距離，使得前電極層可以不與背電極層接觸，即使前電極層因為激光的高能量而部分熔化，由此防止在前電極層和背電極層之間的短路。
[0019]在根據(jù)第二實施例的太陽能電池中，所述第四通孔包括與所述支撐基板的所述頂表面垂直的第一表面和相對于所述支撐基板的所述頂表面傾斜預(yù)定的傾斜角的第二表面。
[0020]因此，根據(jù)第二實施例的太陽能電池，當(dāng)形成所述第四通孔時所述第四通孔的內(nèi)表面部分傾斜。
[0021]因此，可以增大在前電極層和背電極層之間的間隔距離，使得前電極層可以不與背電極層接觸，即使前電極層因為激光的高能量而部分熔化，由此防止在前電極層和背電極層之間的短路。
[0022]另外，可以減小死區(qū)(dead zone)面積，使得可以提升太陽能電池的效率。
【附圖說明】
[0023]圖1是示出根據(jù)實施例的太陽能電池的平面圖。
[0024]圖2是示出根據(jù)第一實施例的太陽能電池的一個截面的截面圖。
[0025]圖3和4是示出根據(jù)第一實施例的太陽能電池的第四通孔的截面的視圖。
[0026]圖5是示出根據(jù)第二實施例的太陽能電池的一個截面的截面圖。
[0027]圖6是示出根據(jù)第二實施例的太陽能電池的第四通孔的截面的視圖。
[0028]圖7至15是示出制造根據(jù)實施例的太陽能電池的方法的視圖。
【具體實施方式】
[0029]在實施例的說明中，應(yīng)當(dāng)明白，當(dāng)層(膜)、區(qū)域、焊盤或圖案被稱為在另一個層(膜)、另一個區(qū)域、另一個焊盤或另一個圖案“上”或“下”時，它可以“直接地”或“間接地”在另一個層(膜)、另一個區(qū)域、另一個焊盤或另一個圖案上，或者也可以存在一個或多個中間層。參考附圖描述了層的這樣的位置。
[0030]為了解釋或清楚的目的，可能修改層(膜)、區(qū)域、圖案或者結(jié)構(gòu)的大小或厚度。尺寸可能不完全反映實際尺寸。
[0031]以下，將參考附圖來描述本公開的示例性實施例。
[0032]圖1是示出根據(jù)實施例的太陽能電池的平面圖，圖2是示出根據(jù)第一實施例的太陽能電池的一個截面的截面圖，圖3和4是示出根據(jù)第一實施例的太陽能電池的第四通孔的截面的視圖，圖5是示出根據(jù)第二實施例的太陽能電池的一個截面的截面圖，圖6是示出根據(jù)第二實施例的太陽能電池的第四通孔的截面的視圖。
[0033]參見圖1至4，根據(jù)第一實施例的太陽能電池可以包括支撐基板10、背電極層20、光吸收層30、緩沖層40、前電極層50和多個連接部分60。
[0034]支撐基板10具有板狀，并且支撐背電極層20、光吸收層30、緩沖層40、前電極層50和連接部分60。
[0035]支撐基板10可以包括絕緣體(insulator)。支撐基板10可以是玻璃基板、塑料基板或金屬基板。詳細(xì)而言，支撐基板10可以包括鈉|丐玻璃(soda lime glass)。支撐基板10可以是透明的。支撐基板10可以是柔性的(flexible)或剛性的(rigid)。
[0036]可以在支撐基板10上設(shè)置背電極層20。背電極層20可以是導(dǎo)電層。例如，背電極層20可以包含金屬，例如，鉬(Mo)。
[0037]另外，背電極層20可以包括至少兩層。在這種情況下，所述層可以由相同的金屬或不同的金屬形成。
[0038]背電極層20在其中形成有第一通孔TH1。第一通孔TH1是開放區(qū)域，用于暴露支撐基板10的頂表面。當(dāng)在平面圖中觀看時，第一通孔TH1可以具有在第一方向上延伸的形狀。
[0039]第一通孔TH1的每個可以具有在