裸片拾取單元、包括其的裸片接合設備及裸片接合方法
【技術(shù)領域】
[0001]本發(fā)明涉及裸片拾取單元、包括其的裸片接合設備以及用于接合裸片的方法，更具體地，涉及用于拾取多個從晶片鋸切的裸片中的每一個的拾取裝置、包括所述拾取裝置并且將所述裸片中的每一個接合在襯底上的設備，以及用于將所述裸片中的每一個接合在襯底上的方法。
【背景技術(shù)】
[0002]通常，半導體裝置可以通過重復一系列制造方法形成在硅晶片上。可通過鋸切過程將其上形成半導體裝置的晶片分成多個裸片，并且將所述裸片單獨拾取，然后接合在襯底上。
[0003]具體地，可將粘合片或切割帶附著到包含分開的裸片的晶片的后表面，并且可將粘合片安裝到具有圓環(huán)形狀的安裝架。安裝架可由裸片接合設備中的支撐板支撐，并且裸片推頂器可布置在晶片下方。各裸片可由裸片推頂器向上推動，以使裸片從粘合片容易地分離，然后可由布置在晶片上方的拾取裝置拾取。此后，可將拾取的裸片轉(zhuǎn)移并接合在襯底上。
[0004]為在準確位置拾取各裸片，通過檢視裝置檢查欲拾取的裸片的位置，然后執(zhí)行拾取過程。然而，由于檢視裝置被固定在晶片上方的預定位置，因此，拾取裝置在拾取一個裸片期間可能位于檢視裝置的下方。因此，檢視裝置在拾取所述裸片期間等待，然后可檢測在拾取所述裸片后隨后欲拾取的裸片的位置。此外，裸片接合過程所需的時間可能延長。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明提供能夠順序地從晶片拾取裸片同時檢測裸片的位置的裸片拾取單元。
[0006]本發(fā)明還提供包括如上所述的裸片拾取單元的裸片接合設備。
[0007]本發(fā)明還提供使用所述裸片接合設備接合裸片的裸片接合方法。
[0008]根據(jù)本發(fā)明的一個方面，裸片拾取單元可包括:支撐包含多個裸片的晶片的支撐板；布置在所述支撐板的上方以檢測裸片的位置的檢視部件；布置在所述支撐板的下方以推頂經(jīng)所述檢視部件檢測的裸片的推頂部件；至少一個倒置拾取部件，其布置在所述支撐板的上方以拾取由所述推頂部件推頂?shù)穆闫⑶野ㄓ糜诘怪盟霰皇叭〉穆闫男D(zhuǎn)部件；以及檢視驅(qū)動部件，其連接到所述檢視部件并且配置為移動所述檢視部件，以在所述倒置拾取部件拾取推頂?shù)穆闫瑫r檢測隨后欲拾取的另一個裸片的位置。
[0009]根據(jù)一些例示性實施方案，所述裸片拾取單元還可包括移動所述倒置拾取部件以順序地拾取裸片的拾取驅(qū)動部件。
[0010]根據(jù)一些例示性實施方案，所述裸片拾取單元可包括同軸地布置并且配置為交替地拾取裸片的第一和第二倒置拾取部件。
[0011]根據(jù)一些例示性實施方案，所述裸片拾取單元還可包括移動所述第一和第二倒置拾取部件以交替和順序地拾取裸片的拾取驅(qū)動部件。
[0012]根據(jù)一些例示性實施方案，所述拾取驅(qū)動部件可在與檢視驅(qū)動部件移動檢視部件的方向相同的方向上移動所述第一和第二倒置拾取部件。
[0013]根據(jù)一些例示性實施方案，所述拾取驅(qū)動部件包括線性電動機。
[0014]根據(jù)一些例示性實施方案，所述裸片拾取單元還可包括分別移動所述第一和第二倒置拾取部件以交替和順序地拾取裸片的第一和第二拾取驅(qū)動部件。
[0015]根據(jù)一些例示性實施方案，所述裸片拾取單元還可包括在與檢視驅(qū)動部件移動檢視部件的方向相同的方向上移動所述推頂部件的推頂器驅(qū)動部件。
[0016]根據(jù)一些例示性實施方案，所述裸片拾取單元還可包括在與檢視驅(qū)動部件移動檢視部件的方向垂直的方向上移動所述支撐板的支撐驅(qū)動部件。
[0017]根據(jù)本發(fā)明的另一個方面，裸片接合設備可包括裸片拾取單元和裸片接合單元。所述裸片拾取單元可包括:支撐包含多個裸片的晶片的支撐板；布置在所述支撐板的上方以檢測裸片的位置的檢視部件；布置在所述支撐板的下方以推頂由所述檢視部件檢測的裸片的推頂部件；至少一個倒置拾取部件，其布置在所述支撐板的上方以拾取由所述推頂部件推頂?shù)穆闫⑶野ㄓ糜诘怪盟霰皇叭〉穆闫男D(zhuǎn)部件；以及檢視驅(qū)動部件，其連接到所述檢視部件并且配置為移動所述檢視部件，以在所述倒置拾取部件拾取推頂?shù)穆闫瑫r檢測隨后欲拾取的另一個裸片的位置。所述裸片接合單元可鄰接倒置拾取部件布置，以接收倒置的裸片并將倒置的裸片接合在襯底上。
[0018]根據(jù)一些例示性實施方案，所述裸片接合單元可包括拾取并轉(zhuǎn)移倒置的裸片的裸片轉(zhuǎn)移部件、將襯底從外部加載到接合區(qū)域的襯底加載部件，以及將由裸片轉(zhuǎn)移部件轉(zhuǎn)移的裸片接合在襯底上的接合部件。
[0019]根據(jù)一些例示性實施方案，所述裸片接合單元還可包括鄰接裸片轉(zhuǎn)移部件布置并且配置為拾取并轉(zhuǎn)移由倒置拾取部件拾取并倒置的裸片的緩沖轉(zhuǎn)移部件。
[0020]根據(jù)一些例示性實施方案，所述裸片接合單元還可包括可移動地布置在裸片轉(zhuǎn)移部件與接合部件之間的中間轉(zhuǎn)移部件。中間轉(zhuǎn)移部件可接收多個倒置的裸片，然后將所述倒置的裸片轉(zhuǎn)移到接合部件。
[0021]根據(jù)一些例示性實施方案，所述接合部件可包括多個接合頭，以將多個倒置的裸片同時接合在襯底上。
[0022]根據(jù)本發(fā)明的又一個方面，接合裸片的方法可包括:使用布置在包含多個裸片的晶片的上方的檢視部件檢測多個裸片中的任一個的位置，從所述晶片推頂由所述檢視部件檢測的裸片，拾取并倒置推頂?shù)穆闫?，同時朝向鄰接被拾取的裸片的隨后欲拾取的另一個裸片移動所述檢視部件以檢測其位置，以及將倒置的裸片接合在襯底上。
[0023]根據(jù)一些例示性實施方案，可將包括倒置的裸片的多個倒置的裸片由裸片轉(zhuǎn)移部件順序地轉(zhuǎn)移到中間轉(zhuǎn)移部件，然后由所述中間轉(zhuǎn)移部件同時轉(zhuǎn)移到用于接合所述倒置的裸片的接合部件。
【附圖說明】
[0024]從結(jié)合附圖的以下描述可更詳細地理解例示性實施方案，其中:
[0025]圖1是示出了根據(jù)例示性實施方案的裸片接合設備的示意圖；
[0026]圖2是示出了如圖1中所示的裸片接合設備的示意圖；并且
[0027]圖3A-3C是示出了使用如圖1中所示的裸片接合設備接合裸片的方法的示意圖。
【具體實施方式】
[0028]在下文中，將參考附圖詳細地描述根據(jù)本發(fā)明的實施方案的用于接合裸片的設備和方法。本發(fā)明可以各種形式進行各種修改和具體化，因此，具體的實施方案將在附圖中示出和在說明書中詳細地描述。然而，本發(fā)明不應被理解為限于此處所述的具體實施方案。相反，應理解，不背離本發(fā)明的精神和技術(shù)范圍的修改、等同和替代也在本發(fā)明的范圍內(nèi)。在各圖中，相同的附圖標記自始至終指代相同的元件。在附圖中，為清楚地示出，結(jié)構(gòu)的尺寸被放大或縮小。
[0029]術(shù)語“第一”或“第二”可用于描述各種元件，然而，所述元件不應受限于這些術(shù)語。這些術(shù)語僅用于區(qū)分一個元件與另一個元件。例如，第一元件可以被命名為第二元件，反之亦然，這并不背離本發(fā)明的范圍。
[0030]本文所用的術(shù)語僅用于描述具體的實施方案，而不意欲限制本發(fā)明。除非提到相反的情況，否則單數(shù)形式的術(shù)語可包括復數(shù)形式。在本說明書中，例如“包括(include、including) ”、“包含(comprise、comprising) ”或“具有(have、having) ” 的術(shù)語用來說明本文所公開的特征、數(shù)字、步驟、操作、元件、組件或其組合的存在，但應理解為不排除一個或多個其它特征、數(shù)字、步驟、操作、元件、組件或其組合的預先存在或可添加性。
[0031]除非另有定義，否則本文所用的所有術(shù)語，包括技術(shù)和科學術(shù)語都具有與本領域普通技術(shù)人員通常理解的含義相同的含義。還應理解