多規(guī)格光刻版清洗治具的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種多規(guī)格光刻版清洗治具。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)制造過程中，芯片涂上光刻膠經(jīng)特殊光刻處理后方能制造出特殊的管芯圖形，由于芯片在曝光時(shí)必須使用光刻版，而且曝光時(shí)芯片和光刻版之間的間隙非常小，另外少量芯片表面存在缺陷，芯片表面在涂上光刻膠后表面凸凹不平，所以在曝光時(shí)就會(huì)發(fā)生光刻版和芯片相互接觸。導(dǎo)致光刻版上部分區(qū)域存在殘膠不能繼續(xù)使用，又由于光刻版成本高且可以反復(fù)利用，所以受污染的光刻版需要使用特殊的化學(xué)藥液進(jìn)行清洗，清洗光刻版時(shí)就需要使用專用的清洗治具。
[0003]國內(nèi)大部分LED制作行業(yè)都沒有標(biāo)準(zhǔn)的清洗治具，對于光刻版的清洗都是手動(dòng)作業(yè)，每次只是將光刻版裝進(jìn)特定的清洗治具里。
[0004]在目前光刻版的清洗過程中，對于不同規(guī)格的光刻版只能用相應(yīng)規(guī)格的清洗治具進(jìn)行清洗，清洗效率低，設(shè)備成本高。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005](一)解決的技術(shù)問題
[0006]針對現(xiàn)有技術(shù)的不足，本發(fā)明提供了一種多規(guī)格光刻版清洗治具，該清洗治具能夠用于清洗不同規(guī)格的光刻版。
[0007]( 二)技術(shù)方案
[0008]為實(shí)現(xiàn)以上目的，本發(fā)明通過以下技術(shù)方案予以實(shí)現(xiàn):
[0009]本發(fā)明所提供的一種多規(guī)格光刻版清洗治具，包括主支架、側(cè)支架、底部支架、支撐圓柱和底部圓柱，優(yōu)選的，所述支撐圓柱與所述的主支架通過螺栓連接；所述側(cè)支架與所述的主支架通過螺栓連接；所述底部支架通過螺栓與所述的主支架連接，所述底部支架定圓柱固定在主支架的下部。
[0010]優(yōu)選的，所述的主支架上有開有孔槽、支架取放口、側(cè)支架固定螺絲孔、底板固定螺絲孔、底部圓柱。
[0011]優(yōu)選的，所述的側(cè)支架固定螺絲孔分布在主支架的兩側(cè)和底部。
[0012]優(yōu)選的，所述的側(cè)支架一側(cè)開有用于固定光刻版的側(cè)支架卡槽。
[0013]優(yōu)選的，所述的底部支架的一側(cè)開有用于固定光刻版的底部支架卡槽。
[0014]優(yōu)選的，所述的底部支架開有底部支架通孔，所述底部支架通孔與所述底部支架卡槽連通。
[0015]優(yōu)選的，所述的支撐圓柱兩端開有底部支架圓柱孔，所述的底部支架圓柱孔為盲孔。
[0016]優(yōu)選的，所述的清洗治具由耐腐蝕材料制成。
[0017]優(yōu)選的，所述的主支架板的下部固定有至少一個(gè)底部圓柱。
[0018](三)有益效果
[0019]本發(fā)明提供了一種多規(guī)格光刻版清洗治具，由于主支架上開了不同距離的側(cè)支架固定螺絲孔，可通過螺栓將側(cè)支架卡槽按照光刻版的規(guī)格固定在相應(yīng)的側(cè)支架固定螺絲孔上，從而實(shí)現(xiàn)對于不同規(guī)格光刻版的清洗，從而提高清洗效率，降低設(shè)備采購成本。
[0020]同時(shí)，由于主支架和側(cè)支架上都開有相同數(shù)目的多個(gè)卡槽，可以實(shí)現(xiàn)一次清洗多個(gè)同一規(guī)格的光刻版。
[0021]本發(fā)明所提供的清洗治具，由于卡槽有一定的長度，每個(gè)光刻版通過兩側(cè)各一個(gè)卡槽和底部的一個(gè)卡槽固定在清洗治具內(nèi)，能夠有效防止光刻版在取放過程中脫落的危險(xiǎn)，提高操作的安全性。
[0022]此外，本發(fā)明在底部支架上開有通孔，通孔與底部卡槽上的支架連通，且底部卡槽的通孔里安裝有支撐圓柱，光刻版與支撐圓柱的接觸為線接觸，在對光刻版進(jìn)行清洗之后，放入烘箱中烘干，光刻版底部不易出現(xiàn)由于底部卡槽與光刻板接觸面過大而引起的未烘干現(xiàn)象。
【附圖說明】
[0023]為了更清楚地說明本發(fā)明實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0024]圖1為光刻版主支架示意圖；
[0025]圖2為光刻版固定卡槽側(cè)支架剖視圖；
[0026]圖3為光刻版固定卡槽底部支架左視圖；
[0027]圖4為光刻版固定卡槽底部支架剖視圖；
[0028]圖5為光刻版固定卡槽底支架圓柱視圖；
[0029]其中，1-孔槽，2-支架取放口，3-側(cè)支架固定螺絲孔，4-主支架，5-底板固定螺絲孔，6-底部圓柱，7-側(cè)支架卡槽，8-側(cè)支架螺絲孔，9-側(cè)支架，10-底部支架孔，11-底部支架通孔12-底部支架，13-底部支架卡槽，14-支撐圓柱，15-底部支架圓柱孔。
【具體實(shí)施方式】
[0030]為使本發(fā)明實(shí)施例的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有作出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。
[0031]一種多規(guī)格光刻版清洗治具，包括主支架(4)、側(cè)支架(9)、底部支架(12)、支撐圓柱(14)和底部圓柱￠)，其中，所述支撐圓柱(14)與所述的主支架(4)固定連接；所述側(cè)支架(9)與所述的主支架(4)固定連接；所述底部支架(12)與所述的主支架(4)固定連接，所述底部支架定圓柱￠)固定在主支架(4)的下部。因此可將主支架(4)、側(cè)支架(9)、底部支架(12)、支撐圓柱(14)和底部圓柱￠)，組裝成一個(gè)完整的多規(guī)格光刻版清洗治具。
[0032]主支架4上的開有孔槽1、支架取放口 2、側(cè)支架固定螺絲孔3、底板固定螺絲孔5，其中，孔槽I是為了減少所使用的材料，支架取放口 2位于主支架板的上方，便于取放時(shí)的夾持；側(cè)支架固定螺絲孔3則分別按照不同光刻版的規(guī)格尺寸進(jìn)行排列，其排列方式如圖1中所示；
[0033]如附圖1-5所示一種多規(guī)格光刻版清洗治具，包括主支架4、側(cè)支架9、底部支架11、支撐圓柱14 ;底部圓柱6固定在主支架4的底部，保證兩主支架4之間有固定的距離。支撐圓柱14安裝在底部支架12的底部支架通孔11內(nèi)，兩個(gè)側(cè)支架9分別與兩個(gè)主支架4通過螺栓連接；由于底部支架通孔11與底部支架卡槽是連通的，因此能夠保證光刻版與底部卡槽的接觸為線接觸，在對光刻版進(jìn)行清洗之后，放入烘箱中烘干，光刻版底部不易出現(xiàn)由于底部卡槽與光刻板接觸面過大而引起的未烘干現(xiàn)象。
[0034]待清洗的光刻版固定在底部支架12和側(cè)支架9的卡槽里，且底部支架12與側(cè)支架9上的卡槽數(shù)目一樣多，從而能夠保證本發(fā)明實(shí)施例一次可清洗多個(gè)光刻版。
[0035]因?yàn)楸厩逑粗尉咭旁诨瘜W(xué)溶液里進(jìn)行工作，所以本發(fā)明實(shí)施例所采用