能夠探知泄漏與否的真空配管用連接件的制作方法
【專利說明】
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種真空配管用連接件，更具體地說，本發(fā)明涉及一種能夠探知泄漏與否的真空配管用連接件，本發(fā)明在半導(dǎo)體制程設(shè)備能夠?qū)崟r(shí)掌握進(jìn)行抽真空(vacuumpumping)作業(yè)的真空配管的連接部位是否漏氣(Gas leak)。
【【背景技術(shù)】】
[0002]半導(dǎo)體集成電路(Integrated circuit)雖然僅僅是小于指甲的薄娃芯片(Silicon chip)，但是其中確滿載了數(shù)萬(wàn)個(gè)以上的電子元件(晶體管、二極管、電阻、電容等)O
[0003]這些電子元件互相準(zhǔn)確地連接后發(fā)揮出邏輯門(Logic gate)與記憶元件(Memoryelement)作用，芯片內(nèi)的小元件及其連接部分則全部制作成細(xì)微且復(fù)雜的圖案(pattern)后畫到多個(gè)層的材料內(nèi)。
[0004]另一方面，在制造半導(dǎo)體的過程中實(shí)行諸如化學(xué)沉積(CVD)及蝕刻(Etch)之類的工序時(shí)需要使用各種氣體(Gas)及化學(xué)藥品(Chemicals)，還必須維持真空(Vacuum)狀態(tài)以防止外部氣體流入，該外部氣體流入后會(huì)危害或污染被處理物(例如晶片、基板等)及裝置內(nèi)部的構(gòu)成要素。
[0005]為此，如圖1所示地配備了在真空狀態(tài)下進(jìn)行處理的真空室(Chamber，910)、實(shí)現(xiàn)真空室(910)內(nèi)部真空狀態(tài)的真空泵(Vacuum pump，920)、針對(duì)真空泵(920)所排放的氣體進(jìn)行清洗以清除污染物的刷洗器(Scrubber，930)、把刷洗器(930)所清洗的氣體排放到大氣的導(dǎo)管(Duct，940)、上述真空泵(920)、清洗裝置(930)、連接導(dǎo)管(940)地安裝以便維持真空室(910)的真空狀態(tài)并導(dǎo)引氣體流入流出的真空配管(Vacuum pipe,950)等。
[0006]而且，半導(dǎo)體制程中使用的各種氣體雖然是直接影響產(chǎn)品生產(chǎn)的工藝要素，卻也會(huì)因?yàn)樘幚頃r(shí)的疏忽或未具備安全裝置而對(duì)設(shè)備與系統(tǒng)造成損傷及損失，因此需要另行安裝傳感器之類的漏氣探知工具(960)以便對(duì)氣體的泄漏與否進(jìn)行檢測(cè)。
[0007]更進(jìn)一步，利用夾具(Clamp，970)及能夠因應(yīng)直管制作誤差而自由改變前進(jìn)方向的波紋管(Bellows，980)針對(duì)進(jìn)行了凸緣(Flange)加工的上述真空配管(950)的各連接部位實(shí)行管連接，但是目前為止運(yùn)行人員需要直接利用另行準(zhǔn)備的的檢驗(yàn)器(離子檢驗(yàn)器等，未圖示)針對(duì)緊固了上述夾具(970)的真空配管(950)的連接部位逐一檢查。
[0008]雖然上述夾具(970)準(zhǔn)確地緊固在真空配管(950)連接部位時(shí)不會(huì)出現(xiàn)問題，但是每個(gè)工作人員所采取的方法與位置及環(huán)境各不相同而無(wú)法確認(rèn)緊固狀態(tài)是否準(zhǔn)確，如果上述真空配管(950)緊固部位的密封(Sealing)錯(cuò)誤或者因?yàn)檠b置缺陷而在半導(dǎo)體制程中泄漏有毒氣體，不僅會(huì)導(dǎo)致前述設(shè)備及系統(tǒng)損傷與損失，還會(huì)對(duì)環(huán)境.人體帶來(lái)嚴(yán)重的后果O
【
【發(fā)明內(nèi)容】
】
[0009]【所要解決的技術(shù)課題】
[0010]本發(fā)明旨在解決上述問題，本發(fā)明的目的是提供一種能夠探知泄漏與否的真空配管用連接件，其具備了反應(yīng)物(藥劑等)，該反應(yīng)物(藥劑等)則和用于真空配管的各連接部位緊固用途的夾具及波紋管所泄漏出來(lái)的氣體進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)，從而能夠立即檢查出漏氣或者利用另行配備的探知工具與監(jiān)控裝置在遠(yuǎn)程實(shí)時(shí)掌握并采取對(duì)應(yīng)措施。
[0011]【解決課題的技術(shù)方案】
[0012]為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明包括:夾具，用于多個(gè)真空配管相互之間的管連接或上述真空配管與半導(dǎo)體制造裝置配管相互之間的管連接；及反應(yīng)物，處于配備在上述夾具的狀態(tài)，能夠因配管連接部位泄漏的氣體而發(fā)生化學(xué)反應(yīng)。
[0013]而且，本發(fā)明包括:波紋管，能夠按照多個(gè)真空配管相互之間的管連接錯(cuò)誤時(shí)或上述真空配管與半導(dǎo)體制造裝置配管的連接誤差時(shí)的游隙自由改變前進(jìn)方向；及反應(yīng)物，處于配備在上述波紋管的狀態(tài)，能夠因配管連接部位泄漏的氣體而發(fā)生化學(xué)反應(yīng)。
[0014]更進(jìn)一步，上述反應(yīng)物是藥劑，該藥劑則由能夠在泄漏的氣體導(dǎo)致化學(xué)反應(yīng)時(shí)發(fā)揮變色作用的成分構(gòu)成。
[0015]而且，上述夾具在緊固環(huán)的外部周緣面上還形成有長(zhǎng)槽，該緊固環(huán)則將配管相互之間的末端同時(shí)加以圍繞包裹連接，憑借該長(zhǎng)槽而擁有能夠填充上述反應(yīng)物的充填空間，形成有從上述緊固環(huán)的內(nèi)徑面連通上述充填空間地貫穿并且配置在上述長(zhǎng)槽內(nèi)側(cè)的至少一個(gè)以上的通孔。
[0016]更進(jìn)一步，上述波紋管還具備有以圍繞包裹整體皺紋部地形成的蓋，使得用來(lái)填充上述反應(yīng)物的充填空間形成于外側(cè)，上述蓋由透明材料制成以便查看上述反應(yīng)物的化學(xué)反應(yīng)狀態(tài)。
[0017]【發(fā)明效果】
[0018]可以從前文所述內(nèi)容明確得知，本發(fā)明的能夠探知泄漏與否的真空配管用連接件能夠立即掌握真空配管的緊固部位是否有氣體泄漏，因而能夠?qū)Π雽?dǎo)體制程中發(fā)生的漏氣提早采取相應(yīng)的對(duì)應(yīng)措施，與此同時(shí)，憑此立即停止半導(dǎo)體制程的進(jìn)程以防止設(shè)備損傷與故障并且確保運(yùn)行人員的安全性。
[0019]而且，本發(fā)明還能解決運(yùn)行人員直接利用檢驗(yàn)器逐一檢查數(shù)量眾多的緊固部位的繁雜作業(yè)及由此而來(lái)的人力雇用與支付成本，還能大幅減少漏氣檢查時(shí)間。
[0020]與此同時(shí)，通過上述各種效果不僅延長(zhǎng)半導(dǎo)體制造裝置與設(shè)備的壽命并提高工序的可靠性，還能大幅提升制程良率，本發(fā)明能對(duì)半導(dǎo)體制造業(yè)的發(fā)展做出巨大貢獻(xiàn)。
【【附圖說明】】
[0021]圖1是概略示出一般半導(dǎo)體制程的設(shè)備的例示圖。
[0022]圖2及圖3是示出本發(fā)明的能夠探知泄漏與否的真空配管用連接件一實(shí)施例的夾具的結(jié)構(gòu)斜視圖。
[0023]圖4是示出本發(fā)明的能夠探知泄漏與否的真空配管用連接件一實(shí)施例的利用夾具的真空配管的管連接狀態(tài)的局部剖視圖。
[0024]圖5是示出本發(fā)明的能夠探知泄漏與否的真空配管用連接件另一實(shí)施例的波紋管結(jié)構(gòu)的局部剖視圖。
[0025]圖6是概略示出使用本發(fā)明的能夠探知泄漏與否的真空配管用連接件的半導(dǎo)體制程設(shè)備例示圖。
[0026]〈主要圖形標(biāo)記的說明〉
[0027]1:夾具2:波紋管(Bellows)
[0028]3:反應(yīng)物11:緊固環(huán)
[0029]12:長(zhǎng)槽12a、21a:充填空間
[0030]13:通孔21:皺紋部
[0031]22:蓋
【【具體實(shí)施方式】】
[0032]下面為了讓本發(fā)明所屬技術(shù)領(lǐng)域中具備通常知識(shí)者能夠輕易實(shí)施本發(fā)明而結(jié)合較佳實(shí)施例及附圖詳細(xì)說明本發(fā)明。
[0033]在附圖中，圖2與圖3是示出本發(fā)明的能夠探知泄漏與否的真空配管用連接件一實(shí)施例的夾具的結(jié)構(gòu)斜視圖，圖4是示出本發(fā)明的能夠探知泄漏與否的真空配管用連接件一實(shí)施例的利用夾具的真空配管的管連接狀態(tài)的局部剖視圖，圖5是示出本發(fā)明的能夠探知泄漏與否的真空配管用連接件另一實(shí)施例的波紋管結(jié)構(gòu)的局部剖視圖，圖6是概略示出使用