真空腔體組件的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及質(zhì)譜儀技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種真空腔體組件。
【背景技術(shù)】
[0002]電穿通密封件(Electrical Feedthroughs)是一種可以穿過真空腔壁來傳輸各種電功率、電信號的密封器件，包括不同規(guī)格的接口、耐壓及載流指標。在真空腔體內(nèi)部，電穿通密封件與引線的連接通常是通過引線與芯座焊接的方式進行，引線的另一端通過一定的方式與有需求的電載體進行連接，從而實現(xiàn)電穿通密封件與電載體的電導(dǎo)通。引線的一端與電載體觸點焊接的方式比較簡便，但不利于電載體脫離真空腔體狀況下的裝拆與維護。另一種常見的方式是，電載體與電穿通密封件各連接一段引線，兩部分引線通過接插件形式連接，該方式在接插過程中對空間有一定要求，且通常會造成一段較長的引線置于真空腔體內(nèi)部，風險系數(shù)可能會提高。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明旨在至少在一定程度上解決相關(guān)技術(shù)中的技術(shù)問題之一。
[0004]為此，本發(fā)明的一個目的在于提出一種便于拆裝、可靠性高的真空腔體組件。
[0005]根據(jù)本發(fā)明實施例的真空腔體組件，包括:真空腔體，所述真空腔體內(nèi)具有開口向上的真空腔；安裝板，所述安裝板固設(shè)在所述真空腔內(nèi)；金屬擋板，所述金屬擋板布置在所述安裝板的上表面上且與所述安裝板絕緣；電載體，所述電載體設(shè)在所述安裝板上且與所述金屬擋板通過第一引線相連；真空腔體蓋，所述真空腔體蓋設(shè)在所述真空腔體的上面以封閉所述真空腔的開口 ；PCB板，所述PCB板設(shè)在所述真空腔體蓋的下面；電流彈針，所述電流彈針設(shè)在所述PCB板上且與所述金屬擋板壓接；電穿通密封件，所述電穿通密封件設(shè)在所述真空腔體蓋上且通過第二引線與所述PCB板相連。
[0006]根據(jù)本發(fā)明實施例的真空腔體組件，利用電流彈針與金屬擋板壓接的形式，實現(xiàn)下壓內(nèi)置式電載體與真空腔體蓋方向安裝的電穿通密封件在電信號層面上的連接，安全穩(wěn)定可靠，又不影響拆裝與維護。
[0007]另外，根據(jù)本發(fā)明上述實施例的真空腔體組件還可以具有如下附加的技術(shù)特征: 根據(jù)本發(fā)明的一個示例，所述真空腔內(nèi)具有定位座，所述安裝板通過緊固件和定位銷固定在所述定位座上。
[0008]根據(jù)本發(fā)明的一個示例，所述金屬擋板包括多個且多個所述金屬擋板間隔布置在所述安裝板的上表面上且分別與所述安裝板絕緣，所述電流彈針為與多個所述金屬擋板——對應(yīng)的多個。
[0009]根據(jù)本發(fā)明的一個示例，多個所述電流彈針分別焊接在所述PCB板上。
[0010]根據(jù)本發(fā)明的一個示例，所述PCB板通過立柱設(shè)在所述真空腔體蓋的下面。
[0011]根據(jù)本發(fā)明的一個示例，所述PCB板上具有硬導(dǎo)線，所述硬導(dǎo)線的一端與所述第二引線相連且所述硬導(dǎo)線的另一端與所述電流彈針相連。
[0012]根據(jù)本發(fā)明的一個示例，所述硬導(dǎo)線上連接有電阻和/或電容。
[0013]本發(fā)明的附加方面和優(yōu)點將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過本發(fā)明的實踐了解到。
【附圖說明】
[0014]圖1是根據(jù)本發(fā)明一個實施例的真空腔體組件的示意圖。
【具體實施方式】
[0015]下面詳細描述本發(fā)明的實施例，所述實施例的示例在附圖中示出，其中自始至終相同或類似的標號表示相同或類似的元件或具有相同或類似功能的元件。下面通過參考附圖描述的實施例是示例性的，旨在用于解釋本發(fā)明，而不能理解為對本發(fā)明的限制。
[0016]下面參考附圖來詳細描述根據(jù)本發(fā)明實施例的真空腔體組件。
[0017]如圖1所示，根據(jù)本發(fā)明實施例的真空腔體組件10，包括:真空腔體101，安裝板102，金屬擋板103，電載體(未示出)，真空腔體蓋105，PCB板106，電流彈針107和電穿通密封件108。
[0018]具體地說，真空腔體101內(nèi)具有開口向上的真空腔100。
[0019]安裝板102固設(shè)在真空腔100內(nèi)。例如，真空腔100內(nèi)具有定位座110，安裝板102通過緊固件(未示出)和定位銷(未示出)固定在定位座110上。安裝效果具備重復(fù)性和唯一性。
[0020]金屬擋板103布置在安裝板102的上表面上且與安裝板102絕緣。
[0021]所述電載體設(shè)在安裝板102上且與金屬擋板103通過第一引線(未示出)相連。也即是說，金屬擋板103與安裝板102通過絕緣件固定連接，通過所述第一引線與固定于安裝板102上的電載體進行連接。
[0022]真空腔體蓋105設(shè)在真空腔體101的上面以封閉真空腔100的開口。
[0023]PCB板106設(shè)在真空腔體蓋105的下面。例如，PCB板106通過立柱111設(shè)在真空腔體蓋105的下面。
[0024]電流彈針107設(shè)在PCB板106上且與金屬擋板103壓接。例如，電流彈針107焊接在PCB板106上。
[0025]電穿通密封件108設(shè)在真空腔體蓋105上且通過第二引線109與PCB板106相連。有利地，PCB板106上具有硬導(dǎo)線，所述硬導(dǎo)線的一端與第二引線109相連且所述硬導(dǎo)線的另一端與電流彈針107相連。進一步地，所述硬導(dǎo)線上連接有電阻和/或電容。
[0026]根據(jù)本發(fā)明實施例的真空腔體組件，利用電流彈針與金屬擋板壓接的形式，實現(xiàn)下壓內(nèi)置式電載體與真空腔體蓋方向安裝的電穿通密封件在電信號層面上的連接，安全穩(wěn)定可靠，又不影響拆裝與維護。
[0027]根據(jù)本發(fā)明的一個示例，金屬擋板103包括多個且多個金屬擋板103間隔布置在安裝板102的上表面上且分別與安裝板102絕緣。電流彈針107為與多個金屬擋板102
——對應(yīng)的多個。
[0028]換句話說，如圖1所示，安裝板102通過緊固件和定位銷與真空腔體101連接固定，安裝效果具備重復(fù)性和唯一性。金屬擋板103與安裝板102通過絕緣件連接固定，通過第一引線與固定于安裝板102上的電載體進行連接。PCB板106通過立柱111與真空腔體蓋105連接固定，PCB板106上焊接若干電流彈針107。
[0029]當真空腔體蓋105與真空腔體101合上時，使電流彈針107與金屬擋板103的位置上下對應(yīng)，電流彈針107被金屬擋板103擠壓形成接觸。電穿通密封