專利名稱：積木式表面安裝的匯流管組合件的制作方法
技術領域：
本發(fā)明領域本發(fā)明總的涉及流體系統(tǒng)的匯流管，更具體點說，涉及一種積木式(可拆拼組合的)氣體分布系統(tǒng)，用于高純度流體系統(tǒng)和腐蝕性流體系統(tǒng)例如用來制造半導體晶片的氣體系統(tǒng)。
本發(fā)明的背景本申請要求1999.03.05申請的國際專利申請PCT/US 99/04973和1998.05.18申請的美國臨時申請No.60/085,817及1998.09.29申請的美國臨時申請No.60/102,277的權益。
為了制造半導體，工業(yè)采用各種高純度氣體。這些氣體由高純度的閥門、調節(jié)器、壓力傳感器、質量流量控制器和其他構件用焊接和高純度金屬密封配件連接在一起而構成的系統(tǒng)控制著。這些連接在某些用途上可能是不需要的，因為它們增加了焊接操作的增添的時間和費用、及在構件之間不必要的空檔并使人們難于更換一個在其他兩個構件之間的構件。另外，這些系統(tǒng)一般按慣例設計和制造，致使制造費用和更換零件的取得十分昂貴。
為了克服這些問題，近年來在該工業(yè)中引入了新的積木式集流腔系統(tǒng)。這些系統(tǒng)中的典型構件如閥門、壓力調節(jié)器和其他典型的流體用構件曾被重新設計使它們的輸入口、輸出口和連結機構都可與多個表面安裝的匯流管配合。這些匯流管典型地具有由高純度金屬機加工制成的模塊(積木塊)和機加工的內部流動通道。這些現(xiàn)有技術的積木式系統(tǒng)一般在構件和模塊面之間使用金屬密封并在模塊各個面的外側上進行面密封的機加工以資與配合的模塊密封接合。這種系統(tǒng)的一個目的是要使用根據(jù)工業(yè)標準的表面安裝的標準設計來得到表面安裝構件的互換性。
這種現(xiàn)有技術的積木式系統(tǒng)的一個缺點是整個模塊要由高純度金屬制成。而且這些模塊構件由于要在單個模塊內機加工制出多條通道的復雜性具有較高的制造費用并且由于制造的復雜性還具有形成昂貴廢品的較高風險。另外，配合在一起的模塊需要在它們之間進行配合密封，而這需要增添機加工時間，還需要適當?shù)陌惭b和緊固件的裝配扭力才能保證不泄漏地密封。
本發(fā)明綜述因此需要有一種積木式匯流管設計，它能消除配合模塊之間的密封，顯著減少昂貴材料的使用量，造成一個制造起來較簡單和較不費錢的系統(tǒng)，同時提供一個縮小的系統(tǒng)立足點式包絡面，可以滿足或超過現(xiàn)有系統(tǒng)的性能、整體性和可靠性。
本發(fā)明在一個方面提供一種橋配件，供流體匯流管系統(tǒng)內使用，以資與一個或多個流體用構件如閥門、調節(jié)器、壓力傳感器、質量流量控制器等內的流體連通。該橋配件具有一個第一彎頭配件與一個第二彎頭配件連接，連接的彎頭配件具有一條貫通的內部流體通道。橋配件的內部通道有一輸入端和一輸出端，輸入端與第一流體用構件的輸出口的流體連通，而橋配件的輸出端與第二流體用構件的輸入口的流體連通。
本發(fā)明在另一方面提供一種橋配件，供流體匯流管系統(tǒng)內使用，以資與三個或更多的流體用構件的流體連通，其中一個或多個所說流體用構件只有一個單一的口。橋配件具有一個第一彎頭配件和一個第二彎頭配件，它們各有一端連接在一個T形配件上。T形配件位在兩個彎頭配件之間，每一彎頭配件和T形配件內的流體通過一條內部流體通道互相連通。這些配件的內部通道具有一個輸入端及第一和第二輸出端，輸入端與第一流體用構件的輸出口的流體連通，而流體通道的輸出端則分別與第二和第三流體用構件的流體連通。
本發(fā)明在還有另一個方面提供一種積木式流體匯流管系統(tǒng)，可用來與一個或多個各有一個輸入口和一個輸出口的表面安裝型流體用構件連接。該積木式系統(tǒng)具有一個或多個橋配件各有一條內部流體通道在其內貫通；橋配件的內部通道有一個輸入端與第一流體用構件的輸出口連接，并有一個輸出端與第二流體用構件的輸入口連接，從而當該系統(tǒng)被裝配時，橋配件的內部流體通道可與第一和第二流體用構件的流體連通。
另外，本發(fā)明還提供一種積木式的流體匯流管系統(tǒng)可用來與一個或多個各有一個輸入口和一個或多個輸出口的流體用構件連接。該匯流管系統(tǒng)具有一個或多個橋配件，其上各有一個輸入端和一個輸出端并有一條內部通道貫通地連接所說這些端。該系統(tǒng)還包括一塊定位板，其上有一上表面用來將流體用構件安裝在其上，和多個與流體用構件的輸入口和輸出口對準的孔。定位板還有一個下表面用來將橋配件安裝在其上。每一個橋配件的輸入端與一個流體用構件的輸出口的流體連通，而每一個橋配件的輸出端與另一個流體用構件的輸入口的流體連通。
在下面的結合附圖所作的較優(yōu)實施例的詳細說明和中，本發(fā)明的以上這些和另外一些特點和優(yōu)點將更明白地顯示出來。
附圖簡要說明

圖1為一完整的匯流管組合件的透視圖，其中示出體現(xiàn)本發(fā)明特點的代表構件和密封件；圖2為圖1所示匯流管組合件及其能體現(xiàn)本發(fā)明特點的代表構件和密封件的分解透視圖；圖3為圖2中的匯流管的一部分的分解立視圖，其中示出位在兩個部分示出的氣體橋之間的一個完整的氣體橋和一個任選的代表密封件；圖3A為圖2中裝配好的匯流管部分的剖視圖；圖3B為圖3和3A所示完整的氣體橋8的一個可替代的氣體橋的剖視圖，該橋在兩個彎頭和管段之外還采用一個T形配件和一個增添的管段；圖4為本發(fā)明的一個可替代的匯流管系統(tǒng)，該系統(tǒng)具有在各個方向上延伸的多條流動路徑；圖5為能體現(xiàn)本發(fā)明特點的匯流管組合件的一個可替代實施例的分解透視圖；圖5A-D為本發(fā)明的保持夾的透視圖；圖6為兩個橋配件50和相應的密封保持件90及與圖5所示組合件配合的流體用表面構件的部分分解的縱向剖視圖；圖7為一個包括多條流體管線的較復雜的流體系統(tǒng)的平面視圖；圖8為在上、下基底層采用多條流動溝道的圖1中匯流管組合件的另一個實施例的透視圖；圖9和9A為兩個匯流管支座和一條交叉吹洗溝道的透視圖；圖10A-D示出兩個在端部連接的支座在裝配時的各個階段，圖10D還帶有剖面圖11A和11B示出一個可替代的實施例用來連接在如同圖8的匯流管組合件中使用的支座；圖12A和12B示出一個其內裝有止回閥的支座；圖13為本發(fā)明的匯流管組合件的另外一個實施例；圖14A為圖13所示本發(fā)明在流動用構件從匯流管組合件上拿走后的透視圖；圖14B為圖14A所示本發(fā)明的頂視圖；圖15A、15B和15C分別示出流動橋的一個可替代實施例的透視圖、頂視圖和側視圖；圖16A-16C分別示出一個降落流動橋的透視圖、頂視圖和側視圖；圖17-19分別為圖14B所示本發(fā)明在17-17、18-18、和19-19的方向上的剖視圖；圖20A、20B和20C分別示出流動橋的一個可替代的實施例的透視圖、頂視圖和側視圖；圖21示出大小不同的兩個多口流動橋的透視圖；圖22A-22B分別示出一個密封保持件的透視圖和側視圖，而圖22C示出圖22A-B的密封保持件與降落流動橋一起使用時的情況；圖23A-23C分別示出密封保持件的一個可替代的實施例的透視圖和側視圖；圖24A-24C分別示出密封保持件的另一個可替代的實施例的透視圖和側視圖；圖25A和25B分別示出具有管道安裝凸緣的匯流管支座的一個可替代實施例的頂視圖和透視圖；圖26為一帶有保持器箍的下支座匯流管的透視圖；圖27A為圖26中的匯流管在27A-27A的方向上的側視圖，而圖27B-27D為上、下支座的剖視圖，其中示出下支座的一個可替代的實施例；圖28為上、下支座的一個可替代的實施例的透視圖；圖29A和29B分別示出一個被加熱的匯流管組合件的預加載和加載的狀態(tài)；及圖30A和30B示出上基底層的可替代實施例的剖視圖和透視圖。
本發(fā)明詳細說明現(xiàn)在參閱附圖，這些附圖只是為了說明本發(fā)明的較優(yōu)實施例用的，而不是為了要限制它，圖1-30示出一個獨特的匯流管系統(tǒng)，它可作為高純度積木式氣體分布系統(tǒng)的一部分用于半導體器件的制造或其他必須承受腐蝕性流體的流體系統(tǒng)內。本發(fā)明并不限于用在高純度流體系統(tǒng)中，也可用于涉及流體流動控制的任何一種用途上。另外，本文所示出和說明的本發(fā)明各個方面可視具體用途的需要分開使用或成為各種組合使用。再者，雖然本文所說明的較優(yōu)實施例結合的是示范的積木式匯流管設計，但本行業(yè)的行家馬上會知道，本發(fā)明也可用于其他積木式系統(tǒng)的設計。
參照圖1，其中示出一個積木式流體匯流管系統(tǒng)10和流體流動控制構件如閥門12、流量調節(jié)器13、過濾器14等。流體用構件可與本發(fā)明連接使用，但不是本發(fā)明的部分。流體用構件12-14最好為表面安裝型構件，每個構件有一輸入口16并可另外具有一個或多個輸出口18如圖3A所示，這些口子使流體可與該流體用構件連通。用一系列的緊固件22穿過流體用構件的基體凸緣26上的孔24使可將構件固定到積木式匯流管系統(tǒng)上。
本發(fā)明的積木式匯流管系統(tǒng)10可具有一個或多個橋配件50、一個任選的定位板30、一個任選的支撐板40、任選的端配件45和任選的密封件60。這些元件將在下面較詳細地說明。橋配件50如圖3所示，可以是兩個彎頭配件52的型式，在該型式中，用傳統(tǒng)的方法如焊接將一根任選的管子延伸段54的兩端分別連接到兩個彎頭配件52的相關端上從而連結成一個整體。彎頭配件52具有一條內部流體通道56，設有一個輸入端58和一個輸出端62、64，輸入端58具有一個相對于輸出端62、64為90度的取向。任選的管子延伸段具有一條內部流體通道能將兩個鄰近彎頭配件的鄰近流體通道連接起來，這樣就在橋配件50的內部形成一條U形流體通道，通道設有一個輸入端62和一個輸出端64。
如圖3A所示，橋配件50的輸入端62與流體用構件12的相關的輸出孔18在流體流動上連通，而橋配件50的輸出端64與鄰近的流體用構件13的輸入口16在流體流動上連通。這樣橋配件50就能像“橋”那樣作用使流體能在相鄰的流體用構件如12、13之間轉移，而可不需在相鄰的橋配件50之間作出金屬對金屬的密封，這是在現(xiàn)有技術的相鄰模塊配合時一般需要的做法，最好橋配件由不銹鋼如316、哈斯特合金(hastalloy，耐鹽酸耐高溫鎳基合金)、半導體用優(yōu)質材料(SCQ)、或其他適宜與半導體加工液一起使用的材料制成。但對于一般的工業(yè)用途，任何一種合適的材料如塑料或金屬都可在本發(fā)明中使用。
另外，橋配件50具有縮小的尺寸，因此積木式匯流管所需昂貴材料的數(shù)量能顯著減少?，F(xiàn)有技術的積木式系統(tǒng)使用的積木式匯流管模塊(表面安裝的構件設在其上)由昂貴的材料制成，內部氣體流動路徑是在其內用機加工整體制造出來。隨著半導體工業(yè)的積木式氣體系統(tǒng)構件的走向標準化，這些積木式匯流管模塊構件便有一個標準的上凸緣安裝表面區(qū)為的是要用來與表面安裝的流動用構件的標準凸緣配合，使表面安裝的流動用構件可以互換，這樣現(xiàn)有技術的積木式構件模塊便要使用大量的昂貴材料。而本發(fā)明提供的氣體流動通道是由橋配件50形成的，與傳統(tǒng)的現(xiàn)有技術的積木式構件模塊相比，橋配件50所用昂貴材料的體積被顯著地減少。這樣便可造成一個具有較經(jīng)濟的氣體流動路徑的匯流管，比現(xiàn)有技術的構件模塊更便宜也更容易制造。
如圖1所示，積木式系統(tǒng)10還可具有端配件45，該端配件是將一具有90度內部通道的彎頭配件連接到一個標準配件46如Swaglok VCR配件(美國Ohio州Cleyeland市的Swagelok公司生產(chǎn))那樣的標準的面式配件或其他合適的配件上以資用來與流體的管線連接。該端配件45可被用作與流體管線(未示出)配合的輸入配件或輸出配件。這樣，彎頭配件的輸出式輸入端被連接到流體用構件的相關的輸入或輸出端上。最好端配件45的材料為不銹鋼、316不銹合金、不銹SCQ或其他適宜與半導體加工液或對特定用途有利的流體一起使用的材料。對于一般的工業(yè)用途，端配件45可由任何一種合適的材料如塑料或金屬構成。
本發(fā)明的積木式匯流管系統(tǒng)10還可任選地具有一塊支撐板40。該支撐板40可以是一塊平板，但最好具有內部凹槽或溝道42以資用來接納多個橋配件50和端配件45而將它們設置在其內。橋配件50和端配件45的每一個彎頭配件52都具有一個尺寸合適、外部成形的體與凹槽或溝道42的形狀配合以資防止橋配件50在溝道42內旋轉。最好但并非必需將彎頭配件52的外形制成長方形或正方形。并且最好形成溝道42的兩個相對的內側壁44具有合適的尺寸可用來緊密地接納方形或長方形的體。本發(fā)明并不限于上述形狀，任何一種對彎頭配件52的成形的體具有互補形狀的溝道都可在本發(fā)明中使用。支撐板40可由任何一種合適的材料如金屬和金屬基體復合材料構成，但最好用價格低、重量輕的材料如鋁制成。根據(jù)用途也可使用非金屬材料如塑料。
最好匯流管系統(tǒng)10還具有密封件60，以便將它們接納在配合的橋配件50的輸入/輸出口和流體用構件之間。密封件60可由任何一種合適的材料如人造橡膠、塑料、橡膠或聚合物材料制成，并且最好為軟金屬如鎳。C形的密封件也可使用，復合的密封件是另外的可使用的例子。其他可結合本發(fā)明使用的密封技術對本待業(yè)具有一般技能的人員來說都是顯而易見的。
在圖2、3和3A所示的本發(fā)明的第二實施例中，本發(fā)明采用了一塊任選的定位板30。該定位板30設有多個對準的孔用來將橋配件50的端頭62、64接納在其內。橋配件50的端頭最好略短于定位板30的厚度，這樣便可形成一個凹部可用來將密封件60接納在其內。定位板30另外還具有多個對準的孔32可用來將緊固件22接納在其內。這樣為了按照本發(fā)明的第二實施例裝配該系統(tǒng)，須將橋配件放置在支撐板40的溝道42內，然后將定位板的孔與橋配件50的輸入端和輸出端對準，再將定位降下到位置上使橋配件50的端頭插入并通過定位板30上的對準的孔34。然后將緊固件36插入并通過支撐板上對準的孔38以便被接納到定位板30上對準的孔39內。最后，用緊固件22將流體用構件12-14固定到定位板30上。
一個橋和T形配件的實施例在圖3B中示出。這個橋配件70可被用來與三個相鄰的流體用構件連接，其中中間的流體用構件只有一個輸入口，例如一個壓力傳感器，或一個分流器，分流器用來使一部分流體重新取向沿著另一條流動路徑流動。橋配件70具有兩個彎頭配件52，每一個彎頭配件各有一條內部流體通道在流體流動上與T形配件72連通。T形配件72有一個輸入端74和兩個輸出端76、78。T形配件70的輸出端76與一個只有單一輸入口的流體用構件在流體流動上連通。T形配件的另一輸出端78與橋配件的輸出端80在流體流動上連通。這樣，橋和T形配件就有一個輸入端82和兩個輸出端76和80，可以用來在三個相鄰的流體用構件之間“搭橋”或轉移流動，其中中間的流體用構件只有一個單一的口子通過配件70與流動通道在流體流動上連通。
圖4示出定位板80的另外一個實施例，它被設計用于多條流動路徑A、B、C和D的流體流動。為了較好地說明本發(fā)明，圖中示出定位板相對于橋配件50的后側(即圖2中定位板的后面)。橋配件50在定位板眾多孔眼內的布置使得來自一條或多條流動路徑的流體得以結合或混合。這樣如圖4所示，四條獨立流動路徑的流體A、B、C和D便在位置84等處被流體用構件如具有三個口子的閥門按所需的比例混合在一起，最后從系統(tǒng)的流體輸出口86排出。注意橋配件50是以“銷釘板”式樣的布置組合在一起，用來將分開的流動路徑互連或連接來完成流體的混合，而可不需任何一個專門定位的構件。與現(xiàn)有技術的模塊積木式設計的需要有特制的具有三個口子的模塊相比，這是一個突出的優(yōu)點。
在本發(fā)明的這個實施例中，定位板80既可被用作橋配件50的支撐板又可被用作“定位板”，因此可毋需支撐板。橋配件50還可具有一個帶螺紋的端頭(未示出)，可被插入到定位板80的對準的帶螺紋的孔82內。橋配件50的端頭62、64也可被壓入配合到定位板80的對準的孔82內或被保持夾(未示出)連結到定位板上。其他可用的連結設施是本行業(yè)具有一般技術的人員都知道的。
在本發(fā)明的這個實施例中，橋配件50的端頭62、64還可將其高度改變到足夠建立起多層橋配件(未示出)。這種交叉層的特點是有用的，例如當需要將管線A內的沖洗氣體提供到其他氣體管線B、C和D內時。為了完成這一點，需要有一個修改的橋配件50，其上添設一個T形配件以便用來與上層的橋配件配合。該T形配件將被設在圖3B所示的兩個彎頭配件之間，并有一個內部流體通道與彎頭配件的內部流體通道連通。但與圖3B不同，T形配件的孔將與彎頭配件的孔在方向上成180°的反對為的是與位在另一層的橋配件的T形配件配合。這樣，本發(fā)明的這個實施例便可造成一個具有多條流體流動路徑的流體匯流管系統(tǒng)，并且所說路徑能在多個方向上延伸。另外，這個實施例可以得到多層或三維層的流體流動路徑，其中一層的流體流動路徑可與另一層的流體流動路徑在流體流動上連通。
在如圖5和6所示的本發(fā)明另外一個可替代的實施例中，任選的定位板30已被取消。替代它的是被任選的柔性保持件90夾持在位的密封件60。保持件90由薄而柔性的材料如塑料或金屬制成，商業(yè)上可從EG&G公司得到供售。保持件90的孔92與支撐板或溝道板40的孔32對準以便供緊固件22插入而被接納到孔32內。密封件60如C形密封件被一個或多個支承件92夾持在位。密封件60被精確地定位在保持件90內使當孔92與緊固件22對準時，密封件60精確地與流體用構件12、14的輸入口16和輸出口18及鄰接的流動橋50的相關的輸出口64和輸入口62對準。流動橋配件50已被修改，垂直的管子延伸段已被取消，這樣當流動橋50被定位在溝道內時，輸入和輸出端62、64與溝道模塊40的上表面43齊平或略為低下。另外，圖5示出構成流動橋50的彎頭配件52的不同形狀。所示彎頭配件52具有一個長方形的體，其內的內部流體通道被這樣機械加工，使輸入端對輸出端的取向大約為90度。最好流動橋50在其輸入口和輸出口62、64的周圍另外有一個圓形的凹進區(qū)域以便用來將密封件60部分接納在其內。
如同圖5所示，在所有彎頭配件52都被固定在一起構成流動橋50以后，將流動橋50放置在支撐板40的溝道內?？蓪⑷芜x的保持夾95接納在每一個流動橋的周圍借以將該橋保持在溝道內。保持夾95可被插置在每一個流動橋50的、例如在兩個相鄰彎頭配件52之間形成焊接互連部的頸部縮小的區(qū)域的周圍。圖5A示出的保持夾的外形最好為U形，具有兩條平行而間距比溝道寬度寬的曲線的腿9b使它具有彈簧狀的特性。這樣當將兩條平行的腿插置在溝道內流動橋50的周圍時，由于兩腿9b的彈簧力使兩腿以摩擦力與溝道側壁接合，流動橋就被保持在溝道內。另外，保持夾的可替代的實施例在圖5B-D中示出。
進一步可知道，如同圖7所示的支撐板或溝道板40除了包括多條有流動橋50定位在其內的溝道42以資用來在第一方向上運送對準的流體用構件的流體流動外，還包括一條或多條有流動橋定位在其內的橫向互連的或分支的溝道41以資用來在第二方向上運送流體。這樣便可形成多條流動路徑使流體能越過不同的流動管線混合。分支溝道43最好沿橫向越過在第一方向上的溝道42而延伸到其他鄰近的溝道42上。這一點將是有用的，例如在需要沖洗空氣或混合在一起的流體流的流體系統(tǒng)中。
接下來參閱圖8，按照本發(fā)明的另一個方面，現(xiàn)在說明使用多個流動溝道匯流管的匯流管布置的交叉沖洗的細節(jié)。每一個流動溝道匯流管的基本構件可與上面說明的實施例相同，只是有少許修改，這里將簡要說明。
在圖8中，設有三個流動溝道匯流管100、102和104，就基本結構的構件而言，每一個匯流管都與另外兩個相似，因此這里只詳細說明其中一個。在本實施例中，這三個匯流管100、102和104一般互相平行且在同一平面上。舉例說，第一流道溝道匯流管100包括一連串支座結構106端頭對端頭地連接在一起形成一個氣體的棍狀匯流管。其他兩個匯流管102和104包括支座109，也具有各種可有的流動路徑形狀。每一個支座106以示范的方式在圖9中示出。在本例中，每一個支座106至少大到有一個表面安裝的構件10安裝在其上?；蛘撸鱾€或所有支座可被延長使得多于一個的表面安裝的構件能被安裝在其上，例如圖5所示的實施例。還有一個可替代的做法是用具有足夠長度的單一支座106來將所有需要的表面安裝的構件容納在一個特制的氣體棍內。
參閱圖9，其中示出兩個相互鄰近放置的支座106、109，它們是從圖8的匯流管100、102或104中取出的。每一個支座結構或組合件106在某些方面都與圖5所示的基本支座結構相似，如支座包括一個溝道模塊108，在其內制有一條溝道110，至少有一個或多個流動橋模塊構成的流動橋50被緊密地接納在溝道110內，并且如果需要可用一夾子95(未示出)將它固定在溝道內。如圖5所示，當流動控制裝置裝在支座106上時，流動橋50的兩個口62、64將與表面安裝的流動控制裝置(未示出)的輸入口和輸出口16、18對準。
如同早先說明過的實施例那樣，密封件如C形密封件50可被用來在裝置的口12、14和橋模塊114、116之間形成對流體緊密的連接。而端部鄰接的支座(例如圖8中的106a和106b)的流動橋模塊30可用管子延伸段焊接在一起。
按照本發(fā)明，溝道模塊108最好用費用重量輕的材料如鋁制成，而要傳送半導體加工氣體用的流動橋模塊30則由較貴的半導體用優(yōu)質鋼制成。
如圖9所示，三個氣體棍狀匯流管100、102和104可用一個或多個交叉布置的沖洗溝道120機械地連接或互連在一起成為一個單獨的組合件。在這個實施例中，交叉的沖洗溝道120一般互相平行且在同一平面上，并被裝在匯流管102、104、106的下側。沖洗流動溝道例如能被用來將沖洗氣體供應到每一個氣體棍狀匯流管100、102、104上。
每一條沖洗溝道120都可從價廉的金屬模塊如鋁或非SCQ不銹鋼用機械加工出來。沖洗溝道120可包括用來接納相關支座106的凹槽122，這樣在裝配時可簡化對準手續(xù)。沖洗溝道120在其內制有一條縱向的凹槽124可用來緊密地接納多個沖洗橋模塊126，這些橋模塊例如可以用管子延伸段端頭接端頭地焊接成一整體。沖洗橋模塊126的制造和互連基本上與流動橋模塊50相似。在沖洗橋模塊126上設有一個沖洗口128，該口通過一根具有直通流動路徑的導管130與表面安裝的構件10(在圖9中未示出)的沖洗口在流體流動上連通，導管130是通過在上面安裝的支座106中的孔安裝的。如果需要可用一個適配器或過渡管模塊132來提供沖洗口133以便與表面安裝構件10連接。如圖9所示，過渡管132可用來例如與兩個橋配件50組合以便將沖洗氣體供應到三口閥門上。這樣位在過渡管132兩側的橋配件的一端連同過渡管132便形成相鄰的三個口114、133、116，其中133為沖洗口。為了簡潔起見，在圖9中橋配件的其他端被省略。
合適的密封件如C形密封件可被用來在沖洗模塊126和導管130之間以及在導管130和過渡模塊132及/或表面安裝構件的沖洗口之間提供對流體緊密的連接。圖5A-D所示的保持夾95可被用來將沖洗模塊126夾持在縱向凹槽124內特別是在運輸時。過渡管132可被設置在溝道110內，這樣當將裝置10裝在支座106上時，過渡管132便可與流動控制裝置10的沖洗口對準。在圖5和圖8的實施例中，沖洗口位在輸入和輸出流動口之間的中間區(qū)域內。
參閱圖10A-D，每一支座106在其兩個對側靠近底壁142的地方制有縱向槽140a和140b。在這個示范實施例中，該槽140在支座的整個長度上延伸但并非必要這樣做。該槽只需有足夠長度能夠容納連接栓即可，這將在下面說明。每一支座106還包括多個帶螺紋的螺釘孔144，最好在每一角上有一個，該孔通過支座向下延伸至少到達槽140。
兩個支座106a和106b由連接栓146，在本例中為一對連接栓146a和146b端對端地連接在一起。每一個連接栓146大約有一半被滑動地接納在兩個支座106a和106b的鄰接槽140的相關端部內。在本例中，第一連接栓146a配裝在第一支座106a的槽140a內和第二支座106b的相應的槽140a內。連接栓146最好不要比槽140寬，使支座保持光滑的側壁外廓。連接栓146設有一般與螺釘孔144對準的孔148。帶螺紋的定位螺釘150能旋入到孔144內并且具有足夠的長度還能旋入到連接栓146上的孔148內。但為了牢固地將兩個支座106a和106b保持在一起，當支座106a和106b在端部對接時，連接栓孔148的間距與定位螺釘?shù)拈g距相比，最好制有小量的偏差，例如為0.020英寸。這樣，當定位螺釘150被旋入到連接栓148的孔內時，支座106a和106b將被拉緊在一起如圖10D所示。
現(xiàn)在再一次參閱圖8和9A，某些支座120還被連接到交叉的沖洗溝道120上。交叉沖洗溝道120具有可接納安裝螺栓180的帶螺紋的孔152。在示范的實施例中，擱置交叉沖洗溝道120的支座設有一塊安裝板182，其上包括一個向外伸出的凸緣184。凸緣184包括與沖洗溝道孔152對準的貫通孔，因此螺栓180能將支座106固定到交叉沖洗溝道120上。由于在單獨的氣體棍內的多個支座106通過連接栓被互相連接著，圖8中的整個組合件是一個牢靠地保持在一起的堅固的組合件。在圖11A的可替代的實施例中，連接銷164被采用，支座106設有凸緣172和與沖洗溝道孔152對準的相應的孔。這樣，螺栓180便可將支座固定到?jīng)_洗溝道120上。
參閱圖11A和11B，其中示出使支座106端頭互連的一個可替代的實施例。在原來開槽140的地方，每一個支座106在其鄰接面上(如圖11中106a和106b的鄰接面)設有沿縱向延伸的孔160并且是在接納流動橋的溝道110的兩側。圓銷162被適度地接納在孔160內。每一銷162都延伸到相應而對準的孔160內以資將支座106a、106b連接在一起。每一銷162還可包括低凹部164。定位螺釘166可通過對準的螺釘孔168旋入到低凹部164與銷162接合，這樣銷162便可牢固地保持在支撐件體160內。低凹部164的軸向間距可略微偏離螺釘孔168的間距，使當螺釘166被旋緊時支座能被拉緊。
在這實施例中，支座106設有從基部伸出的唇部172以便可用螺栓將支座固定到交叉的沖洗溝道120上(在圖11中沒有示出，但可看圖9和9A)。
圖12A和12B示出本發(fā)明的另一方面。在這實施例中，圖8的氣體棍內使用的支座中的一個支座200被修改為包括一個中心孔202，該中心孔202向支座內的流動模塊凹槽110開通。有一止回閥組合件204被插置在孔202內。止回閥包括一個輸入口206和一個輸出口208。如從圖12A可清楚地看見，止回閥204包括一個插置到溝道110內的流動模塊210。另外的流動模塊30(未示出)能在止回閥模塊210的任一側插置到凹槽110內。止回閥204例如能被用來制止沖洗氣體的回流。在這樣一個例子中，止回閥模塊210將被用來替代過渡模塊132(圖9)。
接下來參閱圖13，按照本發(fā)明的另一方面，一個多層的匯流管裝置300被示出，該裝置可用來導引流體在兩個或更多的平面上的多條流動路徑內流動。基本的系統(tǒng)構件如同上面在各實施例中說明的那樣，但有若干修改，簡要說明如下。匯流管系統(tǒng)300具有一塊任選的基板310和任選的支承模塊312，該模塊可用來使系統(tǒng)在安裝之前進行裝配。如圖14A、14B和15所示，在流動用構件拿掉后，該系統(tǒng)具有一個上基底層314和一個下基底層316。上基底層314具有多個溝道模塊40，這些溝道模塊可具有可變的長度并且還可在平行取向的同時緊密地間隔開如圖所示。溝道模塊40可用緊固件固定在支承模塊312上，支承模塊312又可固緊到支承板310上。
流動橋50被定位在溝道模塊40的每一條溝道42內，這從圖15A-15C和圖16A-C可清楚地看到。如圖15A所示，流動橋50的另一個實施例具有兩個正方形的彎頭配件52用管子延伸段將它們連接在一起形成一條U形的流體通道。流動橋50的輸入口和輸出口最好與溝道模塊40的上表面43齊平或略微低凹到上表面之下。流動橋50的輸入口和輸出口62、64有一個低凹的區(qū)域可用來將密封件60接納在其內，使密封件能被保持在流動橋的口子64、62和流動用構件12-14的配合口16、18之間。
圖16A-C示出的降落橋320可用來使在上基底層內的流動用構件和在下基底層內的鄰近的流動橋或多口流動橋400(見圖21)之間在流動上互相連通。如圖16A所示，降落橋320由一個彎頭配件52和一個具有足夠長度的管子延伸段324的T形配件322構成使其輸入口326與在下基底層316內的流動橋50或多口流動橋400的對準的口在流體流動上互相連通。降落橋320還具有兩個上基底層314的口子328、330和一個下基底層的口子326?？谧?28、330具有一個低凹的圓形區(qū)域332用來接納密封件如O形環(huán)、金屬墊圈、C形密封件或其他本行業(yè)所知道的人造橡膠/聚合物密封件。降落橋320被定位在溝道模塊40的溝道內使管子延伸段324被接納在溝道壁42的孔325內(見圖14B)。管子延伸段的口子326與圖19中的多口流通橋400在流體流動上連通。
降落橋320的口子326、328、330可起到輸入口或輸出口的作用，這取決于流動的方向。例如，如果下基底層316的多口流動橋400被用來將沖洗氣體向上提供到流體用構件12、14上，那么口子326將起到輸入口的作用，而為了將沖洗氣體提供給鄰近的流動用構件，口子328、330將起到輸出口的作用。另一個例子是，口子328、330中的一個口子被連接到流體用構件的兩路閥12上使該流體根據(jù)閥門的設定和流動的方向能被導引到上面的或下面的基底層314、316上。這樣降落橋320的設計將使氣流能在從一個基底層到另一個基底層的任何一個方向上流動。降落橋320的一個可替代的實施例是上面說明過的過渡管132，該管采用了直通的流動路徑。這個設計在與三路閥和兩個鄰近的流動橋50組合時最為有用。過渡管可被連接到閥門的中間口上以便用來從下基底層將沖洗氣體提供到閥門上。
為了使降落橋320的口子326和位在下基底層316內的流動橋50的口子16、19之間的密封容易進行，如圖22A-C所示的降落夾350可任選使用借以使密封件60與口子326保持密封的關系。降落夾350可使密封件60在兩個配合的口子之間的適當定位容易進行。降落夾350具有一個柔性的C形凸緣，它被接納在降落橋320的凸緣352上。任選的缺口使夾350能以較大的柔性安裝在凸緣352上。為了將夾350安裝到凸緣352上，首先須通過開口358插入密封件60將它安裝在下邊緣356上，其次須通過開口358將降落橋320的凸緣352插入使它與夾350的上邊緣359接口。圖23A-B示出降落夾的一個可替代的實施例360。在該實施例中，上邊緣362與降落橋320的凸緣352接合，但允許夾360可從其側開口和頂開口安裝到橋320上。圖24A示出降落夾的另一個實施例370，它被接納在降落橋320的圓筒形凹槽372內。夾370的形狀與圖22A-C所示的降落夾350相似，但沒有上邊緣359。夾370是在密封件已被插置在橋320的凹槽372內后才被插置在其內的，并且由于一個彈簧似的作用使它略微被壓迫而被保持在凹槽內。最后，圖24B降24C示出降落夾的另外一個實施例380，該夾利用多個在端部圓周上的小突起的彈簧狀作用保持在降落橋320的管子延伸部324的外直徑上。圓周上的凹洼384利用箍的應力將密封件保持在夾380內。凹洼384形成一個比密封件直徑略小的直徑從而構成一個壓配合將密封件保持在保持夾380內。上述降落夾的任何一個實施例都可用任何一種柔性材料如塑料或金屬構成。
如上所述，下基底層316具有多個如圖20A-C和圖21所示的流動橋50及/或多口流動橋400。多口流動橋400具有一個或多個輸入口402和一個或多個輸出口404，這些口可與上基底層314內的降落橋320的口子在流體上連通。多口流動橋400可由兩個具有長方形體的彎頭配件52和一個最好具有長方形體的中段410，及一條設有一個或多個口子404的內部直通流動路徑構成。另外，多口流動橋400也可不用一個彎頭配件52而用一個標準的端配件如VCR式配件來構成。
下支撐層316可具有長度可變且有槽可用來接納加熱元件(未示出)的溝道模塊40。溝道模塊40通過緊固件422被固定到位在上基底層316內的溝道模塊上。緊固件422被定位在上溝道模塊的孔414內并進入到下溝道模塊40的對準的孔416內。這樣溝道模塊40便可容易地與上基底層脫離連接并從下面滑出，從而可較易接近基底層。
圖25B示出溝道模塊的一個可替代的實施例500，該模塊具有小片凸緣502可與鄰近的溝道模塊的鄰近凹部504互相配合或互鎖。在小片凸緣502上設有安裝孔506可用來將緊固件(未示出)接納在其內。小片凸緣502的互鎖使模塊500能夠靠近排列，同時使緊固件可被接近，不需移開表面安裝的流動用構件12-14。下基底層的溝道模塊40可通過固定在斜角相對的孔508內的緊固件固定到溝道模塊500上。這樣整個溝道模塊500連同安裝在其上的流體用構件12-14便可容易地從組合件上取出，因為將溝道模塊500固定在支承模塊312和下基底層316上的緊固件完全可以通過小片凸緣502來接近。
在圖26和27A所示的本發(fā)明的另一個方面，流動橋50或多口流動橋400可通過箍550固定到上基底層316的溝道模塊40上。箍550可具有可變的長度并具有一條在其內形成的溝道552可用來接納并支承流動橋50和多口流動橋400。該箍可通過緊固件554或其他任何一種機械技術人員所熟知的方法固定到溝道模塊40上。溝道模塊40可任選地具有凹槽556以便用來將多口流動橋400或流動橋50部分接納在其內。
氣體匯流管系統(tǒng)的某些用途需要加熱的氣體，這可用設在匯流管模塊的槽如溝道模塊40的槽560內的加熱元件570來完成。其他加熱元件如加熱帶也可使用。如果構件由不同的材料制成，那么氣體路徑構件40、50的加熱將造成不同的熱膨脹。對半導體系統(tǒng)，流動橋50最好用前述半導體用優(yōu)質材料來構成，同時鋁可優(yōu)先地用于匯流管溝道模塊40上。鋁制溝道模塊40將以比鋼制流動橋50大的比率熱膨脹，結果在流動橋50和表面構件12的配合口或在上基底層內的構件之間造成一個間隙。如在圖29A中以放大的方式示出，為了補償熱膨脹，該系統(tǒng)可被設計成須預加載荷。要做到這一點，可將流動橋50或多口橋400的高度制造得比溝道的高度略大，使當系統(tǒng)被加熱到其操作溫度時，流動橋40或多口橋400的上表面將與溝道的上表面齊平如圖29B所示。另外，螺栓22被預加載荷使當系統(tǒng)被加熱到其操作溫度時，螺栓在其內具有足夠的張力。
其他用來補償熱膨脹的方法如圖27B-C所示。沖壓件580具有一個在其內形成的溝道以便用來將多口橋400或流動橋50接納在其內。溝道582具有一個抬高的突起部584能起彈簧狀作用。沖壓件580最好由鋼制成并被支承在兩個最好也是由鋼制成的支架600之間。沖壓件580和支架600可用緊固件固定到上基底層上，上基底層可由不同的材料如鋁制成。為了補償系統(tǒng)的熱膨脹，流動橋50或多口橋400的高度被制造得略大于沖壓件的溝道的高度，這樣由于抬高突起部的彈簧狀特性會造成其變形。而當該系統(tǒng)被加熱到其操作溫度時由于抬高突起部584返回到其原來形狀，流動橋50或多口橋400的上表面將與溝道的上表面齊平。其時抬高突起部584的作用宛如一彈簧，它可使流動橋50或多口橋400升高和降低以此來補償上基底層和下基底層在熱膨脹上的不匹配?；蛘?，沖壓件可被制造成一個U形溝道有一個彈簧590放置在其內如圖27C所示。任何一種彈簧都可使用，例如一個波形彈簧。圖27D示出本發(fā)明的另一個方案，它與圖27C相似但彈簧被去掉并且角部603被切去如圖27D所示。由于沖壓件角部581較少接合在角部605上，沖壓件580便可像一個懸臂的“彈簧”那樣作用，其角部581能向下彎曲，這樣便可給較大的多口橋400留出空間。當該系統(tǒng)加熱時，金屬沖壓件以比多口橋400大的速率進行熱膨脹，這樣就使金屬沖壓件卸載如上所述。
圖28示出本發(fā)明的另外一個實施例，其中上基底層316由兩種不同的材料制成。如圖28所示，一塊基板610連同形成側壁622的側條620構成一個U形溝道模塊?；?00可由鋼或金屬材料制成，而側壁620可由不同的較輕和較廉的材料如鋁制成。采用鋼的側條和鋼板造成的溝道模塊與由SCQ材料制成的流動橋50可減少在熱膨脹上的不匹配。
圖30A和30B示出溝道模塊的還有另外一個實施例700。如圖30A所示，采用一塊可由鈑金屬制成的基板710連同由多少成U形的鈑金屬沖壓件制成的側壁便可完成一個重量輕、化費不多的溝道模塊700。，設有一個凹進的區(qū)域使緊固件除了能將側壁結構固定到基板上以外，還能使緊固件的頭部與裝在溝道內的流動橋50或多口橋400的上表面齊平。圖30B為圖30A的變型，其中上沖壓件730具有外壁和在其內形成的U形溝槽，與上沖壓件配合的下基板具有成為凸緣的端頭，該端頭被焊接到外壁的內部。
雖然本發(fā)明已就較優(yōu)實施例作了說明，但應知道本行業(yè)的行家顯然能作出各種變型。因此本發(fā)明不應限于所說明的實施例，本發(fā)明的實際的范圍和精神應以所附的權利要求為準。
權利要求
1.一種用于流體匯流管系統(tǒng)的橋配件，在流體的流動上與一個或多個流體用構件如閥門、調節(jié)器、壓力傳感器、質量流量控制器等連通，該橋配件具有一個與第二配件連接的第一配件，所說兩個連接的配件具有一條貫通的內部流體通道；所說橋配件的所說內部通道具有一個輸入端和一個輸出端，所說輸入端在流體的流動上與第一流體用構件的輸出口連通，所說橋配件的所說輸出端在流體的流動上與第二流體用構件的輸入口連通。
2.按權利要求1的橋配件，其特征在于還具有多個金屬密封件插置在橋配件的內部通道和流體用構件的口子之間并予以密封。
3.按權利要求1的橋配件，其特征為，橋構件有一U形的流體通道。
4.按一種用于流體匯流管系統(tǒng)的橋配件，其特征在于在流體的流動上與三個或更多的流體用構件連通，其中一個或多個所說流體用構件只有一個口子，該橋配件具有第一和第二彎頭配件各有一端連接到T形配件上；所說T形配件位在所說兩個彎頭配件之間；所說兩個彎頭配件和T形配件有一條內部流體通道使它們在流體流動上互相連通；所說配件的所說內部通道有一個輸入端及第一和第二兩個輸出端，所說輸入端在流體流動上與第一流體用構件的輸出口連通，所說流體通道的所說兩個輸出端在流體流動上分別與第二和第三流體用構件的輸入口連通。
5.一種用來將一個或多個表面安裝型流體用構件連接起來的積木式流體匯流管，具有一個輸入口和一個輸出口，該積木式系統(tǒng)具有一個或多個橋配件有一條內部流體通道在其內貫通；所說橋配件的所說內部通道有一個輸入端用來與第一流體用構件的輸出口連接，還有一個輸出端用來與第二流體用構件的輸入口連接，從而在裝配好的系統(tǒng)內所說橋配件的所說內部流體通道在流體流動上與所說第一和第二流體用構件連通。
6.按權利要求5的積木式匯流管，其特征在于，還具有一塊支撐板用來以緊密間隔開的方式支承所說橋配件，并將所說流體用構件安裝在其上，其中，所說支撐板支承所說橋配件并使它與所說流體用構件連接。
7.按權利要求5的積木式匯流管，其特征為，所說支撐板還具有一條凹槽用來以緊密間隔開的方式將所說多個橋配件插置在其內。
8.按權利要求5的積木式匯流管，其特征在于還具有一個或多個密封件用來使橋配件的所說端頭和流體用構件的口子之間的連接密封。
9.按權利要求5的積木式匯流管，其特征在于還具有一塊安裝在所說流體用構件和所說支撐板之間的定位板；所說定位板還具有對準的孔可用來將所說流體用構件安裝在其上；所說定位板具有對準的作為口子的孔用來將所說橋配件的所說輸入端和輸出端接納在其中使所說流體用構件的輸入口和輸出口與所說橋配件的所說輸入端和輸出端在流體流動上連通。
10.按權利要求9的積木式匯流管，其特征為，在定位板上表面與所說橋配件的輸入端和輸出端之間設有一個低凹部用來接納密封墊。
11.按權利要求10的積木式匯流管，其特征為，所說密封墊是金屬的。
12.一種用來將具有一個輸入口及一個或多個輸出口的一個或多個流體構件連接起來的積木式流體匯流管，該匯流管系統(tǒng)具有一個或多個橋配件，各有一個輸入端、一個輸出端和一條將所說兩端連通的內部通道；一塊定位板具有一個上表面用來將所說流體用構件安裝在其上，還有多個孔分別與所說流體用構件的輸入口和輸出口對準。
13.按權利要求12的積木式系統(tǒng)，其特征為，在定位板上表面與所說橋配件的輸入端和輸出端之間設有一個用來接納密封墊的低凹部。
14.按權利要求13的積木式系統(tǒng)，其特征為，所說密封墊是金屬的。
15.按權利要求12的積木式系統(tǒng)，其特征為，設有保持夾用來將所說橋配件固定在所說定位橋上。
16.按權利要求12的積木式系統(tǒng)，其特征為，所說橋配件的所說端頭被壓配合到所說定位板的所說孔內。
17.按權利要求12的積木式系統(tǒng)，其特征為，所說橋配件還具有一個位在第一和第二彎頭配件之間的T形配件；所說T形配件和所說彎頭配件有一條內部流體通道在流體流動上互相連通；所說T形配件有一個與所說彎頭配件的口子反對的口子，并與另一層的一個橋配件對準以資與它配合。
18.將一種用來將流體供給氣體流動構件，如閥門、過濾器、質量流量控制器等的積木式流動系統(tǒng)，具有一個輸入口和一個輸出口，該系統(tǒng)具有一個或多個各有一個輸入口和一個輸出口的橋配件，其中，所說橋配件的輸入口被連接到所說流動構件的輸出口上，而所說橋配件的輸出口被連接到鄰近一個流動構件的輸入口上；一個或多個構成第一基底層的溝道模塊，在其內設有一條凹槽，用來接納所說橋配件；所說橋配件具有這樣的外形，當它被安置在凹槽內時不會轉動。
19.按權利要求18的流動系統(tǒng)，其特征為，一個或多個所說溝道模塊還具有一個交叉的溝道分支，用來將流動橋接納在其內，以資用來將流體從一排內的一個溝道模塊導引到另一排內的另一個溝道模塊上。
20.按權利要求18的積木式流動系統(tǒng)，其特征在于，還具有一個第二基底層，層內有一凹槽，用來接納一個或多個流動橋，每一所說橋都各有一個輸入口和一個輸出口。
21.按權利要求18的系統(tǒng)，其特征為，所說第一基底層的所說凹槽具有與所說第二層內的所說流動橋的所說口對準的孔，在所說上基底層內至少其中一個流動橋有一個口被接納在所說溝道孔內，并且與一個流動橋的一個口對準而密封地接合，從而流體可從一個基底層流動到另一個基底層。
22.按權利要求19的系統(tǒng)，其特征為，所說第二基底層由一個或多個其內各制有溝道的溝道模塊相應；所說模塊被安裝在所說第一基底層上。
23.按權利要求19的系統(tǒng)，其特征為，所說第二基底層由一個或多個多口流動橋構成。
24.按權利要求18的積木式流動系統(tǒng)，其特征在于，還具有一個由一個或多個流動橋構成的第二基底層，每一所說橋都各有一個輸入口和一個輸出口；所說流動橋用其內有一槽可接納所說橋的箍固定到所說第一基底層的所說溝道模塊上。
25.一種用于積木式流動系統(tǒng)的積木式流動模塊，具有小片凸緣，可用來固定所說模塊；所說小片凸緣錯開排列；借以使所說模塊的小片凸緣與鄰近模塊的小片凸緣互鎖。
26.一種用于積木式流動系統(tǒng)的降落橋配件，該配件具有一個設有上支座面口的配件，用來連接到流體構件的一個對準的口上，和一條連接到T形配件孔的彎頭形流體通道；所說T形配件有一條從上支座面口到相對的下支座面口的內部流體通道，這樣流體流動便可從一個基底層被導至另一個基底層。
27.一種積木式流動系統(tǒng)，具有各設有溝道的一個或多個積木式模塊，可用來將一個或多個流動橋接納在其內；所說流動橋是由熱膨脹系數(shù)比所說溝道的材料小的材料制成的；所說流動橋被接納在所說溝道內，而流動橋的頂表面在不加熱的狀態(tài)下比所說溝道的頂表面高出一個規(guī)定的距離；用緊固件將一個或多個表面安裝構件的凸緣安裝到所說溝的表面上；所說緊固件被預加載荷到一個規(guī)定的張力，其中，所說系統(tǒng)被預加載荷，這樣當所說系統(tǒng)被加熱到規(guī)定的溫度時，所說溝道頂表面的高度便可大致與所說流動橋的所說頂表面齊平。
28.一種積木式流動系統(tǒng)具有一個或多個沖壓件，其內制有一條溝道，用來接納一個或多個流動橋，所說溝道的底壁制有一個彈簧似的抬高的突起部；所說流動橋由熱膨脹系數(shù)比所說溝道材料小的材料制成；所說流動橋被接納在所說溝道內，其時所說突起部被壓低，其中，所說系統(tǒng)被預加載荷，這樣當所說系統(tǒng)被加熱到規(guī)定的溫度時，所說溝道頂表面的高度便可大致與所說流動橋的所說頂表面齊平。
全文摘要
一種積木式匯流管系統(tǒng),用來在一個縮小的區(qū)域內將流體系統(tǒng)的各個流體用構件連接在一起。該系統(tǒng)由一個或多個橋配件(50)構成,橋配件內設有內部流體通道,其輸入端與第一流體用構件(12、14)的輸出口連通,而輸出端與第二流體用構件的輸入口連通。橋配件還可具有兩個或更多的口,其中一個可與在另一基底層上的匯流管連通。橋配件可裝在支撐板(40)的溝道(42)內,在結構上予以支承,或裝在尺寸可變的溝道模塊內。還可任選地在橋配件的輸入和輸出端之上安裝一塊定位板(30)用來使流體構件的輸入和輸出口與橋配件上的輸入和輸出端對準。橋配件還可以多個方向形成多條流動路徑的方式裝在定位板上。另外,橋配件可疊置形成多層使一個層內的橋配件與另一層內的橋配件在流體流動上互相連通。本發(fā)明還可具有設在流體口(34)和配合的橋配件端之間的凹部內的密封件(60)。
文檔編號H01L21/00GK1373842SQ99808453
公開日2002年10月9日 申請日期1999年5月18日 優(yōu)先權日1998年5月18日
發(fā)明者P·G·埃德斯莫雷, M·J·莫倫坎普, B·J·奧萊希諾維茨, C·M·施爾特-戴尼斯, D·諾爾德斯特倫, J·麥科伊 申請人:斯瓦戈洛克公司