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一種具有雙傳輸零點(diǎn)的毫米波矩形腔體濾波器的制作方法

文檔序號(hào):11656409閱讀:468來源:國(guó)知局
一種具有雙傳輸零點(diǎn)的毫米波矩形腔體濾波器的制造方法與工藝

本發(fā)明屬于毫米波、太赫茲波導(dǎo)濾波器領(lǐng)域,尤其涉及一種帶傳輸零點(diǎn)的波導(dǎo)濾波器。



背景技術(shù):

波導(dǎo)濾波器具有q值高、插入損耗小、功率容量高等優(yōu)點(diǎn)在微波毫米波系統(tǒng)等領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用。近年來,隨著毫米波與太赫茲技術(shù)的發(fā)展,波導(dǎo)濾波器由于其易加工的特點(diǎn)也備受青睞。

根據(jù)濾波器設(shè)計(jì)理論可知,增加濾波器的階數(shù)可以有效提高濾波器的矩形系數(shù),但這種傳統(tǒng)的方法會(huì)增加波導(dǎo)濾波器的體積和重量,導(dǎo)致其不易集成在系統(tǒng)之中,同時(shí)增加濾波器的物理長(zhǎng)度也會(huì)使濾波器的導(dǎo)體損耗增大。

針對(duì)這個(gè)問題,學(xué)者提出了采用橢圓函數(shù)濾波器的方法,可以在不增加濾波器階數(shù)的情況下在濾波器的帶外引入傳輸零點(diǎn),從而提高濾波器的矩形系數(shù)。具體的實(shí)現(xiàn)途徑有交叉耦合技術(shù)、雙模及多模技術(shù)、以及提取零點(diǎn)技術(shù)等。2004年,學(xué)者s.amari提出了一種基于singlet的提取零點(diǎn)技術(shù)。所謂的singlet是指這樣一種結(jié)構(gòu),該結(jié)構(gòu)包含一個(gè)諧振腔和其輸入輸出耦合膜片,且該結(jié)構(gòu)具備同時(shí)產(chǎn)生一個(gè)傳輸零點(diǎn)和一個(gè)傳輸極點(diǎn)的功能。后續(xù)學(xué)者對(duì)這種技術(shù)進(jìn)行了發(fā)展,典型的結(jié)構(gòu)有基于te201模式的singlet和基于tm110模式的singlet等。

文獻(xiàn)“nonresonatingmodewaveguidefilters”中詳細(xì)介紹了singlet的原理,并介紹了一種基于te201模諧振腔的singlet功能結(jié)構(gòu)及其分析方法,其示意圖如圖1所示。

在圖1的(a)中,通過合理的設(shè)計(jì)諧振腔的結(jié)構(gòu),波導(dǎo)中傳輸?shù)碾姶挪?te10模)能夠在諧振腔中激發(fā)起te201諧振模式,te201模式又通過耦合窗口轉(zhuǎn)化為te10模式在輸出波導(dǎo)中繼續(xù)傳播。由于磁場(chǎng)的連續(xù)性,可以看出,諧振腔的輸入輸出端的膜片附近,te10模的磁場(chǎng)切向法線相差180度。但與此同時(shí),由于諧振腔的結(jié)構(gòu)的寬邊寬于輸入波導(dǎo),因此諧振腔里一定有te10模式的電磁波傳播,此時(shí)te10模式可以被認(rèn)為是第二條耦合路徑也即旁路耦合(bypass)路徑,且其耦合系數(shù)為負(fù)。

在圖1(b)中,場(chǎng)的形成機(jī)理與圖1(a)中類似,但在圖1(b)中由于諧振腔的輸入輸出端口偏移至兩個(gè)對(duì)立邊,因此輸出膜片附近的波導(dǎo)中的磁場(chǎng)的切向法線與輸入端口處的切向法線同相,即此時(shí)te10模式可以被認(rèn)為是第二條耦合路徑也即旁路耦合(bypass)路徑,且其耦合系數(shù)為正。

對(duì)于圖1所示的singlet結(jié)構(gòu),圖2(a)為圖1(a)所對(duì)應(yīng)的singlet結(jié)構(gòu)產(chǎn)生的頻率響應(yīng)曲線,可見圖2(a)所示的結(jié)構(gòu)在帶內(nèi)產(chǎn)生了一個(gè)傳輸極點(diǎn)且在低于中心頻率的低頻端產(chǎn)生了一個(gè)傳輸零點(diǎn)。圖2(b)為圖1(b)所對(duì)應(yīng)的singlet結(jié)構(gòu)產(chǎn)生的頻率響應(yīng)曲線,可見圖2(b)所示的結(jié)構(gòu)在帶內(nèi)產(chǎn)生了一個(gè)傳輸極點(diǎn)且在大于中心頻率的高頻端產(chǎn)生了一個(gè)傳輸零點(diǎn)。

但是該結(jié)構(gòu)存在著一個(gè)缺點(diǎn):為了在通帶的低端形成一個(gè)傳輸零點(diǎn),基于te201模式的singlet,其輸入輸出耦合結(jié)構(gòu)需要偏向諧振腔的同一側(cè)(圖1(a)),為了在通帶的高端形成一個(gè)傳輸零點(diǎn),基于te201模式的singlet,其輸入輸出耦合結(jié)構(gòu)需要分別偏向諧振腔的對(duì)立側(cè)(圖1(b)),為了在濾波器通帶的高端和低端分別實(shí)現(xiàn)一個(gè)傳輸零點(diǎn),需要將上述的兩個(gè)singlet結(jié)構(gòu)級(jí)聯(lián),此時(shí)濾波器輸入口和輸出口不在一條直線上,在部分場(chǎng)合,這樣的結(jié)構(gòu)不利于系統(tǒng)集成。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

為解決上述問題,本發(fā)明提供一種基于te301/te302諧振腔構(gòu)成的具有雙傳輸零點(diǎn)的毫米波矩形腔體濾波器,使得濾波器的頻率響應(yīng)曲線在小于中心頻率的一側(cè)和大于中心頻率的一側(cè)各形成一個(gè)傳輸零點(diǎn),同時(shí)滿足濾波器的輸入口和輸出口在同一條直線上,大大減小濾波器的體積,便于系統(tǒng)集成。

一種具有雙傳輸零點(diǎn)的毫米波矩形腔體濾波器,包括本體結(jié)構(gòu)102;

所述本體結(jié)構(gòu)102為濾波器的波導(dǎo)腔體,包括順次連接且中軸線在同一直線上的輸入波導(dǎo)300、第一耦合膜片3001、第一諧振腔301、第二耦合膜片3012、第二諧振腔302、第三耦合膜片3023、第三諧振腔303、第四耦合膜片3034、第四諧振腔304、第五耦合膜片3045、第五諧振腔305、第六耦合膜片3056以及輸出波導(dǎo)306;

所述第一耦合膜片3001、第一諧振腔301以及第二耦合膜片3012構(gòu)成singlet1結(jié)構(gòu),且singlet1結(jié)構(gòu)關(guān)于電場(chǎng)e面和磁場(chǎng)h面對(duì)稱;同時(shí)singlet1結(jié)構(gòu)的尺寸、singlet1結(jié)構(gòu)中兩個(gè)膜片與第一諧振腔301的相對(duì)位置滿足電磁波信號(hào)在第一諧振腔301中按照te301模式分布,并在低于濾波器中心頻率的一側(cè)形成一個(gè)傳輸零點(diǎn);

所述第五耦合膜片3045、第五諧振腔305以及第六耦合膜片3056構(gòu)成singlet2結(jié)構(gòu),且singlet2結(jié)構(gòu)關(guān)于電場(chǎng)e面和磁場(chǎng)h面對(duì)稱;同時(shí)singlet2結(jié)構(gòu)的尺寸、singlet2結(jié)構(gòu)中兩個(gè)膜片與第五諧振腔305的相對(duì)位置滿足電磁波信號(hào)在第五諧振腔305中按照te302模式分布,并在高于濾波器中心頻率的一側(cè)形成一個(gè)傳輸零點(diǎn);

所述第二諧振腔302、第三諧振腔303以及第四諧振腔304的尺寸滿足電磁波信號(hào)在這三個(gè)諧振腔中按照te101模式諧振。

一種具有雙傳輸零點(diǎn)的毫米波矩形腔體濾波器,還包括蓋板101,其中蓋板101與本體結(jié)構(gòu)102配套,覆蓋在本體結(jié)構(gòu)102的上表面。

一種具有雙傳輸零點(diǎn)的毫米波矩形腔體濾波器,所述本體結(jié)構(gòu)102中的輸入波導(dǎo)300、輸出波導(dǎo)306以及各個(gè)諧振腔均為矩形。

一種具有雙傳輸零點(diǎn)的毫米波矩形腔體濾波器,所述本體結(jié)構(gòu)102中的輸入波導(dǎo)300、輸出波導(dǎo)306以及各個(gè)諧振腔通過銑削工藝加工得到。

一種具有雙傳輸零點(diǎn)的毫米波矩形腔體濾波器,所述輸入波導(dǎo)300、第一諧振腔301、第二諧振腔302、第三諧振腔303、第四諧振腔304、第五諧振腔305以及輸出波導(dǎo)306的相鄰兩者之間通過耦合膜片連接。

一種具有雙傳輸零點(diǎn)的毫米波矩形腔體濾波器,所述第一諧振腔301的長(zhǎng)度與寬度之間的關(guān)系由公式(1)確定:

其中,f為濾波器的中心頻率,vc為光在自由空間中的傳播速度,a1為第一諧振腔301的長(zhǎng)度,l1為第一諧振腔301的寬度,且長(zhǎng)度a1和寬度l1的取值滿足電磁波信號(hào)在第一諧振腔301中按照te301模式分布。

一種具有雙傳輸零點(diǎn)的毫米波矩形腔體濾波器,所述第五諧振腔305的長(zhǎng)度與寬度之間的關(guān)系由公式(2)確定:

其中,f為濾波器的中心頻率,vc為光在自由空間中的傳播速度,a5為第五諧振腔305的長(zhǎng)度,l5為第五諧振腔305的寬度,且長(zhǎng)度a5和寬度l5的取值滿足電磁波信號(hào)在第五諧振腔305中按照te302模式分布。

一種具有雙傳輸零點(diǎn)的毫米波矩形腔體濾波器,所述第二諧振腔302、第三諧振腔303以及第四諧振腔304的長(zhǎng)度與寬度之間的關(guān)系由公式(3)確定:

其中,f為濾波器的中心頻率,vc為光在自由空間中的傳播速度,ai,i=2,3,4為第二諧振腔302、第三諧振腔303以及第四諧振腔304的長(zhǎng)度,li分別為第二諧振腔302、第三諧振腔303以及第四諧振腔304的寬度,且三個(gè)諧振腔長(zhǎng)度ai和寬度li的取值分別滿足電磁波信號(hào)在第二諧振腔302、第三諧振腔303以及第四諧振腔304中按照te101模式諧振。

一種具有雙傳輸零點(diǎn)的毫米波矩形腔體濾波器,所述濾波器在中心頻率為140ghz、3db帶寬為12ghz的條件下,其對(duì)應(yīng)的尺寸為:

a1=4.05mm,a2=1.65mm,a3=1.65mm,a4=1.65mm,a5=3.66mm,w1=1.24mm,w2=0.87mm,w3=0.8mm,w4=0.8mm,w5=0.87mm,w6=1.24mm,l1=1.85mm,l2=1.03mm,l3=1.08mm,l4=1.04mm,l5=1.55mm,t=0.4mm,h=0.85mm;

其中,w1、w2、w3、w4、w5、w6分別為第一耦合膜片3001、第二耦合膜片3012、第三耦合膜片3023第四耦合膜片3034、第五耦合膜片3045以及第六耦合膜片3056的寬度,h為諧振腔銑削下沉深度,t為相鄰諧振腔之間的間隔寬度。

一種具有雙傳輸零點(diǎn)的毫米波矩形腔體濾波器,所述本體結(jié)構(gòu)102沿其長(zhǎng)度方向的兩側(cè)開有凹槽,蓋板101兩側(cè)設(shè)有與凹槽匹配嵌套的凸楞,使得蓋板101覆蓋在本體結(jié)構(gòu)102上。

一種具有雙傳輸零點(diǎn)的毫米波矩形腔體濾波器,其工作原理為:

電磁波信號(hào)通過輸入波導(dǎo)300進(jìn)入濾波器,且電磁波信號(hào)在輸入波導(dǎo)300內(nèi)工作在te10模式,同時(shí)電磁波信號(hào)的旋向?yàn)轫槙r(shí)針方向;電磁波信號(hào)在第二耦合膜片3012處的磁場(chǎng)切向分量的方向?yàn)槠叫斜倔w結(jié)構(gòu)102表面向上;

從輸入波導(dǎo)300輸出的te10模式電磁波信號(hào)在第一諧振腔301內(nèi)激勵(lì)起按照te301模式分布的電場(chǎng)波信號(hào),使得濾波器的頻率響應(yīng)曲線在小于中心頻率的一側(cè)形成傳輸零點(diǎn);

第一諧振腔301中te301模式的電磁波信號(hào)在第二諧振腔302中激勵(lì)起按照te101模式分布的電磁波信號(hào)而繼續(xù)在第三諧振腔303和第四諧振腔304傳播;同時(shí),在第三耦合膜片3023處的磁場(chǎng)切向分量的方向?yàn)槠叫斜倔w結(jié)構(gòu)102表面向下;經(jīng)過第一諧振腔301后,輸入波導(dǎo)300與第二諧振腔302的磁場(chǎng)產(chǎn)生了180°相位翻轉(zhuǎn);

從第四諧振腔304輸出的te101模式在第五諧振腔305內(nèi)激勵(lì)起按照te302模式分布的電場(chǎng)波信號(hào),使得濾波器的頻率響應(yīng)曲線在大于中心頻率的一側(cè)形成傳輸零點(diǎn);

第五諧振腔305中te302模式的電磁波信號(hào)在輸出波導(dǎo)306中激勵(lì)起按照te10模式分布的電磁波信號(hào);在第六耦合膜片3056處的磁場(chǎng)切向分量的方向?yàn)槠叫斜倔w結(jié)構(gòu)102表面向上;經(jīng)過第五諧振腔305后,輸入波導(dǎo)300、輸出波導(dǎo)306的磁場(chǎng)相位相同。

有益效果:

1、本發(fā)明同時(shí)采用基于te301模式分布的singlet1結(jié)構(gòu)、以及基于te302模式分布的singlet2結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)一種新型的毫米波矩形腔體濾波器;其中singlet1結(jié)構(gòu)的尺寸、singlet1結(jié)構(gòu)中兩個(gè)膜片與第一諧振腔301的相對(duì)位置使得電磁波信號(hào)在第一諧振腔中按照te301模式分布,并在低于濾波器中心頻率的一側(cè)形成傳輸零點(diǎn);singlet2結(jié)構(gòu)的尺寸、singlet2結(jié)構(gòu)中兩個(gè)膜片與第五諧振腔305的相對(duì)位置使得電磁波信號(hào)在第五諧振腔中按照te302模式分布,并在高于濾波器中心頻率的一側(cè)形成傳輸零點(diǎn);因此本發(fā)明的濾波器在其頻率響應(yīng)曲線在小于中心頻率的一側(cè)和大于中心頻率的一側(cè)同時(shí)各形成一個(gè)傳輸零點(diǎn),實(shí)現(xiàn)了具有較高帶外抑制的毫米波波導(dǎo)濾波器;而且兩個(gè)級(jí)聯(lián)的singlet1結(jié)構(gòu)、singlet2結(jié)構(gòu)以及所有諧振腔在同一直線上,有利于減小體積,更適合系統(tǒng)集成。

2、本發(fā)明首先得到一個(gè)工作在te301模式的singlet1結(jié)構(gòu),使其在低于濾波器中心頻率的一側(cè)產(chǎn)生一個(gè)傳輸零點(diǎn);在完成低于濾波器中心頻率一側(cè)的傳輸零點(diǎn)設(shè)計(jì)后,不需要改變各個(gè)輸入輸出耦合膜片的位置,僅通過改變singlet1結(jié)構(gòu)的長(zhǎng)度和寬寬,使改變后的長(zhǎng)度和寬度滿足te302模式的諧振條件,就得到在大于濾波器中心頻率的一側(cè)形成一個(gè)傳輸零點(diǎn)的singlet2結(jié)構(gòu),最終實(shí)現(xiàn)傳輸零點(diǎn)從通帶低端到通帶高端的搬移;在此基礎(chǔ)上,通過適當(dāng)優(yōu)化濾波器的尺寸,即可得到滿足使用要求的指標(biāo),從而提高了濾波器的設(shè)計(jì)效率。

3、本發(fā)明帶傳輸零點(diǎn)的濾波器不僅關(guān)于波導(dǎo)的e面對(duì)稱,也關(guān)于波導(dǎo)的h面對(duì)稱,屬于雙對(duì)稱結(jié)構(gòu),有利于抑制寄生通帶的產(chǎn)生,且易于加工實(shí)現(xiàn)。

附圖說明

圖1(a)為輸入輸出耦合結(jié)構(gòu)偏向諧振腔的同一側(cè)的singlet結(jié)構(gòu)及其磁場(chǎng)分布曲線;

圖1(b)為輸入輸出耦合結(jié)構(gòu)偏向諧振腔的對(duì)立側(cè)的singlet結(jié)構(gòu)及其磁場(chǎng)分布曲線;

圖2(a)為圖1(a)所對(duì)應(yīng)的singlet結(jié)構(gòu)產(chǎn)生的頻率響應(yīng)曲線;

圖2(b)為圖1(b)所對(duì)應(yīng)的singlet結(jié)構(gòu)產(chǎn)生的頻率響應(yīng)曲線;

圖3為本發(fā)明具體實(shí)施例1中濾波器的3d圖;

圖4為本發(fā)明具體實(shí)施例1中濾波器的蓋板3d圖;

圖5為本發(fā)明具體實(shí)施例1中濾波器的本體結(jié)構(gòu)3d圖;

圖6為本發(fā)明具體實(shí)施例1中濾波器的本體結(jié)構(gòu)的俯視剖面圖;

圖7為本發(fā)明具體實(shí)施例1中濾波器的本體結(jié)構(gòu)的尺寸示意圖;

圖8為本發(fā)明具體實(shí)施例1中濾波器的頻率響應(yīng)曲線;

圖9為本發(fā)明具體實(shí)施例1中濾波器的電磁波信號(hào)在singlet1結(jié)構(gòu)的磁場(chǎng)分布情況;

圖10為本發(fā)明具體實(shí)施例1中濾波器的電磁波信號(hào)在singlet2結(jié)構(gòu)的磁場(chǎng)分布情況;

圖11為本發(fā)明具體實(shí)施例2中濾波器的3d圖;

101-蓋板、102-本體結(jié)構(gòu)、300-輸入波導(dǎo)、301-第一諧振腔、302-第二諧振腔、303-第三諧振腔、3001-第一耦合膜片、3012-第二耦合膜片、3023-第三耦合膜片、3034-第四耦合膜片、3045-第五耦合膜片、3056-第六耦合膜片。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式對(duì)本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)說明。

具體實(shí)施例1:

如圖3、圖4、圖5所示分別為本發(fā)明濾波器、蓋板以及本體結(jié)構(gòu)的3d圖;圖6為本發(fā)明濾波器的本體結(jié)構(gòu)的俯視剖面圖。

一種具有雙傳輸零點(diǎn)的毫米波矩形腔體濾波器,包括蓋板101和本體結(jié)構(gòu)102;

所述本體結(jié)構(gòu)102為濾波器的波導(dǎo)腔體,包括順次連接且中軸線在同一直線上的輸入波導(dǎo)300、第一耦合膜片3001、第一諧振腔301、第二耦合膜片3012、第二諧振腔302、第三耦合膜片3023、第三諧振腔303、第四耦合膜片3034、第四諧振腔304、第五耦合膜片3045、第五諧振腔305、第六耦合膜片3056以及輸出波導(dǎo)306;

所述第一耦合膜片3001、第一諧振腔301以及第二耦合膜片3012構(gòu)成singlet1結(jié)構(gòu),且singlet1結(jié)構(gòu)關(guān)于電場(chǎng)e面和磁場(chǎng)h面對(duì)稱;同時(shí)singlet1結(jié)構(gòu)的尺寸、singlet1結(jié)構(gòu)中兩個(gè)膜片與第一諧振腔301的相對(duì)位置滿足電磁波信號(hào)在第一諧振腔301中按照te301模式分布,并在低于濾波器中心頻率的一側(cè)形成一個(gè)傳輸零點(diǎn);

所述第五耦合膜片3045、第五諧振腔305以及第六耦合膜片3056構(gòu)成singlet2結(jié)構(gòu),且singlet2結(jié)構(gòu)關(guān)于電場(chǎng)e面和磁場(chǎng)h面對(duì)稱;同時(shí)singlet2結(jié)構(gòu)的尺寸、singlet2結(jié)構(gòu)中兩個(gè)膜片與第五諧振腔305的相對(duì)位置滿足電磁波信號(hào)在第五諧振腔305中按照te302模式分布,并在高于濾波器中心頻率的一側(cè)形成一個(gè)傳輸零點(diǎn);

所述第二諧振腔302、第三諧振腔303以及第四諧振腔304的尺寸滿足電磁波信號(hào)在這三個(gè)諧振腔中按照te101模式諧振。

具體的,輸入波導(dǎo)300通過第一耦合膜片3001與第一諧振腔301連接;第一諧振腔301的另一側(cè)通過第二耦合膜片3012與第二諧振腔302連接;第二諧振腔302的另一側(cè)通過第三耦合膜片3023與第三諧振腔303連接;第三諧振腔303的另一側(cè)通過第四耦合膜片3034與第四諧振腔304連接;第四諧振腔304的另一側(cè)通過第五耦合膜片3045與第五諧振腔305連接;第五諧振腔305的另一側(cè)通過第六耦合膜片3056與輸出波導(dǎo)306連接;

所述蓋板101與本體結(jié)構(gòu)102配套,覆蓋在本體結(jié)構(gòu)102的上表面。

一種具有雙傳輸零點(diǎn)的毫米波矩形腔體濾波器,所述本體結(jié)構(gòu)101中的各個(gè)諧振腔通過銑削工藝加工得到,其中銑削下沉深度為h。

一種具有雙傳輸零點(diǎn)的毫米波矩形腔體濾波器,所述第一諧振腔301的初始尺寸由公式(1)確定:

其中,f為濾波器的中心頻率,vc為光在自由空間中的傳播速度,a1為第一諧振腔301的長(zhǎng)度,l1為第一諧振腔301的寬度;然后將初始的長(zhǎng)度與寬度進(jìn)行仿真優(yōu)化,使得第一諧振腔301的尺寸滿足電磁波信號(hào)在第一諧振腔301中按照te301模式分布。

一種具有雙傳輸零點(diǎn)的毫米波矩形腔體濾波器,所述第五諧振腔305的初始尺寸由公式(2)確定:

其中,f為濾波器的中心頻率,vc為光在自由空間中的傳播速度,a5為第五諧振腔305的長(zhǎng)度,l5為第五諧振腔305的寬度;然后將初始的長(zhǎng)度與寬度進(jìn)行仿真優(yōu)化,使得第五諧振腔305的尺寸滿足電磁波信號(hào)在第五諧振腔305中按照te302模式分布。

一種具有雙傳輸零點(diǎn)的毫米波矩形腔體濾波器,所述第二諧振腔302、第三諧振腔303以及第四諧振腔304的尺寸由公式(3)確定:

其中,f為濾波器的中心頻率,vc為光在自由空間中的傳播速度,ai,i=2,3,4為第二諧振腔302、第三諧振腔303以及第四諧振腔304的長(zhǎng)度,li分別為第二諧振腔302、第三諧振腔303以及第四諧振腔304的寬度;然后將三個(gè)諧振腔初始的長(zhǎng)度與寬度進(jìn)行仿真優(yōu)化,使得第二諧振腔302、第三諧振腔303以及第四諧振腔304的尺寸滿足電磁波信號(hào)在三者其中按照te101模式諧振。

對(duì)于一個(gè)工作在140ghz、3db帶寬為12ghz的波導(dǎo)濾波器,如圖7所示,為本發(fā)明濾波器的本體結(jié)構(gòu)的尺寸示意圖,經(jīng)過仿真優(yōu)化后其濾波器的尺寸為:

a1=4.05mm,a2=1.65mm,a3=1.65mm,a4=1.65mm,a5=3.66mm,w1=1.24mm,w2=0.87mm,w3=0.8mm,w4=0.8mm,w5=0.87mm,w6=1.24mm,l1=1.85mm,l2=1.03mm,l3=1.08mm,l4=1.04mm,l5=1.55mm,t=0.4mm,h=0.85mm。

其中,w1、w2、w3、w4、w5、w6分別為第一耦合膜片3001、第二耦合膜片3012、第三耦合膜片3023、第四耦合膜片3034、第五耦合膜片3045以及第六耦合膜片3056的寬度,h為諧振腔銑削下沉深度,t為相鄰諧振腔之間的間隔寬度。

圖8為本發(fā)明濾波器的頻率響應(yīng)曲線,其中虛線為回波損耗、實(shí)線為濾波器的插入損耗,tz1為濾波器實(shí)現(xiàn)的第一個(gè)傳輸零點(diǎn),tz2為濾波器實(shí)現(xiàn)的第二個(gè)傳輸零點(diǎn)。濾波器的中心頻率為140ghz。

表1為公開報(bào)道的140ghz濾波器性能對(duì)比表,由此可知,對(duì)比現(xiàn)有技術(shù),本發(fā)明所設(shè)計(jì)的濾波器和mems工藝的插入損耗相當(dāng),但本發(fā)明設(shè)計(jì)的濾波器擁有更好的矩形系數(shù),且加工工藝更簡(jiǎn)單。同時(shí),本發(fā)明所設(shè)計(jì)的濾波器和現(xiàn)有技術(shù)中其他waveguide工藝的矩形系數(shù)相當(dāng),但本發(fā)明設(shè)計(jì)的濾波器擁有更小的插入損耗和更低的駐波比。

綜上,在考慮到濾波器的矩形系數(shù)和絕對(duì)帶寬的情況下,本文所設(shè)計(jì)的濾波器是目前報(bào)道的工作在140ghz的插入損耗最小的帶通濾波器。

表1公開報(bào)道的140ghz濾波器性能對(duì)比表

此外,本發(fā)明的具有雙傳輸零點(diǎn)的毫米波矩形腔體濾波器,其工作原理為:

為了在低于中心頻率的一側(cè)形成傳輸零點(diǎn),我們采用了處于te301模式的第一諧振腔301為主體構(gòu)建所需的singlet1結(jié)構(gòu);電磁波信號(hào)通過輸入波導(dǎo)300進(jìn)入濾波器,且電磁波信號(hào)在輸入波導(dǎo)300內(nèi)工作在te10模式,同時(shí)電磁波信號(hào)的旋向?yàn)轫槙r(shí)針方向;電磁波信號(hào)在第二耦合膜片3012處的磁場(chǎng)切向分量的方向?yàn)槠叫斜倔w結(jié)構(gòu)102表面向上;圖9為本發(fā)明濾波器的電磁波信號(hào)在singlet1結(jié)構(gòu)的磁場(chǎng)分布情況;

通過合理的選擇第一諧振腔301的尺寸,使得從輸入波導(dǎo)300輸出的te10模式電磁波信號(hào)在第一諧振腔301內(nèi)激勵(lì)起按照te301模式分布的電場(chǎng)波信號(hào),從而濾波器的頻率響應(yīng)曲線在小于中心頻率的一側(cè)形成傳輸零點(diǎn);

第一諧振腔301中te301模式的電磁波信號(hào)在第二諧振腔302中激勵(lì)起按照te101模式分布的電磁波信號(hào)而繼續(xù)在第三諧振腔303和第四諧振腔304傳播;同時(shí),在第三耦合膜片3023處的磁場(chǎng)切向分量的方向?yàn)槠叫斜倔w結(jié)構(gòu)102表面向下;經(jīng)過第一諧振腔301后,輸入波導(dǎo)300與第二諧振腔302的磁場(chǎng)產(chǎn)生了180°相位翻轉(zhuǎn);

同時(shí),由于第一諧振腔301的寬邊尺寸大小滿足te101模式存在的條件,因而在第一諧振腔301內(nèi)一定還存在有按照te101模式分布的電磁波信號(hào),此時(shí)以te101模式分布的電磁波信號(hào)為能量傳輸提供了另外一條路徑(旁路耦合)。由于第二耦合膜片3012、第三耦合膜片3023處磁場(chǎng)的方向相反,因此在第一諧振腔301中按照te101非諧振模式傳輸?shù)碾姶挪ㄐ盘?hào)實(shí)現(xiàn)了能量從輸入波導(dǎo)300到第二諧振腔302的負(fù)耦合。需要特別指出的是,本發(fā)明提出的singlet1結(jié)構(gòu)在物理結(jié)構(gòu)上關(guān)于電場(chǎng)e面和磁場(chǎng)h面都對(duì)稱,根據(jù)模式匹配法分析可知te20模式不會(huì)存在。

為了在大于中心頻率的一側(cè)形成傳輸零點(diǎn),我們采用了處于te302諧振模式的第五諧振腔305為主體構(gòu)建所需的singlet2結(jié)構(gòu)。令電磁波信號(hào)的磁場(chǎng)的旋向?yàn)轫槙r(shí)針方向,則第五耦合膜片3045處的磁場(chǎng)切向分量的方向?yàn)槠叫斜倔w結(jié)構(gòu)102表面向上;圖10為本發(fā)明濾波器的電磁波信號(hào)在singlet2結(jié)構(gòu)的磁場(chǎng)分布情況;通過合理的選擇第五諧振腔305的尺寸,使得從第四諧振腔304(即singlet2結(jié)構(gòu)的輸入波導(dǎo))輸出的te101模式在第五諧振腔305內(nèi)激勵(lì)起按照te302模式分布的電場(chǎng)波信號(hào),使得濾波器的頻率響應(yīng)曲線在大于中心頻率的一側(cè)形成傳輸零點(diǎn)。

第五諧振腔305中te302模式的電磁波信號(hào)在輸出波導(dǎo)306中激勵(lì)起按照te10模式分布的電磁波信號(hào);在第六耦合膜片3056處的磁場(chǎng)切向分量的方向?yàn)槠叫斜倔w結(jié)構(gòu)102表面向上;經(jīng)過第五諧振腔305后,輸入波導(dǎo)300、輸出波導(dǎo)306的磁場(chǎng)相位相同。

與第一諧振腔301的情況類似,此時(shí)第五諧振腔305內(nèi)存在有以te101模式分布的電磁波信號(hào),并且該信號(hào)可以看作是一條能量耦合路徑。由于第五耦合膜片3045、第六耦合膜片3056處磁場(chǎng)的方向相相同,因此可以認(rèn)為在第五諧振腔305中以te101模式分布的電磁波信號(hào)實(shí)現(xiàn)了能量從第四諧振腔304到輸出波導(dǎo)306的正耦合。

具體實(shí)施例二:

如圖11所示,所述本體結(jié)構(gòu)102沿其長(zhǎng)度方向的兩側(cè)開有凹槽,蓋板101兩側(cè)設(shè)有與凹槽匹配嵌套的凸楞,使得蓋板101覆蓋在本體結(jié)構(gòu)102上;其他特征與具體實(shí)施例1相同。

當(dāng)然,本發(fā)明還可有其他多種實(shí)施例,在不背離本發(fā)明精神及其實(shí)質(zhì)的情況下,熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員當(dāng)可根據(jù)本發(fā)明作出各種相應(yīng)的改變和變形,但這些相應(yīng)的改變和變形都應(yīng)屬于本發(fā)明所附的權(quán)利要求的保護(hù)范圍。

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