本實用新型涉及硅片鍍膜裝置技術領域，尤其涉及一種石墨舟片及石墨舟。

背景技術：

石墨舟是為硅片鍍膜提供載體的一種裝置。現有的石墨舟包括多個石墨舟片，每個石墨舟片上設有多個承載位，承載位與硅片大小配合，用于支撐硅片，承載位與石墨舟片在同一個平面內，承載位邊緣設有3個卡點，分布在承載位的3個邊。正常生產時，硅片放在承載位上，通過3個卡點固定。但是，上述結構的石墨舟片在對硅片鍍膜時，會出現以下問題：承載位邊緣同時被鍍膜，經過多次鍍膜后承載位邊緣形成較厚的氮化硅，會與硅片等高甚至高于硅片，將導致硅片中部與硅片周圍的鍍膜速率不同，從而在硅片邊緣形成色差。因此，石墨舟一般鍍膜使用90-120次之后就必須清洗石墨舟，再飽和石墨舟，需要2-4小時飽和才能正常鍍膜，再鍍膜使用90-120次，再清洗，重復循環(huán)。清洗石墨舟將會造成鍍膜效率降低，并增加清洗費用。

技術實現要素：

本實用新型的目的在于提出一種石墨舟片，能夠減少石墨舟片的清洗次數，提高鍍膜效率，減少清洗費用。

本實用新型的另一個目的在于提出一種石墨舟，包括上述的石墨舟片。

為達此目的，本實用新型采用以下技術方案：

一種石墨舟片，所述石墨舟片包括石墨舟片本體和承載位，所述承載位凸出于石墨舟片本體的表面，所述承載位上設有鏤空，所述承載位的邊緣設有多個用于固定硅片的卡點。

作為上述石墨舟片的一種優(yōu)選方案，所述承載位所在平面凸出于所述石墨舟片本體表面0.5-1.0mm。

作為上述石墨舟片的一種優(yōu)選方案，所述卡點比所述承載位所在平面高出0.3-1.0mm。

作為上述石墨舟片的一種優(yōu)選方案，所述卡點分布在所述承載位的三個不同邊緣。

作為上述石墨舟片的一種優(yōu)選方案，所述鏤空為長方形狀，每個承載位內設置3-6個均勻分布的所述鏤空。

作為上述石墨舟片的一種優(yōu)選方案，所述承載位為與硅片配合的正方形狀。

作為上述石墨舟片的一種優(yōu)選方案，所述承載位的拐角處倒角。

一種石墨舟，包括上述的石墨舟片。

本實用新型的有益效果：

本實用新型提出的石墨舟片，其上設有凸出于石墨舟片本體的承載位，能夠使得硅片在鍍膜多次之后，在承載位周圍累積的氮化硅厚度仍低于承載位上的硅片表面，硅片鍍膜顏色正常，無色差，能夠增加連續(xù)鍍膜的次數，增加鍍膜效率。另外，承載位設置鏤空，減少硅片與石墨舟片實際接觸面積，避免硅片受熱引起翹曲，同時能夠減少石墨的使用量，降低成本。

附圖說明

圖1是本實用新型具體實施方式提供石墨舟片的結構示意圖；

圖2是圖1中B-B向的截面圖。

其中，1、石墨舟片本體；2、承載位；3、鏤空；4、卡點。

具體實施方式

下面結合附圖并通過具體實施方式來進一步說明本實用新型的技術方案。

參照圖1-2，本實用新型一種石墨舟片，石墨舟片包括石墨舟片本體1和承載位2，承載位2凸出于石墨舟片本體1的表面，承載位2上設有鏤空3，承載位2的邊緣設有多個用于固定硅片的卡點4。

該石墨舟片上的承載位2凸出于石墨舟片本體1的表面，能夠使得硅片在鍍膜多次之后，在承載位2周圍累積的氮化硅厚度仍低于承載位2上的硅片表面，硅片鍍膜顏色正常，無色差，能夠增加清洗一次后鍍膜的次數，增加鍍膜效率。

具體的，如圖2所示，承載位2所在平面凸出于石墨舟片本體1表面0.5-1.0mm，如果承載位2過高將造成承載位2不易成型，導致石墨舟片的厚度降低。上述結構的石墨舟片能夠使得石墨舟片鍍膜130-150次，然后再進行清洗，減少清洗次數，產能增加，并且降低清洗費用。

卡點4比承載位2所在平面高出0.3-1.0mm，用于卡住硅片?？c4分布在承載位2不同的三個邊緣，使得硅片受力均勻，保持硅片的穩(wěn)定固定。

本實施方式中，如圖2所示，上述鏤空3為長方形狀，每個承載位2內設置3-6個均勻分布的鏤空3，具體的，鏤空3長130-150mm，寬15-25mm，鏤空3的設計能夠減小石墨舟片的重量，同時減少硅片與石墨舟片實際接觸面積，避免硅片受熱引起翹曲，同時能夠減少石墨的使用量，降低材料成本。在其他實施方式中，鏤空3還可以選擇其他形狀或大小的鏤空3，例如，承載位2可以全部鏤空3，在承載位2的周邊為支撐硅片的凸出結構；或者承載位2內的鏤空3還可以是其他形狀的鏤空3，可以根據具體情形進行確定。

多晶硅片對應的承載位2為與硅片配合的正方形狀。單晶硅片的承載位2的拐角處倒角。

當硅片為其他形狀時，承載位2與硅片的形狀相配合。

本實施方式還保護一種石墨舟，包括上述的石墨舟片，使得石墨舟的清洗次數減少，鍍膜效率高，減少清洗費用。

注意，上述僅為本實用新型的較佳實施例。本領域技術人員會理解，本實用新型不限于這里所述的特定實施例，對本領域技術人員來說能夠進行各種明顯的變化、重新調整和替代而不會脫離本實用新型的保護范圍。因此，雖然通過以上實施例對本實用新型進行了較為詳細的說明，但是本實用新型不僅僅限于以上實施例，在不脫離本實用新型構思的情況下，還可以包括更多其他等效實施例，而本實用新型的范圍由所附的權利要求范圍決定。