一種半導(dǎo)體立式熱處理設(shè)備的工藝管排氣裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種半導(dǎo)體立式熱處理設(shè)備的工藝管排氣裝置，將半導(dǎo)體立式熱處理設(shè)備工藝管的排氣口與連通排氣管路的排氣管采用法蘭相對接，法蘭連接面之間具有間隙，并設(shè)有密封圈密封，在一側(cè)法蘭的連接面位于密封圈與法蘭內(nèi)壁之間處設(shè)有吹氣口，吹氣口通過法蘭本體內(nèi)的吹氣腔道連通至吹氣進氣口，二側(cè)法蘭通過夾緊調(diào)節(jié)機構(gòu)相固連；冷卻吹掃氣體經(jīng)由吹氣進氣口、吹氣腔道、吹氣口進入法蘭連接面之間的間隙，起到阻隔高溫尾氣、冷卻密封圈及調(diào)節(jié)排氣管內(nèi)部溫度和壓力的作用，此外，在工藝處理前，通過氣體吹掃，還可以達到凈化排氣管路的效果。本實用新型具有密封性好、提高耐溫性、結(jié)構(gòu)設(shè)計簡單和具有可調(diào)性等顯著特點。
【專利說明】一種半導(dǎo)體立式熱處理設(shè)備的工藝管排氣裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種半導(dǎo)體立式熱處理設(shè)備的排氣裝置，更具體地，涉及一種可通過隔離高溫尾氣實現(xiàn)有效密封和降溫、調(diào)節(jié)排氣管路內(nèi)部溫度和壓力并進行凈化的半導(dǎo)體立式熱處理設(shè)備的工藝管排氣裝置。

【背景技術(shù)】
[0002]半導(dǎo)體立式爐熱處理設(shè)備是集成電路裝備的一種，可以包括中溫?zé)崽幚碓O(shè)備、高溫?zé)崽幚碓O(shè)備等。
[0003]半導(dǎo)體立式熱處理設(shè)備在對晶圓進行熱處理的過程中，工藝管內(nèi)的工藝尾氣會經(jīng)排氣管路排出。因為是中高溫?zé)崽幚碇瞥?，所以，?jīng)由排氣管路排出的尾氣溫度一般會在6000C以上。當工藝尾氣從半導(dǎo)體熱處理設(shè)備工藝管的排氣口排出后，進入排氣管，并沿排氣管路經(jīng)尾氣冷卻裝置冷卻后回收。由于工藝氣體的尾氣為特種氣體，所以，對整個排氣管路要求具有優(yōu)異的密封性能。而由于工藝尾氣的溫度過高，因此，在排氣管路的連接處、特別是在半導(dǎo)體熱處理設(shè)備工藝管的排氣口與排氣管的連接處，需要設(shè)計既能密封又能耐高溫的結(jié)構(gòu)。
[0004]目前，現(xiàn)有的工藝管排氣裝置在排氣口與排氣管的連接處，通常采用密封圈形式進行密封。而即使是性能優(yōu)異的密封圈材料，其最高耐溫也只能達到300°C以下。所以，單一的密封圈密封結(jié)構(gòu)并不能滿足實際需求。由于工藝管、排氣口以及排氣管路一般采用石英材料，并且在排氣口附近的管路線路比較復(fù)雜，因此，要求在排氣口處的連接及密封結(jié)構(gòu)設(shè)計需要盡量的簡單。上述半導(dǎo)體立式爐熱處理設(shè)備工藝排氣的特殊需求，造成現(xiàn)有的工藝管排氣裝置在設(shè)計上的困難，因而缺乏有效的改進措施。這造成現(xiàn)有的工藝管排氣裝置的密封圈不但使用壽命短、更換頻率高，而且增添了尾氣泄露的風(fēng)險。針對半導(dǎo)體立式爐熱處理設(shè)備工藝排氣的需求，需要設(shè)計出滿足高密封性、高耐溫性、結(jié)構(gòu)簡單的排氣裝置。
實用新型內(nèi)容
[0005]本實用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)存在的上述缺陷，提供一種新型的半導(dǎo)體立式熱處理設(shè)備的工藝管排氣裝置，通過在連接工藝管排氣口與排氣管的法蘭內(nèi)設(shè)計冷卻氣體吹掃結(jié)構(gòu)，可以一方面在具有間隙的法蘭連接處形成一個氣隔離效果，阻隔高溫尾氣，另一方面對法蘭之間的密封圈表面進行降溫，并通過可以調(diào)整壓緊量的法蘭夾緊調(diào)節(jié)機構(gòu)調(diào)整法蘭連接面之間的間隙，以改善密封圈周圍的冷卻環(huán)境，實現(xiàn)對密封圈周圍的高溫尾氣進行隔離、冷卻密封圈及調(diào)節(jié)排氣管內(nèi)部溫度和壓力的作用；此外，在工藝處理前，通過氣體吹掃，還可以達到凈化排氣管路的效果。
[0006]為實現(xiàn)上述目的，本實用新型的技術(shù)方案如下:
[0007]—種半導(dǎo)體立式熱處理設(shè)備的工藝管排氣裝置，包括半導(dǎo)體立式熱處理設(shè)備工藝管的排氣口，連接排氣口的排氣管，所述排氣管通過排氣管路連接至尾氣冷卻裝置，所述排氣口與所述排氣管的連接處設(shè)有密封圈，其特征在于，所述排氣口與所述排氣管采用法蘭相對接，排氣口側(cè)法蘭與排氣管側(cè)法蘭的法蘭連接面之間具有一定間隙，所述法蘭連接面之間通過環(huán)繞法蘭圓周設(shè)置的密封圈相密封；二側(cè)法蘭中的其中一側(cè)法蘭的連接面位于所述密封圈與法蘭內(nèi)壁之間處設(shè)有吹氣口，所述吹氣口連通該側(cè)法蘭本體內(nèi)的吹氣腔道，所述吹氣腔道設(shè)有通向該側(cè)法蘭本體外的吹氣進氣口 ；所述二側(cè)法蘭通過夾緊調(diào)節(jié)機構(gòu)相固連；其中，可由所述吹氣進氣口吹入不同的冷卻吹掃氣體，經(jīng)由所述吹氣腔道、所述吹氣口進入所述二側(cè)法蘭連接面之間的所述間隙，并由所述間隙進入所述法蘭內(nèi)壁，沿所述排氣管通過所述排氣管路排向所述尾氣冷卻裝置。
[0008]由于工藝尾氣排放時最高溫度可達到600°C，而即使是性能優(yōu)異的密封圈材料，其最高耐溫也只能達到300°C以下，本實用新型為解決密封圈耐溫低于尾氣溫度的問題，在連接工藝管排氣口與排氣管的法蘭內(nèi)，設(shè)計了氣體吹掃結(jié)構(gòu)。當工藝尾氣排出，高溫氣流流經(jīng)法蘭連接處時，一方面法蘭受熱使與之接觸的密封圈溫度上升，另一方面高溫氣流經(jīng)由法蘭連接面處的間隙與密封圈直接接觸。此時，可向吹氣進氣口通入低溫吹掃氣體，對法蘭相關(guān)部位進行冷卻并隔離高溫尾氣。由吹氣口吹出的低溫氣體吹向法蘭連接面，一方面能阻止高溫氣流與密封圈接觸，起到氣隔離的作用，另一方面，低溫氣體與密封圈直接接觸，可降低密封圈的溫度。根據(jù)半導(dǎo)體熱處理設(shè)備的不同工藝，可以選擇使用不同的吹掃氣體，例如可以使用氮氣、空氣、氬氣等。并且，可通過控制吹掃氣體的溫度和流量，對排氣管的內(nèi)部溫度和壓力進行調(diào)節(jié)。此外，排氣管路在使用過程中，工藝尾氣中的顆粒會在管路的內(nèi)壁逐漸沉積，對排氣管路造成污染，需要對排氣管路定期進行凈化。因此，在工藝處理之前，可以在吹氣進氣口接入吹掃氣體，通入的吹掃氣體經(jīng)由吹氣腔道、吹氣口進入二側(cè)法蘭連接面之間的間隙，并由間隙進入法蘭內(nèi)壁，沿排氣管通過排氣管路排向尾氣冷卻裝置，從而實現(xiàn)對工藝管外的整個排氣管路的凈化處理。
[0009]進一步地，所述二側(cè)法蘭位于所述密封圈與所述法蘭內(nèi)壁之間靠近所述法蘭內(nèi)壁的連接面處具有環(huán)繞法蘭圓周設(shè)置的相配合的凹凸轉(zhuǎn)折面結(jié)構(gòu)，所形成的所述凹凸轉(zhuǎn)折面之間具有一定間隙。凹凸轉(zhuǎn)折面結(jié)構(gòu)設(shè)計可避免流經(jīng)排氣管的大流量尾氣對密封圈造成直接地溫度沖擊；同時，因排氣管與排氣口以及法蘭的材料一般為石英，不能耐受較大的側(cè)向機械安裝力，此凹凸轉(zhuǎn)折面結(jié)構(gòu)設(shè)計可保證二個法蘭在配合安裝時的同心度，避免對排氣管與排氣口造成傷害。
[0010]進一步地，所述二側(cè)法蘭中的其中一側(cè)法蘭的連接面位于所述密封圈與所述吹氣口之間處環(huán)繞法蘭圓周設(shè)有一圈凸起的隔檔，可防止吹掃氣體與高溫尾氣接觸后回流，影響對密封圈的降溫效果。
[0011]進一步地，所述隔檔的頂端與其相對側(cè)法蘭的連接面之間具有一定間隙。留有一定的間隙量，可使低溫吹掃氣體越過隔檔，直接作用于密封圈，加速對密封圈的冷卻，又可在密封圈與隔檔之間的空隙存儲一定的冷卻氣體，防止高溫尾氣的傳熱造成的不利影響。
[0012]進一步地，所述吹氣口在所述二側(cè)法蘭中的其中一側(cè)法蘭的連接面環(huán)繞法蘭圓周均勻設(shè)置多個，所述吹氣口連通該側(cè)法蘭本體內(nèi)環(huán)繞法蘭圓周設(shè)置的吹氣腔道。吹氣口在法蘭連接面沿圓周均勻設(shè)置多個，可保證吹掃氣體吹入的均勻度，以均衡對密封圈的冷卻及阻隔高溫尾氣。
[0013]進一步地，所述隔檔與所述吹氣口設(shè)于同一側(cè)所述法蘭的連接面處。
[0014]進一步地，所述隔檔與所述吹氣口也可以分別設(shè)于二側(cè)所述法蘭的連接面處。隔檔與吹氣口設(shè)在同一個法蘭連接面上，或不同的法蘭連接面上，所起到的效果是一樣的。
[0015]進一步地，所述夾緊調(diào)節(jié)機構(gòu)包括二個相對設(shè)置的夾板，所述二個夾板通過相配合的調(diào)節(jié)螺釘和螺母相固連，所述二個夾板將所述排氣口側(cè)法蘭與所述排氣管側(cè)法蘭夾持在其間，并通過所述二個夾板上設(shè)置的相配合的所述調(diào)節(jié)螺釘和螺母進行固定；所述二個夾板具有通過所述排氣口與所述排氣管的開口結(jié)構(gòu)。由于排氣管與排氣口以及法蘭的材料為石英，不能耐受較大的機械安裝力，不適當?shù)姆ㄌm固定結(jié)構(gòu)，會對石英件產(chǎn)生破壞。本實用新型的夾緊調(diào)節(jié)機構(gòu)，專門針對上述石英材料設(shè)計，通過夾板的形式固定石英法蘭，可使法蘭均勻受力，避免了法蘭在安裝時的易損現(xiàn)象。
[0016]進一步地，相配合的所述調(diào)節(jié)螺釘和螺母的數(shù)量為4個，分設(shè)于所述二個夾板的四個角部，所述調(diào)節(jié)螺釘上套有壓縮彈簧；其中，通過所述螺母的旋轉(zhuǎn)，使所述壓縮彈簧具有不同的壓緊力，來調(diào)整所述二個夾板所夾持的所述排氣口側(cè)法蘭與所述排氣管側(cè)法蘭連接面之間的間隙量。調(diào)節(jié)螺母的緊度，可以調(diào)整密封圈的壓縮量，改變法蘭連接面的間隙大小。當由法蘭傳遞到密封圈的熱量較大時，由于法蘭連接面的間隙一定，吹掃氣體不能及時降低密封圈的溫度，此時，可調(diào)節(jié)夾緊調(diào)節(jié)機構(gòu)，旋松螺母，使壓縮彈簧松弛，以增大法蘭連接面的間隙，實現(xiàn)快速降低密封圈的溫度。
[0017]進一步地，所述二個夾板將所述排氣口側(cè)法蘭與所述排氣管側(cè)法蘭夾持在其間，二個所述夾板與其所夾持的相應(yīng)側(cè)法蘭之間設(shè)有柔性墊片。在固定夾緊調(diào)節(jié)機構(gòu)時，當調(diào)節(jié)螺母旋緊時，緊固力產(chǎn)生的變形可由墊片緩沖。
[0018]從上述技術(shù)方案可以看出，本實用新型通過在連接工藝管排氣口與排氣管的法蘭內(nèi)設(shè)計冷卻氣體吹掃結(jié)構(gòu)，可通入一定溫度和流量的冷卻氣體，在具有間隙的法蘭連接處形成一個氣隔離效果，阻隔高溫尾氣，對法蘭之間的密封圈表面進行降溫，并通過可以調(diào)整壓緊量的法蘭夾緊調(diào)節(jié)機構(gòu)調(diào)整法蘭連接面之間的間隙，以改善密封圈周圍的冷卻環(huán)境，實現(xiàn)對密封圈周圍的高溫尾氣進行隔離、冷卻密封圈及調(diào)節(jié)排氣管內(nèi)部溫度和壓力的作用，還可以在工藝處理前，通過氣體吹掃，達到凈化排氣管路的效果。因此，本實用新型具有密封性好、提高耐溫性、結(jié)構(gòu)設(shè)計簡單和具有可調(diào)性等顯著特點。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0019]圖1是本實用新型一種半導(dǎo)體立式熱處理設(shè)備的工藝管排氣裝置的安裝結(jié)構(gòu)示意圖；
[0020]圖2是本實用新型一種半導(dǎo)體立式熱處理設(shè)備的工藝管排氣裝置連接法蘭的結(jié)構(gòu)剖視圖；
[0021]圖3是圖2的排氣管連接法蘭的俯視結(jié)構(gòu)剖視圖；
[0022]圖4是本實用新型一種半導(dǎo)體立式熱處理設(shè)備的工藝管排氣裝置夾緊調(diào)節(jié)機構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。

【具體實施方式】
[0023]下面結(jié)合附圖，對本實用新型的【具體實施方式】作進一步的詳細說明。
[0024]在本實施例中，請參閱圖1，圖1是本實用新型一種半導(dǎo)體立式熱處理設(shè)備的工藝管排氣裝置的安裝結(jié)構(gòu)示意圖。如圖所示，本實用新型的工藝管排氣裝置設(shè)于半導(dǎo)體立式熱處理設(shè)備工藝管5的外部，工藝管5側(cè)壁設(shè)有工藝氣體的進氣口 2和工藝尾氣的排氣口
I。進氣口 2和排氣口 I為石英材料。本實用新型的工藝管排氣裝置包括工藝管5的排氣口 1，連接排氣口 I的石英排氣管3，排氣管3通過排氣管路連接至尾氣冷卻裝置(圖略)。排氣口 I與排氣管3采用石英法蘭14、15相對接。其中，排氣口側(cè)法蘭14與排氣管側(cè)法蘭15通過夾緊調(diào)節(jié)機構(gòu)4固定連接在一起。從工藝管5內(nèi)產(chǎn)生的工藝尾氣，通過排氣口 1、連接法蘭14和15、排氣管3進入排氣管路，并最終經(jīng)過尾氣冷卻裝置處理和回收。
[0025]請參閱圖2，圖2是本實用新型一種半導(dǎo)體立式熱處理設(shè)備的工藝管排氣裝置連接法蘭的結(jié)構(gòu)剖視圖。如圖所示，排氣口側(cè)法蘭14與排氣管側(cè)法蘭15的法蘭連接面之間具有一定的間隙16，法蘭14、15通過法蘭內(nèi)壁19、20與排氣口 1、排氣管3相連通。法蘭連接面之間通過環(huán)繞法蘭圓周設(shè)置的密封圈7相密封。密封圈7可通過法蘭14的法蘭連接面上的凹槽來固定安裝。在排氣管側(cè)法蘭15的連接面位于密封圈7與排氣管側(cè)法蘭內(nèi)壁20之間處設(shè)有吹氣口 9，吹氣口 9連通排氣管側(cè)法蘭15本體內(nèi)的吹氣腔道8，吹氣腔道8設(shè)有通向排氣管側(cè)法蘭15本體外的吹氣進氣口 6。在通過本實用新型的排氣裝置對密封圈7進行冷卻時，由吹氣進氣口 6吹入的冷卻吹掃氣體經(jīng)由吹氣腔道8、吹氣口 9進入二側(cè)法蘭
14、15連接面之間的間隙16，并由間隙16進入法蘭內(nèi)壁19、20，沿與法蘭內(nèi)壁20連通的排氣管3通過排氣管路排向尾氣冷卻裝置(如圖中箭頭方向所示)。
[0026]請繼續(xù)參閱圖2。排氣口側(cè)法蘭14與排氣管側(cè)法蘭15位于密封圈7與法蘭內(nèi)壁19、20之間靠近法蘭內(nèi)壁的連接面處具有環(huán)繞法蘭圓周設(shè)置的相配合的凹凸轉(zhuǎn)折面17、18結(jié)構(gòu)，所形成的凹凸轉(zhuǎn)折面17、18之間也具有一定間隙。凹凸轉(zhuǎn)折面結(jié)構(gòu)設(shè)計可避免流經(jīng)排氣管的大流量尾氣對密封圈造成直接地溫度沖擊。同時，因排氣管與排氣口以及法蘭的材料為石英，不能耐受較大的側(cè)向機械安裝力，此凹凸轉(zhuǎn)折面結(jié)構(gòu)設(shè)計可保證二側(cè)法蘭在配合安裝時的同心度，避免對排氣管與排氣口造成傷害。
[0027]請繼續(xù)參閱圖2。在排氣管側(cè)法蘭15的連接面位于密封圈7與吹氣口 9之間處環(huán)繞法蘭圓周設(shè)有一圈凸起的隔檔10，可防止吹掃氣體與排氣管中的高溫尾氣接觸后回流，影響對密封圈7的降溫效果。隔檔10的頂端與排氣口側(cè)法蘭14的連接面之間也具有一定間隙。留有一定的間隙量，可使低溫吹掃氣體越過隔檔10，直接作用于密封圈7，加速對密封圈7的冷卻，又可在密封圈7與隔檔10之間的空隙存儲一定的冷卻氣體，防止高溫尾氣的傳熱造成的不利影響。
[0028]請參閱圖3，圖3是圖2的排氣管連接法蘭的俯視結(jié)構(gòu)剖視圖。如圖所示，吹氣口9在排氣管側(cè)法蘭的連接面環(huán)繞法蘭圓周均勻設(shè)置多個。這些吹氣口與排氣管側(cè)法蘭本體內(nèi)環(huán)繞法蘭圓周設(shè)置的吹氣腔道8相連通。吹氣腔道8開有一個通向排氣管側(cè)法蘭本體外的吹氣進氣口 6。吹氣口在法蘭連接面沿圓周均勻設(shè)置多個，可保證從吹氣進氣口通入的吹掃氣體(如圖中箭頭方向所示)吹入的均勻度，以均衡對密封圈的冷卻及阻隔高溫尾氣。
[0029]請參閱圖4，圖4是本實用新型一種半導(dǎo)體立式熱處理設(shè)備的工藝管排氣裝置夾緊調(diào)節(jié)機構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖所示，夾緊調(diào)節(jié)機構(gòu)包括二個相對設(shè)置的夾板11、22，二個夾板11、22通過設(shè)于四個角部的相配合的4對調(diào)節(jié)螺釘24和螺母13連接在一起。二個夾板22、11可將排氣口側(cè)法蘭14與排氣管側(cè)法蘭15夾持在其間，并通過二個夾板上設(shè)置的相配合的調(diào)節(jié)螺釘24和螺母13進行固定。二個夾板11、22分別設(shè)有對應(yīng)的槽形開口 25、26，用來通過排氣口 I與排氣管3。排氣管與排氣口以及法蘭采用石英材料，不能耐受較大的機械安裝力，不適當?shù)姆ㄌm固定結(jié)構(gòu)，會對石英件產(chǎn)生破壞。本實用新型通過夾板的形式固定石英法蘭，可使法蘭均勻受力，避免了法蘭在安裝時的易損現(xiàn)象。
[0030]請繼續(xù)參閱圖4。在調(diào)節(jié)螺釘24上位于夾板11與螺母13之間的位置套有壓縮彈簧21 (共4個)。在壓縮彈簧21安裝時，先使壓縮彈簧具有一定的壓縮量，當旋轉(zhuǎn)螺母13時，可使壓縮彈簧21具有不同的壓緊力，用來調(diào)整二個夾板22、11所夾持的排氣口側(cè)法蘭14與排氣管側(cè)法蘭15連接面之間的間隙量。因此，可通過調(diào)節(jié)螺母的緊度，來相應(yīng)調(diào)整密封圈的壓縮量，以改變法蘭連接面的間隙大小。當由法蘭傳遞到密封圈的熱量較大時，由于法蘭連接面的間隙一定，吹掃氣體不能及時降低密封圈的溫度，此時，可調(diào)節(jié)夾緊調(diào)節(jié)機構(gòu)，旋松螺母，使壓縮彈簧松弛，以增大法蘭連接面的間隙，實現(xiàn)快速降低密封圈的溫度。
[0031]請繼續(xù)參閱圖4。二個夾板將排氣口側(cè)法蘭與排氣管側(cè)法蘭夾持在其間，在二個夾板22、11與其所夾持的相應(yīng)側(cè)法蘭之間設(shè)有聚四氟乙烯(PolytetrafIuoroethylene,PTFE)墊片23、12。PTFE墊片具有一定的柔性，在固定夾緊調(diào)節(jié)機構(gòu)時，當調(diào)節(jié)螺母旋緊時，緊固力產(chǎn)生的變形可由墊片緩沖，以防止法蘭因直接受到較大的壓緊力而損壞。
[0032]由于工藝尾氣排放時最高溫度可達到600°C，而即使是性能優(yōu)異的密封圈材料，其最高耐溫也只能達到300°C以下。本實用新型為解決密封圈耐溫低于尾氣溫度的問題，在連接工藝管排氣口與排氣管的法蘭內(nèi)，設(shè)計了氣體吹掃結(jié)構(gòu)。應(yīng)用本實用新型時，當工藝尾氣由半導(dǎo)體熱處理設(shè)備的工藝管5內(nèi)自排氣口 I排出，高溫氣流流經(jīng)法蘭14、15連接處時，一方面法蘭受熱會使與之接觸的密封圈7溫度上升，另一方面高溫氣流還會經(jīng)由法蘭連接面處的間隙16與密封圈7直接接觸。此時，根據(jù)半導(dǎo)體熱處理設(shè)備的不同工藝，可以選擇使用不同的吹掃氣體，例如可以使用氮氣、空氣、氬氣等，在吹氣進氣口 6通入冷卻吹掃氣體，通過吹氣腔道8向吹氣口 9吹出低溫的氣體。吹掃氣體沿二側(cè)法蘭14、15之間的間隙16吹向法蘭連接面，由于受到隔檔10的阻擋，只有少部分進入隔檔10與密封圈7之間的空隙，其余大部分將沿法蘭連接面的間隙，順著凹凸轉(zhuǎn)折面17、18吹向法蘭內(nèi)壁19、20連通的排氣管道，從而阻止了高溫尾氣進入法蘭連接面的間隙。當由法蘭傳遞到密封圈7的熱量較大時，可調(diào)節(jié)夾緊調(diào)節(jié)機構(gòu)4，旋松螺母13，使壓縮彈簧21松弛，以增大法蘭連接面的間隙16，擴大冷卻空間，讓更多的冷卻氣體進入間隙，實現(xiàn)快速降低密封圈7的溫度。在通入吹掃氣體的過程中，還可通過控制吹掃氣體的溫度和流量，對排氣管的內(nèi)部溫度和壓力進行調(diào)節(jié)。此外，排氣管路在使用過程中，工藝尾氣中的顆粒會在管路的內(nèi)壁逐漸沉積，對排氣管路造成污染，需要對排氣管路定期進行凈化。這時，在工藝處理之前，可以在吹氣進氣口接入吹掃氣體，通入的吹掃氣體經(jīng)由吹氣腔道、吹氣口進入二側(cè)法蘭連接面之間的間隙，并由間隙進入法蘭內(nèi)壁，沿排氣管通過排氣管路排向尾氣冷卻裝置，從而實現(xiàn)對工藝管外的整個排氣管路的凈化處理。
[0033]因此，本實用新型的工藝管排氣裝置一方面能阻止高溫氣流與密封圈接觸，起到氣隔離的作用；另一方面，低溫氣體與密封圈直接接觸，可降低密封圈的溫度。并且，可通過控制吹掃氣體的溫度和流量，對排氣管的內(nèi)部溫度和壓力進行調(diào)節(jié)。此外，在工藝處理之前，還可以通過通入吹掃氣體對排氣管路進行凈化處理。
[0034]需要說明的是，上述實施例中的吹氣口、吹氣腔道和吹氣進氣口的結(jié)構(gòu)也可以在排氣口側(cè)法蘭的相應(yīng)位置設(shè)置；隔檔與吹氣口設(shè)在同一個法蘭連接面上，或不同的法蘭連接面上，所起到的效果都是一樣的；吹氣進氣口根據(jù)冷卻氣體流量控制需要可以設(shè)置一個，或者多個；壓縮彈簧也可裝在螺釘?shù)钠渌课唬灰溟L度與壓緊作用相適應(yīng)即可。本行業(yè)普通技術(shù)人員都可以很好地理解，故此處不再贅述。
[0035]以上所述的僅為本實用新型的優(yōu)選實施例，所述實施例并非用以限制本實用新型的專利保護范圍，因此凡是運用本實用新型的說明書及附圖內(nèi)容所作的等同結(jié)構(gòu)變化，同理均應(yīng)包含在本實用新型的保護范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種半導(dǎo)體立式熱處理設(shè)備的工藝管排氣裝置，包括半導(dǎo)體立式熱處理設(shè)備工藝管的排氣口，連接排氣口的排氣管，所述排氣管通過排氣管路連接至尾氣冷卻裝置，所述排氣口與所述排氣管的連接處設(shè)有密封圈，其特征在于，所述排氣口與所述排氣管采用法蘭相對接，排氣口側(cè)法蘭與排氣管側(cè)法蘭的法蘭連接面之間具有一定間隙，所述法蘭連接面之間通過環(huán)繞法蘭圓周設(shè)置的密封圈相密封；二側(cè)法蘭中的其中一側(cè)法蘭的連接面位于所述密封圈與法蘭內(nèi)壁之間處設(shè)有吹氣口，所述吹氣口連通該側(cè)法蘭本體內(nèi)的吹氣腔道，所述吹氣腔道設(shè)有通向該側(cè)法蘭本體外的吹氣進氣口 ；所述二側(cè)法蘭通過夾緊調(diào)節(jié)機構(gòu)相固連；其中，可由所述吹氣進氣口吹入不同的冷卻吹掃氣體，經(jīng)由所述吹氣腔道、所述吹氣口進入所述二側(cè)法蘭連接面之間的所述間隙，并由所述間隙進入所述法蘭內(nèi)壁，沿所述排氣管通過所述排氣管路排向所述尾氣冷卻裝置。
2.如權(quán)利要求1所述的工藝管排氣裝置，其特征在于，所述二側(cè)法蘭位于所述密封圈與所述法蘭內(nèi)壁之間靠近所述法蘭內(nèi)壁的連接面處具有環(huán)繞法蘭圓周設(shè)置的相配合的凹凸轉(zhuǎn)折面結(jié)構(gòu)，所形成的所述凹凸轉(zhuǎn)折面之間具有一定間隙。
3.如權(quán)利要求1所述的工藝管排氣裝置，其特征在于，所述二側(cè)法蘭中的其中一側(cè)法蘭的連接面位于所述密封圈與所述吹氣口之間處環(huán)繞法蘭圓周設(shè)有一圈凸起的隔檔。
4.如權(quán)利要求3所述的工藝管排氣裝置，其特征在于，所述隔檔的頂端與其相對側(cè)法蘭的連接面之間具有一定間隙。
5.如權(quán)利要求1所述的工藝管排氣裝置，其特征在于，所述吹氣口在所述二側(cè)法蘭中的其中一側(cè)法蘭的連接面環(huán)繞法蘭圓周均勻設(shè)置多個，所述吹氣口連通該側(cè)法蘭本體內(nèi)環(huán)繞法蘭圓周設(shè)置的吹氣腔道。
6.如權(quán)利要求3所述的工藝管排氣裝置，其特征在于，所述隔檔與所述吹氣口設(shè)于同一側(cè)所述法蘭的連接面處。
7.如權(quán)利要求3所述的工藝管排氣裝置，其特征在于，所述隔檔與所述吹氣口分別設(shè)于二側(cè)所述法蘭的連接面處。
8.如權(quán)利要求1所述的工藝管排氣裝置，其特征在于，所述夾緊調(diào)節(jié)機構(gòu)包括二個相對設(shè)置的夾板，所述二個夾板通過相配合的調(diào)節(jié)螺釘和螺母相固連，所述二個夾板將所述排氣口側(cè)法蘭與所述排氣管側(cè)法蘭夾持在其間，并通過所述二個夾板上設(shè)置的相配合的所述調(diào)節(jié)螺釘和螺母進行固定；所述二個夾板具有通過所述排氣口與所述排氣管的開口結(jié)構(gòu)。
9.如權(quán)利要求8所述的工藝管排氣裝置，其特征在于，相配合的所述調(diào)節(jié)螺釘和螺母的數(shù)量為4個，分設(shè)于所述二個夾板的四個角部，所述調(diào)節(jié)螺釘上套有壓縮彈簧；其中，通過所述螺母的旋轉(zhuǎn)，使所述壓縮彈簧具有不同的壓緊力，來調(diào)整所述二個夾板所夾持的所述排氣口側(cè)法蘭與所述排氣管側(cè)法蘭連接面之間的間隙量。
10.如權(quán)利要求8或9所述的工藝管排氣裝置，其特征在于，所述二個夾板將所述排氣口側(cè)法蘭與所述排氣管側(cè)法蘭夾持在其間，二個所述夾板與其所夾持的相應(yīng)側(cè)法蘭之間設(shè)有柔性墊片。
【文檔編號】H01L21/324GK203859104SQ201420243244
【公開日】2014年10月1日 申請日期:2014年5月13日 優(yōu)先權(quán)日:2014年5月13日
【發(fā)明者】徐冬, 宋新豐 申請人:北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司