蓋開閉裝置制造方法
【專利摘要】一種蓋開閉裝置(1)，具備裝置主體(2)、鎖開閉機(jī)構(gòu)(30)以及容器固定部(80)。在裝置主體載置箱體(70)，該箱體具備容器主體(71)、成為能夠相對于容器主體開閉的底部的蓋部(72)、以及進(jìn)行蓋部相對于容器主體的開鎖以及上鎖的鎖機(jī)構(gòu)(74)。鎖開閉機(jī)構(gòu)使在箱體載置于裝置主體時(shí)與該鎖機(jī)構(gòu)卡合的卡合部(35)移動(dòng)，從而進(jìn)行用于使該鎖機(jī)構(gòu)進(jìn)行開鎖的開鎖動(dòng)作、以及用于使該鎖機(jī)構(gòu)進(jìn)行上鎖的上鎖動(dòng)作。容器固定部在使鎖機(jī)構(gòu)進(jìn)行開鎖的情況下，與鎖開閉機(jī)構(gòu)聯(lián)動(dòng)，使容器主體固定于裝置主體。
【專利說明】
蓋開閉裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及在收納被收納物的收納容器中進(jìn)行蓋部相對于容器主體的開閉的蓋開閉裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體裝置或者液晶顯示裝置等的制造工廠的潔凈室中，半導(dǎo)體晶片或者玻璃基板等以收納于收納容器的狀態(tài)被輸送。因此，在收納容器與各種裝置之間移載被收納物時(shí)，需要使用蓋開閉裝置進(jìn)行蓋部相對于容器主體的開閉。以往，為了迅速進(jìn)行蓋部相對于容器主體的開閉，提出了在蓋開閉裝置設(shè)置平衡收納容器的內(nèi)外壓力差的壓力平衡機(jī)構(gòu)等各種技術(shù)(例如，參照專利文獻(xiàn)I)。
[0003]專利文獻(xiàn)1:日本專利第3180600號公報(bào)
[0004]在上述半導(dǎo)體裝置或者液晶顯示裝置等的制造工廠中，嚴(yán)格要求各種部件的輸送效率的提高。因此，為了提高輸送效率，在將蓋部安裝于容器主體時(shí)，也要求防止容器主體的抬起以及錯(cuò)位從而準(zhǔn)確地安裝蓋部。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0005]因此，本發(fā)明的目的是提供一種能夠在容器主體準(zhǔn)確安裝蓋部的蓋開閉裝置。
[0006]本發(fā)明的一個(gè)方面的蓋開閉裝置對具備收納被收納物的容器主體、成為能夠相對于容器主體開閉的底部且載置被收納物的蓋部、以及進(jìn)行蓋部相對于容器主體的開鎖以及上鎖的鎖機(jī)構(gòu)的收納容器，進(jìn)行蓋部相對于容器主體的開閉，上述蓋開閉裝置具備:裝置主體，其載置收納容器；移動(dòng)部，其具有在收納容器載置于裝置主體時(shí)與鎖機(jī)構(gòu)卡合的卡合部，該移動(dòng)部通過使卡合部移動(dòng)而進(jìn)行用于使鎖機(jī)構(gòu)實(shí)施開鎖的開鎖動(dòng)作、以及用于使鎖機(jī)構(gòu)實(shí)施上鎖的上鎖動(dòng)作；以及容器固定部，在使鎖機(jī)構(gòu)進(jìn)行開鎖的情況下，該容器固定部與移動(dòng)部聯(lián)動(dòng)而將容器主體固定于裝置主體。
[0007]在該蓋開閉裝置中，在使移動(dòng)部移動(dòng)而使鎖機(jī)構(gòu)進(jìn)行開鎖的情況下，容器固定部與移動(dòng)部聯(lián)動(dòng)，將容器主體固定于裝置主體。這樣，與鎖機(jī)構(gòu)的開鎖動(dòng)作聯(lián)動(dòng)地將容器主體固定于裝置主體，所以例如在鎖機(jī)構(gòu)為開鎖狀態(tài)時(shí)安裝蓋部的情況下，也能夠抑制容器主體抬起以及蓋部錯(cuò)位等的產(chǎn)生。因此，根據(jù)該蓋開閉裝置，能夠?qū)⑸w部準(zhǔn)確安裝于容器主體。
[0008]這里，優(yōu)選，上述移動(dòng)部還具有:多個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)部件，所述轉(zhuǎn)動(dòng)部件具有卡合部，并且在裝置主體支承為能夠轉(zhuǎn)動(dòng)而使卡合部移動(dòng)；連結(jié)部件，其至少將一對轉(zhuǎn)動(dòng)部件連結(jié)并使所述轉(zhuǎn)動(dòng)部件轉(zhuǎn)動(dòng)；以及致動(dòng)器，其安裝于裝置主體，對連結(jié)部件施加驅(qū)動(dòng)力，容器固定部與連結(jié)部件的移動(dòng)聯(lián)動(dòng)。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，使用連結(jié)部件至少連結(jié)一對轉(zhuǎn)動(dòng)部件，從而能夠使設(shè)置于該一對轉(zhuǎn)動(dòng)部件的卡合部在同一時(shí)刻動(dòng)作。由此，能夠同時(shí)進(jìn)行與多個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)部件的卡合部對應(yīng)設(shè)置的多個(gè)鎖機(jī)構(gòu)的開鎖動(dòng)作以及上鎖動(dòng)作。因此，能夠抑制多個(gè)鎖機(jī)構(gòu)的開鎖動(dòng)作以及上鎖動(dòng)作產(chǎn)生差別而產(chǎn)生例如容器主體抬起以及蓋部錯(cuò)位等。因此，根據(jù)該蓋開閉裝置，能夠?qū)⑸w部更準(zhǔn)確地安裝于容器主體。
[0009]優(yōu)選，容器固定部具有按壓容器主體的按壓部件、和將按壓部件向容器主體施力的施力部件，移動(dòng)部還具有聯(lián)動(dòng)部件，該聯(lián)動(dòng)部件以如下方式動(dòng)作:在實(shí)施上鎖動(dòng)作時(shí)使按壓部件朝克服施力部件的作用力的方向離開容器主體，在實(shí)施開鎖動(dòng)作時(shí)允許施力部件對按壓部件的施力。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，在固定容器主體時(shí)能夠利用施力部件的作用力將按壓部件按壓于容器主體，所以不需要用于固定容器主體的特別的致動(dòng)器等，能夠簡化裝置結(jié)構(gòu)。
[0010]優(yōu)選，容器固定部還具有手柄部，該手柄部的基端側(cè)在裝置主體支承為能夠轉(zhuǎn)動(dòng)且該手柄部的前端側(cè)能夠移動(dòng)，按壓部件是能夠與容器主體彈性抵接的彈性輥，能夠轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝于手柄部的前端側(cè)，施力部件是對上述手柄部的前端側(cè)施力的彈簧，聯(lián)動(dòng)部件是凸輪從動(dòng)件，該凸輪從動(dòng)件固定于該連結(jié)部件上的能夠伴隨著連結(jié)部件的移動(dòng)而與手柄部抵接以及分離的位置，并使手柄部轉(zhuǎn)動(dòng)。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，使容器固定部為能夠轉(zhuǎn)動(dòng)的手柄部，利用凸輪從動(dòng)件使手柄部轉(zhuǎn)動(dòng)，從而能夠使彈性輥對容器主體的按壓動(dòng)作以及按壓的解除動(dòng)作與移動(dòng)部的移動(dòng)聯(lián)動(dòng)。由此，不需要用于使手柄部轉(zhuǎn)動(dòng)的專用的致動(dòng)器等，能夠簡化裝置結(jié)構(gòu)，能夠?qū)崿F(xiàn)節(jié)省電力。
[0011]根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，可提供能夠?qū)⑸w部準(zhǔn)確安裝于容器主體的蓋開閉裝置。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0012]圖1是具備本發(fā)明的一實(shí)施方式的蓋開閉裝置的儲料器的主視圖。
[0013]圖2是儲料器沿圖1的II — II線的剖視圖。
[0014]圖3是儲料器沿圖1的II1-1II線的剖視圖。
[0015]圖4是本發(fā)明的一實(shí)施方式的蓋開閉裝置的縱剖視圖。
[0016]圖5是圖4的蓋開閉裝置的俯視圖。
[0017]圖6是其它狀態(tài)下的圖4的蓋開閉裝置的縱剖視圖。
[0018]圖7是利用圖4的蓋開閉裝置開閉蓋部的箱體的仰視圖。
[0019]圖8是圖7的箱體的鎖機(jī)構(gòu)的放大圖。
[0020]圖9是蓋開閉裝置沿圖4的IX — IX線的剖視圖。
[0021]圖10是容器固定部周圍的放大剖視圖。
[0022]圖11是沿圖9的XI — XI線的剖視圖。
[0023]圖12是沿圖9的XII — XII線的剖視圖。
[0024]圖13是其它狀態(tài)下的圖9的蓋開閉裝置的剖視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0025]以下，參照附圖詳細(xì)說明本發(fā)明的一實(shí)施方式。此外，在各圖中對相同或者相當(dāng)?shù)牟糠謽?biāo)注相同的附圖標(biāo)記并省略重復(fù)的說明。
[0026][儲料器的結(jié)構(gòu)]
[0027]圖1是具備本發(fā)明的一實(shí)施方式的蓋開閉裝置的儲料器的主視圖。圖2是儲料器沿圖1的II 一 II線的剖視圖，圖3是儲料器沿圖1的II1-1II線的剖視圖。如圖1?圖3所示，儲料器50具備中間掩膜用旋轉(zhuǎn)架51和箱體用旋轉(zhuǎn)架52。中間掩膜用旋轉(zhuǎn)架51保管多個(gè)在半導(dǎo)體晶片或者玻璃基板等的表面曝光規(guī)定圖案時(shí)使用的矩形板狀的中間掩膜R。箱體用旋轉(zhuǎn)架52保管多個(gè)空狀態(tài)下的用于收納并輸送中間掩膜R的箱體70。此外，用于保管中間掩膜R的箱體70通常具有遵照半導(dǎo)體等國際標(biāo)準(zhǔn)即SEMI標(biāo)準(zhǔn)的結(jié)構(gòu)。這樣的儲料器50設(shè)置于半導(dǎo)體裝置或者液晶顯示裝置等的制造工廠的潔凈室。
[0028]中間掩膜用旋轉(zhuǎn)架51通過驅(qū)動(dòng)部53而繞軸線CL旋轉(zhuǎn)。中間掩膜用旋轉(zhuǎn)架51具有沿其旋轉(zhuǎn)方向并設(shè)的多個(gè)塊51a。各塊51a能夠在上下多層保管中間掩膜R。箱體用旋轉(zhuǎn)架52在中間掩膜用旋轉(zhuǎn)架51的下側(cè)通過驅(qū)動(dòng)部54而繞軸線CL旋轉(zhuǎn)。箱體用旋轉(zhuǎn)架52能夠沿其旋轉(zhuǎn)方向保管多個(gè)箱體70。
[0029]儲料器50還具備中間掩膜輸送裝置55、箱體輸送裝置56以及蓋開閉裝置I。中間掩膜輸送裝置55是沿升降引導(dǎo)器57升降的機(jī)械臂，并在蓋開閉裝置I與中間掩膜用旋轉(zhuǎn)架51之間輸送中間掩膜R。箱體輸送裝置56是沿升降引導(dǎo)器58升降的機(jī)械臂，并在蓋開閉裝置I與箱體用旋轉(zhuǎn)架52之間輸送空的箱體70。蓋開閉裝置I是被稱為箱體開啟器的裝置，進(jìn)行箱體70的開閉。在蓋開閉裝置I的附近設(shè)置有暫時(shí)保管已收納有中間掩膜R的箱體70以及空的箱體70的箱體用固定架59。
[0030]上述旋轉(zhuǎn)架51、52、驅(qū)動(dòng)部53、54、輸送裝置55、56、固定架59以及蓋開閉裝置I配置于外殼61內(nèi)。在外殼61設(shè)置有例如能夠供頂棚行駛車出入的端口 62、63。收納有中間掩膜R的箱體70經(jīng)由端口 62進(jìn)入外殼61內(nèi)。另一方面，收納有中間掩膜R的箱體70經(jīng)由端口 63輸出至外殼61外。
[0031]在外殼61的上壁設(shè)置有潔凈氣體供給裝置64。潔凈氣體供給裝置64將例如凈化空氣或者氮?dú)獾葷崈魵怏w作為直流式供給至外殼61內(nèi)。供給到外殼61內(nèi)的潔凈氣體從外殼61的下部向外殼61外排出。
[0032]這里，對收納有中間掩膜R的箱體70進(jìn)入的情況下的儲料器50的動(dòng)作進(jìn)行說明。例如若利用頂棚行駛車向端口 62輸送箱體70,則該箱體70被箱體輸送裝置56輸送至蓋開閉裝置I。若箱體70被輸送至蓋開閉裝置1，則收納于該箱體70的中間掩膜R通過中間掩膜輸送裝置55而儲存于中間掩膜用旋轉(zhuǎn)架51。另一方面，殘留于蓋開閉裝置I的空的箱體70通過箱體輸送裝置56儲存于箱體用旋轉(zhuǎn)架52。此外，在多個(gè)箱體70連續(xù)進(jìn)入外殼61內(nèi)的情況下，箱體70被暫時(shí)保管于箱體用固定架59，依次輸送至蓋開閉裝置I。
[0033]接下來，對收納有中間掩膜R的箱體70輸出的情況下的儲料器50的動(dòng)作進(jìn)行說明。若利用中間掩膜輸送裝置55從中間掩膜用旋轉(zhuǎn)架51向蓋開閉裝置I輸送中間掩膜R，則該中間掩膜R收納于被箱體輸送裝置56從箱體用旋轉(zhuǎn)架52輸送到蓋開閉裝置I的空的箱體70。收納有中間掩膜R的箱體70通過箱體輸送裝置56從蓋開閉裝置I輸送至端口63，通過例如頂棚行駛車從端口 63輸送至規(guī)定的輸送目的地。此外，在多個(gè)箱體70連續(xù)輸出至外殼61外的情況下,箱體70被暫時(shí)保管于箱體用固定架59,依次輸送至端口 63。
[0034][蓋開閉裝置的結(jié)構(gòu)]
[0035]圖4是本發(fā)明的一實(shí)施方式的蓋開閉裝置的縱剖視圖，圖5是圖4的蓋開閉裝置的俯視圖。此外，在以下的說明中，將中間掩膜R相對于蓋開閉裝置I導(dǎo)出導(dǎo)入的一側(cè)稱為“前側(cè)”，將其相反的一側(cè)稱為“后側(cè)”。將從前側(cè)觀察處于直立狀態(tài)的蓋開閉裝置I的情況下的左側(cè)簡稱為“左側(cè)”，將從前側(cè)觀察處于直立狀態(tài)的蓋開閉裝置I的情況下的右側(cè)簡稱為“右側(cè)”。
[0036]如圖4以及5所示，蓋開閉裝置I具備立方體箱狀的裝置主體2。裝置主體2具有上壁3、下壁4、側(cè)壁5以及隔壁6。裝置主體2的內(nèi)部空間被隔壁6上下分為中間掩膜導(dǎo)出導(dǎo)入?yún)^(qū)域2a和設(shè)備設(shè)置區(qū)域2b。其中，中間掩膜導(dǎo)出導(dǎo)入?yún)^(qū)域2a與設(shè)備設(shè)置區(qū)域2b在隔壁6的左側(cè)的區(qū)域以及右側(cè)的區(qū)域連通。在上壁3設(shè)置有剖面為矩形的凹部3a，在凹部3a的底面設(shè)置有剖面為矩形的開口 3b。凹部3a的底面成為載置由箱體輸送裝置56輸送來的箱體(收納容器)70的載置面10。此外，箱體70具備收納中間掩膜(被收納物)R的立方體箱狀的容器主體71、和載置中間掩膜R的矩形板狀的蓋部72。蓋部72成為能夠相對于容器主體71開閉的底部。在容器主體71的頂部設(shè)置有供箱體輸送裝置56把持的被把持部73。蓋開閉裝置I是對收納中間掩膜R的箱體70進(jìn)行使蓋部72相對于容器主體71開閉的裝置。
[0037]在裝置主體2內(nèi)配置有在中間掩膜導(dǎo)出導(dǎo)入?yún)^(qū)域2a升降的升降臺7。升降臺7具有矩形板狀的主體部8、和設(shè)置于主體部8的下端部的矩形板狀的凸緣部9。在升降臺7上升時(shí)，主體部8配置于開口 3b內(nèi)，凸緣部9與上壁3的內(nèi)表面抵接。此時(shí)，上壁3的開口 3b由設(shè)置于凸緣部9的矩形環(huán)狀的密封部件11氣密性地封閉，主體部8的上表面8a與載置面10(即，凹部3a的底面)處于同一面。
[0038]在裝置主體2內(nèi)配置有使升降臺7升降的氣缸12。氣缸12具有固定于下壁4的內(nèi)表面的缸體部12a、和基端部插入缸體部12a內(nèi)的桿部12b。桿部12b的前端部經(jīng)由設(shè)置于隔壁6的中央部分且剖面為矩形的開口 6a而固定于升降臺7的下表面。此外，在裝置主體2內(nèi)的設(shè)備設(shè)置區(qū)域2b設(shè)置有用于調(diào)節(jié)氣體相對于氣缸12的導(dǎo)出導(dǎo)入的電磁閥等各種設(shè)備。為了使升降臺7升降，可以使用多個(gè)氣缸，也可以代替氣缸而使用其它致動(dòng)器。
[0039]在裝置主體2的前側(cè)的側(cè)壁5設(shè)置有將外部與裝置主體2內(nèi)的中間掩膜導(dǎo)出導(dǎo)入?yún)^(qū)域2a連通的剖面為矩形的中間掩膜導(dǎo)出導(dǎo)入口 5a。中間掩膜導(dǎo)出導(dǎo)入口 5a通過經(jīng)由氣缸等致動(dòng)器而動(dòng)作的封閉板14從內(nèi)側(cè)進(jìn)行開閉。在利用封閉板14將中間掩膜導(dǎo)出導(dǎo)入口 5a封閉時(shí)，中間掩膜導(dǎo)出導(dǎo)入口 5a由設(shè)置于封閉板14的矩形環(huán)狀的密封部件15氣密性地封閉。
[0040]這里，對收納有中間掩膜R的箱體70進(jìn)入的情況下的蓋開閉裝置I的動(dòng)作進(jìn)行說明。如圖4所示，在上壁3的開口 3b被升降臺7氣密性地封閉、且中間掩膜導(dǎo)出導(dǎo)入口 5a被封閉板14氣密性地封閉的狀態(tài)下，蓋開閉裝置I待機(jī)。在該狀態(tài)下，若被箱體輸送裝置56從端口 62輸送到蓋開閉裝置I的箱體70載置于蓋開閉裝置I的載置面10，則該箱體70的鎖機(jī)構(gòu)通過蓋開閉裝置I而成為開鎖狀態(tài)(詳細(xì)后述)。
[0041]接著，如圖6所示，升降臺7與載置有中間掩膜R的蓋部72 —起下降，將中間掩膜R配置于中間掩膜導(dǎo)出導(dǎo)入?yún)^(qū)域2a。若封閉板14動(dòng)作而使中間掩膜導(dǎo)出導(dǎo)入口 5a開放，則中間掩膜輸送裝置55經(jīng)由中間掩膜導(dǎo)出導(dǎo)入口 5a進(jìn)入中間掩膜導(dǎo)出導(dǎo)入?yún)^(qū)域2a，將配置于中間掩膜導(dǎo)出導(dǎo)入?yún)^(qū)域2a的中間掩膜R儲存于中間掩膜用旋轉(zhuǎn)架51。
[0042]接著，若封閉板14動(dòng)作使中間掩膜導(dǎo)出導(dǎo)入口 5a被封閉板14氣密性地封閉，并且升降臺7與蓋部72 —起上升而使上壁3的開口 3b被升降臺7氣密性地封閉，則載置于蓋開閉裝置I的載置面10的空的箱體70的鎖機(jī)構(gòu)通過蓋開閉裝置I而成為上鎖狀態(tài)(詳細(xì)后述)。鎖機(jī)構(gòu)處于上鎖狀態(tài)的空的箱體70通過箱體輸送裝置56儲存于箱體用旋轉(zhuǎn)架52。
[0043]接下來，對收納有中間掩膜R的箱體70輸出的情況下的儲料器50的動(dòng)作進(jìn)行說明。如圖4所示，在上壁3的開口 3b被升降臺7氣密性地封閉、且中間掩膜導(dǎo)出導(dǎo)入口 5a被封閉板14氣密性地封閉的狀態(tài)下，蓋開閉裝置I待機(jī)。在該狀態(tài)下，若被箱體輸送裝置56從箱體用旋轉(zhuǎn)架52輸送到蓋開閉裝置I的空的箱體70載置于蓋開閉裝置I的載置面10,則該箱體的鎖機(jī)構(gòu)通過蓋開閉裝置I而成為開鎖狀態(tài)(詳細(xì)后述)。
[0044]接著，如圖6所示，升降臺7與蓋部72 —起下降，蓋部72配置于中間掩膜導(dǎo)出導(dǎo)入?yún)^(qū)域2a。若封閉板14動(dòng)作而使中間掩膜導(dǎo)出導(dǎo)入口 5a開放，則從中間掩膜用旋轉(zhuǎn)架51輸送中間掩膜R的中間掩膜輸送裝置55經(jīng)由中間掩膜導(dǎo)出導(dǎo)入口 5a進(jìn)入中間掩膜導(dǎo)出導(dǎo)入?yún)^(qū)域2a，將中間掩膜R載置于在中間掩膜導(dǎo)出導(dǎo)入?yún)^(qū)域2a配置的蓋部72。
[0045]接著，若封閉板14動(dòng)作使中間掩膜導(dǎo)出導(dǎo)入口 5a被封閉板14氣密性地封閉，并且升降臺7與載置有中間掩膜R蓋部72 —起上升而使上壁3的開口 3b被升降臺7氣密性地封閉，則載置于蓋開閉裝置I的載置面10的箱體70的鎖機(jī)構(gòu)通過蓋開閉裝置I而成為上鎖狀態(tài)(詳細(xì)后述)。鎖機(jī)構(gòu)處于上鎖狀態(tài)的箱體70通過箱體輸送裝置56輸送至端口62。
[0046][蓋開閉裝置的鎖開閉機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)]
[0047]在說明蓋開閉裝置I的鎖開閉機(jī)構(gòu)的之前，先說明箱體70的鎖機(jī)構(gòu)。圖7是利用圖4的蓋開閉裝置開閉蓋部的箱體的仰視圖，圖8是圖7的箱體的鎖機(jī)構(gòu)的放大圖。如圖7所示，在箱體70中，容器主體71的底部設(shè)置有多個(gè)鎖機(jī)構(gòu)74。更具體而言，鎖機(jī)構(gòu)74以在容器主體71的前側(cè)的側(cè)壁的底部設(shè)置有一對且在容器主體71的后側(cè)的側(cè)壁的底部設(shè)置有一對的方式，在容器主體71的底部設(shè)置有多個(gè)。鎖機(jī)構(gòu)74進(jìn)行蓋部72相對于容器主體71的上鎖以及開鎖。
[0048]如圖8所示，各鎖機(jī)構(gòu)74具有臂75、和壓縮彈簧等施力部件76。臂75的基端部被軸77軸支承為能夠在容器主體71的底部轉(zhuǎn)動(dòng)。另一方面，在臂75的前端部設(shè)置有卡合部78。卡合部78與設(shè)置于蓋部72的切口部72a卡合。切口部72a以與各鎖機(jī)構(gòu)74的卡合部78對應(yīng)的方式在蓋部72設(shè)置有多個(gè)，并向?qū)?yīng)的卡合部78側(cè)以及下側(cè)開口。此外，在卡合部78設(shè)置有朝下側(cè)開口的長孔狀的凹部78a。該凹部78a與后述的蓋開閉裝置I的卡合部35A?3?卡合。
[0049]施力部件76配置在容器主體71與臂75之間，以使卡合部78與切口部72a卡合的方式對臂75施力。由此，在相對于蓋開閉裝置I輸送箱體70的情況下，使卡合部78與切口部72a卡合，鎖機(jī)構(gòu)74成為上鎖狀態(tài)(參照圖8的(a))。另一方面，在相對于容器主體71裝卸蓋部72的情況下，使卡合部78脫離切口部72a，鎖機(jī)構(gòu)74成為開鎖狀態(tài)(參照圖8的(b))。這樣，鎖機(jī)構(gòu)74進(jìn)行蓋部72相對于容器主體71的上鎖以及開鎖。此外，以上的鎖機(jī)構(gòu)74的結(jié)構(gòu)是一個(gè)例子，在具有符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)等的結(jié)構(gòu)的箱體，只要是能夠進(jìn)行蓋部72相對于容器主體71的上鎖以及開鎖，則也可以是其它結(jié)構(gòu)。
[0050]接下來，說明蓋開閉裝置I的鎖開閉機(jī)構(gòu)。圖9是蓋開閉裝置沿圖4的IX — IX線的剖視圖。如圖9所示，鎖開閉機(jī)構(gòu)(移動(dòng)部)30配置于在上壁3設(shè)置的凹部3c內(nèi)。凹部3c以在開口 3b的周圍部分從前側(cè)部分經(jīng)由右側(cè)部分而到達(dá)后側(cè)部分的方式延伸。
[0051]鎖開閉機(jī)構(gòu)30具有板狀的第一轉(zhuǎn)動(dòng)部件34A、34B、34C、34D、鎖定銷等卡合部35A、35B、35C、35D、板狀的第一連結(jié)部件37A、37B、一對形成為板狀的第二轉(zhuǎn)動(dòng)部件38、板狀的第二連結(jié)部件39、以及氣缸(致動(dòng)器)33。第一轉(zhuǎn)動(dòng)部件34A?34D分別被軸承36支承為能夠在凹部3c的底面轉(zhuǎn)動(dòng)。第一轉(zhuǎn)動(dòng)部件34A?34D以在箱體70載置于蓋開閉裝置I的載置面10時(shí)與該箱體70的各鎖機(jī)構(gòu)74在上下方向?qū)χ玫姆绞脚渲谩?br>
[0052]在前側(cè)(即，箱體70載置于載置面10時(shí)相對于蓋部72位于前側(cè))的第一轉(zhuǎn)動(dòng)部件34A、34B中，卡合部35A、35B相對于軸承36在左側(cè)的位置立設(shè)于第一轉(zhuǎn)動(dòng)部件34A、34B各自的上表面。在前側(cè)的第一轉(zhuǎn)動(dòng)部件34A的下表面，且在相對于軸承36靠右側(cè)的位置立設(shè)有彈簧卡合部42A。另一方面，在后側(cè)(即，箱體70載置于載置面10時(shí)相對于蓋部72位于后側(cè))的第一轉(zhuǎn)動(dòng)部件34C、34D中，卡合部35C、3?相對于軸承36在右側(cè)的位置立設(shè)于第一轉(zhuǎn)動(dòng)部件34C、34D各自的上表面。在后側(cè)的第一轉(zhuǎn)動(dòng)部件34D的下表面，且在相對于軸承36靠左側(cè)的位置立設(shè)有彈簧卡合部42D。
[0053]前側(cè)的第一連結(jié)部件37A是在凹部3c的前側(cè)部分沿左右方向延伸的桿狀的部件，在相對于軸承36靠前側(cè)的位置，能夠轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝于各前側(cè)的一對第一轉(zhuǎn)動(dòng)部件34A、34B。這樣，前側(cè)的第一連結(jié)部件37A將前側(cè)的一對第一轉(zhuǎn)動(dòng)部件34A、34B連結(jié)，使該第一轉(zhuǎn)動(dòng)部件34A、34B轉(zhuǎn)動(dòng)。另一方面，后側(cè)的第一連結(jié)部件37B是在凹部3c的后側(cè)部分沿左右方向延伸的桿狀的部件，在相對于軸承36靠后側(cè)的位置，能夠轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝于各后側(cè)的一對第一轉(zhuǎn)動(dòng)部件34C、34D。這樣，后側(cè)的第一連結(jié)部件37B將后側(cè)的一對第一轉(zhuǎn)動(dòng)部件34C、34D連結(jié)，使該第一轉(zhuǎn)動(dòng)部件34C、34D轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0054]一對第二轉(zhuǎn)動(dòng)部件38各自被軸承41支承為能夠在凹部3c的底面轉(zhuǎn)動(dòng)。在前側(cè)的第二轉(zhuǎn)動(dòng)部件38，且在相對于軸承41靠前側(cè)的位置，能夠轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝有前側(cè)的第一連結(jié)部件37A的右側(cè)端部。這樣，前側(cè)的第一連結(jié)部件37A與前側(cè)的第二轉(zhuǎn)動(dòng)部件38連接。另一方面，在后側(cè)的第二轉(zhuǎn)動(dòng)部件38，且在相對于軸承41靠后側(cè)的位置，能夠轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝有后側(cè)的第一連結(jié)部件37B的右側(cè)端部。這樣，后側(cè)的第一連結(jié)部件37B與后側(cè)的第二轉(zhuǎn)動(dòng)部件38連接。
[0055]第二連結(jié)部件39是在凹部3c的右側(cè)部分沿前后方向延伸的桿狀的部件，在相對于軸承41靠右側(cè)的位置，能夠轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝于各一對第二轉(zhuǎn)動(dòng)部件38。這樣，第二連結(jié)部件39將一對第二轉(zhuǎn)動(dòng)部件38連結(jié)，使該第二轉(zhuǎn)動(dòng)部件38轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0056]氣缸33是對第一連結(jié)部件37A、37B施加驅(qū)動(dòng)力的致動(dòng)器，并配置于第二連結(jié)部件39的下側(cè)。氣缸33具有能夠轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝于裝置主體2的缸體部33a、和基端部插入缸體部33a內(nèi)的桿部33b。桿部33b的前端部能夠轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝于第二連結(jié)部件39的中間部。
[0057]如圖9所示，在上壁3的前側(cè)的緣部附近設(shè)置有容器固定部80A。同樣，在上壁3的后側(cè)的緣部附近設(shè)置有容器固定部80B。以下，詳細(xì)說明容器固定部80A、80B。圖10是容器固定部周圍的放大剖視圖，圖10(a)示出了設(shè)置于前側(cè)的容器固定部，圖10(b)示出了設(shè)置于后側(cè)的容器固定部。圖11是沿圖9的XI — XI線的剖視圖，圖12是沿圖9的XII —XII線的剖視圖。
[0058]如圖10 (a)、圖11以及圖12所示，容器固定部80A具備手柄部81A、彈性輥(按壓部件)82A、彈簧卡合部84A、彈簧(施力部件)85A。手柄部81A的基端側(cè)經(jīng)由隔離物86A連結(jié)于上壁3。此外，隔離物86A從上壁3的前側(cè)的緣部附近朝第一連結(jié)部件37A上延伸，在第一連結(jié)部件37A上能夠轉(zhuǎn)動(dòng)地與手柄部81A的基端側(cè)連結(jié)。此外，手柄部81A與隔離物86A的連結(jié)部分是開口 3b的左右方向的大致中間位置。手柄部81A的前端向左側(cè)延伸。
[0059]彈性輥82A能夠轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝于手柄部81A的前端側(cè)的上表面，并且能夠與容器主體71的外周面彈性抵接。彈簧卡合部84A立設(shè)于手柄部81A的前端的下表面。彈簧85A的一端與立設(shè)于第一轉(zhuǎn)動(dòng)部件34A的下表面的彈簧卡合部42A卡合，另一端與彈簧卡合部84A卡合。彈簧85A向使彈簧卡合部42A與彈簧卡合部84A相互靠近的方向?qū)烧呤┝Α?br>
[0060]這里，在第一連結(jié)部件37A的上表面設(shè)置有凸輪從動(dòng)件(聯(lián)動(dòng)部件)45A，該凸輪從動(dòng)件45A能夠伴隨著第一連結(jié)部件37A的移動(dòng)而與手柄部81A抵接以及分離。在手柄部81A的與凸輪從動(dòng)件45A抵接的部位設(shè)置有凸輪面83A。凸輪從動(dòng)件45A與凸輪面83A抵接，從而以使手柄部81A的前端側(cè)(彈性輥82A側(cè))遠(yuǎn)離開口 3b的方式，使手柄部81A轉(zhuǎn)動(dòng)。具體而言，在第一連結(jié)部件37A向左側(cè)滑動(dòng)時(shí)，凸輪從動(dòng)件45A與凸輪面83A抵接，凸輪從動(dòng)件45A將凸輪面83A向前側(cè)頂出，由此，手柄部81A轉(zhuǎn)動(dòng)。相反，在第一連結(jié)部件37A向右側(cè)滑動(dòng)時(shí)，凸輪從動(dòng)件45A與凸輪面83A分離，通過彈簧85A的作用力，以使手柄部81A的前端側(cè)向開口 3b側(cè)移動(dòng)的方式使手柄部8IA轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0061]另一方面，如圖10(b)所示，與容器固定部80A相同，容器固定部80B具備手柄部818、彈性輥(按壓部件)828、彈簧卡合部848、彈簧(施力部件)85B。手柄部8IB的基端側(cè)經(jīng)由隔離物86B連結(jié)于上壁3。此外，隔離物86B從上壁3的后側(cè)的緣部附近朝第一連結(jié)部件37B上延伸，在第一連結(jié)部件37B上能夠轉(zhuǎn)動(dòng)地與手柄部81B的基端側(cè)連結(jié)。此外，手柄部81B與隔離物86B的連結(jié)部分是開口 3b的左右方向的大致中間位置。手柄部81B的前端向右側(cè)延伸。
[0062]彈性輥82B能夠轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝于手柄部81B的前端側(cè)的上表面，并且能夠與容器主體71的外周面彈性抵接。彈簧卡合部84B立設(shè)于手柄部81B的前端的下表面。彈簧85B的一端與立設(shè)于第一轉(zhuǎn)動(dòng)部件34D的下表面的彈簧卡合部42D卡合，另一端與彈簧卡合部84B卡合。彈簧85B向使彈簧卡合部42D與彈簧卡合部84B相互靠近的方向?qū)烧呤┝Α?br>
[0063]這里，在第一連結(jié)部件37B的上表面設(shè)置有凸輪從動(dòng)件(聯(lián)動(dòng)部件)45B，該凸輪從動(dòng)件45B能夠伴隨著第一連結(jié)部件37B的移動(dòng)而與手柄部81B抵接以及分離。在手柄部81B的與凸輪從動(dòng)件45B抵接的部位設(shè)置有凸輪面83B。凸輪從動(dòng)件45B與凸輪面83B抵接，從而以使手柄部81B的前端側(cè)(彈性輥82B側(cè))遠(yuǎn)離開口 3b的方式使手柄部81B轉(zhuǎn)動(dòng)。具體而言，在第一連結(jié)部件37B向右側(cè)滑動(dòng)時(shí)，凸輪從動(dòng)件45B與凸輪面83B抵接，凸輪從動(dòng)件45B將凸輪面83B向后側(cè)頂出，由此，手柄部81B轉(zhuǎn)動(dòng)。相反，在第一連結(jié)部件37B向左側(cè)滑動(dòng)時(shí)，凸輪從動(dòng)件45B與凸輪面83B分離，通過彈簧85B的作用力，以使手柄部81B的前端側(cè)向開口 3b側(cè)移動(dòng)的方式使手柄部81B轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0064]如圖5所示，各卡合部35A?3?分別經(jīng)由多個(gè)設(shè)置于頂板部3d的長孔狀的開口3e向上側(cè)突出，該頂板部3d成為上壁3的一部分且覆蓋凹部3c。容器固定部80A、80B分別經(jīng)由設(shè)置于頂板部3d的開口 3f、3g向上側(cè)突出。由此，若箱體70載置于蓋開閉裝置I的載置面10，則在上下方向?qū)χ玫目ê喜?5A?35D與該箱體70的各鎖機(jī)構(gòu)74的凹部78a卡合。容器固定部80A、80B的彈性輥82A、82B分別與容器主體71的外周面對置。
[0065]這里，對用于使箱體70的鎖機(jī)構(gòu)74進(jìn)行開鎖的鎖開閉機(jī)構(gòu)30的開鎖動(dòng)作進(jìn)行說明。如圖5所示，在設(shè)置于頂板部3d的長孔狀的各開口 3e中卡合部35A?3?位于內(nèi)側(cè)(即，開口 3b側(cè))、容器固定部80A的彈性輥82A以及容器固定部80B的彈性輥82B位于外側(cè)(S卩，離開開口 3b—側(cè))的狀態(tài)下，鎖開閉機(jī)構(gòu)30待機(jī)。此時(shí)，鎖開閉機(jī)構(gòu)30的第一連結(jié)部件37A、37B、第二連結(jié)部件39以及氣缸33處于圖9所示的狀態(tài)。在該狀態(tài)下，若箱體70載置于蓋開閉裝置I的載置面10，則在上下方向?qū)χ玫目ê喜?5A?35D與該箱體70中處于上鎖狀態(tài)的各鎖機(jī)構(gòu)74的凹部78a(參照圖8的(a))卡合。
[0066]接著，如圖13所示，在鎖開閉機(jī)構(gòu)30中，相對于缸體部33a進(jìn)行氣體的導(dǎo)出導(dǎo)入從而使桿部33b向后側(cè)滑動(dòng)。由此，前側(cè)的第二轉(zhuǎn)動(dòng)部件38向俯視逆時(shí)針方向轉(zhuǎn)動(dòng)，使前側(cè)的第一連結(jié)部件37A向右側(cè)移動(dòng)。進(jìn)而，前側(cè)的第一轉(zhuǎn)動(dòng)部件34A、34B向俯視逆時(shí)針方向轉(zhuǎn)動(dòng)，使卡合部35A、35B向前側(cè)移動(dòng)。另一方面，后側(cè)的第二轉(zhuǎn)動(dòng)部件38向俯視逆時(shí)針方向轉(zhuǎn)動(dòng)，使后側(cè)的第一連結(jié)部件37B向左側(cè)移動(dòng)。進(jìn)而，后側(cè)的一對第一轉(zhuǎn)動(dòng)部件34C、34D向俯視逆時(shí)針方向轉(zhuǎn)動(dòng)，使卡合部35A?35D向后側(cè)移動(dòng)。即，在設(shè)置于頂板部3d的長孔狀的各開口 3e成為卡合部35A?3?位于外側(cè)(即，與開口 3b相反的一側(cè))的狀態(tài)。由此，在箱體70的鎖機(jī)構(gòu)74中，卡合部78脫離切口部72a，鎖機(jī)構(gòu)74成為開鎖狀態(tài)(參照圖8的(b))，能夠從容器主體71取下蓋部72。
[0067]使前側(cè)的第一連結(jié)部件37A向右側(cè)移動(dòng)，第一轉(zhuǎn)動(dòng)部件34A向俯視逆時(shí)針方向轉(zhuǎn)動(dòng)，從而借助與彈簧卡合部42A卡合的彈簧85A的作用力使手柄部81A的前端側(cè)(安裝有彈性輥82A—側(cè))向開口 3b側(cè)移動(dòng)。此時(shí)，凸輪從動(dòng)件45A離開凸輪面83A，所以允許手柄部8IA的前端側(cè)向開口 3b側(cè)移動(dòng)。另一方面，使后側(cè)的第一連結(jié)部件37B向左側(cè)移動(dòng)，第一轉(zhuǎn)動(dòng)部件34D向俯視逆時(shí)針方向轉(zhuǎn)動(dòng)，從而借助與彈簧卡合部42D卡合的彈簧85B的作用力使手柄部81B的前端側(cè)(安裝有彈性輥82B—側(cè))向開口 3b側(cè)移動(dòng)。此時(shí)，凸輪從動(dòng)件45B離開凸輪面83B，所以允許手柄部81B的前端側(cè)向開口 3b側(cè)移動(dòng)。
[0068]即，與鎖開閉機(jī)構(gòu)30的開鎖動(dòng)作聯(lián)動(dòng)地使彈性輥82A、82B向開口 3b側(cè)移動(dòng)，從而容器主體71的外周面被彈性輥82A、82B夾住，容器主體71相對于裝置主體2固定。此外，通過彈簧85A、85B的作用力進(jìn)行彈性輥82A、82B對容器主體71的固定。因此，即使容器主體71的大小產(chǎn)生了差別，也能夠很好地固定容器主體71。
[0069]接下來，對用于使箱體70的鎖機(jī)構(gòu)74進(jìn)行上鎖的鎖開閉機(jī)構(gòu)30的上鎖動(dòng)作進(jìn)行說明。在設(shè)置于頂板部3d的長孔狀的各開口 3e中卡合部35A?3?位于外側(cè)(S卩，與開口 3b相反的一側(cè))的狀態(tài)下，鎖開閉機(jī)構(gòu)30待機(jī)。此時(shí)，鎖開閉機(jī)構(gòu)30的第一連結(jié)部件37A、37B、第二連結(jié)部件39以及氣缸33處于圖13所示的狀態(tài)。成為在上下方向?qū)χ玫目ê喜?5A?35D與該箱體70中處于開鎖狀態(tài)的各鎖機(jī)構(gòu)74的凹部78a(參照圖8的(b))卡合的狀態(tài)。
[0070]在該狀態(tài)下，若蓋部72安裝于容器主體71，則如圖9所示，在鎖開閉機(jī)構(gòu)30中，相對于缸體部33a進(jìn)行氣體的導(dǎo)出導(dǎo)入從而使桿部33b向前側(cè)滑動(dòng)。由此，前側(cè)的第二轉(zhuǎn)動(dòng)部件38向俯視順時(shí)針方向轉(zhuǎn)動(dòng)，使前側(cè)的第一連結(jié)部件37A向左側(cè)移動(dòng)。而且，前側(cè)的一對第一轉(zhuǎn)動(dòng)部件34A、34B向俯視順時(shí)針方向轉(zhuǎn)動(dòng)，使卡合部35A、35B向后側(cè)移動(dòng)。另一方面，后側(cè)的第二轉(zhuǎn)動(dòng)部件38向俯視順時(shí)針方向轉(zhuǎn)動(dòng)，使后側(cè)的第一連結(jié)部件37B向右側(cè)移動(dòng)。而且，后側(cè)的一對第一轉(zhuǎn)動(dòng)部件34C、34D向俯視順時(shí)針方向轉(zhuǎn)動(dòng)，使卡合部35C、35D向前側(cè)移動(dòng)。即，如圖5所示，在設(shè)置于頂板部3d的長孔狀的各開口 3e中卡合部35A?35D成為位于內(nèi)側(cè)(即，開口 3b側(cè))的狀態(tài)。由此，在箱體70的鎖機(jī)構(gòu)74中，卡合部78與切口部72a卡合，鎖機(jī)構(gòu)74成為上鎖狀態(tài)(參照圖8的(a))。
[0071]使前側(cè)的第一連結(jié)部件37A向左側(cè)移動(dòng)，第一轉(zhuǎn)動(dòng)部件34A向俯視順時(shí)針方向轉(zhuǎn)動(dòng)，從而解除彈簧85A對手柄部81A的前端側(cè)(安裝有彈性輥82A—側(cè))的施力。而且，隨著第一連結(jié)部件37A向左側(cè)移動(dòng)，凸輪從動(dòng)件45A與容器固定部80A的凸輪面83A抵接，凸輪從動(dòng)件45A將手柄部81A的前端側(cè)向克服彈簧85A的作用力的方向(前側(cè))頂出。由此，解除彈性輥82A對容器主體71的固定。另一方面，使后側(cè)的第一連結(jié)部件37B向右側(cè)移動(dòng)，第一轉(zhuǎn)動(dòng)部件34D向俯視順時(shí)針方向轉(zhuǎn)動(dòng)，從而解除彈簧85B對手柄部81B的前端側(cè)(安裝有彈性輥82B —側(cè))的施力。而且，隨著第一連結(jié)部件37B向右側(cè)移動(dòng)，凸輪從動(dòng)件45B與容器固定部80B的凸輪面83B抵接，凸輪從動(dòng)件45B將手柄部81B的前端側(cè)向克服彈簧85B的作用力的方向(后側(cè))頂出。由此，解除彈性輥82B對容器主體71的固定。
[0072]如以上說明那樣，在蓋開閉裝置I中，在使鎖開閉機(jī)構(gòu)30的第一連結(jié)部件37A、37B等移動(dòng)而進(jìn)行箱體70的鎖機(jī)構(gòu)74的開鎖的情況下，與第一連結(jié)部件37A、37B聯(lián)動(dòng)，容器固定部80A、80B將容器主體71固定于裝置主體2。這樣，與鎖機(jī)構(gòu)74的開鎖動(dòng)作聯(lián)動(dòng)地將容器主體71固定于裝置主體2，所以例如在鎖機(jī)構(gòu)74為開鎖狀態(tài)時(shí)安裝蓋部72的情況下，也能夠抑制容器主體71抬起以及蓋部72錯(cuò)位等的產(chǎn)生。因此，根據(jù)該蓋開閉裝置1，能夠?qū)⑸w部72準(zhǔn)確地安裝于容器主體71。
[0073]分別在第一轉(zhuǎn)動(dòng)部件34A?34D設(shè)置卡合部35A?35D，利用第一連結(jié)部件37A、37B、第二轉(zhuǎn)動(dòng)部件38以及第二連結(jié)部件39連結(jié)第一轉(zhuǎn)動(dòng)部件34A?34D。由此，能夠使設(shè)置于第一轉(zhuǎn)動(dòng)部件34A?34D的卡合部35A?3?在同一時(shí)刻動(dòng)作。因此，能夠同時(shí)進(jìn)行與多個(gè)卡合部35A?3?對應(yīng)設(shè)置的多個(gè)鎖機(jī)構(gòu)74的開鎖動(dòng)作以及上鎖動(dòng)作。由此，能夠抑制多個(gè)鎖機(jī)構(gòu)74的開鎖動(dòng)作以及上鎖動(dòng)作產(chǎn)生差別而引起例如容器主體71抬起以及蓋部72錯(cuò)位等。因此，根據(jù)該蓋開閉裝置1，能夠?qū)⑸w部72更準(zhǔn)確地安裝于容器主體71。
[0074]在容器固定部80A、80B對容器主體71進(jìn)行固定時(shí)，能夠利用彈簧85A、85B的作用力將彈性輥82A、82B向容器主體71按壓，所以不需要用于固定容器主體71的特別的致動(dòng)器等，能夠簡化裝置結(jié)構(gòu)。
[0075]使容器固定部80A、80B的手柄部81A、81B能夠轉(zhuǎn)動(dòng)，利用凸輪從動(dòng)件45A、45B使手柄部81A，81B轉(zhuǎn)動(dòng)，從而能夠使彈性輥82A、82B對容器主體71的按壓動(dòng)作以及按壓的解除動(dòng)作與第一連結(jié)部件37A、37B的移動(dòng)聯(lián)動(dòng)。由此，不需要用于使手柄部81A、81B轉(zhuǎn)動(dòng)的專用的致動(dòng)器等，能夠簡化裝置結(jié)構(gòu)，并能夠?qū)崿F(xiàn)節(jié)省電力。
[0076]以上，說明了本發(fā)明的一實(shí)施方式，但本發(fā)明不限定于上述實(shí)施方式。例如，本發(fā)明的蓋開閉裝置的對象不限定于收納中間掩膜R的箱體70，也可以是收納其它被收納物的其它收納容器。作為對鎖開閉機(jī)構(gòu)30施加驅(qū)動(dòng)力的致動(dòng)器，可以使用除氣缸33以外的致動(dòng)器。上述所有結(jié)構(gòu)的形狀或者材料不限定上述情況，能夠采用各種形狀或者材料。本發(fā)明的連結(jié)部件不限定于上述桿狀的部件。連結(jié)部件是線等其它連結(jié)部件也能夠?qū)崿F(xiàn)與上述相同的動(dòng)作機(jī)構(gòu)。使轉(zhuǎn)動(dòng)部件34A?34D和38的轉(zhuǎn)動(dòng)方向以及連結(jié)部件37A、37B和39的移動(dòng)方向是與上述的情況相反方向也能夠?qū)崿F(xiàn)鎖開閉機(jī)構(gòu)30的開鎖動(dòng)作以及上鎖動(dòng)作。
[0077]工業(yè)上利用的可能性
[0078]根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，可提供能夠?qū)⑸w部準(zhǔn)確安裝于容器主體的蓋開閉裝置。
[0079]附圖標(biāo)記的說明
[0080]I...蓋開閉裝置，2...裝置主體，30...鎖開閉機(jī)構(gòu)(移動(dòng)部)，33…氣缸(致動(dòng)器)，34A?34D…第一轉(zhuǎn)動(dòng)部件(轉(zhuǎn)動(dòng)部件)，35A?3?…卡合部，37A、37B…第一連結(jié)部件(連結(jié)部件)，38…第二轉(zhuǎn)動(dòng)部件，39…第二連結(jié)部件，45A、45B...凸輪從動(dòng)件(聯(lián)動(dòng)部件)，70…箱體(收納容器)，71…容器主體，72…蓋部，74...鎖機(jī)構(gòu)，80A、80B…容器固定部，85A、85B…彈簧(施力部件)，R...中間掩膜(被收納物)。
【權(quán)利要求】
1.一種蓋開閉裝置，對具備收納被收納物的容器主體、成為能夠相對于所述容器主體開閉的底部且載置所述被收納物的蓋部、以及進(jìn)行所述蓋部相對于所述容器主體的開鎖以及上鎖的鎖機(jī)構(gòu)的收納容器，進(jìn)行所述蓋部相對于所述容器主體的開閉，所述蓋開閉裝置的特征在于，具備: 裝置主體，其載置所述收納容器； 移動(dòng)部，其具有在所述收納容器載置于所述裝置主體時(shí)與所述鎖機(jī)構(gòu)卡合的卡合部，該移動(dòng)部通過使所述卡合部移動(dòng)而進(jìn)行用于使所述鎖機(jī)構(gòu)實(shí)施所述開鎖的開鎖動(dòng)作、以及用于使所述鎖機(jī)構(gòu)實(shí)施所述上鎖的上鎖動(dòng)作；以及 容器固定部，在使所述鎖機(jī)構(gòu)實(shí)施所述開鎖的情況下，該容器固定部與所述移動(dòng)部聯(lián)動(dòng)而將所述容器主體固定于所述裝置主體。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蓋開閉裝置，其特征在于， 所述移動(dòng)部還具有: 多個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)部件，所述轉(zhuǎn)動(dòng)部件具有所述卡合部，并且在所述裝置主體支承為能夠轉(zhuǎn)動(dòng)而使所述卡合部移動(dòng)； 連結(jié)部件，其至少將一對所述轉(zhuǎn)動(dòng)部件連結(jié)并使所述轉(zhuǎn)動(dòng)部件轉(zhuǎn)動(dòng)；以及 致動(dòng)器，其安裝于所述裝置主體，對所述連結(jié)部件施加驅(qū)動(dòng)力， 所述容器固定部與所述連結(jié)部件的移動(dòng)聯(lián)動(dòng)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的蓋開閉裝置，其特征在于， 所述容器固定部具有按壓所述容器主體的按壓部件、和將所述按壓部件向所述容器主體施力的施力部件， 所述移動(dòng)部還具有聯(lián)動(dòng)部件，該聯(lián)動(dòng)部件以如下方式動(dòng)作:在實(shí)施所述上鎖動(dòng)作時(shí)使所述按壓部件朝克服所述施力部件的作用力的方向離開所述容器主體，在實(shí)施所述開鎖動(dòng)作時(shí)允許所述施力部件對所述按壓部件的施力。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的蓋開閉裝置，其特征在于， 所述容器固定部還具有手柄部，該手柄部的基端側(cè)在所述裝置主體支承為能夠轉(zhuǎn)動(dòng)且該手柄部的前端側(cè)能夠移動(dòng)， 所述按壓部件是能夠與所述容器主體彈性抵接的彈性輥，且能夠轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝于所述手柄部的前端側(cè)， 所述施力部件是對所述手柄部的前端側(cè)施力的彈簧， 所述聯(lián)動(dòng)部件是凸輪從動(dòng)件，該凸輪從動(dòng)件固定于該連結(jié)部件上的能夠伴隨著所述連結(jié)部件的移動(dòng)而與所述手柄部抵接以及分離的位置，并使所述手柄部轉(zhuǎn)動(dòng)。
【文檔編號】H01L21/677GK104380455SQ201380030404
【公開日】2015年2月25日 申請日期:2013年4月17日 優(yōu)先權(quán)日:2012年6月14日
【發(fā)明者】深谷師康 申請人:村田機(jī)械株式會社