液態(tài)微機(jī)電系統(tǒng)部件及其射頻應(yīng)用的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種液態(tài)微機(jī)電系統(tǒng)部件及其射頻應(yīng)用。本發(fā)明公開了一種無線電電路，包括：前端模塊，板，液態(tài)MEMS部件，以及耦接部件。前端模塊被實(shí)現(xiàn)在至少一個(gè)集成電路（IC）晶方上，并且包括可變電路。對于無線電電路的給定操作情況，可變電路可調(diào)整以有助于前端模塊的操作調(diào)整。板支撐液態(tài)微機(jī)電系統(tǒng)部件并且至少間接地支撐該至少一個(gè)集成電路晶方。耦接部件將液態(tài)MEMS部件電氣耦接至可變電路，其中，基于控制信號，液態(tài)MEMS部件的一個(gè)或多個(gè)特性被改變，從而調(diào)整可變電路。
【專利說明】液態(tài)微機(jī)電系統(tǒng)部件及其射頻應(yīng)用
[0001]相關(guān)專利的交叉引用
[0002]本申請要求于2012年9月10日提交的題為“Liquid Micro Electro MechanicalSystems (MEMS) Devices and Applications” 的美國臨時(shí)專利申請第 61/699，183 號的優(yōu)先權(quán)，以及于2012年10月31日提交的美國申請第13/665，605號的優(yōu)先權(quán)，并且其全部內(nèi)
容結(jié)合于此作為參考。
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0003]本發(fā)明總體上涉及無線電通信，更具體地，涉及利用一個(gè)或多個(gè)液態(tài)MEMS部件的無線通信設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0004]射頻(RF)通信設(shè)備按照一個(gè)或多個(gè)通信協(xié)議或標(biāo)準(zhǔn)來有助于在一個(gè)或多個(gè)頻帶中進(jìn)行無線通信是眾所周知的。為了適應(yīng)多種通信協(xié)議或標(biāo)準(zhǔn)，RF通信設(shè)備包括RF通信設(shè)備的每個(gè)部(例如，基帶處理，RF接收器，RF發(fā)射器，天線接口)的多種版本(每種用于一個(gè)協(xié)議)和/或包括可編程部。例如，RF通信設(shè)備可以包括可編程基帶部，多個(gè)RF接收器部，多個(gè)RF發(fā)射器部，以及可編程天線接口。
[0005]為了提供RF通信設(shè)備可編程部的至少某些可編程能力，該部包括一個(gè)或多個(gè)可編程電路，其中可編程能力經(jīng)由基于開關(guān)的電路元件組(例如，電容器，電感器，電阻器)實(shí)現(xiàn)。例如，選擇基于開關(guān)的電容器組和基于開關(guān)的電感器組的各種組合產(chǎn)生各種諧振電路，其能夠被用于濾波器(作為放大器中的負(fù)載等)。RF技術(shù)的新發(fā)展是使用集成電路(IC)微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)開關(guān)來提供基于開關(guān)的電路元件組的開關(guān)。
[0006]關(guān)于IC MEMS開關(guān)的問題包括最小接觸面積(這產(chǎn)生過熱點(diǎn))，電觸點(diǎn)彈跳(這限制冷切換的使用)以及受限的使用壽命。針對這些問題，射頻技術(shù)的新發(fā)展是采用IC實(shí)現(xiàn)的液態(tài)RF MEMS開關(guān)(這也稱為電化學(xué)潤濕開關(guān))。隨著IC制造技術(shù)的不斷發(fā)展以及IC晶方(die)以及IC上制造的部件的尺寸降低，IC實(shí)現(xiàn)的液態(tài)RF MEMS開關(guān)可能具有受限的應(yīng)用。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，提供了一種無線電電路，包括:前端模塊，實(shí)現(xiàn)在至少一個(gè)集成電路(IC)晶方上，所述前端模塊包括可變電路，其中，所述可變電路是可調(diào)整的以針對所述無線電電路的給定操作情況實(shí)現(xiàn)所述前端模塊的操作調(diào)整；板，支撐一個(gè)或多個(gè)液態(tài)微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)部件以及至少間接地支撐所述至少一個(gè)集成電路晶方；以及耦接部件，將所述一個(gè)或多個(gè)液態(tài)微機(jī)電系統(tǒng)部件電氣耦接至所述可變電路，其中，基于控制信號所述一個(gè)或多個(gè)液態(tài)微機(jī)電系統(tǒng)部件的一個(gè)或多個(gè)特性被改變，所述改變調(diào)整所述可變電路。
[0008]優(yōu)選地，無線電電路，其中，所述一個(gè)或多個(gè)液態(tài)微機(jī)電系統(tǒng)部件中的液態(tài)微機(jī)電系統(tǒng)部件包括:通道，在所述板的一個(gè)或多個(gè)層中或在第二板的一個(gè)或多個(gè)層中；所述液態(tài)微機(jī)電系統(tǒng)部件的一個(gè)或多個(gè)導(dǎo)電元件；微滴，包含在所述通道中；以及微滴致動模塊，基于所述控制信號可操作地相對于所述一個(gè)或多個(gè)導(dǎo)電元件改變所述微滴從而改變所述液態(tài)微機(jī)電系統(tǒng)部件的所述一個(gè)或多個(gè)特性。
[0009]優(yōu)選地，無線電電路，其中，所述微滴致動模塊包括以下各項(xiàng)中的至少一項(xiàng):電場源；磁場源；熱源；壓縮源；以及膨脹源。
[0010]優(yōu)選地，無線電電路，其中，所述微滴包括以下各項(xiàng)中的至少一項(xiàng):導(dǎo)電微滴；液體絕緣微滴；響應(yīng)于所述微滴致動模塊的操作而膨脹的膨脹液態(tài)微滴；響應(yīng)于所述微滴致動模塊的操作而收縮的收縮液態(tài)微滴；響應(yīng)于所述微滴致動模塊的操作而被排斥的排斥液態(tài)微滴；以及響應(yīng)于所述可微滴致動模塊的操作而被吸引的吸引液態(tài)微滴。
[0011]優(yōu)選地，無線電電路，其中，所述通道包括以下各項(xiàng)中的至少一項(xiàng):在所述通道的至少一個(gè)內(nèi)表面上的導(dǎo)電涂層；在所述通道的一個(gè)或多個(gè)內(nèi)表面上的絕緣涂層；以及在所述板的另一個(gè)層中的蓋子。
[0012]優(yōu)選地，無線電電路，其中，所述液態(tài)微機(jī)電系統(tǒng)部件進(jìn)一步包括:在所述通道內(nèi)的氣體，其中，在所述微滴致動模塊操作時(shí)所述氣體有助于改變所述微滴。
[0013]優(yōu)選地，無線電電路，其中，所述板包括以下各項(xiàng)中的至少一項(xiàng):印刷電路板(PCB);集成電路(IC)封裝基板；PCB或IC封裝基板的重分布層(RDL)。
[0014]優(yōu)選地，無線電電路，其中，所述前端模塊包括以下各項(xiàng)中的至少一項(xiàng):包括功率放大器可變電路的功率放大器(PA);包括接收器-發(fā)射器可變電路的接收器-發(fā)射器(RX-TX)隔離模塊；包括濾波可變電路的射頻(RF)濾波器；包括天線調(diào)諧單元可變電路的天線調(diào)諧單元(ATU);以及頻帶(FB)開關(guān)，其中，所述可變電路包括以下各項(xiàng)之一:所述功率放大器可變電路、所述接收器-發(fā)射器可變電路、所述濾波可變電路以及所述天線調(diào)諧單元可變電路，以及其中，所述前端模塊的操作調(diào)整包括以下各項(xiàng)之一:模式選擇、天線調(diào)諧單元調(diào)諧、接收器-發(fā)射器隔離調(diào)諧、射頻濾波器調(diào)諧、以及功率放大器配置。
[0015]優(yōu)選地，無線電電路，其中，所述液態(tài)微機(jī)電系統(tǒng)部件包括以下各項(xiàng)中的至少一項(xiàng):液態(tài)微機(jī)電系統(tǒng)開關(guān)；液態(tài)微機(jī)電系統(tǒng)電容器；液態(tài)微機(jī)電系統(tǒng)電感器；以及液態(tài)微機(jī)電系統(tǒng)電阻器。
[0016]優(yōu)選地，無線電電路，其中，所述耦接部件包括以下各項(xiàng)中的至少一項(xiàng):有線連接；成對的無線發(fā)射器和接收器；以及插入機(jī)構(gòu)基板。
[0017]根據(jù)本發(fā)明的另一方面，提供了一種連同集成電路(IC)晶方使用的液態(tài)微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)部件，所述液態(tài)微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)部件包括:通道；一個(gè)或多個(gè)導(dǎo)電元件，被定位為鄰近所述通道；微滴，包含在所述通道中；以及微滴致動模塊，基于所述控制信號，所述微滴致動模塊可操作地相對于所述一個(gè)或多個(gè)導(dǎo)電元件改變所述微滴從而改變所述液態(tài)微機(jī)電系統(tǒng)部件的一個(gè)或多個(gè)特性；以及板，支撐所述通道并且支撐所述集成電路晶方。
[0018]優(yōu)選地，液態(tài)微機(jī)電系統(tǒng)部件，其中，所述微滴致動模塊包括以下各項(xiàng)中的至少一項(xiàng):電場源；磁場源；熱源；壓縮源；以及膨脹源。
[0019]優(yōu)選地，液態(tài)微機(jī)電系統(tǒng)部件，其中，所述微滴包括以下各項(xiàng)中的至少一項(xiàng):導(dǎo)電微滴；液體絕緣微滴；響應(yīng)于所述微滴致動模塊的操作而膨脹的膨脹液態(tài)微滴；響應(yīng)于所述微滴致動模塊的操作而收縮的收縮液態(tài)微滴；響應(yīng)于所述微滴致動模塊的操作而被排斥的排斥液態(tài)微滴；以及響應(yīng)于所述可微滴致動模塊的操作而被吸引的吸引液態(tài)微滴。
[0020]優(yōu)選地，液態(tài)微機(jī)電系統(tǒng)部件，其中，所述通道包括以下各項(xiàng)中的至少一項(xiàng):在所述通道的至少一個(gè)內(nèi)表面上的導(dǎo)電涂層；在所述通道的一個(gè)或多個(gè)內(nèi)表面上的絕緣涂層；以及在所述板的另一個(gè)層中的蓋子。
[0021]優(yōu)選地，液態(tài)微機(jī)電系統(tǒng)部件，其中，所述板包括以下各項(xiàng)中的至少一項(xiàng):印刷電路板(PCB);集成電路(IC)封裝基板；PCB或IC封裝基板的重分布層(RDL)。
[0022]優(yōu)選地，液態(tài)微機(jī)電系統(tǒng)部件，進(jìn)一步包括:耦接部件，將所述液態(tài)微機(jī)電系統(tǒng)部件電氣耦接至所述集成電路晶方，其中所述耦接部件包括以下各項(xiàng)中的至少一項(xiàng):有線連接；成對的無線發(fā)射器和接收器；及插入機(jī)構(gòu)基板。
[0023]根據(jù)本發(fā)明的又一方面，一種無線電電路，包括:雙工器，其中，所述雙工器的第一連接用于耦接至天線；功率放大器，可操作地耦接至所述雙工器的第二連接；公共模式感測電路，可操作地耦接至所述雙工器的第三連接和第四連接；以及平衡網(wǎng)絡(luò)，可操作地耦接至所述雙工器的第五連接，其中，所述平衡網(wǎng)絡(luò)包括液態(tài)微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)部件，其中，所述微機(jī)電系統(tǒng)部件基于控制信號而改變，以便調(diào)整所述平衡網(wǎng)絡(luò)的一個(gè)或多個(gè)特性，使得所述雙工器被調(diào)諧以改善經(jīng)由所述天線收發(fā)的入站射頻(RF)信號與出站射頻信號之間的隔離，其中，所述液態(tài)微機(jī)電系統(tǒng)部件包括:通道；一個(gè)或多個(gè)導(dǎo)電元件，被定位為鄰近所述通道；微滴，包含在所述通道中；以及微滴致動模塊，基于所述控制信號，所述微滴致動模塊可操作地相對于所述一個(gè)或多個(gè)導(dǎo)電兀件改變所述微滴從而改變所述液態(tài)微機(jī)電系統(tǒng)部件的一個(gè)或多個(gè)特性；以及板，支撐所述通道并且支撐至少包括所述公共模式感測電路的集成電路(IC)晶方。
[0024]優(yōu)選地，無線電電路，進(jìn)一步包括:檢測器，可操作地基于所述公共模式感測電路的輸出來產(chǎn)生公共模式誤差信號；調(diào)諧引擎，基于所述公共模式誤差信號生成所述控制信號；低噪聲放大器，耦接至所述雙工器的所述第三連接和第四連接；以及天線調(diào)諧單元(ATU)，耦接至所述雙工器的所述第一連接。
[0025]優(yōu)選地，無線電電路，其中，所述平衡網(wǎng)絡(luò)包括以下各項(xiàng)中的至少一項(xiàng):小信號平衡網(wǎng)絡(luò)，包括多個(gè)液態(tài)微機(jī)電系統(tǒng)開關(guān)，其中，所述多個(gè)液態(tài)微機(jī)電系統(tǒng)開關(guān)包括液態(tài)微機(jī)電系統(tǒng)部件；以及大信號平衡網(wǎng)絡(luò)，包括電阻-電感-電容(RLC)網(wǎng)絡(luò)和多個(gè)液態(tài)微機(jī)電系統(tǒng)開關(guān)。
[0026]優(yōu)選地，無線電電路，其中，所述平衡網(wǎng)絡(luò)包括:一個(gè)或多個(gè)液態(tài)微機(jī)電系統(tǒng)電阻器；一個(gè)或多個(gè)液態(tài)微機(jī)電系統(tǒng)電容器；以及一個(gè)或多個(gè)液態(tài)微機(jī)電系統(tǒng)電感器，稱接至所述一個(gè)或多個(gè)液態(tài)微機(jī)電系統(tǒng)電阻器和所述一個(gè)或多個(gè)液態(tài)微機(jī)電系統(tǒng)電容器以便產(chǎn)生電阻-電感-電容(RLC)網(wǎng)絡(luò)，其中，所述一個(gè)或多個(gè)液態(tài)微機(jī)電系統(tǒng)電阻器、所述一個(gè)或多個(gè)液態(tài)微機(jī)電系統(tǒng)電容器和所述一個(gè)或多個(gè)液態(tài)微機(jī)電系統(tǒng)電感器包括所述液態(tài)微機(jī)電系統(tǒng)部件。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0027]圖1是根據(jù)本發(fā)明的無線電電路的實(shí)施方式的示意性框圖；
[0028]圖2是根據(jù)本發(fā)明的前端模塊的實(shí)施方式的示意性框圖；
[0029]圖3是根據(jù)本發(fā)明的天線調(diào)諧單元的實(shí)施方式的示意性框圖；[0030]圖4是根據(jù)本發(fā)明的功率放大器的實(shí)施方式的示意性框圖；
[0031]圖5是根據(jù)本發(fā)明的濾波器的實(shí)施方式的示意性框圖；
[0032]圖6是根據(jù)本發(fā)明的開關(guān)電路元件組的實(shí)施方式的示意性框圖；
[0033]圖7是根據(jù)本發(fā)明的液態(tài)微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)部件的實(shí)施方式的示意性框圖；
[0034]圖8和圖9是根據(jù)本發(fā)明的液態(tài)MEMS開關(guān)的實(shí)施方式的示意性框圖；
[0035]圖10是根據(jù)本發(fā)明的液態(tài)MEMS電容器的實(shí)施方式的示意性框圖；
[0036]圖11是根據(jù)本發(fā)明的液態(tài)MEMS電感器或變壓器的實(shí)施方式的示意性框圖；
[0037]圖12是根據(jù)本發(fā)明的液態(tài)MEMS電阻器的實(shí)施方式的示意性框圖；
[0038]圖13是根據(jù)本發(fā)明的無線電電路的另一個(gè)實(shí)施方式的示意性框圖；
[0039]圖14是根據(jù)本發(fā)明的無線電電路的另一個(gè)實(shí)施方式的示意性框圖；
[0040]圖15是根據(jù)本發(fā)明的無線電電路的另一個(gè)實(shí)施方式的示意性框圖；
[0041]圖16是根據(jù)本發(fā)明的前端模塊的另一個(gè)實(shí)施方式的示意性框圖；
[0042]圖17是根據(jù)本發(fā)明的平衡網(wǎng)絡(luò)的實(shí)施方式的示意性框圖；
[0043]圖18是根據(jù)本發(fā)明的平衡網(wǎng)絡(luò)的另一個(gè)實(shí)施方式的示意性框圖；以及
[0044]圖19是根據(jù)本發(fā)明的平衡網(wǎng)絡(luò)的另一個(gè)實(shí)施方式的示意性框圖。
【具體實(shí)施方式】
[0045]圖1是可用于便攜式計(jì)算通信設(shè)備中的無線電電路10的實(shí)施方式的示意性框圖。便攜式計(jì)算通信設(shè)備可以是人攜帶在身上、可以至少部分由電池供電的任何設(shè)備，包括無線電收發(fā)器(例如，射頻(RF)和/或毫米波(MMW))，并且執(zhí)行一個(gè)或多個(gè)軟件應(yīng)用程序。例如，便攜式計(jì)算通信設(shè)備可以是蜂窩電話，筆記本電腦，個(gè)人數(shù)字助理，視頻游戲機(jī)，視頻游戲播放器，個(gè)人娛樂單元，平板電腦等。
[0046]如圖所示，無線電電路10包括集成電路(IC) 14，板16，以及耦接部件20。集成電路14包括一個(gè)或多個(gè)晶方(dies)，在其上實(shí)現(xiàn)前端模塊12。前端模塊12包括至少一個(gè)可變電路22。板16至少間接地支持IC14，并且包括一個(gè)或多個(gè)液態(tài)微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)部件。
[0047]在操作的示例中，前端模塊12耦接至可包括一個(gè)或多個(gè)天線、天線陣列等的天線結(jié)構(gòu)(未示出)。前端模塊12還被耦接至便攜式計(jì)算通信設(shè)備的接收器部(未示出)以及便攜式計(jì)算通信設(shè)備的發(fā)射器部(未示出)。對于無線電電路10的給定操作條件，經(jīng)由控制信號24改變液態(tài)MEMS部件的一個(gè)或多個(gè)特性。通過改變液態(tài)MEMS部件，可變電路22被調(diào)整，這調(diào)整了前端模塊12的操作。
[0048]作為更具體的示例，無線電電路10的操作條件是模式改變(例如，從根據(jù)一種無線通信協(xié)議的一操作模式改變至根據(jù)另一無線通信協(xié)議的另一操作模式)。在該具體示例中，操作的頻帶從一個(gè)頻帶改變至另一個(gè)；因此，前端模塊的功能被從一個(gè)頻帶調(diào)整到另一個(gè)。這樣的調(diào)整包括但不限于以下一個(gè)或多個(gè)，改變前端模塊12的阻抗匹配能力、改變接收-發(fā)射隔離能力以及改變天線調(diào)諧特性。
[0049]為了有助于前端模塊12的操作調(diào)整(例如，改變以下各項(xiàng)中的一個(gè)或多個(gè):模式選擇、ATU調(diào)諧、RX-TX隔離調(diào)諧、RF濾波器調(diào)諧、以及PA配置)，經(jīng)由控制信號24通過改變液態(tài)MEMS部件(其可以是開關(guān)，電容器，電感器，變壓器，電阻器等)的特性來調(diào)整可變電路22的操作。例如，可以通過改變液態(tài)MEMS部件18的特性(其中，特性包括開/關(guān)狀態(tài)、阻抗、電容、電感、電阻等中的一個(gè)或多個(gè))來改變可變電路22的增益、操作頻帶、帶寬、屏蔽器抑制(blocker rejection)、信噪比、信號干擾比、阻抗、電感和/或電容。需要注意的是，可變電路22可以是功率放大器，RF濾波器，接收-發(fā)射(RX-TX)隔離模塊，天線調(diào)諧單元(ATU)，頻帶(FB)選擇開關(guān)，和/或其部件。
[0050]無線電電路10的操作條件的其他示例包括但不限于:半雙工通信，全雙工通信，公共接收-發(fā)射通道通信，接收通道選擇，發(fā)射通道選擇等。對于這些操作條件中的每個(gè)，將控制信號24提供給液態(tài)MEMS部件18以改變其特性，這調(diào)整可變電路22的操作，這轉(zhuǎn)而調(diào)整前端模塊12的操作。
[0051]不管無線電電路10所執(zhí)行的具體操作條件如何，液態(tài)MEMS部件18由板16支持，該板可以是印刷電路板(PCB)，集成電路(IC)封裝基板，PCB或IC封裝基板的重分布層(RDL)等。液態(tài)MEMS部件18可以被制造到板16中，或者是嵌入板16中的單獨(dú)部件。通過將液態(tài)MEMS部件18實(shí)現(xiàn)在板16上而不是IC14上，液態(tài)MEMS部件18的大小可以比實(shí)現(xiàn)在IC上的相應(yīng)部件大數(shù)十倍、數(shù)百倍、或數(shù)千倍，這允許在IC (尤其是利用較新的IC制造工藝)上實(shí)現(xiàn)是不切實(shí)際或近乎不可能的部件可以很容易在板上實(shí)現(xiàn)。需要注意的是，前端模塊12的大部分部件實(shí)現(xiàn)在芯片上(即，IC14的一個(gè)或多個(gè)晶方上)。
[0052]圖2是前端模塊12的實(shí)施方式的示意性框圖，該前端模塊12包括一個(gè)或多個(gè)功率放大器(PA) 30，32，一個(gè)或多個(gè)RF濾波器34，36，一個(gè)或多個(gè)RX TX隔離模塊38，40，一個(gè)或多個(gè)天線調(diào)諧單元(ATU)42，44，并且可以進(jìn)一步包括頻帶(FB)開關(guān)46。在本示例中，前端模塊12支持針對便攜式計(jì)算通信設(shè)備的雙模式(例如，兩個(gè)不同操作頻帶)。
[0053]作為針對出站RF信號的操作示例，PA30, PA32之一(其包括串聯(lián)和/或并聯(lián)耦接的一個(gè)或多個(gè)功率放大器)對出站RF信號進(jìn)行放大。如果PA30,32包括一個(gè)或多個(gè)可變電路，PA的一個(gè)或多個(gè)參數(shù)(例如，增益，線性度，帶寬，效率，噪音，輸出動態(tài)范圍，壓擺率，上升速率，穩(wěn)定時(shí)間，過沖，穩(wěn)定系數(shù)等)可以基于控制信號24進(jìn)行調(diào)整。例如，由于發(fā)射條件改變(例如，通道響應(yīng)改變，TX單元與RX單元之間的距離改變，天線特性改變等)，處理資源判定調(diào)整PA的參數(shù)以便優(yōu)化性能。這種判定可能不是孤立做出的；該判定可以考慮到前端模塊的可以被調(diào)整以優(yōu)化RF信號的發(fā)射和/或接收的其他參數(shù)(例如，ATU, RX-TX隔離模塊)來做出。
[0054]RF濾波器34，36 (其可以是帶通濾波器，低通濾波器，陷波濾波器，或高通濾波器)對經(jīng)放大的出站RF信號進(jìn)行過濾。如果RF濾波器34，36包括一個(gè)或多個(gè)可變電路，RF濾波器的一個(gè)或多個(gè)參數(shù)(例如，增益，線性度，帶寬，衰減等)可以基于控制信號24進(jìn)行調(diào)整。
[0055]RX-TX隔離模塊38，40 (其可以是雙工器，環(huán)行器或巴倫變壓器，或向使用共同天線的TX信號與RX信號之間提供隔離的其他設(shè)備)衰減經(jīng)過濾的出站RF信號。如果RX-TX隔離模塊38包括一個(gè)或多個(gè)可變電路22，RX-TX隔離模塊38的操作可以經(jīng)由控制信號24進(jìn)行調(diào)整。這樣的調(diào)整可以改變RX-TX隔離模塊38如何衰減出站RF信號。例如，當(dāng)發(fā)射功率相對較低時(shí)，RX-TX隔離模塊38可以被調(diào)整為降低其對出站RF信號的衰減。
[0056]天線調(diào)諧單元(ATU) 42，44被調(diào)諧為提供與天線的阻抗基本匹配的期望阻抗。由于進(jìn)行調(diào)諧，ATU42，44向天線提供衰減的TX信號以供發(fā)射。需要注意的是，ATU可以包括一個(gè)或多個(gè)被連續(xù)或周期性地調(diào)整以跟蹤天線的阻抗變化的可變電路22。例如，基帶處理單元和/或處理模塊可以檢測天線阻抗的變化，進(jìn)而基于檢測到的變化，向ATU42，44提供控制信號24，使得其相應(yīng)改變其阻抗。針對接收的入站RF信號執(zhí)行類似但反向的處理。
[0057]圖3是天線調(diào)諧單元42，44的實(shí)施方式的示意性框圖，該天線調(diào)諧單元包括一個(gè)或多個(gè)可變電阻器(Rl和R2)，一個(gè)或多個(gè)可變電容器(Cl和C2)，以及可變電感器(L)。一個(gè)或多個(gè)部件(例如，電阻器，電容器，電感器)可以經(jīng)由控制信號24進(jìn)行改變?？勺儾考械拿總€(gè)可以被實(shí)現(xiàn)為可變液態(tài)MEMS部件(如圖10至圖12所示)和/或?qū)崿F(xiàn)為開關(guān)電路元件組(如圖6所示)。該開關(guān)電路元件組包括在IC14上的電路元件(例如，電阻器，電容器，電感器)和板16上的液態(tài)MEMS開關(guān)。需要注意的是，ATU42，44的一個(gè)或多個(gè)部件(例如，電阻器，電容器，電感器)可以是固定值的部件(例如，固定的電阻器，固定的電容器，和/或固定的電感器)。
[0058]圖4示出功率放大器30，32的實(shí)施方式的示意性框圖，該功率放大器包括一對輸入晶體管(Tl和T2)，電流源(I)，以及一對負(fù)載，各個(gè)負(fù)載包括一個(gè)或多個(gè)可變電容器(Cl，C2)，以及一個(gè)或多個(gè)可變電感器(L1，L2)。一個(gè)或多個(gè)部件(例如，電容器，電感器)可以經(jīng)由控制信號24而改變。可變部件中的每個(gè)可以實(shí)現(xiàn)為可變液態(tài)MEMS部件(如圖10至圖11所示)和/或?qū)崿F(xiàn)為開關(guān)電路元件組(如圖6所示)。該開關(guān)電路元件組包括在IC14上的電路元件(例如，電容器，電感器)和板16上的液態(tài)MEMS開關(guān)。需要注意的是，PA30，32的一個(gè)或多個(gè)部件(例如，電容器，電感器)可以是固定值的部件(例如，固定的電容器，和/或固定的電感器)。
[0059]圖5是RF濾波器34，36或其一部分的實(shí)施方式的示意性框圖，該RF濾波器包括一個(gè)或多個(gè)可變電容器(C1，C2)，以及一個(gè)或多個(gè)可變電感器(L)。一個(gè)或多個(gè)部件(例如，電容器，電感器)可以經(jīng)由控制信號24而改變?？勺儾考械拿總€(gè)可以被實(shí)現(xiàn)為可變液態(tài)MEMS部件(如圖10至圖11所示)和/或?qū)崿F(xiàn)為開關(guān)電路元件組(如圖6所示)。開關(guān)電路元件組包括在IC14上的電路元件(例如，電容器，電感器)和板16上的液態(tài)MEMS開關(guān)。需要注意的是，RF濾波器34，36的一個(gè)或多個(gè)部件(例如，電容器，電感器)可以是固定值的部件(例如，固定的電容器，和/或固定的電感器)。
[0060]圖6是開關(guān)電路元件組的實(shí)施方式的示意性框圖，該開關(guān)電路元件組包括多個(gè)電路元件52至60以及多個(gè)液態(tài)MEMS開關(guān)50。液態(tài)MEMS開關(guān)50在板16上，以及多個(gè)電路元件52至60中的至少大多數(shù)實(shí)現(xiàn)在IC14上。需要注意的是，電路元件52至60中的一個(gè)或多個(gè)可以是可變的液態(tài)MEMS部件。在該實(shí)例中，可變液態(tài)MEMS部件在板16上，這為電路元件組提供更大范圍的可編程性。需要注意的是，電路元件(例如，電阻器，電容器，或電感器)中的每個(gè)可以具有相同值(例如，相同阻抗，相同電容，或相同電感)，可以具有不同值或其組合。
[0061]圖7是液態(tài)微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)部件18的實(shí)施方式的不意性框圖，該液態(tài)微機(jī)電系統(tǒng)部件由板16的一個(gè)或多個(gè)層支持(例如，被制造或嵌入在板16中)。液態(tài)MEMS部件18包括通道70,—個(gè)或多個(gè)導(dǎo)電元件74至76,微滴72,以及微滴致動模塊(droplet activatingmodule) 78。通道70處于板16的一個(gè)或多個(gè)層中，或處于隨后被嵌入板16中的另一板的一個(gè)或多個(gè)層中。微滴72包含在通道70中。
[0062]在操作示例中，微滴致動模塊78基于控制信號來施加力80，以便相對于一個(gè)或多個(gè)導(dǎo)電元件74至76來更改微滴72，從而改變液態(tài)MEMS部件18的一個(gè)或多個(gè)特性。例如，微滴致動模塊78可以是將力80施加至微滴72以對微滴72進(jìn)行致動、變更、移動、壓縮、膨脹等從而有助于液態(tài)MEMS部件18的特性改變的電場源，磁場源，熱源，壓縮源，和/或膨脹源(例如，電場，磁場，熱度，壓縮等)。需要注意的是，微滴70可以是一個(gè)或多個(gè)導(dǎo)電微滴(例如，水銀或其他金屬或在室溫時(shí)是液態(tài)的導(dǎo)電物質(zhì))，液態(tài)絕緣微滴，響應(yīng)于微滴致動模塊的力而膨脹的膨脹液態(tài)微滴，響應(yīng)于微滴致動模塊的力而收縮的收縮液態(tài)微滴，響應(yīng)于微滴致動模塊的力而排斥的排斥液態(tài)微滴，以及可操作響應(yīng)于微滴致動模塊的力而吸引的吸引液態(tài)微滴。
[0063]在本實(shí)施方式的進(jìn)一步或另一個(gè)實(shí)施方式中，通道70可以包括在通道至少一個(gè)內(nèi)表面上的導(dǎo)電涂層，可以包括在通道的一個(gè)或多個(gè)內(nèi)表面上的絕緣涂層，和/或可以包括在該板的另一個(gè)層中的蓋子。此外，液態(tài)MEMS部件18可以包括在通道70內(nèi)的氣體(空氣，氣體混合物，惰性氣體(inert gas),惰性氣體(noble gas)等),其中當(dāng)微滴致動模塊78可操作時(shí)，該氣體有助于改變微滴70。
[0064]圖8和9是示出液態(tài)MEMS開關(guān)的實(shí)施方式的示意性框圖，該液態(tài)MEMS開關(guān)包括通道70，微滴90，電觸點(diǎn)94，以及電場和/或磁場源92。微滴90是導(dǎo)電的，其形狀隨著由電場和/或磁場源92產(chǎn)生的場96 (電場和/或磁場)的存在而改變。例如，隨著施加最小場，微滴90不與一個(gè)或多個(gè)電觸點(diǎn)94接觸。因此，開關(guān)被斷開。當(dāng)足夠大(或有效)的場96被施加時(shí)，微滴90的形狀改變，導(dǎo)致其接觸電觸點(diǎn)94。因此，開關(guān)閉合。電場和/或磁場源92生成場96，作為對控制信號24的響應(yīng)。
[0065]圖10是示出液態(tài)MEMS電容器的實(shí)施方式的示意性框圖，該液態(tài)MEMS電容器包括通道70，電介質(zhì)微滴100，電容板102，104，以及微滴致動模塊78。微滴100是電介質(zhì)摻雜溶液(例如，具有電介質(zhì)顆粒的液體)，并且其形狀隨著力80 (電場，磁場，壓縮，致動等)的存在而改變。例如，隨著施加最小力，微滴100處于收縮形狀，這提供電容器的第一介電性能。當(dāng)足夠大(或有效)的力80被施加時(shí)，微滴100的形狀改變，這改變電容器的介電性能。需要注意的是，電容器的電容是C= ε r ε jA/d)，其中，C是電容，A是兩個(gè)板重疊的面積，ε ^是板之間材料的相對靜態(tài)電容率(例如，介電常數(shù))，以及d是兩個(gè)板之間的距離。因此，通過改變介電性能，介電常數(shù)被改變，這成比例地改變電容。
[0066]圖11是示出液態(tài)MEMS電感器或變壓器的實(shí)施方式的示意性框圖，該液態(tài)MEMS電感器或變壓器包括通道70，鐵氧體微滴110，一個(gè)或多個(gè)繞組112，114(例如，一個(gè)繞組用于電感器，串聯(lián)或并聯(lián)的兩個(gè)繞組用于電感器，兩個(gè)繞組用于變壓器)，以及微滴致動模塊78。微滴110是鐵氧體摻雜的溶液(例如，具有鐵氧體顆粒的液體)，并且其形狀隨著力80 (電場，磁場，壓縮，致動等)的存在而改變。例如，隨著施加最小力，微滴110處于收縮形狀，這提供電感器或變壓器的第一磁心特性。當(dāng)足夠大(或有效)的力80被施加時(shí)，微滴110的形狀改變，這改變電感器或變壓器的磁心特性。需要注意的是，對于螺線管電感器，電感是L=UtlU,N2 (A/1)，其中L是電感，Utl是磁常數(shù)，μ,是螺線管內(nèi)材料的相對磁導(dǎo)率，N是匝數(shù)，A是螺線管的橫截面積，以及I是繞組長度。因此，通過改變磁部件的磁心特性(例如，相對磁導(dǎo)率)，其電感被改變。
[0067]圖12是示出液態(tài)MEMS電阻器的實(shí)施方式的示意性框圖，該液態(tài)MEMS電阻器包括通道70，阻抗微滴120，電觸點(diǎn)122，124，以及微滴致動模塊78。微滴120是阻抗摻雜溶液(例如，具有導(dǎo)電顆粒的液體)，并且其形狀隨著力80 (電場，磁場，壓縮，致動等)的存在而改變。例如，隨著施加最小力，微滴120處于收縮形狀，這提供電阻器的第一阻抗特性。當(dāng)足夠大(或有效)的力80被施加時(shí)，微滴120的形狀改變，這改變電阻器的阻抗特性。需要注意的是，電阻R=P (1/A)，其中，P是材料的電阻率，I是導(dǎo)電材料的長度，以及A是導(dǎo)電材料的橫截面積。因此，通過改變電阻率，電阻器的阻抗被改變。
[0068]圖13是示出無線電電路10的另一個(gè)實(shí)施方式的示意性框圖，該無線電電路10包括經(jīng)由有線連接130耦接至前端模塊的可變電路22的液態(tài)MEMS部件18。有線連接130可以是板16上的一個(gè)或多個(gè)被焊接到IC14的一個(gè)或多個(gè)引腳的跡線，IC上的球柵陣列以及板16上相應(yīng)的配合件等。
[0069]圖14是示出無線電電路10的另一個(gè)實(shí)施方式的示意性框圖，該無線電電路包括經(jīng)由無線連接耦接到前端模塊的可變電路22的液態(tài)MEMS部件18。為了無線通信，液態(tài)MEMS部件18和可變電路22被耦接至無線收發(fā)器(XCVR) 132。
[0070]圖15是示出無線電電路10的另一個(gè)實(shí)施方式的示意性框圖，該無線電電路包括經(jīng)由板插入機(jī)構(gòu)140被耦接到前端模塊的可變電路22的液態(tài)MEMS部件18。如圖所示，一個(gè)或多個(gè)IC電路晶方14被耦接至板插入機(jī)構(gòu)140(其被耦接至板16)。板插入機(jī)構(gòu)140可以包括一個(gè)或多個(gè)液態(tài)MEMS部件，以及包括電氣連接到晶方14和板16。需要注意的是，板插入結(jié)構(gòu)160可以是由板16相同的材料制成或由不同的板材料制成。
[0071]圖16是示出前端模塊150的另一個(gè)實(shí)施方式的示意性框圖，該前端模塊包括功率放大器模塊(PA)30，ATU42，雙工器154 (提供RX TX隔離)，平衡網(wǎng)絡(luò)152，公共模式(CM)感測電路156，檢測器158，調(diào)諧引擎162，并且可以進(jìn)一步包括低噪聲放大器(LNA) 160。雙工器154包括變壓器(或諸如頻率選擇性雙工器和/或電平衡雙工器的其他結(jié)構(gòu))，以及平衡網(wǎng)絡(luò)152包括至少一個(gè)可變電阻器和至少一個(gè)可變電容器，其可以用一個(gè)或多個(gè)MEMS開關(guān)、液態(tài)MEMS電容器、液態(tài)MEMS電感器等實(shí)現(xiàn)(例如，如圖6和圖8至圖11中的一個(gè)或多個(gè)所示)。公共模式感測電路156包括跨變壓器次級耦接的一對電阻器。
[0072]在操作示例中，PA30向變壓器154的雙繞組初級的中心抽頭提供出站RF信號。出站RF信號的電流與天線和平衡網(wǎng)絡(luò)152之間的阻抗差成正比地在兩個(gè)繞組之間被劃分。如果平衡網(wǎng)絡(luò)152的阻抗大體上匹配天線的阻抗，則電流在兩個(gè)繞組之間被均分。
[0073]通過如圖所示的繞組配置，如果初級中的電流大致匹配，它們在次級繞組中的磁場基本相互抵消。因此，次級具有出站RF信號的大幅衰減表示。對于入站RF信號，初級的兩個(gè)繞組生成對應(yīng)于入站RF信號的電流的磁場。在這個(gè)實(shí)例中，磁場相加，因此，在次級中產(chǎn)生的電流是初級中電流的兩倍(假設(shè)繞組中的每個(gè)具有相同數(shù)量的匝數(shù))。因此，變壓器154放大入站RF信號。
[0074]如果天線的阻抗與平衡網(wǎng)絡(luò)152的阻抗之間存在不平衡，則出站RF信號電流分量將存在于次級中(例如，TX泄漏)。檢測器158經(jīng)由CM感測電路156檢測不平衡，并且向調(diào)諧引擎模塊162提供該差異的指示。調(diào)諧引擎模塊162解釋該差異，并且生成控制信號以調(diào)整平衡網(wǎng)絡(luò)152的阻抗。
[0075]圖17是示出平衡網(wǎng)絡(luò)152的實(shí)施方式的示意性框圖，該平衡網(wǎng)絡(luò)包括多個(gè)電阻器(R)，多個(gè)電容器(C)，控制模塊，以及多個(gè)液態(tài)MEMS開關(guān)(L-MEMS SW)。電阻器、電容器和控制模塊在IC上，開關(guān)在板上?？刂颇K生成控制信號以使液態(tài)MEMS開關(guān)中所選擇的一個(gè)能夠產(chǎn)生所期望的小信號平衡網(wǎng)絡(luò)152。
[0076]圖18是示出大信號平衡網(wǎng)絡(luò)152的另一個(gè)實(shí)施方式的示意性框圖，該大信號平衡網(wǎng)絡(luò)包括RLC (電阻-電感-電容)網(wǎng)絡(luò)，控制模塊，以及多個(gè)液態(tài)MEMS開關(guān)(L-MEMS Sff)0液態(tài)MEMS開關(guān)被接通以及斷開，以便提供RLC網(wǎng)絡(luò)的電阻器、電感器和/或電容器的不同組合，從而提供平衡網(wǎng)絡(luò)152的期望阻抗。需要注意的是，RLC網(wǎng)絡(luò)和控制模塊在IC14上，液態(tài)MEMS開關(guān)在板16上。
[0077]圖19是示出平衡網(wǎng)絡(luò)152的另一個(gè)實(shí)施方式的示意性框圖，該平衡網(wǎng)絡(luò)152包括一個(gè)或多個(gè)可變電阻器(Rl和R2)，一個(gè)或多個(gè)可變電容器(Cl和C2)，以及可變電感器(L)0部件(例如，電阻器，電容器，電感器)中的一個(gè)或多個(gè)可以經(jīng)由控制信號24而改變?？勺儾考械拿總€(gè)可以被實(shí)現(xiàn)為可變液態(tài)MEMS部件(如圖10至12所示)和/或?qū)崿F(xiàn)為開關(guān)電路元件組(如圖6所示)。該開關(guān)電路元件組包括在IC14上的電路元件(例如，電阻器，電容器，電感器)以及在板16上的液態(tài)MEMS開關(guān)。需要注意的是，平衡網(wǎng)絡(luò)152的一個(gè)或多個(gè)部件(例如，電阻器，電容器，電感器)可以是固定值的部件(例如，固定電阻器，固定電容器，和/或固定電感器)。
[0078]正如本文所采用的，術(shù)語“大體上”和“大約”為其相應(yīng)的術(shù)語提供行業(yè)公認(rèn)的公差和/或各項(xiàng)之間的相對性。這樣的行業(yè)公認(rèn)公差范圍從少于百分之一到百分之五十，并且和成分值、集成電路工藝變化、溫度變化、上升和下降時(shí)間和/或熱噪音相對應(yīng)，但不限于上述參數(shù)。各項(xiàng)之間的這種相對性范圍從很小百分比的差異到幅值差異。正如這里所使用的，術(shù)語“可操作耦接”、“耦接”和/或“耦接”包括各項(xiàng)之間的直接耦接和/或經(jīng)由介入各項(xiàng)的各項(xiàng)之間的間接耦接(例如，各項(xiàng)包括但不限于，組件，元件，電路，和/或模塊)，其中，對于間接耦接，所述介入各項(xiàng)不修改信號的信息，但是可以調(diào)整其電流電平，電壓電平和/或功率電平。正如這里進(jìn)一步使用的，所述介入耦接(即，一個(gè)元件通過推理被耦接至另一個(gè)元件)包括兩個(gè)各項(xiàng)之間以與“耦接”方式相同的直接和間接耦接。正如這里進(jìn)一步使用的，術(shù)語“可操作”或“可操作耦接至”指示包括一個(gè)或多個(gè)功率連接、輸入端、輸出端等的各項(xiàng)，以便當(dāng)被激活時(shí)，執(zhí)行一個(gè)或多個(gè)其相應(yīng)的功能和可以進(jìn)一步包括被介入耦接至一個(gè)或多個(gè)其他各項(xiàng)。正如這里進(jìn)一步使用的，術(shù)語“與...關(guān)聯(lián)”包括單獨(dú)各項(xiàng)與被嵌入在另一個(gè)各項(xiàng)中的一個(gè)各項(xiàng)的直接和/或間接耦接。正如這里所使用的，術(shù)語“順利地比較”表示兩個(gè)或更多各項(xiàng)、信號等之間的比較提供所期望的關(guān)系。例如，當(dāng)所期望的關(guān)系是信號I比信號2具有更大的幅值，則當(dāng)信號I的幅值大于信號2的幅值，或當(dāng)信號2的幅值小于信號I的幅值時(shí)，順利比較可以被實(shí)現(xiàn)。
[0079]正如這里所使用的，術(shù)語“處理模塊”、“處理電路”和/或“處理單元”可以是單個(gè)處理設(shè)備或多個(gè)處理設(shè)備。這樣的處理設(shè)備可以是微處理器，微控制器，數(shù)字信號處理器，微型計(jì)算機(jī)，中央處理單元，現(xiàn)場可編程門陣列，可編程邏輯器件，狀態(tài)機(jī)，邏輯線路，模擬線路，數(shù)字線路，和/或基于線路的硬編碼和/或可操作指令操控(模擬和/或數(shù)字)信號的任何設(shè)備。處理模塊、模塊、處理電路和/或處理單元可以是，或進(jìn)一步包括存儲器和/或集成的存儲元件，其可以是單個(gè)存儲器器件，多個(gè)存儲器器件，和/或其他處理模塊、模塊、處理電路和/或處理單元的嵌入式電路。這樣的存儲器器件可以是只讀存儲器，隨機(jī)存取存儲器，易失性存儲器，非易失性存儲器，靜態(tài)存儲器，動態(tài)存儲器，閃存存儲器，高速緩存存儲器，和/或存儲數(shù)字信息的任何器件。需要注意的是，如果所述模塊、模塊、處理電路和/或處理單元包括不止一個(gè)處理器件，所述處理器件可以被集中定位(例如，經(jīng)由有線和/或無線總線結(jié)構(gòu)被直接耦接在一起)或可以分布式定位(例如，經(jīng)由間接耦接，經(jīng)由局域網(wǎng)和/或廣域網(wǎng)的云計(jì)算)。需要進(jìn)一步注意的是，如果所述模塊、模塊、處理電路和/或處理單元經(jīng)由狀態(tài)機(jī)、模擬線路、數(shù)字線路和/或邏輯線路實(shí)施其一個(gè)或多個(gè)功能，存儲器和/或存儲相應(yīng)可操作指令的存儲器元件可以被嵌入在或外置于包括狀態(tài)機(jī)、模擬線路、數(shù)字線路和/或邏輯線路的線路中。需要進(jìn)一步指出的是，所述存儲器元件可以存儲，以及所述處理模塊、模塊、處理電路和/或處理單元可以執(zhí)行對應(yīng)于在一個(gè)或多個(gè)附圖中示出的至少某些步驟和/或功能的硬編碼和/或可操作指令。這樣的存儲器器件或存儲器元件可以被包括在制造的物品中。
[0080]借助說明具體功能及其相互關(guān)系的方法步驟，已經(jīng)對本發(fā)明進(jìn)行了描述。為了描述方便，這些功能塊和方法步驟的邊界和次序被隨意定義。只要這些具體功能和相互關(guān)系能夠被適當(dāng)實(shí)施，可供選擇的邊界和順序可以被定義。因此，任何這樣的備選邊界或順序在本發(fā)明的權(quán)利要求范圍和精神內(nèi)。進(jìn)一步，為了描述方便，這些功能塊的邊界已經(jīng)被隨意定義。只要某些重要功能能夠被適當(dāng)實(shí)施，可供選擇的邊界可以被定義。同樣，本文的流程框圖也已經(jīng)被隨意定義，以便說明某些重要功能。為了廣泛應(yīng)用，流程框圖的邊界和順序可以被定義，否則，仍然執(zhí)行這些重要功能。因此，這樣的功能塊和流程框圖以及順序的定義在本發(fā)明的權(quán)利要求的精神和范圍內(nèi)。本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員還應(yīng)該明白，這里所述的功能塊以及其他說明塊、模塊和組件可以如圖所示實(shí)施或被分立組件、專用集成電路、執(zhí)行適當(dāng)軟件的處理器或他們的組合實(shí)施。
[0081]鑒于一個(gè)或多個(gè)實(shí)施方式，本發(fā)明已經(jīng)被描述，或至少部分被描述。本文所使用的本發(fā)明的實(shí)施方式是為了說明本發(fā)明及其方面、特征、原理，和/或本發(fā)明的例子。體現(xiàn)本發(fā)明的物理裝置實(shí)施方式、制造物品、機(jī)器和/或過程可以包括參考本文所討論的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施方式的方面、特征、原理、例子。進(jìn)一步地，從圖到圖，所述實(shí)施方式可以合并使用相同或不同參考數(shù)字編號的相同或類似的功能、步驟、模塊，因此，所述功能、步驟、模塊等可以是相同或類似的功能、步驟、模塊或不同的功能、步驟、模塊。
[0082]本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)明白，雖然在上述附圖中的晶體管被示為場效應(yīng)晶體管(FET)，但是，所述晶體管可以使用任何類型的晶體管實(shí)施，所述晶體管包括但不限于，雙極型，金屬氧化物半導(dǎo)體場效應(yīng)晶體管(M0SFET)，N阱晶體管，P阱晶體管，增強(qiáng)型，耗盡型以及零電壓閾值(VT)晶體管。
[0083]除非與特別聲明相反，本文所陳述的任意附圖中輸入到元件或所述元件輸出或所述元件之間的信號，可以是模擬的或數(shù)字的，連續(xù)時(shí)間或離散時(shí)間，單端的或差分的。例如，如果信號路徑被示為單端的路徑，其也可以表示差分的信號路徑。同樣，如果信號路徑被示為差分的路徑，其也可以表示單端的信號路徑。雖然一個(gè)或特定結(jié)構(gòu)在這里被描述，但是本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)明白，使用未明確示出的一個(gè)或多個(gè)數(shù)據(jù)總線、元件之間的直接連接和/或其他元件之間的間接耦接的其他結(jié)構(gòu)同樣可以被實(shí)施。
[0084]本文所述的術(shù)語“模塊”被用于本發(fā)明的各個(gè)實(shí)施方式中。模塊包括處理模塊，功能塊，硬件和/或被存儲在存儲器上用于執(zhí)行本文所述的一個(gè)或多個(gè)功能的軟件。需要注意的是，如果所述模塊經(jīng)由硬件實(shí)施，所述硬件可以單獨(dú)操作和/或結(jié)合軟件和/或固件操作。正如本文所使用的，模塊可以包括一個(gè)或多個(gè)子模塊，所述子模塊中的每一個(gè)可以是一個(gè)或多個(gè)模塊。
[0085]盡管本文已經(jīng)明確描述本發(fā)明的各個(gè)功能和特征的特定組合，不過，這些特征和功能的其他組合同樣是可行的。本發(fā)明不受本文所公開的特定例子限制，并且明確地合并這些其他組合。
【權(quán)利要求】
1.一種無線電電路，包括: 前端模塊，實(shí)現(xiàn)在至少一個(gè)集成電路(IC)晶方上，所述前端模塊包括可變電路，其中，所述可變電路是可調(diào)整的以針對所述無線電電路的給定操作情況實(shí)現(xiàn)所述前端模塊的操作調(diào)整； 板，支撐一個(gè)或多個(gè)液態(tài)微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)部件以及至少間接地支撐所述至少一個(gè)集成電路晶方；以及 耦接部件，將所述一個(gè)或多個(gè)液態(tài)微機(jī)電系統(tǒng)部件電氣耦接至所述可變電路，其中，所述一個(gè)或多個(gè)液態(tài)微機(jī)電系統(tǒng)部件的一個(gè)或多個(gè)特性基于控制信號被改變，所述改變調(diào)整所述可變電路。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的無線電電路，其中，所述一個(gè)或多個(gè)液態(tài)微機(jī)電系統(tǒng)部件中的液態(tài)微機(jī)電系統(tǒng)部件包括: 通道，在所述板 的一個(gè)或多個(gè)層中或在第二板的一個(gè)或多個(gè)層中； 所述液態(tài)微機(jī)電系統(tǒng)部件的一個(gè)或多個(gè)導(dǎo)電兀件； 微滴，包含在所述通道中；以及 微滴致動模塊，基于所述控制信號可操作地相對于所述一個(gè)或多個(gè)導(dǎo)電兀件改變所述微滴從而改變所述液態(tài)微機(jī)電系統(tǒng)部件的所述一個(gè)或多個(gè)特性。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的無線電電路，其中，所述微滴致動模塊包括以下各項(xiàng)中的至少一項(xiàng): 電場源； 磁場源； 熱源； 壓縮源；以及 膨脹源。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的無線電電路，其中，所述微滴包括以下各項(xiàng)中的至少一項(xiàng): 導(dǎo)電微滴； 液體絕緣微滴； 響應(yīng)于所述微滴致動模塊的操作而膨脹的膨脹液態(tài)微滴； 響應(yīng)于所述微滴致動模塊的操作而收縮的收縮液態(tài)微滴； 響應(yīng)于所述微滴致動模塊的操作而被排斥的排斥液態(tài)微滴；以及 響應(yīng)于所述可微滴致動模塊的操作而被吸引的吸引液態(tài)微滴。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的無線電電路，其中，所述通道包括以下各項(xiàng)中的至少一項(xiàng): 在所述通道的至少一個(gè)內(nèi)表面上的導(dǎo)電涂層； 在所述通道的一個(gè)或多個(gè)內(nèi)表面上的絕緣涂層；以及 在所述板的另一個(gè)層中的蓋子。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的無線電電路，其中，所述液態(tài)微機(jī)電系統(tǒng)部件進(jìn)一步包括: 在所述通道內(nèi)的氣體，其中，在所述微滴致動模塊操作時(shí)所述氣體有助于改變所述微滴。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的無線電電路，其中，所述板包括以下各項(xiàng)中的至少一項(xiàng): 印刷電路板(PCB)；集成電路(IC)封裝基板； PCB或IC封裝基板的重分布層(RDL)。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的無線電電路，其中，所述前端模塊包括以下各項(xiàng)中的至少一項(xiàng): 包括功率放大器可變電路的功率放大器(PA)； 包括接收器-發(fā)射器可變電路的接收器-發(fā)射器(RX-TX)隔離模塊； 包括濾波可變電路的射頻(RF)濾波器； 包括天線調(diào)諧單元可變電路的天線調(diào)諧單元(ATU);以及 頻帶(FB)開關(guān)， 其中，所述可變電路包括以下各項(xiàng)之一:所述功率放大器可變電路、所述接收器-發(fā)射器可變電路、所述濾波可變電路以及所述天線調(diào)諧單元可變電路，以及其中，所述前端模塊的操作調(diào)整包括以下各項(xiàng)中的至少一項(xiàng):模式選擇、天線調(diào)諧單元調(diào)諧、接收器-發(fā)射器隔離調(diào)諧、射頻濾波器調(diào)諧、以及功率放大器配置。
9.一種連同集成電路(IC)晶方使用的液態(tài)微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)部件,所述液態(tài)微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)部件包括: 通道； 一個(gè)或多個(gè)導(dǎo)電元件，被定位為鄰近所述通道； 微滴，包含在所述通道中；以及 微滴致動模塊，基于所述控制信號，所述微滴致動模塊可操作地相對于所述一個(gè)或多個(gè)導(dǎo)電兀件改變所述微滴從而改變所述液態(tài)微機(jī)電系統(tǒng)部件的一個(gè)或多個(gè)特性；以及板，支撐所述通道并且支撐所述集成電路晶方。
10.一種無線電電路，包括: 雙工器，其中，所述雙工器的第一連接用于耦接至天線； 功率放大器，可操作地耦接至所述雙工器的第二連接； 公共模式感測電路，可操作地耦接至所述雙工器的第三連接和第四連接；以及平衡網(wǎng)絡(luò)，可操作地耦接至所述雙工器的第五連接，其中，所述平衡網(wǎng)絡(luò)包括液態(tài)微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)部件，其中，所述微機(jī)電系統(tǒng)部件基于控制信號而改變，以便調(diào)整所述平衡網(wǎng)絡(luò)的一個(gè)或多個(gè)特性，使得所述雙工器被調(diào)諧以改善經(jīng)由所述天線收發(fā)的入站射頻(RF)信號與出站射頻信號之間的隔離，其中，所述液態(tài)微機(jī)電系統(tǒng)部件包括: 通道； 一個(gè)或多個(gè)導(dǎo)電元件，被定位為鄰近所述通道； 微滴，包含在所述通道中；以及 微滴致動模塊，基于所述控制信號，所述微滴致動模塊可操作地相對于所述一個(gè)或多個(gè)導(dǎo)電兀件改變所述微滴從而改變所述液態(tài)微機(jī)電系統(tǒng)部件的一個(gè)或多個(gè)特性；以及板，支撐所述通道并且支撐至少包括所述公共模式感測電路的集成電路(IC)晶方。
【文檔編號】H01Q1/22GK103684511SQ201310409833
【公開日】2014年3月26日 申請日期:2013年9月10日 優(yōu)先權(quán)日:2012年9月10日
【發(fā)明者】艾哈邁德禮薩·羅福加蘭 申請人:美國博通公司