采樣量測方法和系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】一種采樣量測方法和系統(tǒng)，其中，所述的采樣量測方法包括：提供若干待量測批次產(chǎn)品和若干已量測批次產(chǎn)品；根據(jù)所述待量測批次產(chǎn)品和所述已量測批次產(chǎn)品的工藝流程信息、到達(dá)量測站點(diǎn)時間信息和晶圓數(shù)量信息劃分采樣組；根據(jù)采樣組內(nèi)已量測產(chǎn)品的量測結(jié)果設(shè)置采樣組的信息標(biāo)簽，所述信息標(biāo)簽包括合格、不合格和無量測結(jié)果；根據(jù)所述信息標(biāo)簽，將信息標(biāo)簽為不合格的采樣組中到達(dá)量測站點(diǎn)最早的待量測批次產(chǎn)品、和信息標(biāo)簽為無量測結(jié)果的采樣組中到達(dá)量測站點(diǎn)最早的待量測批次產(chǎn)品進(jìn)行排序量測。本發(fā)明的采樣量測方法和系統(tǒng)減少了無效量測的次數(shù)，節(jié)省了量測機(jī)臺資源。
【專利說明】采樣量測方法和系統(tǒng)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及半導(dǎo)體【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其涉及一種采樣量測方法和系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002] 在半導(dǎo)體集成電路的制造過程中，晶圓（Wafer)按照預(yù)先設(shè)定好的工藝流程依次 執(zhí)行每一道工序。工藝流程中的工序包括很多種類，例如，制造工序和量測工序。其中，量 測工序的目的是同時通過量測和分析晶圓的量測數(shù)據(jù)，檢驗(yàn)生產(chǎn)制造過程的晶圓是否符合 要求，及監(jiān)控晶圓生產(chǎn)過程是否出現(xiàn)異常。
[0003] 量測工序是半導(dǎo)體集成電路制造過程中必須的，但耗時且昂貴的工序，它是保證 集成電路性能、質(zhì)量的關(guān)鍵手段之一。在半導(dǎo)體制造過程中，隨著產(chǎn)能的不斷擴(kuò)大，量測 機(jī)臺的使用率也隨之增加，但是量測機(jī)臺的數(shù)目是有限的，晶圓代工廠（FAB)的人力成本 也是寶貴的，合理分配量測機(jī)臺的產(chǎn)能并制定派貨規(guī)則對晶圓代工廠的生產(chǎn)周期（Cycle time)和成本控制至關(guān)重要?，F(xiàn)有技術(shù)中，當(dāng)大量生產(chǎn)時，量測機(jī)臺會遇到嚴(yán)重的堆貨問題， 在可信的風(fēng)險范圍內(nèi)，并不是每一批次產(chǎn)品（lot)都需要量測，所以通常都采用采樣量測 (Sampling)的做法。
[0004] 圖1示出了現(xiàn)有技術(shù)采樣量測的流程示意圖，包括：
[0005] 步驟S101，按照產(chǎn)品屬性將若干批次產(chǎn)品組成采樣組；
[0006] 步驟S102,對采樣組中的某一批次產(chǎn)品或者部分批次產(chǎn)品進(jìn)行量測；
[0007] 步驟S103,判斷該批次產(chǎn)品的量測結(jié)果是否合格，當(dāng)判斷結(jié)果為是時，執(zhí)行步驟 S104,當(dāng)判斷結(jié)果為否時，執(zhí)行步驟S105 ;
[0008] 步驟S104,該批次產(chǎn)品所屬的采樣組量測合格，通過量測；
[0009] 步驟S105,該批次產(chǎn)品所屬的抽樣組不合格，繼續(xù)對組內(nèi)其他批次產(chǎn)品進(jìn)行量測。
[0010] 采樣量測的具體實(shí)現(xiàn)算法有很多，有的依據(jù)產(chǎn)品的號碼的特征尾數(shù)采樣去量測， 有的依據(jù)時間段采樣去量測，有的依據(jù)產(chǎn)品通過的片數(shù)采樣去量測，還有的通過產(chǎn)品制程 中的特征工序采樣去量測。上述的采樣量測方法中，將若干具有相似屬性的批次產(chǎn)品作為 一組，只挑選其中某一批次產(chǎn)品或者部分批次產(chǎn)品去做量測，量測的結(jié)果代表了該采樣組 產(chǎn)品的品質(zhì)，未被采樣量測的產(chǎn)品可以利用該結(jié)果作為質(zhì)量的判斷依據(jù)而無需親自下量測 機(jī)臺去量測，這樣可以大大節(jié)省時間和量測機(jī)臺的負(fù)載。
[0011] 但是，現(xiàn)有技術(shù)的采樣量測方法中存在大量的無效量測，浪費(fèi)了量測機(jī)臺資源。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0012] 本發(fā)明解決的問題是現(xiàn)有技術(shù)的采樣量測方法中存在大量的無效量測，浪費(fèi)了量 測機(jī)臺資源。
[0013] 為解決上述問題，本發(fā)明提供了一種采樣量測方法，包括：提供若干待量測批次產(chǎn) 品和若干已量測批次產(chǎn)品；根據(jù)所述待量測批次產(chǎn)品和所述已量測批次產(chǎn)品的工藝流程信 息、到達(dá)量測站點(diǎn)時間信息和晶圓數(shù)量信息劃分采樣組；根據(jù)采樣組內(nèi)已量測產(chǎn)品的量測 結(jié)果設(shè)置采樣組的信息標(biāo)簽，所述信息標(biāo)簽包括合格、不合格和無量測結(jié)果；根據(jù)所述信息 標(biāo)簽，將信息標(biāo)簽為不合格的采樣組中到達(dá)量測站點(diǎn)最早的待量測批次產(chǎn)品、和信息標(biāo)簽 為無量測結(jié)果的采樣組中到達(dá)量測站點(diǎn)最早的待量測批次產(chǎn)品進(jìn)行排序量測。
[0014] 可選的，所述根據(jù)信息標(biāo)簽，將信息標(biāo)簽為不合格的采樣組中到達(dá)量測站點(diǎn)最早 的待量測批次產(chǎn)品、和信息標(biāo)簽為無量測結(jié)果的采樣組中到達(dá)量測站點(diǎn)最早的待量測批次 產(chǎn)品進(jìn)行排序量測包括：根據(jù)各采樣組的信息標(biāo)簽為各采樣組內(nèi)的所有待量測批次產(chǎn)品設(shè) 置序列調(diào)整參數(shù)，將信息標(biāo)簽為不合格的采樣組中到達(dá)量測站點(diǎn)最早的待量測批次產(chǎn)品、 和信息標(biāo)簽為無量測結(jié)果的采樣組中到達(dá)量測站點(diǎn)最早的待量測批次產(chǎn)品設(shè)置為高優(yōu)先 級序列調(diào)整參數(shù)，將其他待量測批次產(chǎn)品設(shè)置為低優(yōu)先級序列調(diào)整參數(shù)；根據(jù)所述序列調(diào) 整參數(shù)對各待量測批次產(chǎn)品進(jìn)行排序；對高優(yōu)先級序列調(diào)整參數(shù)的待量測批次產(chǎn)品進(jìn)行量 測。
[0015] 可選的，所述根據(jù)各采樣組的信息標(biāo)簽為各采樣組內(nèi)的所有待量測批次產(chǎn)品設(shè)置 序列調(diào)整參數(shù)包括：當(dāng)所述采樣組的信息標(biāo)簽為合格時，將該采樣組內(nèi)的所有待量測批次 產(chǎn)品的序列調(diào)整參數(shù)設(shè)置為低優(yōu)先級序列調(diào)整參數(shù)；當(dāng)所述采樣組的信息標(biāo)簽為不合格 時，將該采樣組內(nèi)到達(dá)量測站點(diǎn)最早的待量測批次產(chǎn)品的序列調(diào)整參數(shù)設(shè)置為高優(yōu)先級序 列調(diào)整參數(shù)，將該采樣組內(nèi)其它待量測批次產(chǎn)品的序列調(diào)整參數(shù)設(shè)置為低優(yōu)先級序列調(diào)整 參數(shù)；當(dāng)所述采樣組的信息標(biāo)簽為無量測結(jié)果時，判斷該采樣組是否已有待量測批次產(chǎn)品 進(jìn)入量測機(jī)臺進(jìn)行量測，當(dāng)該采樣組內(nèi)沒有待量測批次產(chǎn)品進(jìn)入量測機(jī)臺進(jìn)行量測時，將 該采樣組內(nèi)到達(dá)量測站點(diǎn)最早的待量測批次產(chǎn)品的序列調(diào)整參數(shù)設(shè)置為高優(yōu)先級序列調(diào) 整參數(shù)，將該采樣組內(nèi)其他待量測批次產(chǎn)品的序列調(diào)整參數(shù)設(shè)置為低優(yōu)先級序列調(diào)整參 數(shù)，當(dāng)該采樣組內(nèi)有待量測批次產(chǎn)品已進(jìn)入量測機(jī)臺進(jìn)行量測時，將該采樣組內(nèi)所有待量 測批次產(chǎn)品的序列調(diào)整參數(shù)設(shè)置為低優(yōu)先級序列調(diào)整參數(shù)。
[0016] 可選的，根據(jù)所述序列調(diào)整參數(shù)對各待量測批次產(chǎn)品進(jìn)行排序包括：將序列調(diào)整 參數(shù)為高優(yōu)先級序列調(diào)整參數(shù)的待量測批次產(chǎn)品排列至序列調(diào)整參數(shù)為低優(yōu)先級序列調(diào) 整參數(shù)的待量測批次產(chǎn)品之前，相同優(yōu)先級序列調(diào)整參數(shù)的待量測批次產(chǎn)品按照到達(dá)量測 站點(diǎn)時間順序排序。
[0017] 可選的，所述高優(yōu)先級序列調(diào)整參數(shù)為1，所述低優(yōu)先級序列調(diào)整參數(shù)為0。
[0018] 可選的，所述根據(jù)所述序列調(diào)整參數(shù)對各批次產(chǎn)品進(jìn)行排序包括：將序列調(diào)整參 數(shù)為1的批次產(chǎn)品排列至序列調(diào)整參數(shù)為0的批次產(chǎn)品之前，相同序列調(diào)整參數(shù)的各批次 產(chǎn)品按照到達(dá)量測站點(diǎn)時間順序排序。
[0019] 對應(yīng)的，本發(fā)明還提供了一種采樣量測系統(tǒng)，包括：若干待量測批次產(chǎn)品和若干已 量測批次產(chǎn)品；匹配單元，適于根據(jù)所述待量測批次產(chǎn)品和所述已量測批次產(chǎn)品的工藝流 程信息、到達(dá)量測站點(diǎn)時間信息和晶圓數(shù)量信息劃分采樣組；信息標(biāo)簽設(shè)置單元，適于根據(jù) 采樣組內(nèi)已量測產(chǎn)品的量測結(jié)果設(shè)置采樣組的信息標(biāo)簽，所述信息標(biāo)簽包括合格、不合格 和無量測結(jié)果；排序量測單元，適于將信息標(biāo)簽為不合格的采樣組中到達(dá)量測站點(diǎn)最早的 待量測批次產(chǎn)品、和信息標(biāo)簽為無量測結(jié)果的采樣組中到達(dá)量測站點(diǎn)最早的待量測批次產(chǎn) 品進(jìn)行排序量測。
[0020] 可選的，所述排序量測單元根據(jù)信息標(biāo)簽，將信息標(biāo)簽為不合格的采樣組中到達(dá) 量測站點(diǎn)最早的待量測批次產(chǎn)品、和信息標(biāo)簽為無量測結(jié)果的采樣組中到達(dá)量測站點(diǎn)最早 的待量測批次產(chǎn)品進(jìn)行排序量測包括：根據(jù)各采樣組的信息標(biāo)簽為各采樣組內(nèi)的所有待量 測批次產(chǎn)品設(shè)置序列調(diào)整參數(shù)，將信息標(biāo)簽為不合格的采樣組中到達(dá)量測站點(diǎn)最早的待量 測批次產(chǎn)品、和信息標(biāo)簽為無量測結(jié)果的采樣組中到達(dá)量測站點(diǎn)最早的待量測批次產(chǎn)品設(shè) 置為高優(yōu)先級序列調(diào)整參數(shù)，將其他待量測批次產(chǎn)品設(shè)置為低優(yōu)先級序列調(diào)整參數(shù)；根據(jù) 所述序列調(diào)整參數(shù)對各待量測批次產(chǎn)品進(jìn)行排序；對高優(yōu)先級序列調(diào)整參數(shù)的待量測批次 產(chǎn)品進(jìn)行量測。
[0021] 可選的，所述排序量測單元根據(jù)各采樣組的信息標(biāo)簽為各采樣組內(nèi)的所有待量測 批次產(chǎn)品設(shè)置序列調(diào)整參數(shù)包括：當(dāng)所述采樣組的信息標(biāo)簽為合格時，將該采樣組內(nèi)的所 有待量測批次產(chǎn)品的序列調(diào)整參數(shù)設(shè)置為低優(yōu)先級序列調(diào)整參數(shù)；當(dāng)所述采樣組的信息標(biāo) 簽為不合格時，將該采樣組內(nèi)到達(dá)量測站點(diǎn)最早的待量測批次產(chǎn)品的序列調(diào)整參數(shù)設(shè)置為 高優(yōu)先級序列調(diào)整參數(shù)，將該采樣組內(nèi)其它待量測批次產(chǎn)品的序列調(diào)整參數(shù)設(shè)置為低優(yōu)先 級序列調(diào)整參數(shù)；當(dāng)所述采樣組的信息標(biāo)簽為無量測結(jié)果時，判斷該采樣組是否已有待量 測批次產(chǎn)品進(jìn)入量測機(jī)臺進(jìn)行量測，當(dāng)該采樣組內(nèi)沒有待量測批次產(chǎn)品進(jìn)入量測機(jī)臺進(jìn)行 量測時，將該采樣組內(nèi)到達(dá)量測站點(diǎn)最早的待量測批次產(chǎn)品的序列調(diào)整參數(shù)設(shè)置為高優(yōu)先 級序列調(diào)整參數(shù)，將該采樣組內(nèi)其他待量測批次產(chǎn)品的序列調(diào)整參數(shù)設(shè)置為低優(yōu)先級序列 調(diào)整參數(shù)，當(dāng)該采樣組內(nèi)有待量測批次產(chǎn)品已進(jìn)入量測機(jī)臺進(jìn)行量測時，將該采樣組內(nèi)所 有待量測批次產(chǎn)品的序列調(diào)整參數(shù)設(shè)置為低優(yōu)先級序列調(diào)整參數(shù)。
[0022] 可選的，所述排序量測單元根據(jù)所述序列調(diào)整參數(shù)對各待量測批次產(chǎn)品進(jìn)行排序 包括：將序列調(diào)整參數(shù)為高優(yōu)先級序列調(diào)整參數(shù)的待量測批次產(chǎn)品排列至序列調(diào)整參數(shù)為 低優(yōu)先級序列調(diào)整參數(shù)的待量測批次產(chǎn)品之前，相同優(yōu)先級序列調(diào)整參數(shù)的待量測批次產(chǎn) 品按照到達(dá)量測站點(diǎn)時間順序排序。
[0023] 可選的，所述高優(yōu)先級序列調(diào)整參數(shù)為1，所述低優(yōu)先級序列調(diào)整參數(shù)為0。
[0024] 可選的，所述排序量測單元所述根據(jù)所述序列調(diào)整參數(shù)對各批次產(chǎn)品進(jìn)行排序包 括：將序列調(diào)整參數(shù)為1的批次產(chǎn)品排列至序列調(diào)整參數(shù)為〇的批次產(chǎn)品之前，相同序列調(diào) 整參數(shù)的各批次產(chǎn)品按照到達(dá)量測站點(diǎn)時間順序排序。
[0025] 本發(fā)明實(shí)施例的采樣量測的實(shí)時調(diào)度方法中，規(guī)劃人員（Planner)或者管理人員 (Supervisor)可以通過在采樣量測系統(tǒng)中實(shí)時維護(hù)采樣量測信息，保證數(shù)據(jù)的實(shí)時性和 準(zhǔn)確性；根據(jù)待量測批次產(chǎn)品和已量測批次產(chǎn)品的工藝流程信息、到達(dá)量測站點(diǎn)時間信息 和晶圓數(shù)量信息劃分采樣組；再根據(jù)采樣組內(nèi)已量測產(chǎn)品的量測結(jié)果設(shè)置采樣組的信息標(biāo) 簽；根據(jù)所述信息標(biāo)簽，將信息標(biāo)簽為不合格的采樣組中到達(dá)量測站點(diǎn)最早的待量測批次 產(chǎn)品、和信息標(biāo)簽為無量測結(jié)果的采樣組中到達(dá)量測站點(diǎn)最早的待量測批次產(chǎn)品進(jìn)行排序 量測。由于對待量測批次產(chǎn)品的排序量測通過各采樣組的量測結(jié)果進(jìn)行，對于量測結(jié)果為 合格的采樣組，可以將該采樣組內(nèi)的待量測批次產(chǎn)品設(shè)置為低優(yōu)先級序列調(diào)整參數(shù)，對于 量測結(jié)果不合格采樣組，可以將該采樣組內(nèi)排序最前的待量測批次產(chǎn)品設(shè)置為設(shè)置為高優(yōu) 先級序列調(diào)整參數(shù)，提示需要對該待量測批次產(chǎn)品進(jìn)行量測，而對于暫時沒有量測結(jié)果的 采樣組，可以根據(jù)該采樣組內(nèi)是否已經(jīng)有待量測批次產(chǎn)品進(jìn)入量測機(jī)臺進(jìn)行量測，對應(yīng)的 設(shè)置序列調(diào)整參數(shù)；基于上述各待量測批次產(chǎn)品的序列調(diào)整參數(shù)，對量測站點(diǎn)采樣組的各 待量測批次產(chǎn)品進(jìn)行排序，再按照所述排序?qū)Ω邇?yōu)先級序列調(diào)整參數(shù)的待量測批次產(chǎn)品進(jìn) 行采樣量測，極大的降低了采樣量測的復(fù)雜性，可以有效避免無效量測。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0026] 圖1是現(xiàn)有技術(shù)采樣量測的流程示意圖；
[0027] 圖2是本發(fā)明實(shí)施例采樣量測方法的流程示意圖；
[0028] 圖3是本發(fā)明實(shí)施例采樣量測方法中，根據(jù)采樣組的信息標(biāo)簽設(shè)置采樣組內(nèi)各批 次產(chǎn)品的序列調(diào)整參數(shù)的流程示意圖；
[0029] 圖4是本發(fā)明實(shí)施例的采樣量測系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0030] 由【背景技術(shù)】可知，現(xiàn)有技術(shù)的采樣量測方法中存在大量的無效量測，浪費(fèi)了量測 機(jī)臺資源。
[0031] 本發(fā)明的發(fā)明人通過研究現(xiàn)有技術(shù)采樣量測的方法，發(fā)現(xiàn)現(xiàn)有技術(shù)中，晶圓代 工廠（FAB)通常已經(jīng)建立了采樣量測系統(tǒng)，如智能采樣量測系統(tǒng)（SSS :Smart sampling system)，在量測機(jī)臺進(jìn)行量測時，各批次產(chǎn)品已經(jīng)預(yù)先被該采樣量測系統(tǒng)分配好了采樣組 另IJ，當(dāng)該采樣組中某一批次產(chǎn)品被量測之后，同一采樣組中其他批次產(chǎn)品會被自動跳過量 測站點(diǎn)。但是，量測機(jī)臺具有其特殊性，許多不同制程，不同工序，不同特性的產(chǎn)品都可能到 同一類型的量測機(jī)臺上面做量測。當(dāng)大量生產(chǎn)時，線上操作員往往要面對復(fù)雜而繁瑣的量 測產(chǎn)品采樣規(guī)則和先后派貨順序。線上操作員在進(jìn)行量測時對量測系統(tǒng)的量測結(jié)果并不知 情，不同線上操作員在進(jìn)行量測時可能多次找出同一采樣組中的批次產(chǎn)品進(jìn)行量測，這樣 大大增加了無效量測的次數(shù)，浪費(fèi)了量測機(jī)臺資源。
[0032] 基于以上研究，本發(fā)明的發(fā)明人提出了一種采樣量測方法，包括：提供若干待量測 批次產(chǎn)品和若干已量測批次產(chǎn)品；根據(jù)所述待量測批次產(chǎn)品和所述已量測批次產(chǎn)品的工藝 流程信息、到達(dá)量測站點(diǎn)時間信息和晶圓數(shù)量信息劃分采樣組；根據(jù)采樣組內(nèi)已量測產(chǎn)品 的量測結(jié)果設(shè)置采樣組的信息標(biāo)簽，所述信息標(biāo)簽包括合格、不合格和無量測結(jié)果；根據(jù)所 述信息標(biāo)簽，將信息標(biāo)簽為不合格的采樣組中到達(dá)量測站點(diǎn)最早的待量測批次產(chǎn)品、和信 息標(biāo)簽為無量測結(jié)果的采樣組中到達(dá)量測站點(diǎn)最早的待量測批次產(chǎn)品進(jìn)行排序量測。本發(fā) 明的采樣量測方法降低了采樣量測的復(fù)雜性，可以有效避免無效量測比率。
[0033] 為使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更為明顯易懂，下面結(jié)合附圖對本發(fā)明 的具體實(shí)施例做詳細(xì)的說明。需要說明的是，提供這些附圖的目的是有助于理解本發(fā)明的 實(shí)施例，而不應(yīng)解釋為對本發(fā)明的不當(dāng)?shù)南拗啤?br>
[0034] 請參考圖2,圖2是本發(fā)明實(shí)施例采樣量測方法的流程示意圖，包括：
[0035] 步驟S201，提供若干待量測批次產(chǎn)品（lot)和若干已量測批次產(chǎn)品。
[0036] 在半導(dǎo)體集成電路的制造過程中，需要對晶圓質(zhì)量進(jìn)行量測，檢驗(yàn)生產(chǎn)制造過程 的晶圓是否符合要求，監(jiān)控晶圓生產(chǎn)過程是否出現(xiàn)異?！，F(xiàn)有的晶圓代工廠通常建立有采 樣量測系統(tǒng)，如智能采樣量測系統(tǒng)（SSS :Smart Sampling System)，工程師可以在采樣量測 系統(tǒng)中設(shè)定并維護(hù)采樣量測的相關(guān)信息，智能采樣量測系統(tǒng)可以根據(jù)所述采樣量測信息對 各批次產(chǎn)品預(yù)先分配采樣組。本實(shí)施例中，提供若干待量測批次產(chǎn)品和若干已量測批次產(chǎn) 品，所述已量測批次產(chǎn)品是指該批次產(chǎn)品已經(jīng)經(jīng)過量測站點(diǎn)的量測機(jī)臺的量測，所述待量 測批次產(chǎn)品是指該批次產(chǎn)品到達(dá)量測站點(diǎn)，等待量測。屬于同一采樣組中的批次產(chǎn)品可能 有部分為已量測批次產(chǎn)品、部分為待量測批次產(chǎn)品；或者全部為待量測批次產(chǎn)品。
[0037] 步驟S202,根據(jù)所述待量測批次產(chǎn)品和所述已量測批次產(chǎn)品的工藝流程信息、到 達(dá)量測站點(diǎn)時間信息和晶圓數(shù)量信息劃分采樣組。
[0038] 所述的工藝流程信息包含了晶圓在生產(chǎn)制造過程中，需要經(jīng)過的各工序的參數(shù)信 息。所述的到達(dá)量測站點(diǎn)時間信息包含了各批次產(chǎn)品（lot)到達(dá)量測站點(diǎn)的時間，所述晶 圓片數(shù)信息包含了各批次產(chǎn)品中包含的晶圓數(shù)量。
[0039] 本實(shí)施例中，當(dāng)前序生產(chǎn)工序機(jī)臺出貨的多個批次產(chǎn)品到達(dá)量測站點(diǎn)之后，根據(jù) 所述待量測批次產(chǎn)品和所述已量測批次產(chǎn)品工藝流程信息、到達(dá)量測站點(diǎn)時間信息和晶圓 數(shù)量信息劃分采樣組。即根據(jù)上述信息與智能量測系統(tǒng)預(yù)先分配的采樣組信息做匹配，找 出對應(yīng)批次產(chǎn)品當(dāng)前所在的采樣組。下表1示出了一實(shí)施例中，量測機(jī)臺當(dāng)前隊(duì)列的待量 測批次產(chǎn)品與所在采樣組的匹配關(guān)系的示意圖，所述待量測批次產(chǎn)品包括L0T11?L0T20， 采樣組G1包含L0T11和L0T12批次產(chǎn)品；采樣組G2包含L0T13、L0T14和L0T15批次產(chǎn) 品；采樣組G3包含L0T16和L0T17批次產(chǎn)品；采樣組G4包含L0T18、L0T19和L0T20批次 產(chǎn)品。表1中待量測批次產(chǎn)品對應(yīng)的到達(dá)量測站點(diǎn)時間，表示該批次產(chǎn)品設(shè)定為該采樣組 的時間，如表中T1表示L0T11批次產(chǎn)品設(shè)定為采樣組G1的時間。
【權(quán)利要求】
1. 一種采樣量測方法，其特征在于，包括： 提供若干待量測批次產(chǎn)品和若干已量測批次產(chǎn)品； 根據(jù)所述待量測批次產(chǎn)品和所述已量測批次產(chǎn)品的工藝流程信息、到達(dá)量測站點(diǎn)時間 信息和晶圓數(shù)量信息劃分采樣組； 根據(jù)采樣組內(nèi)已量測產(chǎn)品的量測結(jié)果設(shè)置采樣組的信息標(biāo)簽，所述信息標(biāo)簽包括合 格、不合格和無量測結(jié)果； 根據(jù)所述信息標(biāo)簽，將信息標(biāo)簽為不合格的采樣組中到達(dá)量測站點(diǎn)最早的待量測批次 產(chǎn)品、和信息標(biāo)簽為無量測結(jié)果的采樣組中到達(dá)量測站點(diǎn)最早的待量測批次產(chǎn)品進(jìn)行排序 量測。
2. 如權(quán)利要求1所述的采樣量測方法，其特征在于，所述根據(jù)信息標(biāo)簽，將信息標(biāo)簽為 不合格的采樣組中到達(dá)量測站點(diǎn)最早的待量測批次產(chǎn)品、和信息標(biāo)簽為無量測結(jié)果的采樣 組中到達(dá)量測站點(diǎn)最早的待量測批次產(chǎn)品進(jìn)行排序量測包括：根據(jù)各采樣組的信息標(biāo)簽為 各采樣組內(nèi)的所有待量測批次產(chǎn)品設(shè)置序列調(diào)整參數(shù)，將信息標(biāo)簽為不合格的采樣組中到 達(dá)量測站點(diǎn)最早的待量測批次產(chǎn)品、和信息標(biāo)簽為無量測結(jié)果的采樣組中到達(dá)量測站點(diǎn)最 早的待量測批次產(chǎn)品設(shè)置為高優(yōu)先級序列調(diào)整參數(shù)，將其他待量測批次產(chǎn)品設(shè)置為低優(yōu)先 級序列調(diào)整參數(shù)；根據(jù)所述序列調(diào)整參數(shù)對各待量測批次產(chǎn)品進(jìn)行排序；對高優(yōu)先級序列 調(diào)整參數(shù)的待量測批次產(chǎn)品進(jìn)行量測。
3. 如權(quán)利要求2所述的采樣量測方法，其特征在于，所述根據(jù)各采樣組的信息標(biāo)簽為 各采樣組內(nèi)的所有待量測批次產(chǎn)品設(shè)置序列調(diào)整參數(shù)包括： 當(dāng)所述采樣組的信息標(biāo)簽為合格時，將該采樣組內(nèi)的所有待量測批次產(chǎn)品的序列調(diào)整 參數(shù)設(shè)置為低優(yōu)先級序列調(diào)整參數(shù)； 當(dāng)所述采樣組的信息標(biāo)簽為不合格時，將該采樣組內(nèi)到達(dá)量測站點(diǎn)最早的待量測批次 產(chǎn)品的序列調(diào)整參數(shù)設(shè)置為高優(yōu)先級序列調(diào)整參數(shù)，將該采樣組內(nèi)其它待量測批次產(chǎn)品的 序列調(diào)整參數(shù)設(shè)置為低優(yōu)先級序列調(diào)整參數(shù)； 當(dāng)所述采樣組的信息標(biāo)簽為無量測結(jié)果時，判斷該采樣組是否已有待量測批次產(chǎn)品進(jìn) 入量測機(jī)臺進(jìn)行量測，當(dāng)該采樣組內(nèi)沒有待量測批次產(chǎn)品進(jìn)入量測機(jī)臺進(jìn)行量測時，將該 采樣組內(nèi)到達(dá)量測站點(diǎn)最早的待量測批次產(chǎn)品的序列調(diào)整參數(shù)設(shè)置為高優(yōu)先級序列調(diào)整 參數(shù)，將該采樣組內(nèi)其他待量測批次產(chǎn)品的序列調(diào)整參數(shù)設(shè)置為低優(yōu)先級序列調(diào)整參數(shù)， 當(dāng)該采樣組內(nèi)有待量測批次產(chǎn)品已進(jìn)入量測機(jī)臺進(jìn)行量測時，將該采樣組內(nèi)所有待量測批 次產(chǎn)品的序列調(diào)整參數(shù)設(shè)置為低優(yōu)先級序列調(diào)整參數(shù)。
4. 如權(quán)利要求2所述的采樣量測方法，其特征在于，根據(jù)所述序列調(diào)整參數(shù)對各待量 測批次產(chǎn)品進(jìn)行排序包括：將序列調(diào)整參數(shù)為高優(yōu)先級序列調(diào)整參數(shù)的待量測批次產(chǎn)品排 列至序列調(diào)整參數(shù)為低優(yōu)先級序列調(diào)整參數(shù)的待量測批次產(chǎn)品之前，相同優(yōu)先級序列調(diào)整 參數(shù)的待量測批次產(chǎn)品按照到達(dá)量測站點(diǎn)時間順序排序。
5. 如權(quán)利要求3所述的采樣量測方法，其特征在于，所述高優(yōu)先級序列調(diào)整參數(shù)為1， 所述低優(yōu)先級序列調(diào)整參數(shù)為0。
6. 如權(quán)利要求5所述的采樣量測方法，其特征在于，所述根據(jù)所述序列調(diào)整參數(shù)對各 批次產(chǎn)品進(jìn)行排序包括：將序列調(diào)整參數(shù)為1的批次產(chǎn)品排列至序列調(diào)整參數(shù)為〇的批次 產(chǎn)品之前，相同序列調(diào)整參數(shù)的各批次產(chǎn)品按照到達(dá)量測站點(diǎn)時間順序排序。
7. -種采樣量測系統(tǒng)，其特征在于，包括： 若干待量測批次產(chǎn)品和若干已量測批次產(chǎn)品； 匹配單元，適于根據(jù)所述待量測批次產(chǎn)品和所述已量測批次產(chǎn)品的工藝流程信息、到 達(dá)量測站點(diǎn)時間信息和晶圓數(shù)量信息劃分采樣組； 信息標(biāo)簽設(shè)置單元，適于根據(jù)采樣組內(nèi)已量測產(chǎn)品的量測結(jié)果設(shè)置采樣組的信息標(biāo) 簽，所述信息標(biāo)簽包括合格、不合格和無量測結(jié)果； 排序量測單元，適于將信息標(biāo)簽為不合格的采樣組中到達(dá)量測站點(diǎn)最早的待量測批次 產(chǎn)品、和信息標(biāo)簽為無量測結(jié)果的采樣組中到達(dá)量測站點(diǎn)最早的待量測批次產(chǎn)品進(jìn)行排序 量測。
8. 如權(quán)利要求7所述的采樣量測系統(tǒng)，其特征在于，所述排序量測單元根據(jù)信息標(biāo)簽， 將信息標(biāo)簽為不合格的采樣組中到達(dá)量測站點(diǎn)最早的待量測批次產(chǎn)品、和信息標(biāo)簽為無量 測結(jié)果的采樣組中到達(dá)量測站點(diǎn)最早的待量測批次產(chǎn)品進(jìn)行排序量測包括：根據(jù)各采樣組 的信息標(biāo)簽為各采樣組內(nèi)的所有待量測批次產(chǎn)品設(shè)置序列調(diào)整參數(shù)，將信息標(biāo)簽為不合格 的采樣組中到達(dá)量測站點(diǎn)最早的待量測批次產(chǎn)品、和信息標(biāo)簽為無量測結(jié)果的采樣組中到 達(dá)量測站點(diǎn)最早的待量測批次產(chǎn)品設(shè)置為高優(yōu)先級序列調(diào)整參數(shù)，將其他待量測批次產(chǎn)品 設(shè)置為低優(yōu)先級序列調(diào)整參數(shù)；根據(jù)所述序列調(diào)整參數(shù)對各待量測批次產(chǎn)品進(jìn)行排序；對 高優(yōu)先級序列調(diào)整參數(shù)的待量測批次產(chǎn)品進(jìn)行量測。
9. 如權(quán)利要求8所述的采樣量測系統(tǒng)，其特征在于，所述排序量測單元根據(jù)各采樣組 的信息標(biāo)簽為各采樣組內(nèi)的所有待量測批次產(chǎn)品設(shè)置序列調(diào)整參數(shù)包括： 當(dāng)所述采樣組的信息標(biāo)簽為合格時，將該采樣組內(nèi)的所有待量測批次產(chǎn)品的序列調(diào)整 參數(shù)設(shè)置為低優(yōu)先級序列調(diào)整參數(shù)； 當(dāng)所述采樣組的信息標(biāo)簽為不合格時，將該采樣組內(nèi)到達(dá)量測站點(diǎn)最早的待量測批次 產(chǎn)品的序列調(diào)整參數(shù)設(shè)置為高優(yōu)先級序列調(diào)整參數(shù)，將該采樣組內(nèi)其它待量測批次產(chǎn)品的 序列調(diào)整參數(shù)設(shè)置為低優(yōu)先級序列調(diào)整參數(shù)； 當(dāng)所述采樣組的信息標(biāo)簽為無量測結(jié)果時，判斷該采樣組是否已有待量測批次產(chǎn)品進(jìn) 入量測機(jī)臺進(jìn)行量測，當(dāng)該采樣組內(nèi)沒有待量測批次產(chǎn)品進(jìn)入量測機(jī)臺進(jìn)行量測時，將該 采樣組內(nèi)到達(dá)量測站點(diǎn)最早的待量測批次產(chǎn)品的序列調(diào)整參數(shù)設(shè)置為高優(yōu)先級序列調(diào)整 參數(shù)，將該采樣組內(nèi)其他待量測批次產(chǎn)品的序列調(diào)整參數(shù)設(shè)置為低優(yōu)先級序列調(diào)整參數(shù)， 當(dāng)該采樣組內(nèi)有待量測批次產(chǎn)品已進(jìn)入量測機(jī)臺進(jìn)行量測時，將該采樣組內(nèi)所有待量測批 次產(chǎn)品的序列調(diào)整參數(shù)設(shè)置為低優(yōu)先級序列調(diào)整參數(shù)。
10. 如權(quán)利要求8所述的采樣量測系統(tǒng)，其特征在于，所述排序量測單元根據(jù)所述序列 調(diào)整參數(shù)對各待量測批次產(chǎn)品進(jìn)行排序包括：將序列調(diào)整參數(shù)為高優(yōu)先級序列調(diào)整參數(shù)的 待量測批次產(chǎn)品排列至序列調(diào)整參數(shù)為低優(yōu)先級序列調(diào)整參數(shù)的待量測批次產(chǎn)品之前，相 同優(yōu)先級序列調(diào)整參數(shù)的待量測批次產(chǎn)品按照到達(dá)量測站點(diǎn)時間順序排序。
11. 如權(quán)利要求9所述的采樣量測系統(tǒng)，其特征在于，所述高優(yōu)先級序列調(diào)整參數(shù)為1， 所述低優(yōu)先級序列調(diào)整參數(shù)為0。
12. 如權(quán)利要求11所述的采樣量測系統(tǒng)，其特征在于，所述排序量測單元所述根據(jù)所 述序列調(diào)整參數(shù)對各批次產(chǎn)品進(jìn)行排序包括：將序列調(diào)整參數(shù)為1的批次產(chǎn)品排列至序列 調(diào)整參數(shù)為〇的批次產(chǎn)品之前，相同序列調(diào)整參數(shù)的各批次產(chǎn)品按照到達(dá)量測站點(diǎn)時間順 序排序。
【文檔編號】H01L21/66GK104217970SQ201310222154
【公開日】2014年12月17日 申請日期:2013年6月5日 優(yōu)先權(quán)日:2013年6月5日
【發(fā)明者】趙晨, 譚小兵, 張京晶, 羅志林 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司