專利名稱：石英槳的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及半導體生產(chǎn)工具領域，特別是涉及一種石英槳。
技術背景石英槳主要應用于集成電路半導體芯片生產(chǎn)線的關鍵工序，是高溫擴散及硅片氧化擴散工藝中配套使用的搬運工具。近年來，隨著電子信息產(chǎn)業(yè)及微電子技術的迅猛發(fā)展，對石英制品的市場需求與日俱增。實用新型專利懸臂石英槳(ZL2007202007161)，公開了一種包含有承載部分、結合部分和懸臂部分的三段式懸臂石英槳，為了可以多承載石英舟，將承載部分的體積及壁厚增大，而且三部分是通過連接的方式固定在一起的，這種石英槳雖可以多承載石英舟，但制作工藝復雜，且浪費原材料。
發(fā)明內(nèi)容針對上述領域中的不足，本發(fā)明提供一種一體式的石英槳，這三部分由一根整體石英管加工而成，承重加強，且制作工藝簡單。石英槳，其特征在于它包括承載段、結合段和懸臂段一體式的連續(xù)三段，所述懸臂段為石英管一端的空心管；承載段為弧形管殼，所述弧形夾角小于180度；所述結合段為從弧形管殼到空心管的過渡段，所述弧形管殼內(nèi)的底部固定有一加強板。所述過渡段為圓弧段形狀。所述空心管內(nèi)部有一石英隔板，所述石英隔板上開一通氣孔。所述空心管與弧形管殼底部同側方向的外壁上固定有限位小管。本實用新型采用石英管制成一體式石英槳，三部分之間沒有焊縫，其承載能力本身就有所加強，不需要在承載段加大壁厚，承載段由石英管切割成弧形，結合段的形狀可以隨意，本實用新型優(yōu)選弧形連接，在承載段內(nèi)底部的加強板可以進一步提高承載能力，同時加強板的設計也可以防止石英舟在運載或是爐內(nèi)氧化時的輕微晃動?？招墓軆?nèi)部的石英隔板，可以防止氧化爐內(nèi)的物質污染懸臂段，而通氣孔的開啟是為了防止懸臂段成為密封的空間，在溫度升高時以防懸臂段炸裂?？招墓芡獗谏系南尬恍」?，可以與外部的設備連接，起到固定限位的作用。本實用新型采用一體式的石英槳設計，提高了承載能力，同時在弧形管殼底部設置加強板進一步提高了承載能力，且制作工藝簡單方便。

圖I本實用新型的俯視圖，圖2本實用新型的主剖視圖，圖3本實用新型的左側視圖，圖中各標號列示如下[0017]I—懸臂段,2 —結合段，3—承載段，4一加強板，5 —隔板,6—通氣孔,7 —限位小管，8—空心管，9 一弧形管殼，10—過渡段。
具體實施方式
如圖所示，本實用新型的石英槳，其特征在于它包括承載段3、結合段2和懸臂段I 一體式的連續(xù)三段，所述懸臂段I為石英管一端的空心管8 ;承載段為弧形管殼9，所述弧形夾角小于180度；所述結合段2為從弧形管殼9到空心管8的過渡段10，該過渡段10優(yōu)選為圓弧段形狀，可以為任意形狀，所述弧形管殼9內(nèi)的底部固定有一加強板4。本實用新型采用石英管制成一體式石英槳，三部分之間沒有焊縫，其承載能力本身就有所加強，不需要在承載段加大壁厚，承載段3由石英管切割成弧形，在承載段3內(nèi)底部的加強板4可以進一步提高承載能力，同時加強板4的設計也可以防止石英舟在運載或是爐內(nèi)氧化時的輕微晃動。 所述空心管8內(nèi)部有一石英隔板5，可以防止氧化爐內(nèi)的物質污染懸臂段I ;所述石英隔板5上開一通氣孔6，通氣孔6的開啟是為了防止懸臂段I成為密封的空間，在溫度升高時以防懸臂段I炸裂。所述空心管8與弧形管殼9底部同側方向的外壁上固定有限位小管7，可以與外部的設備連接，起到固定限位的作用。本實用新型采用一體式的石英槳設計，提高了承載能力，同時在弧形管殼9底部設置加強板進一步提高了承載能力，且制作工藝簡單方便。
權利要求1.石英槳，其特征在于它包括承載段、結合段和懸臂段一體式的連續(xù)三段，所述懸臂段為石英管一端的空心管；承載段為弧形管殼，所述弧形夾角小于180度；所述結合段為從弧形管殼到空心管的過渡段，所述弧形管殼內(nèi)的底部固定有一加強板。
2.根據(jù)權利要求I所述的石英槳，其特征在于所述過渡段為圓弧段形狀。
3.根據(jù)權利要求I所述的石英槳，其特征在于所述空心管內(nèi)部有一石英隔板，所述石英隔板上開一通氣孔。
4.根據(jù)權利要求I所述的石英槳，其特征在于所述空心管與弧形管殼底部同側方向的外壁上固定有限位小管。
專利摘要本實用新型涉及石英槳，屬于半導體生產(chǎn)工具領域，它包括承載段、結合段和懸臂段一體式的連續(xù)三段，所述懸臂段為石英管一端的空心管；承載段為弧形管殼，所述弧形夾角小于180度；所述結合段為從弧形管殼到空心管的過渡段，所述弧形管殼內(nèi)的底部固定有一加強板。本實用新型采用一體式的石英槳設計，提高了承載能力，同時在弧形管殼底部設置加強板進一步提高了承載能力，且制作工藝簡單方便。
文檔編號H01L21/673GK202678296SQ201220301999
公開日2013年1月16日 申請日期2012年6月25日 優(yōu)先權日2012年6月25日
發(fā)明者張忠恕, 楊繼盛, 陳強, 韋冬寒, 于洋, 張娟, 張連興, 趙小亮, 李翔星, 劉文靜 申請人:北京凱德石英有限公司