專利名稱：一種移動式密封裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導體集成電路制造工藝領(lǐng)域，具體涉及一種移動式密封裝置。
背景技術(shù)：
隨著半導體工藝設(shè)備的發(fā)展，對集成電路硅片的清洗制造工藝要求也越來越高。在集成電路清洗工藝過程中，對于工藝腔室內(nèi)部的微環(huán)境有較高的要求，為了保證一個良好的內(nèi)部微環(huán)境，需要對硅片周圍的工藝腔室進行密封，以使硅片與周圍的環(huán)境進行隔絕。但是同時，在機械手對硅片進行抓取與放置的過程中，又不可避免的會使工藝腔室與外部環(huán)境連通。為使硅片在清洗的過程中盡可能的減小外部環(huán)境對其的影響，在硅片放置完畢后，應該對工藝腔室進行及時的密封，以保證工藝腔室的工藝要求。

發(fā)明內(nèi)容
(一)要解決的技術(shù)問題本發(fā)明的目的在于提供一種在機械手進入工藝腔室中對硅片進行抓取與放置并退出工藝腔室之后，能夠及時對工藝腔室進行密封的移動式密封裝置。(二)技術(shù)方案為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供一種移動式密封裝置，該密封裝置包括移動式密封板、驅(qū)動裝置、導軌和導軌滑塊；所述導軌與導軌滑塊連接；所述移動式密封板一端與導軌滑塊連接，另一端與驅(qū)動裝置連接。進一步，所述驅(qū)動裝置為氣缸。再進一步，所述氣缸上設(shè)有能夠上下移動的滑塊。其中，該密封裝置還包括連接件；所述移動式密封板通過連接件與氣缸的滑塊連接。其中，該密封裝置還包括驅(qū)動裝置保護罩，所述驅(qū)動裝置位于所述驅(qū)動裝置保護罩內(nèi)。進一步，所述驅(qū)動裝置保護罩為電動執(zhí)行器保護罩。其中，所述電動執(zhí)行器保護罩采用無塵防腐蝕的非金屬材料。其中，所述電動執(zhí)行器保護罩一側(cè)開有長凹槽，另一側(cè)開有第一短凹槽和第二短凹槽。其中，該密封裝置還包括位置控制裝置；所述位置控制裝置安裝在驅(qū)動裝置保護罩內(nèi)。進一步，所述位置控制裝置包括第一限位傳感器和第二限位傳感器，所述第一限位傳感器和第二限位傳感器分別安裝在電動執(zhí)行器保護罩的第一短凹槽和第二短凹槽中。(三)有益效果本發(fā)明提供的移動式密封裝置安裝在工藝腔室開口處，在機械手進入工藝腔室之前，該密封裝置移動到最低位置，以使機械手能夠進入工藝腔室中對硅片進行抓取與放置，在機械手退出工藝腔室后，使用該密封裝置對工藝腔室進行及時密封。利用本發(fā)明提供的移動式密封裝置對工藝腔室進行密封，能夠使工藝腔室內(nèi)部放置的硅片的周圍微環(huán)境與外界環(huán)境做到更好的隔離，從而保證工藝腔室內(nèi)部的潔凈等級，使設(shè)備達到更高的工藝要求。


圖1是將移動式密封裝置固定在工藝腔室面板上的示意圖。
圖2是本發(fā)明提供的移動式密封裝置的結(jié)構(gòu)圖。
圖3是圖2所示的移動式密封裝置的移動式密封板的結(jié)構(gòu)圖。
圖4是圖2所示的移動式密封裝置的氣缸的結(jié)構(gòu)圖。
圖5是圖2所示的移動式密封裝置的連接件的結(jié)構(gòu)圖。
圖6是不含頂蓋情況下的電動執(zhí)行器保護罩的結(jié)構(gòu)圖。
圖7是圖2所示的移動式密封裝置的導軌滑塊的結(jié)構(gòu)圖。
圖中，1:工藝腔室；2 :移動式密封裝置；3 :移動式密封板；301 :第一孔；302 :第二孔；4 :氣缸；401 :滑塊；5 :連接件；501 :弟一通孔；502 :弟_■通孔；6 電動執(zhí)彳了器保護罩； 601 :第一短凹槽；602 :第二短凹槽；603 :長凹槽；7 :第一限位傳感器；8 :第二限位傳感器； 9 :導軌；10 :導軌滑塊。
具體實施方式
下面結(jié)合附圖對本發(fā)明提供的移動式密封裝置的具體實施方式
作進一步詳細說明。這些實施方式僅用于說明本發(fā)明，而并非對本發(fā)明的限制。
在本發(fā)明的描述中，需要說明的是，術(shù)語“中心”、“縱向”、“橫向”、“上”、“下”、“前”、 “后”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“頂”、“底” “內(nèi)”、“外”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本發(fā)明和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對本發(fā)明的限制。此外，術(shù)語“第一”、“第二”、“第三”僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對重要性。
在本發(fā)明的描述中，需要說明的是，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語“安裝”、“相連”、“連接”應做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或一體地連接；可以是機械連接，也可以是電連接；可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，可以是兩個元件內(nèi)部的連通。對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以具體情況理解上述術(shù)語在本發(fā)明中的具體含義。此外，在本發(fā)明的描述中，除非另有說明，“多個”的含義是兩個或兩個以上。
如圖1所示，工藝腔室I上開有一個大小適中的口，用于從工藝腔室I內(nèi)取放硅片，將移動式密封裝置2通過螺釘?shù)染o固件固定在工藝腔室I開口處(圖中工藝腔室只顯示其中一個面)。
如圖2、圖7所示，本發(fā)明提供的移動式密封裝置2包括移動式密封板3、驅(qū)動裝置、導軌9和導軌滑塊10，該密封裝置還包括驅(qū)動裝置保護罩、連接件5和位置控制裝置； 所述導軌9與導軌滑塊10連接；所述移動式密封板3 —端與導軌滑塊10連接，另一端通過連接件5與驅(qū)動裝置連接；所述導軌滑塊10為兩個。
在本實施方式中，通過導軌滑塊10達到移動式密封板3在導軌9上滑動的效果只是本發(fā)明的優(yōu)選方式，其他可以達到此效果的連接方式也在本發(fā)明的保護范圍之內(nèi)。所述驅(qū)動裝置采用氣缸4驅(qū)動，用于驅(qū)動移動式密封板3的上下移動，以保證驅(qū)動過程平穩(wěn)、可靠；為了達到良好的密封效果，所述移動式密封板3的面積應稍大于工藝腔室I上的開口的面積；所述連接件5用于連接氣缸4和移動式密封板3 ;所述驅(qū)動裝置保護罩為電動執(zhí)行器保護罩6，所述驅(qū)動裝置位于所述驅(qū)動裝置保護罩內(nèi)，用于隔離驅(qū)動裝置與周圍環(huán)境，減小由于驅(qū)動裝置在移動過程中產(chǎn)生微小顆粒而影響工藝過程；所述位置控制裝置安裝在驅(qū)動裝置保護罩內(nèi)，其包括第一限位傳感器7和第二限位傳感器8，用于該密封裝置2在上下移動時的限位保護；所述導軌9用于導向定位，以保證該密封裝置2在移動過程中沿固定方向移動不會發(fā)生較大偏差；為了保證該移動式密封裝置2的穩(wěn)定性，所述導軌9與導軌滑塊10的接觸面積不能太小。如圖3所不,移動式密封板3上設(shè)有第一孔301和第二孔302,第一孔301和第二孔302分別位于移動式密封板3的左右兩側(cè)，第一孔301用于移動式密封板3與導軌滑塊10的連接，第二孔302用于移動式密封板3與氣缸4的連接。 如圖4所示，氣缸4上設(shè)有能夠上下移動的滑塊401，所述滑塊401上開有螺紋孔；所述移動式密封板3通過連接件5與氣缸4的滑塊401連接。如圖5所示，連接件5上設(shè)有第一通孔501和第二通孔502，第一通孔501用于連接件5與移動式密封板3的連接，第二通孔502用于連接件5與氣缸4上方的滑塊401的連接；為了減小由于加工誤差而造成的安裝困難等問題，將所述第一通孔501加工成橢圓狀。如圖6所示，電動執(zhí)行器保護罩6 —側(cè)開有長凹槽603，用于連接件5的上下移動，另一側(cè)開有第一短凹槽601和第二短凹槽602,分別用于安裝第一限位傳感器7和第二限位傳感器8，當移動式密封板3移動到上極限位置或下極限位置時，第一限位傳感器7或第二限位傳感器8發(fā)出觸發(fā)信號使氣缸4停止驅(qū)動，以保護移動式密封裝置2，同時也能夠保證良好的密封效果；為了避免采用金屬材料制成的電動執(zhí)行器保護罩6產(chǎn)生微小顆粒而影響集成電路清洗的效果，電動執(zhí)行器保護罩6采用無塵防腐蝕的非金屬材料制成。本發(fā)明提供的移動式密封裝置2對工藝腔室I的密封過程如下S1:機械手將硅片放置到工藝腔室I的合適位置并退出腔室；S2 :驅(qū)動裝置驅(qū)動移動式密封板3沿導軌9上下移動；S3 :第一限位傳感器7和第二限位傳感器8對移動式密封板3的滑移距離進行控制；S4 :當移動式密封板3完全覆蓋工藝腔室I的開口時，驅(qū)動裝置停止驅(qū)動，此時密封過程結(jié)束。以上所述僅是本發(fā)明的優(yōu)選實施方式，應當指出，對于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明技術(shù)原理的前提下，還可以做出若干改進和替換，這些改進和替換也應視為本發(fā)明的保護范圍。
權(quán)利要求
1.一種移動式密封裝置，其特征在于，該密封裝置包括移動式密封板(3)、驅(qū)動裝置、導軌(9)和導軌滑塊(10);所述導軌(9)與導軌滑塊(10)連接；所述移動式密封板(3) —端與導軌滑塊(10)連接，另一端與驅(qū)動裝置連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的移動式密封裝置，其特征在于，所述驅(qū)動裝置為氣缸(4)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的移動式密封裝置，其特征在于，所述氣缸(4)上設(shè)有能夠上下移動的滑塊(401)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的移動式密封裝置，其特征在于，該密封裝置還包括連接件(5);所述移動式密封板(3)通過連接件(5)與氣缸(4)的滑塊(401)連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的移動式密封裝置，其特征在于，該密封裝置還包括驅(qū)動裝置保護罩，所述驅(qū)動裝置位于所述驅(qū)動裝置保護罩內(nèi)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的移動式密封裝置，其特征在于，所述驅(qū)動裝置保護罩為電動執(zhí)行器保護罩(6 )。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的移動式密封裝置，其特征在于，所述電動執(zhí)行器保護罩(6)采用無塵防腐蝕的非金屬材料。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的移動式密封裝置，其特征在于，所述電動執(zhí)行器保護罩(6)—側(cè)開有長凹槽(603)，另一側(cè)開有第一短凹槽(601)和第二短凹槽(602)。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的移動式密封裝置，其特征在于，該密封裝置還包括位置控制裝置；所述位置控制裝置安裝在驅(qū)動裝置保護罩內(nèi)。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的移動式密封裝置，其特征在于，所述位置控制裝置包括第一限位傳感器(7)和第二限位傳感器(8)，所述第一限位傳感器(7)和第二限位傳感器(8)分別安裝在電動執(zhí)行器保護罩(6)的第一短凹槽(601)和第二短凹槽(602)中。
全文摘要
本發(fā)明提供一種移動式密封裝置，該密封裝置包括移動式密封板、驅(qū)動裝置、導軌和導軌滑塊；所述導軌與導軌滑塊連接；所述移動式密封板一端與導軌滑塊連接，另一端與驅(qū)動裝置連接。本發(fā)明提供的移動式密封裝置安裝在工藝腔室開口處，在機械手進入工藝腔室之前，該密封裝置移動到最低位置，以使機械手能夠進入工藝腔室中對硅片進行抓取與放置，在機械手退出工藝腔室后，使用該密封裝置對工藝腔室進行及時密封。利用本發(fā)明提供的移動式密封裝置對工藝腔室進行密封，能夠使工藝腔室內(nèi)部放置的硅片的周圍微環(huán)境與外界環(huán)境做到更好的隔離，從而保證工藝腔室內(nèi)部的潔凈等級，使設(shè)備達到更高的工藝要求。
文檔編號H01L21/67GK103021909SQ20121050753
公開日2013年4月3日 申請日期2012年11月30日 優(yōu)先權(quán)日2012年11月30日
發(fā)明者徐俊成, 高 浩, 李偉, 賈星杰, 孫文婷 申請人:北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司