專利名稱：配置用于處理多種尺寸的組件板的處理件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明大體而言是有關(guān)于組件板處理件(或組件板處理設(shè)備或裝置)，是配置以處理、抓取、支撐、擷取、或裝載組件板，例如 不同尺寸的晶圓、基材架或太陽(yáng)能電池板。更具體而言，本發(fā)明的組件板處理件包括至少ー裝載器或抓取組件，是配置以處理、抓取、支撐、擷取、或裝載組件板，上述至少ー裝載器或抓取組件在一些可調(diào)整、可選擇、或預(yù)先決定的位置之間是可移動(dòng)的，用于處理、抓取、支撐、擷取、或裝載不同或各種尺寸的組件板。
背景技術(shù)：
隨著對(duì)于半導(dǎo)體組件及電子產(chǎn)品全球性需求增加，促使在制造半導(dǎo)體組件與電子產(chǎn)品方面上，此領(lǐng)域方法、系統(tǒng)、裝置與技術(shù)應(yīng)用有顯著進(jìn)步發(fā)展。制造半導(dǎo)體組件與電子產(chǎn)品，用以生產(chǎn)具有提供更高效率或產(chǎn)量的半導(dǎo)體系統(tǒng)及設(shè)備(例如系統(tǒng)、裝載裝置、封裝裝置以及處理裝置)是需求的。另外，促使有關(guān)方法及系統(tǒng)(像是更高準(zhǔn)確性及増加生產(chǎn)速度)的進(jìn)步，用來(lái)檢查半導(dǎo)體組件在半導(dǎo)體エ業(yè)上也是很重要。在半導(dǎo)體組件制造上有許多不同程序。在傳統(tǒng)半導(dǎo)體組件制造中常包括復(fù)雜程序步驟、或部分，包括制造、制程、測(cè)試、檢查、封裝。通常，生產(chǎn)半導(dǎo)體組件所需要的復(fù)雜制程步驟、或部分中，每一流程都在不同工作站或地點(diǎn)完成(例如制造站、制程站、測(cè)試站、檢查站、封裝站)。因此，在制造流程中半導(dǎo)體組件通常需要在不同工作站或地點(diǎn)間轉(zhuǎn)移。通常，半導(dǎo)體組件處理設(shè)備或裝置(例如晶圓處理設(shè)備與基材架處理設(shè)備)常用于處理半導(dǎo)體組件或用于在不同工作站或地點(diǎn)之間轉(zhuǎn)移半導(dǎo)體組件。許多常見(jiàn)半導(dǎo)體組件處理設(shè)備，包括夾子或夾取式機(jī)構(gòu)或手臂配置以抓取、支撐、或裝載半導(dǎo)體組件。然而，夾取式機(jī)構(gòu)或手臂會(huì)牽涉到結(jié)構(gòu)及/或操作上限制。例如，夾取式機(jī)構(gòu)可用于抓取、支撐、或裝載半導(dǎo)體組件，特別當(dāng)不當(dāng)?shù)膴A取力量被用于抓取、支撐、或裝載所謂半導(dǎo)體組件，可能以造成半導(dǎo)體組件的損害或變形。另外，每ー種夾取式機(jī)構(gòu)通常配置以抓取、支撐、或裝載特定尺寸的半導(dǎo)體組件。關(guān)于半導(dǎo)體組件處理設(shè)備的使用，是傳送基材架到真空吸臺(tái)作更進(jìn)一歩制程(例如光學(xué)檢查)，夾取式機(jī)構(gòu)或機(jī)器手臂的使用，用來(lái)抓取、支撐、傳送基材架至真空吸臺(tái)通常需要一段時(shí)間，以及真空吸臺(tái)上頂針(ejector pin)的使用，用以從半導(dǎo)體組件處理設(shè)備上接收基材架。然而，頂針的使用牽涉ー些限制與不利因素，包括増加真空吸臺(tái)的制造及操作成本。另外，頂針作用將會(huì)在真空吸臺(tái)上導(dǎo)致間隙與開(kāi)孔，因此在真空吸臺(tái)上某個(gè)部分或更多部分上將降低吸真空功能及/或真空均勻度。此外，當(dāng)真空吸臺(tái)被不正確地(例如完全)限制住時(shí)，頂針可能對(duì)于基材架(或被基材架裝載的半導(dǎo)體組件)造成意外的損害或缺陷?；募芸裳b載不同尺寸(例如直徑)的半導(dǎo)體組件。舉例來(lái)說(shuō)，通?；募艹叽绨?英寸(150毫米)、8英寸(200毫米)、以及12英寸(300毫米)?；募艹叽缡谴钆溲b載特定尺寸大小的晶圓(或特定型式半導(dǎo)體組件)，基材架是配置以裝載并具比晶圓(或半導(dǎo)體組件)全部更大的尺寸。更具體而言，基材架包括金屬或塑料環(huán)或邊緣配置以支撐高分子基材或膠帯。晶圓(例如一塊完整或被切割過(guò)的晶圓)可藉由高分子基材來(lái)裝載，例如，被配置在基材架的中央?；募艽嬖谥S多不同的尺寸，而產(chǎn)生對(duì)于具有抓取、支撐、裝載、和/或轉(zhuǎn)移上述不同尺寸的基材架的基材架處理設(shè)備的需求。許多現(xiàn)有基材架處理設(shè)備有ー些限制、缺點(diǎn)或問(wèn)題，例如在執(zhí)行抓取、支撐、裝載不同尺寸的基材架之前，需要些重要或時(shí)間消耗的人工調(diào)整。因此，需要ー種用于處理、抓取、裝載、支撐或轉(zhuǎn)移基材架的新穎、經(jīng)修改和/或改進(jìn)的基材架處理設(shè)備。

發(fā)明內(nèi)容
根據(jù)本發(fā)明的第一方面，ー種設(shè)備，包括多個(gè)移動(dòng)手臂，每個(gè)移動(dòng)手臂包括設(shè)于其縱長(zhǎng)方向的至少ー組件板抓取組件，該至少一組件板抓取組件配置為抓取組件板，該多個(gè)移動(dòng)手臂在多個(gè)若干組預(yù)設(shè)位置之間移動(dòng)，每ー組的若干組預(yù)設(shè)位置對(duì)應(yīng)不同形狀和/或尺寸的組件板；及位置控制機(jī)構(gòu)，適應(yīng)地耦接該多個(gè)移動(dòng)手臂，該位置控制機(jī)構(gòu)配置以控制多個(gè)移動(dòng)手臂移動(dòng)至多個(gè)若干組預(yù)設(shè)位置中的一組預(yù)設(shè)位置，對(duì)應(yīng)于待處理的組件板的形 狀和尺寸，其中該多個(gè)移動(dòng)手臂的移動(dòng)實(shí)現(xiàn)其上該至少一組件板抓取組件移動(dòng)至ー組預(yù)設(shè)位置，以抓取和處理對(duì)應(yīng)于預(yù)設(shè)形狀和尺寸的組件板。優(yōu)選地，該多個(gè)移動(dòng)手臂中每ー個(gè)移動(dòng)手臂的該至少一組件板抓取組件的每ー個(gè)組件板抓取組件流動(dòng)耦接至少ー個(gè)真空源，而且配置以提供吸真空力至組件板的表面，以當(dāng)觸發(fā)至少ー個(gè)真空源時(shí)促進(jìn)處理組件板。優(yōu)選地，該至少一組件板抓取組件沿該多個(gè)移動(dòng)手臂的每ー個(gè)的縱長(zhǎng)方向在多個(gè)位置間移動(dòng)，以抓取和處理不同形狀和/或尺寸的組件板。優(yōu)選地，該多個(gè)移動(dòng)手臂的每ー個(gè)的移動(dòng)手臂包括至少ー相接其它部分的部件，該部件包括設(shè)于其上的至少ー組件板抓取組件。優(yōu)選地，該位置控制機(jī)構(gòu)包括手動(dòng)位置控制機(jī)構(gòu)，該手動(dòng)位置控制機(jī)構(gòu)適應(yīng)地耦接多個(gè)移動(dòng)手臂，該手動(dòng)位置控制機(jī)構(gòu)由使用者輸入手動(dòng)配置，以控制和實(shí)現(xiàn)多個(gè)移動(dòng)手臂同步移動(dòng)至多組預(yù)設(shè)位置中選定的一組預(yù)設(shè)位置上，以抓取對(duì)應(yīng)選定組件板形狀和/或尺寸的組件板。優(yōu)選地，該手動(dòng)位置控制機(jī)構(gòu)包括帯，該帶耦接手動(dòng)位置控制機(jī)構(gòu)至多個(gè)耦接結(jié)構(gòu)上，該稱接結(jié)構(gòu)依次適應(yīng)地稱接多個(gè)移動(dòng)手臂；選擇接ロ，包括多個(gè)連接標(biāo)不件，該多個(gè)連接標(biāo)示件的每ー個(gè)對(duì)應(yīng)不同組件板形狀和/或尺寸的選擇，以及選擇件連桿，根據(jù)使用者選擇，可相對(duì)該選擇接ロ移動(dòng)，且配置以連接多個(gè)連接標(biāo)示件的每ー個(gè)，其中，該選擇件連桿手動(dòng)連接至多個(gè)連接標(biāo)示件的任何一個(gè)驅(qū)使帶移動(dòng)ー個(gè)預(yù)設(shè)距離，對(duì)應(yīng)于移動(dòng)多個(gè)移動(dòng)手臂至多個(gè)若干組預(yù)設(shè)位置中的一組預(yù)設(shè)位置，以抓取對(duì)應(yīng)選定組件板形狀和/或尺寸的組件板。優(yōu)選地，該位置控制機(jī)構(gòu)是自動(dòng)的，而且包括至少ー執(zhí)行器，該執(zhí)行器適應(yīng)地耦接多個(gè)耦接結(jié)構(gòu)的至少ー個(gè)，該多個(gè)耦接結(jié)構(gòu)的每ー個(gè)通過(guò)帶耦接，其中至少ー執(zhí)行器在被觸發(fā)時(shí)配置以旋轉(zhuǎn)耦接結(jié)構(gòu)來(lái)驅(qū)動(dòng)帶同步移動(dòng)或其它方式移動(dòng)多個(gè)移動(dòng)手臂中的每ー個(gè)至多個(gè)若干組預(yù)設(shè)位置中的一組預(yù)設(shè)位置，以抓取對(duì)應(yīng)選定組件板形狀和/或尺寸的組件板。優(yōu)選地，該位置控制機(jī)構(gòu)是自動(dòng)的，而且包括多個(gè)執(zhí)行器，多個(gè)執(zhí)行器的每ー個(gè)耦接多個(gè)耦接結(jié)構(gòu)的每ー個(gè)，該耦接結(jié)構(gòu)耦接多個(gè)移動(dòng)手臂中的每ー個(gè)，其中多個(gè)執(zhí)行器配置以被觸發(fā)來(lái)同步移動(dòng)或其它方式移動(dòng)多個(gè)移動(dòng)手臂的每ー個(gè)至多個(gè)若干組預(yù)設(shè)位置中的一組預(yù)設(shè)位置，以抓取對(duì)應(yīng)選定組件板形狀和/或尺寸的組件板。優(yōu)選地，由位置控制機(jī)構(gòu)處理的組件板形狀和/或尺寸的選擇或確定是自動(dòng)的，并且使得由自動(dòng)感應(yīng)或檢測(cè)裝置配置以(a)感應(yīng)或檢測(cè)用于處理的組件板的形狀和/或尺寸，和(b)傳送給處理器合適的信號(hào)，其中其后的處理器傳送合適的控制信號(hào)或執(zhí)行指令至位置控制機(jī)構(gòu)以移動(dòng)多個(gè)移動(dòng)手臂的每ー個(gè)至一組預(yù)設(shè)位置，該預(yù)設(shè)位置對(duì)應(yīng)所感應(yīng)或檢測(cè)到的組件板的形狀和/或尺寸。優(yōu)選地，自動(dòng)感應(yīng)或檢測(cè)裝置包括至少ー個(gè)傳感器或感應(yīng)件,該傳感器或感應(yīng)件設(shè)于組件板處理設(shè)備上或組件板處理設(shè)備的外部。優(yōu)選地，用于處理和用于移動(dòng)多個(gè)移動(dòng)手臂至多個(gè)若干組預(yù)設(shè)位置中的一組預(yù)設(shè)位置來(lái)處理組件板的對(duì)組件板的存在、形狀、和/或尺寸的感應(yīng)，是由處理器提供的可執(zhí)行軟件來(lái)操作和控制。 優(yōu)選地，在多個(gè)移動(dòng)手臂上的至少ー組件板抓取組件間的相對(duì)空間取決于待處理的組件板的至少ー個(gè)物理性質(zhì)，該物理性質(zhì)至少包括形狀、半徑、直徑、和平面表面區(qū)域中的ー個(gè)。優(yōu)選地，在多個(gè)若干組預(yù)設(shè)位置之間的該多個(gè)移動(dòng)手臂的相對(duì)空間取決于多個(gè)エ業(yè)化標(biāo)準(zhǔn)尺寸的組件板的直徑。優(yōu)選地，該設(shè)備包括至少ー個(gè)感應(yīng)件，該感應(yīng)件耦接每個(gè)組件板抓取組件，至少ー個(gè)感應(yīng)件的每ー個(gè)配置為提供反饋信號(hào)至處理器，該信號(hào)根據(jù)設(shè)備在一組預(yù)設(shè)位置上接觸組件板的表面時(shí)組件板的重量分布，處理器配置以提供信號(hào)至至少ー個(gè)真空源，該至少一個(gè)真空源流動(dòng)耦接至少ー組件板抓取組件的每ー個(gè)，來(lái)調(diào)整施加在一組預(yù)設(shè)位置中每ー個(gè)位置組件板上的吸力。優(yōu)選地，該傳感器提供反饋信號(hào)的操作由處理器提供的可執(zhí)行軟件控制。優(yōu)選地，該至少一組件板抓取組件包括抓取組件板的黏著組件、抓取組件、和抓取組件中的至少ー個(gè)。優(yōu)選地，該至少一組件板抓取組件包括磁性組件，該磁性組件配置以施加吸引力至該組件板的至少ー個(gè)部分，從而藉由該組件板處理設(shè)備實(shí)現(xiàn)該組件板的抓取或處理。優(yōu)選地，該組件板包括基材架，半導(dǎo)體晶圓、半導(dǎo)體晶圓的ー個(gè)部分、太陽(yáng)能晶圓板、太陽(yáng)能電池板、以及有電路組件的電子裝置封裝件中的ー個(gè)。優(yōu)選地，在相對(duì)于設(shè)備的第一工作站和另ー個(gè)工作站之間組件板的抓取、移動(dòng)、運(yùn)輸、和卸載中的至少ー個(gè)操作由處理器提供的可執(zhí)行軟件控制。根據(jù)本發(fā)明的第二方面，一種處理組件板的方法，包括提供用于處理的組件板；選擇待處理的組件板的形狀和/或尺寸；觸發(fā)位置控制機(jī)構(gòu)，該位置控制機(jī)構(gòu)配置以移動(dòng)多個(gè)耦接位置控制機(jī)構(gòu)的移動(dòng)手臂，至多個(gè)若干組預(yù)設(shè)位置中的一組預(yù)設(shè)位置，該組預(yù)設(shè)位置對(duì)應(yīng)提供的組件板的形狀和/或尺寸，每個(gè)移動(dòng)手臂包括至少ー組件板抓取組件；及移動(dòng)多組移動(dòng)手臂至該組預(yù)設(shè)位置，以在觸發(fā)真空源來(lái)使得拾取選定組件板之前處理選定形狀和/或尺寸的組件板。優(yōu)選地，由使用者輸入的方式來(lái)實(shí)現(xiàn)待處理組件板形狀和/或尺寸的選擇。
優(yōu)選地，該使用者輸入包括相對(duì)于在手動(dòng)位置控制機(jī)構(gòu)的選擇接口上的多個(gè)連接標(biāo)示件的ー個(gè)手動(dòng)設(shè)置選擇件連桿，該手動(dòng)位置控制機(jī)構(gòu)配置為將使用者輸入轉(zhuǎn)換為將多個(gè)移動(dòng)手臂同步移動(dòng)至該組預(yù)設(shè)位置，該預(yù)設(shè)位置對(duì)應(yīng)選定組件板形狀和/或尺寸。優(yōu)選地，組件板形狀和/或尺寸的選擇通過(guò)至少ー自動(dòng)感應(yīng)或檢測(cè)裝置來(lái)自動(dòng)實(shí)現(xiàn)。優(yōu)選地，該至少ー自動(dòng)感應(yīng)或檢測(cè)裝置配置為當(dāng)提供組件板時(shí)自動(dòng)感應(yīng)組件板的存在，形狀，和尺寸中的至少ー個(gè)，該自動(dòng)感應(yīng)或檢測(cè)裝置配置為傳送信號(hào)至處理器，以及其中處理器配置為傳輸指令信號(hào)至位置控制機(jī)構(gòu)，根據(jù)所感應(yīng)或檢測(cè)到的組件板形狀和/或尺寸，自動(dòng)移動(dòng)多組移動(dòng)手臂至一組預(yù)設(shè)位置。本發(fā)明揭露的設(shè)備，包括至少ー組件板抓取組件，配置以抓取組件板。該至少ー組件板抓取組件在對(duì)應(yīng)第一組件板尺寸的第一位置和對(duì)應(yīng)第二組件板尺寸的第二位置之間是可移動(dòng)的，第二組件板尺寸不同于第一組件板尺寸。此設(shè)備也包括位置控制機(jī)構(gòu)，耦接所述至少一組件板抓取組件，其中，該位置控制機(jī)構(gòu)配置以控制至少ー組件板抓取組件在該 第一位置與該第二位置之間的移動(dòng)，從而允許該第一組件板尺寸及該第二組件板尺寸之組件板各別地處理。本發(fā)明還揭露了一種用于處理組件板的設(shè)備，該設(shè)備包括若干個(gè)組件板抓取組件，配置以抓取組件板，該若干個(gè)組件板抓取組件在對(duì)應(yīng)若干不同組件板尺寸的若干位置之間是可移動(dòng)的。該設(shè)備也包括若干個(gè)移動(dòng)手臂，藉由該若干個(gè)移動(dòng)手臂的ー移動(dòng)手臂裝載該若干個(gè)組件板抓取組件的每ー組件板抓取組件。該若干個(gè)移動(dòng)手臂配置以在該若干位置之間自動(dòng)地移動(dòng)若干個(gè)組件板抓取組件，從而能抓取對(duì)應(yīng)若干組件板尺寸的組件板。本發(fā)明還揭露了一種處理組件板的方法。該方法包括使用位置控制機(jī)構(gòu)識(shí)別組件板的組件板尺寸，該組件板尺寸為該第一組件板尺寸和該第二組件板尺寸之一者。第一組件板尺寸不同于第二組件板尺寸。該方法也包括移動(dòng)組件板處理設(shè)備的至少ー組件板抓取組件，至對(duì)應(yīng)第一組件板尺寸的第一位置和對(duì)應(yīng)第二組件板尺寸的第二位置。該組件板處理設(shè)備配置以裝載該第一組件板尺寸和該第二組件板尺寸中每ー尺寸的組件板。


下列本發(fā)明的各種具體實(shí)施例的描述是參照附圖來(lái)完成，其中圖I為說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的組件板處理設(shè)備的示意圖；圖2為表示圖I的組件板處理設(shè)備裝載不同尺寸的組件板的局部仰視圖；圖3A為表示根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的裝載第一尺寸組件板的組件板處理設(shè)備的局部等軸側(cè)視圖；圖3B為表示根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的裝載第二尺寸組件板的組件板處理設(shè)備的局部等軸側(cè)視圖；圖3C為表示根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的裝載第三尺寸組件板的組件板處理設(shè)備的局部等軸側(cè)視圖；圖4為表示根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的一組移動(dòng)手臂三種不同的可能配置或位置，而移動(dòng)手臂用于在裝載有三種不同尺寸組件板的三種不同的可能位置之間安置一組組件板抓取組件；
圖5A為表示根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例配置或操作手動(dòng)控制機(jī)構(gòu)以裝載第一組件板尺寸的組件板在第一位置安置一組組件板抓取組件的局部等軸側(cè)視圖；圖5B圖為表示圖5A所示在第一位置安置一組組件板抓取組件以配置或操作手動(dòng)控制機(jī)構(gòu)的俯視圖；圖6A為表示根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例配置或操作手動(dòng)控制機(jī)構(gòu)以裝載第二組件板尺寸的組件板在第二位置安置一組組件板抓取組件的局部等軸側(cè)視圖；
圖6B為表示圖6A所示在第二位置安置一組組件板抓取組件以配置或操作手動(dòng)控制機(jī)構(gòu)的俯視圖；圖7A為表示根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例配置或操作手動(dòng)控制機(jī)構(gòu)以裝載第三組件板尺寸的組件板在第三位置安置一組組件板抓取組件的局部等軸側(cè)視圖；圖7B為表示圖7A所示在第三位置安置一組組件板抓取組件以配置或操作手動(dòng)控制機(jī)構(gòu)的俯視圖；圖8為表示根據(jù)本發(fā)明ー實(shí)施例的組件板處理設(shè)備，包括三個(gè)移動(dòng)手臂與三個(gè)組件板抓取組件，該組件板處理也包括耦接至三個(gè)移動(dòng)手臂的執(zhí)行器或馬達(dá)，配置以實(shí)現(xiàn)三個(gè)移動(dòng)手臂與三個(gè)組件板抓取組件的移動(dòng)；及圖9為表示根據(jù)本發(fā)明ー實(shí)施例的組件板處理設(shè)備，包含四個(gè)執(zhí)行器或馬達(dá)，每一個(gè)執(zhí)行器耦接至一移動(dòng)手臂，且配置以控制及/或?qū)崿F(xiàn)上述移動(dòng)手臂的移動(dòng)；圖IOA為表示根據(jù)本發(fā)明ー實(shí)施例的組件板處理設(shè)備，包括四個(gè)移動(dòng)手臂、四個(gè)組件板抓取組件、及ー執(zhí)行器，該組件板抓取組件配置以處理、抓取、擷取、或支撐正方形形狀的組件板；圖IOB為表示根據(jù)本發(fā)明ー實(shí)施例的組件板處理設(shè)備，包括四個(gè)移動(dòng)手臂、四個(gè)組件板抓取組件、及ー執(zhí)行器，該組件板抓取組件配置以處理、抓取、擷取、或支撐五邊形形狀的組件板；圖11為表示根據(jù)本發(fā)明ー實(shí)施例的處理多種不同尺寸的組件板程序的流程圖。其中，圖I50a 第一尺寸50b 第二尺寸50c第三尺寸圖250a 第一尺寸50b 第二尺寸50c第三尺寸圖4基材架50a (第一尺寸)基材架50b (第二尺寸)基材架50c (第三尺寸)200a 第一配置200b 第二配置
200c第三配置圖5A安置用于抓取第一尺寸的基材架50a的組件板抓取組件100基材架50a (第一尺寸)圖5B基材架50a (第一尺寸)圖6A安置用于抓取第二尺寸的基材架50b的組件板抓取組件100 基材架50b (第二尺寸)圖6B基材架50b (第二尺寸)圖7A安置用于抓取第三尺寸的基材架50c的組件板抓取組件100基材架50c (第三尺寸)圖7B基材架50c (第三尺寸)圖8基材架50a (第一尺寸)基材架50b (第二尺寸)基材架50c (第三尺寸)圖9基材架50a (第一尺寸)基材架50b (第二尺寸)基材架50c (第三尺寸)圖11510識(shí)別、感測(cè)、或決定組件尺寸(例如基材架尺寸)520基于識(shí)別、感測(cè)、或決定的組件尺寸移動(dòng)ー組組件板抓取組件530利用該組組件板抓取組件抓取特定尺寸的組件(例如基材架)
具體實(shí)施例方式本發(fā)明中許多實(shí)施例關(guān)于設(shè)備，更具體而言，是組件板處理設(shè)備或組件板處理件，配置以處理、裝載、抓取、擷取、及/或移動(dòng)至少ニ個(gè)不同尺寸的組件、組件載具或組件板。根據(jù)本發(fā)明不同實(shí)施例中，用語(yǔ)“組件板(component pane)”包括裝置、設(shè)備、結(jié)構(gòu)、或如架框或底盤的構(gòu)件，可裝載、支持、支撐、保持或至少部份包覆、封閉或定義相關(guān)于ー類似半導(dǎo)體晶圓或形態(tài)相似基板的組件的周緣部份的邊緣。組件板可以提供或能夠提供一或更多接觸面(如大體上平坦表面的平面)，可用于裝載(例如藉由具拉伸張力膜的材料，如黏著膜)如半導(dǎo)體晶圓的組件的一部分。在代表的實(shí)施例中，組件板可以是基材架。在ー些實(shí)施例中，用語(yǔ)“組件板”可以包括基板本身，如晶圓、太陽(yáng)能板、或如印刷電路板的電子組件。該組件板處理設(shè)備包括至少ー組件板抓取組件(也參考作為組件板裝載組件、組件板支撐組件、組件板擷取組件)，以及在許多實(shí)施例中，包括多種組件板抓取組件(例如ニ個(gè)、三個(gè)、四個(gè)、或更多組件板抓取組件)。每ー組件板抓取組件配置及/或構(gòu)建用于抓取、處理、裝載、固定保持或支撐組件板，例如像是基材架或晶圓之類的半導(dǎo)體相關(guān)組件板。大部分實(shí)施例中，該組件板處理設(shè)備的該至少ー組件板抓取組件在ー些不同位置之間是可移動(dòng)的(例如至少在第一位置與第二位置)，每位置對(duì)應(yīng)特定組件板尺寸(例如分別為第一組件板尺寸與第二組件板尺寸)。該至少一組件板抓取組件在特定位置(例如第一位置或第二位置)的移動(dòng)與安置，至少促進(jìn)或至少實(shí)現(xiàn)對(duì)應(yīng)尺寸(例如分別為第一組件板尺寸或第二組件板尺寸)的組件板的處理、裝載、抓取、支撐、擷取、及/或移動(dòng)。因此，該組件板處理設(shè)備的至少ー組件板抓取組件，可藉由該組件板處理設(shè)備為可移動(dòng)的，以至少促進(jìn)或?qū)崿F(xiàn)不同尺寸的組件板的處理、裝載、抓取、擷取、及/或移動(dòng)。該組件板處理設(shè)備進(jìn)一歩可包括位置控制機(jī)構(gòu)或模塊，耦接該組件板抓取組件。該位置控制機(jī)構(gòu)配置以控制該組件板抓取組件的相對(duì)移動(dòng)與位置。該位置控制機(jī)構(gòu)可包括 手動(dòng)控制機(jī)構(gòu)(也可視為人工調(diào)整機(jī)構(gòu)或結(jié)構(gòu))及/或自動(dòng)控制機(jī)構(gòu)(也可視為自動(dòng)調(diào)整機(jī)構(gòu)或模塊)。在許多實(shí)施例中，該手動(dòng)控制機(jī)構(gòu)配置以促進(jìn)、實(shí)現(xiàn)及/或控制對(duì)于使用者(或人工)輸入或選取的組件板抓取組件的移動(dòng)與安置。該自動(dòng)控制機(jī)構(gòu)配置以促進(jìn)、實(shí)現(xiàn)及/或控制對(duì)自動(dòng)地、至少部分自動(dòng)地、或至少大體自動(dòng)地、所感測(cè)、所抓取、所檢測(cè)、所識(shí)別的組件板特征或?qū)傩?例如組件板尺寸、表面面積、平面組件板表面區(qū)域、大體平面組件板表面區(qū)域、或空間延伸)的組件板抓取組件的移動(dòng)與安置。在大部分實(shí)施例中，該組件板處理設(shè)備包括至少ー移動(dòng)機(jī)構(gòu)、手臂、模塊、或桿，耦接該組件板抓取組件。在許多實(shí)施例中，該組件板處理設(shè)備包括多種組件板抓取組件，該組件板處理設(shè)備也可具有對(duì)應(yīng)數(shù)量的移動(dòng)手臂，每ー移動(dòng)手臂裝載ー組件板抓取組件?？闪私獾氖牵咯`移動(dòng)手臂能選擇性裝載多個(gè)組件板抓取組件。至少該移動(dòng)手臂上一部分的移動(dòng)、平移、及/或旋轉(zhuǎn)可促進(jìn)或?qū)崿F(xiàn)所裝載的該組件板抓取組件至不同位置的移動(dòng)，以處理、裝載、擷取、抓取對(duì)應(yīng)尺寸的組件板。至少該移動(dòng)手臂上一部分的移動(dòng)、平移、移動(dòng)、及/或旋轉(zhuǎn)可藉由該位置控制機(jī)構(gòu)所促進(jìn)、實(shí)現(xiàn)、及/或控制。在許多實(shí)施例中，至少該移動(dòng)手臂上一部分的移動(dòng)、平移、及/或旋轉(zhuǎn)和由該移動(dòng)手臂所裝載的組件板抓取組件的移動(dòng)與安置可以控制的、協(xié)調(diào)的、同步的及/或自動(dòng)的方式來(lái)完成。對(duì)于用以處理多種不同尺寸的組件板的設(shè)備、流程、方法、及/或技術(shù)的代表性實(shí)例，例如半導(dǎo)體相關(guān)組件，如基材架，將參照第I圖至第11圖而詳細(xì)描述，其中，相同或類似組件或制程部分以相同或類似的參照標(biāo)號(hào)來(lái)表示。對(duì)應(yīng)圖I至圖11中的一幅或更多幅的相關(guān)的描述材料，給定參照標(biāo)號(hào)的重復(fù)引用可表示這樣的參照標(biāo)號(hào)與先前已顯示的附圖同步考慮。本發(fā)明所提供實(shí)施例并沒(méi)有從應(yīng)用中排除在外，這種應(yīng)用中，眾多實(shí)施例里有必須的特定基礎(chǔ)結(jié)構(gòu)及/或操作原則。另外，本發(fā)明涉及及包含了的新加坡專利申請(qǐng)案的全部?jī)?nèi)容，專利名稱為用于處理和排列如基材架和晶圓的組件板的系統(tǒng)和方法(System AndMethod For Handling And Aligning Component Panes Such As Film Frames And Wafers代理機(jī)構(gòu)案號(hào)STIP012SG)及使用多個(gè)配置以處理和移動(dòng)組件板的處理器的系統(tǒng)和方法(ASystem and Method Using Multiple Component Pane Handlers Configured to Handleand Transfer Component Panes代理機(jī)構(gòu)案號(hào)STIP014SG)，姆一件是由申請(qǐng)人聯(lián)達(dá)科技設(shè)備私人有限公司(Semiconductor Technologies and Instruments Pte Ltd)在 2011 年 5月12日提出申請(qǐng)。代表性組件板處理設(shè)備的實(shí)例根據(jù)本發(fā)明特定的實(shí)施例，圖I至圖 10表示組件板處理設(shè)備20(亦可視為組件板處理器、組件板抓取設(shè)備、組件處理設(shè)備、或組件抓取設(shè)備)的多種實(shí)例。該組件板處理設(shè)備20配置以處理、抓取、支撐、裝載、擷取、及/或移動(dòng)ー些不同尺寸的組件板50。為了清楚和簡(jiǎn)潔的目的，提供本發(fā)明各種實(shí)施例的組件板處理設(shè)備20的下列描述，將參照用于處理基材架50的組件板處理設(shè)備20的使用?？闪私獾氖?，參照組件板50可包括參考其它組件板或組件框架，包括像是晶圓、封裝半導(dǎo)體晶片、如印刷電路板、太陽(yáng)能電池板、太陽(yáng)能晶圓板及/或太陽(yáng)能板的電子器件的半導(dǎo)體相關(guān)組件。因此，該組件板處理設(shè)備20可用于處理、抓取、支撐、裝載、擷取、及/或移動(dòng)包括像是晶圓、封裝半導(dǎo)體晶片、如印刷電路板、太陽(yáng)能電池板、太陽(yáng)能晶圓板、和/或太陽(yáng)能板的電子器件的半導(dǎo)體相關(guān)組件。本發(fā)明某些實(shí)施例中的組件板處理設(shè)備20，配置以處理像是具有多種預(yù)設(shè)或標(biāo)準(zhǔn)尺寸的瓷磚或加工構(gòu)件的其它形式組件板。例如，圖IOA及圖IOB表示組件板處理設(shè)備20處理、抓取、擷取、或裝載不同尺寸和不同形狀的組件板，例如長(zhǎng)方形及五邊形的形狀的組件板。在本發(fā)明的多種實(shí)施例中，如圖I至圖9簡(jiǎn)潔地表示，該組件板處理設(shè)備20配置以處理、抓取、支撐、裝載、擷取、及/或移動(dòng)組件板50，更具體而言三種不同尺寸的基材架50a、50b、50c。例如，該組件板處理設(shè)備20配置以處理、抓取、支撐、裝載、擷取、及/或移動(dòng)12英寸基材架50a、8英寸基材架50b、6英寸基材架50c?？闪私獾氖牵摻M件板處理設(shè)備20可以選擇性地配置以處理、抓取、支撐、裝載、擷取、及/或移動(dòng)其它尺寸的組件板50。該組件板處理設(shè)備20可耦接、或可包括移動(dòng)作用器30。該移動(dòng)作用器30配置以在ー些不同位置、工作站、或其它系統(tǒng)或単元之間移動(dòng)、平移、及/或旋轉(zhuǎn)該組件板處理設(shè)備20。該組件板處理設(shè)備20的移動(dòng)、平移、及/或旋轉(zhuǎn)，可在ー些不同地點(diǎn)、位置、工作站、或更廣義的系統(tǒng)組件之間能該組件板50 (例如基材架50)移動(dòng)與移動(dòng)移位，該組件板50藉由該組件板處理設(shè)備20抓取或裝載。例如，該組件板處理設(shè)備20可用于從組件板裝載エ作站(也視為組件板儲(chǔ)存工作站、組件框架裝載工作站、或組件框架儲(chǔ)存工作站)移動(dòng)組件板50 (例如基材架50)，例如一基材架裝載工作站或基材架儲(chǔ)存工作站至一真空平臺(tái)或一真空吸盤上。在本發(fā)明的許多實(shí)施例中，組件板處理設(shè)備20的移動(dòng)、平移、及/或旋轉(zhuǎn)可藉由計(jì)算機(jī)裝置或指令運(yùn)算單元(例如微處理器或微控制器)(未顯示)執(zhí)行的ー組指令集(例如計(jì)算機(jī)程序指令)來(lái)決定和/或控制，該計(jì)算機(jī)裝置或指令運(yùn)算單元耦接于該組件板處理設(shè)備20和該移動(dòng)作用器30。更具體地說(shuō)，可由計(jì)算機(jī)裝置或處理器執(zhí)行及/或控制的ー組指令集(例如計(jì)算機(jī)程序指令)來(lái)決定及/或控制組件板處理設(shè)備20的開(kāi)始、結(jié)束、指向、以及移動(dòng)、平移、及/或旋轉(zhuǎn)的速度中至少之ー者，該計(jì)算機(jī)裝置或處理器耦接于該組件板處理設(shè)備20與該移動(dòng)作用器30。該組件板處理設(shè)備20包括至少ー組件板抓取組件100，而在許多實(shí)施例中包括多個(gè)組件板抓取組件100 (也可視為組件板裝載組件或組件板支撐組件或擷取組件)；以及包括至少ー移動(dòng)手臂200，而在許多實(shí)施例中包括多個(gè)移動(dòng)手臂200(也可視為移動(dòng)機(jī)構(gòu)、結(jié)構(gòu)、連桿、或桿；或平移手臂、機(jī)構(gòu)、結(jié)構(gòu)、或桿)。在許多實(shí)施例中，每ー移動(dòng)手臂200裝載、或耦接ー組件板抓取組件100。如圖I至圖9所示，該組件板處理設(shè)備20可包括多種(例如三種或四種)移動(dòng)手臂200，每ー移動(dòng)手臂200裝載ー組件板抓取組件100。另外，該組件板處理設(shè)備20可包括多種移動(dòng)手臂200，其中每ー移動(dòng)手臂200裝載或耦接ニ個(gè)或更多個(gè)組件板抓取組件100。可移動(dòng)或安置該組件板處理設(shè)備20的組件板抓取組件100在多種可變、可調(diào)整、預(yù)先決定、或指定相關(guān)位置上。組件板抓取組件100的每ー相關(guān)位置可對(duì)應(yīng)ー特定組件板尺寸(例如一特定基材架尺寸)。在特定相關(guān)位置的多個(gè)組件板抓取組件100的位置，可促進(jìn)或?qū)崿F(xiàn)對(duì)應(yīng)組件板尺寸(例如基材架尺寸)的組件板50 (例如基材架50)的處理、抓取、裝載、擷取、及/或支撐之一者。多個(gè)組件板抓取組件100的移動(dòng)、及因而相關(guān)位置的變動(dòng)，能使得該組件板處理設(shè)備20對(duì)不同尺寸組件板50的處理、抓取、裝載、擷取、或支撐。下面將提供該組件板抓取組件100的結(jié)構(gòu)、功能、操作實(shí)例的進(jìn)ー步描述。該組件板處理設(shè)備20可進(jìn)ー步包括位置控制機(jī)構(gòu)300。該位置控制機(jī)構(gòu)300配置以控制至少ー組件板抓取組件100的移動(dòng)、平移、及/或安置，而在許多實(shí)施例中，以控制該組件板處理設(shè)備20的多個(gè)組件板抓取組件100在不同預(yù)設(shè)、特定、或指定位置之間，用于對(duì)應(yīng)組件尺寸的組件板50 (例如基材架50)以促進(jìn)或?qū)崿F(xiàn)處理、抓取、裝載、支撐/及/或移動(dòng)。在許多實(shí)施例中，該位置控制機(jī)構(gòu)300包括一手動(dòng)控制機(jī)構(gòu)320 (或人工調(diào)整機(jī)構(gòu)320)以及ー自動(dòng)控制機(jī)構(gòu)(或自動(dòng)調(diào)整機(jī)構(gòu))之至少ー者，用于促進(jìn)、實(shí)現(xiàn)、及/或控制該組件板抓取組件100的移動(dòng)與安置。下面將提供該位置控制機(jī)構(gòu)300的結(jié)構(gòu)、功能、操作實(shí)例的進(jìn)ー步描述。組件板抓取組件/基材架抓取組件的各實(shí)例如先前所描述，在許多實(shí)施例中，該組件板處理設(shè)備20包含多個(gè)組件板抓取組件100。該些組件板抓取組件100數(shù)量可依需求改變,例如根據(jù)該組件板處理設(shè)備20所處理的組件板50 (例如基材架50)的尺寸、重量、及/或形狀。該些組件板抓取組件100數(shù)量可根據(jù)該組件板處理設(shè)備20所處理、裝載、擷取、或抓取組件板50的類型而改變。在幾個(gè)實(shí)施例中，例如圖I至圖7B及圖9至圖IOB所示的實(shí)施例中，該組件板處理設(shè)備20包括四個(gè)組件板抓取組件100。該四個(gè)組件板抓取組件100的每ー個(gè)可安置、或配置、及/或?qū)?yīng)該組件板處理設(shè)備20的角落安置，其中大體上可呈正方形或矩形的形狀?？闪私獾氖?，這里的組件板處理設(shè)備20可包括選擇性數(shù)目的許多個(gè)組件板抓取組件100，例如一、ニ、三、四、五、或更多個(gè)組件板抓取組件100。還可了解的是，該組件板抓取組件100可安置、或配置、及/或?qū)?yīng)該組件板處理設(shè)備20的中心位置安置，其中可以呈圓形形狀、大體上正方形或矩形形狀。例如，如圖8所示，該組件板處理設(shè)備20可包含布置在三角形配置的三組件板抓取組件100。特定組件板處理設(shè)備20的組件板抓取組件100的總數(shù)與配置，以及該組件板處理設(shè)備20的全部形狀、尺寸與設(shè)計(jì)，可依需求變更，例如基于組件板的制造成本或其它限制、人體工學(xué)考慮、結(jié)構(gòu)剰余度、及/或種類，上述組件板由該組件板處理設(shè)備20所處理。本發(fā)明的許多實(shí)施例中，該多個(gè)組件板抓取組件100包括，或?yàn)槎鄠€(gè)吸著或真空組件100。該多個(gè)吸著組件100配置以施加一吸著力于組件板50上，更具體而言，是基材架50，用于將基材架50支撐、抓取、擷取、或固定至該組件板處理設(shè)備20上。由該多個(gè)吸著組件100施加于組件板50上吸著力的數(shù)量、大小、及/或作用時(shí)間可依需求控制及/或變更。在許多實(shí)施例中，由多個(gè)吸著組件100施加于組件板50上吸著力的數(shù)量、大小、及/或作用時(shí)間，可依照計(jì)算裝置或處理器所執(zhí)行的ー組指令集控制及/或變更，而計(jì)算裝置或處理器耦接于該多個(gè)吸著組件100。該多個(gè)吸著組件100配置以拾取基材架50，從ー特定的工作站、裝置、或地點(diǎn)(例如基材架裝載工作站、基材架儲(chǔ)存單元或基材架儲(chǔ)存卡式盒、或自動(dòng)組件板處理件)，移動(dòng)上述基材架50至另ー工作站、裝置、或地點(diǎn)(例如真空平臺(tái)、組件制程或檢查工作站，或另一自動(dòng)組件板處理件)。通過(guò)該多個(gè)吸著組件100的吸著力的施加，藉由或以組件板處理設(shè)備20可實(shí)現(xiàn)基材架50的拾取、抓取、耦接、裝載、擷取、及/或固定。之后，由多個(gè)吸著組件100施加吸著カ的減弱、中斷、終止施力、或停止動(dòng)作，可從該多個(gè)吸著組件100及由此自組件板處理設(shè)備20實(shí)現(xiàn)釋放基材架50。 該多個(gè)組件板抓取組件100配置以抓取、拾取、擷取、或裝載組件板50(基材架50)。當(dāng)使用上述之吸著組件100時(shí)，可了解的是，用于促進(jìn)與實(shí)現(xiàn)抓取、拾取、擷取、或裝載組件板50 (基材架50)的多個(gè)組件板抓取組件100，可選擇性地及/或額外地利用其它裝置、工具、或機(jī)構(gòu)使用，例如黏著裝置、夾取機(jī)構(gòu)、及/或電磁力裝置。移動(dòng)機(jī)構(gòu)或平移機(jī)構(gòu)的各種實(shí)例如先前所描述，該多個(gè)組件板抓取組件100 (例如吸著組件100)可在許多不同位置之間移動(dòng)，而每一位置對(duì)應(yīng)不同組件板尺寸(例如基材架尺寸或形狀)。在許多實(shí)施例中，每ー組件板抓取組件100可藉由移動(dòng)手臂200裝載或與移動(dòng)手臂200耦接。該組件板抓取組件100的移動(dòng)可依據(jù)該移動(dòng)手臂200的移動(dòng)、操作、及/或配置而促進(jìn)、實(shí)現(xiàn)。圖4表不該多個(gè)移動(dòng)手臂200的三個(gè)不同對(duì)應(yīng)配置或位置。更具體而言，圖4表示該多個(gè)移動(dòng)手臂200a的第一配置、該多個(gè)移動(dòng)手臂200b的第二配置、以及該多個(gè)移動(dòng)手臂200c的第三配置。該多個(gè)移動(dòng)手臂200a、200b、200c的第一配置、第二配置、第三配置的每ー個(gè)實(shí)現(xiàn)該多個(gè)組件板抓取組件100在對(duì)應(yīng)相對(duì)位置的安置，例如分別為第一位置、第
二位置、第三位置。在幾個(gè)實(shí)施例中，該多個(gè)移動(dòng)手臂200a的位置依照第一配置位置，其中多個(gè)組件板抓取組件100在第一位置，用于促進(jìn)或使得第一尺寸(例如12英寸)基材架50a的抓取。該多個(gè)移動(dòng)手臂200b的位置依照第二配置位置，其中多個(gè)組件板抓取組件100在第二位置，用于促進(jìn)或使得第二尺寸(例如8英寸)基材架50b的抓取。另外，多個(gè)移動(dòng)手臂200c的位置依照第三配置位置，其中復(fù)數(shù)組件板抓取組件100在第三位置，用于促進(jìn)或使得第三尺寸(例如6英寸)基材架50c的抓取。如圖5A及圖5B所不，當(dāng)該多個(gè)移動(dòng)手臂200a假設(shè)、或安置于相關(guān)第一配置位置時(shí)，該多個(gè)組件板抓取組件100 (例如多個(gè)吸著組件100)安置或配置在第一位置，用于處理、抓取、裝載、支撐、擷取、或轉(zhuǎn)移第一尺寸(例如12英寸)的基材架50a。如圖6A及圖6B所示，當(dāng)該多個(gè)移動(dòng)手臂200b假設(shè)、或安置于相關(guān)第二配置位置時(shí)，該多個(gè)組件板抓取組件100(例如多個(gè)吸著組件100)安置或配置在第二位置，用于處理、抓取、裝載、支撐、擷取、或轉(zhuǎn)移第二尺寸(例如8英寸)的基材架50b。如圖7A及圖7B所不，當(dāng)該多個(gè)移動(dòng)手臂200c假設(shè)、或安置于相關(guān)第三配置位置時(shí)，該多個(gè)組件板抓取組件100 (例如多個(gè)吸著組件100)安置或配置在第三位置，用于處理、抓取、裝載、支撐、擷取、或轉(zhuǎn)移第三尺寸(例如6英寸)的基材架50c。本發(fā)明的幾個(gè)實(shí)施例 中，每ー移動(dòng)手臂200可是狹長(zhǎng)形狀或組構(gòu)。該組件板抓取組件100由每ー移動(dòng)手臂200裝載或與每ー移動(dòng)手臂200耦接，可沿著移動(dòng)手臂200在不同位置之間移動(dòng)安置。這就是說(shuō)，沿著移動(dòng)手臂200的組件板抓取組件100的移動(dòng)，實(shí)現(xiàn)上述組件板抓取組件100位置變動(dòng)。在特定實(shí)施例中，該組件板抓取組件100可進(jìn)ー步延伸離移動(dòng)手臂200 —段距離，例如通過(guò)連結(jié)結(jié)構(gòu)或連結(jié)機(jī)構(gòu)(未顯示)。該組件板抓取組件100延伸離移動(dòng)手臂200 —段距離，可容許離彼此一段増加距離而安置組件板抓取組件100?？闪私獾氖?，該多個(gè)移動(dòng)手臂200可以接受或采用本領(lǐng)域技術(shù)人員所知悉其它配置、形狀、及/或移動(dòng)特征，因此使得或?qū)崿F(xiàn)不同移動(dòng)及/或安置特征，這些特征關(guān)聯(lián)于移動(dòng)手臂200所裝載的多個(gè)組件板抓取組件100。藉由該組件板處理設(shè)備20的位置控制機(jī)構(gòu)300，可控制移動(dòng)手臂200的移動(dòng)、平移、移動(dòng)、及/或旋轉(zhuǎn)，以及控制被裝載的組件板抓取組件100對(duì)應(yīng)的移動(dòng)。位置控制機(jī)構(gòu)各種實(shí)例該位置控制機(jī)構(gòu)300耦接于該多個(gè)控制移動(dòng)手臂200的每ー移動(dòng)機(jī)構(gòu)200以及耦接于該多個(gè)組件板抓取組件100的每ー組件板抓取組件100。在大多實(shí)施例中，該位置控制機(jī)構(gòu)300控制、實(shí)現(xiàn)、及/或決定該多個(gè)組件板抓取組件100的移動(dòng)和安置。該位置控制機(jī)構(gòu)300可控制及/或?qū)崿F(xiàn)移動(dòng)手臂200的移動(dòng)、旋轉(zhuǎn)、及/或平移。在多種實(shí)施例中，該位置控制機(jī)構(gòu)300藉由耦接或如帶束、鏈子、繩索、膠帶或皮帶這樣的傳送帶結(jié)構(gòu)350，耦接該多個(gè)移動(dòng)手臂200的每ー移動(dòng)手臂200以及耦接于該多個(gè)組件板抓取組件100的每ー組件板抓取組件100。該耦接結(jié)構(gòu)350可通過(guò)裝載于每ー移動(dòng)手臂200的耦接座或模塊360耦接于每ー控制移動(dòng)手臂200。在實(shí)施例中，其中該組件板處理設(shè)備20包括四個(gè)移動(dòng)手臂200，該組件板處理設(shè)備20也可包括四個(gè)耦接模塊360，每ー耦接模塊360耦接或裝載于ー控制移動(dòng)手臂200上。通過(guò)對(duì)應(yīng)耦接模塊360與耦接結(jié)構(gòu)350，該多個(gè)控制移動(dòng)手臂200的每ー控制移動(dòng)手臂200的連接或耦接，可促進(jìn)、使得或?qū)崿F(xiàn)每一移動(dòng)手臂200的協(xié)調(diào)、實(shí)質(zhì)協(xié)調(diào)、同步、實(shí)質(zhì)同步的移動(dòng)，且還對(duì)應(yīng)于該復(fù)數(shù)組件板抓取組件100的每ー組件板抓取組件100的移位。通過(guò)該對(duì)應(yīng)耦接模塊360與該耦接結(jié)構(gòu)350，每ー控制移動(dòng)手臂200之間的連接或耦接，可促進(jìn)或?qū)崿F(xiàn)該多個(gè)組件板抓取組件100的每ー組件板抓取組件100的協(xié)調(diào)或同步移動(dòng)與安置之一者(例如在該第一位置、該第二位置和該第三位置之間)。在幾個(gè)實(shí)施例中，藉由該耦接結(jié)構(gòu)350讓該多個(gè)控制移動(dòng)手臂200的相互耦接容許該位置控制機(jī)構(gòu)300，用以控制的、協(xié)調(diào)的、及/或同步的方式控制及/或?qū)崿F(xiàn)該多個(gè)移動(dòng)手臂200的移動(dòng)。由該位置控制機(jī)構(gòu)300所提供的單個(gè)控制觸發(fā)器或信號(hào)可充足地實(shí)現(xiàn)該多個(gè)移動(dòng)手臂200的協(xié)調(diào)移動(dòng)，及由此該多個(gè)組件板抓取組件100的協(xié)調(diào)移動(dòng)。在許多實(shí)施例中，該位置控制機(jī)構(gòu)300包括該手動(dòng)控制機(jī)構(gòu)320(或人工調(diào)整機(jī)構(gòu)320)與自動(dòng)控制機(jī)構(gòu)(或自動(dòng)調(diào)整機(jī)構(gòu))之至少ー者。在多種實(shí)施例中，該手動(dòng)控制機(jī)構(gòu)320與該自動(dòng)控制機(jī)構(gòu)的姆一個(gè)對(duì)于組件板尺寸都具有識(shí)別、指示、感測(cè)、檢測(cè)、決定、及/或反應(yīng)的功能；且依據(jù)所識(shí)別、所正向指示(positively indicated)、所感測(cè)、所檢測(cè)、及/或所決定的組件板尺寸，實(shí)現(xiàn)該多個(gè)組件板抓取組件100的移動(dòng)與安置。該手動(dòng)控制機(jī)構(gòu)320的下列描述主要參考于圖3A至圖3C，其中圖3A至圖3C表示該手動(dòng)控制機(jī)構(gòu)320的使用可控制與實(shí)現(xiàn)該多個(gè)組件板抓取組件100在三個(gè)不同位置之間(例如第一位置、第二位置與第三位置)的移動(dòng)，用于抓取、裝載、擷取、或支撐三個(gè)對(duì)應(yīng)尺寸的基材架50(例如第一尺寸的基材架50a、第二尺寸的基材架50b、第三尺寸的基材架50c)。
在多種實(shí)施例中，該手動(dòng)控制機(jī)構(gòu)320或人工調(diào)整機(jī)構(gòu)320包括了位置選擇接ロ325、可移動(dòng)選擇件模塊、桿、或組件330 (以下稱作可移動(dòng)選擇件330)、以及選擇件移動(dòng)導(dǎo)向件335。該位置選擇接ロ 325包括ー些連接標(biāo)示件、凹ロ、孔、槽、或槽ロ 327 (以下稱作連接標(biāo)示件327)。該連接標(biāo)示件327形成在位置選擇接ロ 325內(nèi)，并被定型及配置以接收部分可移動(dòng)選擇件330。在幾個(gè)實(shí)施例中，每ー連接標(biāo)示件327對(duì)應(yīng)于一組件板尺寸(例如基材架尺寸)，以及由此對(duì)應(yīng)該多個(gè)組件板抓取組件100的相對(duì)位置。如圖3A至圖3C所示，在一些實(shí)施例中，該位置選擇接ロ 325包括三個(gè)連接標(biāo)示件327 (例如第一連接標(biāo)示件327a、第二連接標(biāo)示件327b、與第三連接標(biāo)示件327c)。三個(gè)連接標(biāo)示件327的每ー個(gè)對(duì)應(yīng)于一特定基材架尺寸(例如第一尺寸、第二尺寸、與第三尺寸)。該可移動(dòng)選擇件330與該連接標(biāo)示件327的接合，實(shí)現(xiàn)該多個(gè)組件板抓取元100在特定位置上的移動(dòng)與安置，以用于抓取特定尺寸的基材架50。如圖3A所示，可移動(dòng)選擇件330與該第一連接標(biāo)示件327a的接合安置該多個(gè)組件板抓取組件100，以用于抓取第一尺寸的基材架50a(例如12英寸)。如圖3B所示，可移動(dòng)選擇件330與第二連接標(biāo)示件327b的接合安置該多個(gè)組件板抓取組件100，以用于抓取第二尺寸的基材架50b (例如8英寸)。另外，如圖3C所示，可移動(dòng)選擇件330與第三連接標(biāo)示件327c的接合安置該多個(gè)組件板抓取組件100，以用于抓取第三尺寸的基材架50c (例如6英寸)。該可移動(dòng)選擇件330可對(duì)應(yīng)位置選擇接ロ 325而移位或移動(dòng)，用于在各不同連接標(biāo)示件327之間對(duì)應(yīng)地移動(dòng)與安置該可移動(dòng)選擇件330。該可移動(dòng)選擇件330的移動(dòng)與移動(dòng)可藉由該選擇件移動(dòng)導(dǎo)向件335控制、促進(jìn)、或?qū)?。在許多實(shí)施例中，該可移動(dòng)選擇件330對(duì)使用者是易操作的，使用者可手動(dòng)移置該可移動(dòng)選擇件330，以及由此能在各不同連接標(biāo)示件327之間調(diào)整可移動(dòng)選擇件330的位置。該使用者能夠手動(dòng)移置對(duì)應(yīng)該位置選擇接ロ 325的該可移動(dòng)選擇件330，用于可變化地確定可移動(dòng)選擇件330的位置，并和預(yù)定的或目標(biāo)連接標(biāo)示件327嚙合。因此，使用者可識(shí)另IJ、選擇、決定該組件板處理設(shè)備20要抓取、處理、裝載、支撐、及/或轉(zhuǎn)移的組件板50 (例如基材架50)的尺寸。該手動(dòng)控制機(jī)構(gòu)320實(shí)現(xiàn)使用者輸入移位，用于依照組件板尺寸及/或形狀來(lái)控制及/或?qū)崿F(xiàn)將該組件板抓取組件100移動(dòng)至特定位置。在多種實(shí)施例中，通過(guò)該耦接結(jié)構(gòu)350與該耦接模塊360，該手動(dòng)控制機(jī)構(gòu)320相互耦接于每ー移動(dòng)手臂200與每ー組件板抓取組件100。通過(guò)該耦接結(jié)構(gòu)350與該耦接模塊360，使用者執(zhí)行的輸入被移位至每ー移動(dòng)手臂200，用于促進(jìn)ー組移動(dòng)手臂200的每ー移動(dòng)手臂200的協(xié)調(diào)移動(dòng)，以及實(shí)現(xiàn)該組件板抓取組件100的協(xié)調(diào)移動(dòng)。在一些實(shí)施例中，該組件板處理設(shè)備20，更具體而言，該組件板處理設(shè)備20的位置控制機(jī)構(gòu)300，包括自動(dòng)控制機(jī)構(gòu)。該移動(dòng)手臂200的移動(dòng)、平移、及/或旋轉(zhuǎn)，同樣地由移動(dòng)手臂200所裝載的組件板抓取組件100 (例如吸真空組件100)藉由自動(dòng)控制機(jī)構(gòu)提供觸發(fā)、信號(hào)、或指示響應(yīng)下可被促進(jìn)、實(shí)現(xiàn)、及/或控制。也就是說(shuō)，該多個(gè)移動(dòng)手臂200的移動(dòng)、平移、及/或旋轉(zhuǎn)，同樣地組件板抓取組件100的移動(dòng)與安置至特定位置(例如第一位置、第二位置與第三位置)，用于促進(jìn)或使得對(duì)應(yīng)尺寸的組件板50 (例如分別為第一尺寸、第二尺寸與第三尺寸)的抓取，可藉由自動(dòng)控制機(jī)構(gòu)來(lái)決定或控制。該自動(dòng)控制機(jī)構(gòu)可配置以自動(dòng)地或至少大體上自動(dòng)地檢測(cè)、識(shí)別、感測(cè)、或決定組件板的尺寸或形狀(例如基材架尺寸或形狀)。在一些實(shí)施例中，該自動(dòng)控制機(jī)構(gòu)耦接該多個(gè)移動(dòng)手臂200及多個(gè)該組件板抓取組件100。該自動(dòng)控制機(jī)構(gòu)可以實(shí)現(xiàn)、促進(jìn)、及/或控 制該多個(gè)移動(dòng)手臂200的移動(dòng)、平移、及/或旋轉(zhuǎn)，以及基于該所感測(cè)、所檢測(cè)、所識(shí)別、或所決定的組件板尺寸(例如基材尺寸或晶圓尺寸)對(duì)應(yīng)的該多個(gè)抓取組件100的移動(dòng)與安置。在幾個(gè)實(shí)施例中，經(jīng)由該耦接結(jié)構(gòu)350，該自動(dòng)控制機(jī)構(gòu)耦接該多個(gè)移動(dòng)手臂200與該多個(gè)組件板抓取組件100。該耦接結(jié)構(gòu)350可促進(jìn)或使得該多個(gè)移動(dòng)手臂200的每ー移動(dòng)手臂200的協(xié)同、同步、或同步移動(dòng)、平移、及/或旋轉(zhuǎn)，同樣地該多個(gè)組件板抓取組件100的每ー組件板抓取組件100的協(xié)同、同步、或同步移動(dòng)、移位及/或安置。另外可選擇的是，該自動(dòng)控制機(jī)構(gòu)能夠?qū)崿F(xiàn)該多個(gè)移動(dòng)手臂200的至少ー移動(dòng)手臂200的選擇性移動(dòng)，和相應(yīng)地該多個(gè)組件板抓取組件100的至少ー組件板抓取組件100的選擇性移動(dòng)。藉由選擇性移動(dòng)與安置至少ー移動(dòng)手臂200，以及至少ー組件板抓取組件100，該自動(dòng)控制機(jī)構(gòu)能夠變化或調(diào)整該多個(gè)移動(dòng)手臂200的相對(duì)位置，以及同樣地該多個(gè)組件板抓取組件100的相對(duì)位置，以容許或使得該組件板處理設(shè)備20抓取或拾取不同尺寸的基材架50。在幾個(gè)實(shí)施例中，該自動(dòng)控制機(jī)構(gòu)耦接自動(dòng)感測(cè)裝置或機(jī)構(gòu)(例如自動(dòng)傳感器)(未顯示)。該自動(dòng)控制機(jī)構(gòu)配置以感測(cè)或決定組件板50 (例如基材架50)的尺寸及/或形狀；此后會(huì)產(chǎn)生、提供、及/或傳輸控制信號(hào)或驅(qū)動(dòng)指令以移動(dòng)與安置至少ー移動(dòng)手臂200，以及同樣地至少ー組件板抓取組件100，用以使得抓取或拾取所感測(cè)尺寸及/或形狀的基材架50 (例如基材架50或晶圓)。該自動(dòng)感測(cè)裝置可包括至少ー個(gè)，或在許多實(shí)施例中，為多個(gè)接近傳感器或位置傳感器，配置以檢測(cè)、感測(cè)、或決定組件板50 (例如基材架50)的尺寸及/或形狀。藉由接近傳感器或位置傳感器所檢測(cè)或感測(cè)到的組件板尺寸及/或形狀，該自動(dòng)感測(cè)裝置，以及同樣地該自動(dòng)控制機(jī)構(gòu)，能夠控制及/或?qū)崿F(xiàn)該多個(gè)組件板抓取組件100的移動(dòng)與安置至預(yù)定的、目標(biāo)的、或希望的相對(duì)位置上，以抓取對(duì)應(yīng)尺寸的組件板50 (例如基材架50)。該自動(dòng)感測(cè)裝置可被安置或被座落于組件板裝載工作站(例如基材架裝載工作站或基材架儲(chǔ)存工作站)(未顯示)內(nèi)部或接近處。該自動(dòng)感測(cè)裝置安置于該組件板裝載工作站(例如基材架儲(chǔ)存工作站)，可配置以自動(dòng)感測(cè)或檢測(cè)所安置或所儲(chǔ)存在組件板裝載工作站內(nèi)組件板50的尺寸。依據(jù)自動(dòng)感測(cè)裝置感測(cè)的組件板承載工作站安置的組件板50尺寸，然后該自動(dòng)控制機(jī)構(gòu)可實(shí)現(xiàn)及/或控制該多個(gè)組件板抓取組件100的移動(dòng)。更具體而言，依據(jù)自動(dòng)感測(cè)裝置感測(cè)的組件板承載工作站安置的組件板50尺寸，該自動(dòng)控制機(jī)構(gòu)可實(shí)現(xiàn)該多個(gè)組件板抓取組件100的移動(dòng)與安置至適當(dāng)相対的位置，以使得從該組件板裝載工作站抓取或所拾取該組件板50。在其它實(shí)施例中，該組件板處理設(shè)備20所裝載或接合的該自動(dòng)感測(cè)裝置，先用于感測(cè)、檢測(cè)、或決定組件板尺寸(例如基材架尺寸)，再由該組件板處理設(shè)備20抓取、拾取、或處理組件板50 (例如基材架50)拾取。執(zhí)行器或伺服馬達(dá)的各種實(shí)例本發(fā)明的許多實(shí)施例，該組件板處理設(shè)備20包括，或耦接至少ー執(zhí)行器250 (例如機(jī)電執(zhí)行器)或伺服馬達(dá)250。在一些實(shí)施例中，該組件板處理設(shè)備20包括執(zhí)行器250。該執(zhí)行器250或伺服馬達(dá)250可耦接于該組件板抓取組件100、該移動(dòng)手臂200、及/或該位置控制機(jī)構(gòu)300。該執(zhí)行器250配置以提供驅(qū)動(dòng)力，依據(jù)該位置控制機(jī)構(gòu)300所識(shí)別、所感測(cè)、所檢測(cè)、或所決定的 組件板尺寸，可用于實(shí)現(xiàn)該移動(dòng)手臂200的移位、平移、及/或旋轉(zhuǎn)，同樣地實(shí)現(xiàn)該組件板抓取組件100的移位與安置，移動(dòng)移動(dòng)移位移動(dòng)。圖8表示一特定組件板處理設(shè)備20，該組件板處理設(shè)備20有一執(zhí)行器250耦接于三個(gè)移動(dòng)手臂200與三個(gè)組件板抓取組件100，其中，每ー個(gè)移動(dòng)手臂200裝載ー組件板抓取組件100。在特定的實(shí)施例中，例如圖9所示，該組件板處理設(shè)備20包括四個(gè)執(zhí)行器250，其中每ー個(gè)執(zhí)行器250耦接于該組件板處理設(shè)備20的每ー移動(dòng)手臂200上。每ー個(gè)執(zhí)行器250配置以驅(qū)動(dòng)其耦接的移動(dòng)手臂200的移動(dòng)、平移、及/或旋轉(zhuǎn)。因此，每ー個(gè)執(zhí)行器250可配置以驅(qū)動(dòng)或控制上述執(zhí)行器250所耦接的該移動(dòng)手臂200所裝載的組件板抓取組件100的移動(dòng)與安置。該組件板處理設(shè)備20包括多個(gè)執(zhí)行器250，每ー個(gè)執(zhí)行器250耦接或連接至ー特定移動(dòng)手臂200,該多個(gè)執(zhí)行器250的姆ー執(zhí)行器250的操作,可以ー種使得該多個(gè)移動(dòng)手臂200被控制、被協(xié)調(diào)、被同步、及/或被同步移動(dòng)、平移、及/或旋轉(zhuǎn)的方式得到控制。在特定的實(shí)施例中，多個(gè)執(zhí)行器250的使用使得或者實(shí)現(xiàn)了對(duì)應(yīng)多個(gè)轉(zhuǎn)置手臂200被控制、被協(xié)調(diào)、被同步、及/或被同步移位、平移、及/被旋轉(zhuǎn)，同樣地也可以使得該多個(gè)組件板抓取組件100被控制、被協(xié)調(diào)、被同步、及/或被同步移動(dòng)、平移、及/或旋轉(zhuǎn)，而不需要使用該耦接結(jié)構(gòu)360及/或該耦接模塊360。本發(fā)明的各種實(shí)施例中該組件板處理設(shè)備20配置以處理、抓取、裝載、支撐、擷取、及/或轉(zhuǎn)移多種不同尺寸的組件板50 (例如基材架50)而無(wú)需藉由更換組件板處理件來(lái)中斷或打斷組件板處理設(shè)備的操作，這種更換為許多傳統(tǒng)組件板處理件(例如基材架處理件)所需要。因此，該組件板處理設(shè)備20的使用，幫助增加組件板處理與/或轉(zhuǎn)移的效率、簡(jiǎn)易性、及/或成本效益，例如，在半導(dǎo)體エ業(yè)中關(guān)于基材架50的處理與轉(zhuǎn)移。在特定的實(shí)施例中，該組件板處理設(shè)備20進(jìn)ー步包括傳感器(例如平衡傳感器)(未顯示)，配置以提供反饋或指示特定組件板50是被該組件板處理設(shè)備20正確地、適當(dāng)?shù)?、或合理地裝載、抓取、及/或處理。更具體地說(shuō)，該平衡傳感器可配置以提供使用者重量分配的反饋信息，例如藉由組件板處理設(shè)備20所裝載、抓取、及/或處理的組件板的準(zhǔn)確的或經(jīng)平衡的重量分配。施加于組件板50 (例如基材架50)上的吸真空力，以反應(yīng)于該傳感器(例如平衡傳感器)所提供的反饋信息而得到控制(例如通過(guò)選擇及/或調(diào)整)。當(dāng)特定組件板50沒(méi)被準(zhǔn)確地抓取，經(jīng)調(diào)整的吸真空力被施加在組件板50上，以對(duì)該特定組件板50實(shí)現(xiàn)或使得準(zhǔn)確、適當(dāng)、或合理的裝載、抓取、及/或處理之一者。當(dāng)過(guò)多吸真空力作用于特定組件板50，該施加在組件板50 (例如基材架50)的吸真空力可被調(diào)整(例如減弱)，以對(duì)該特定組件板50實(shí)現(xiàn)或使得準(zhǔn)確、適當(dāng)、或合理的裝載、抓取、及/或處理之一者。在特定的實(shí)施例中，該組件板處理設(shè)備20包括或是耦接于控制單元(未顯示)，像是計(jì)算機(jī)系統(tǒng)或裝置(例如個(gè)人計(jì)算機(jī)或計(jì)算機(jī)工作站)，其配置藉由執(zhí)行已儲(chǔ)存的程序指令(或計(jì)算機(jī)程序軟件指令)以配合控制該組件板處理設(shè)備20的操作，該已儲(chǔ)存的程序指令確定了或控制了根據(jù)本發(fā)明所述的組件板處理、抓取、轉(zhuǎn)移、或支撐的至少之ー者。代表性制程實(shí)施例的實(shí)例圖11表示制程500的流程圖，依據(jù)本發(fā)明實(shí)施例，藉由該組件板處理設(shè)備20，處理、抓取、裝載、支撐、及/或移位多種不同尺寸的組件板50 (例如基材架50)。 如前描述，該組件板處理設(shè)備20配置或采用以處理、抓取、支撐、裝載、擷取及/或轉(zhuǎn)移組件板50，例如多種不同尺寸及/或形狀的基材架50。此外，該組件板處理設(shè)備20可配置以處理、抓取、支撐、裝載、擷取及/或轉(zhuǎn)移不同種類的組件板50。在許多實(shí)例中，該組件板處理設(shè)備20包括多個(gè)組件板抓取組件100，該多個(gè)組件板抓取組件100移動(dòng)于不同位置之間(例如如圖3A、圖5A、圖5B所表不的第一位置；如圖3B、圖6A、圖6B所表示的第二位置；如圖3C、圖7A、圖7B所表示的第三位置)，用以處理、抓取、支撐、裝載、擷取、及/或轉(zhuǎn)移對(duì)應(yīng)尺寸(例如分別為第一尺寸的基材架50a、第二尺寸的基材架50b、第三尺寸的基材架50c)的組件板50，尤其是基材架50。關(guān)于基材架50，該第一尺寸、第二尺寸、第三尺寸可分別對(duì)應(yīng)至12英寸、8英寸與6英寸。在第一制程部分510，特定組件板50的尺寸及/或形狀，更具體而言是基材架50的尺寸及/或形狀，被識(shí)別、正向地指示、決定、感測(cè)或檢測(cè)。在許多實(shí)施例中，該手動(dòng)控制機(jī)構(gòu)320 (或人工調(diào)整機(jī)構(gòu)320)與該自動(dòng)控制機(jī)構(gòu)(或自動(dòng)調(diào)整機(jī)構(gòu))的至少之ー者促進(jìn)或?qū)崿F(xiàn)了該基材架尺寸及/或形狀的識(shí)別、正向指示、確定、感測(cè)、或檢測(cè)。該手動(dòng)控制機(jī)構(gòu)320移位將使用者的輸入(例如，使用者提供的或使用者實(shí)現(xiàn)的選擇)進(jìn)行移位以實(shí)現(xiàn)及/或控制至少ー組件板抓取組件100的移動(dòng)，以及在許多實(shí)施例中的多個(gè)組件板抓取組件100的移位。如前描述，該手動(dòng)控制機(jī)構(gòu)320包括該控制接ロ 325、該選擇件連桿330、以及該選擇件導(dǎo)向件335。該使用者能夠移動(dòng)或操作該選擇件連桿330至該多個(gè)連接標(biāo)示件327之一者，該多個(gè)連接標(biāo)示件327形成于控制接ロ中。該多個(gè)連接標(biāo)示件327的姆ー連接標(biāo)示件327對(duì)應(yīng)至少ー組件板抓取組件100的特定、預(yù)設(shè)、或特指位置，同樣地在許多實(shí)例中對(duì)應(yīng)該多個(gè)組件板抓取組件100的特定、預(yù)設(shè)、或指定位置。藉由選擇或決定該選擇件連桿330所配合的多個(gè)連接標(biāo)示件327中的一個(gè)連接標(biāo)示件327，使用者選擇或決定該至少ー組件板抓取組件100的位置，同樣地在許多實(shí)例中該多個(gè)組件板抓取組件100的位置。這也就是說(shuō)，藉由選擇或決定選擇件連桿330連接至多個(gè)連接標(biāo)示件327中的一個(gè)連接標(biāo)示件327，系連接使用者互動(dòng)或使用者輸入的結(jié)果，由該組件板處理設(shè)備20的處理、抓取、裝載、支撐、擷取、及/或轉(zhuǎn)移的該組件板50 (例如基材架50)尺寸因而建立、被指示、或被決定。該自動(dòng)控制機(jī)構(gòu)配置以自動(dòng)地、大致自動(dòng)地、或至少部分自動(dòng)地來(lái)感測(cè)、檢測(cè)、或決定組件板尺寸。在多種實(shí)施例中，該自動(dòng)控制機(jī)構(gòu)耦接于該自動(dòng)感測(cè)裝置配置以感測(cè)、檢測(cè)、或決定組件板尺寸及/或形狀。該自動(dòng)感測(cè)裝置可包括至少ー個(gè)，在多種實(shí)施例中包括多個(gè)傳感器或感測(cè)組件。該自動(dòng)感測(cè)裝置可由該組件板處理設(shè)備20所裝載，或設(shè)于該組件板處理設(shè)備20的外部，例如由組件板裝載工作站或組件板儲(chǔ)存工作站所配置或裝載。在大多實(shí)施例中，該多個(gè)組件板抓取組件100的位置取決于組件板50的尺寸，更具體而言是基材板50，該組件板50通過(guò)該組件板處理設(shè)備20所處理、抓取、裝載、支撐、擷取、及/或轉(zhuǎn)移。第二制程部分520包括移動(dòng)至少一組件板抓取組件100，且在許多實(shí)例中，移位該多個(gè)組件板抓取組件100，用于安置該至少一組件板抓取組件100，且在許多實(shí)例中，用于安置該多個(gè)組件板抓取組件100，基于所識(shí)別的、感測(cè)的、檢測(cè)的、或確定的組件板尺寸(例如基材架尺寸)安置在預(yù)定的或目標(biāo)位置。
圖5A和圖5B表示該多個(gè)組件板抓取組件100的位置(例如四個(gè)組件板抓取組件100)在第一位置，以使得處理該第一尺寸的基材架50a(例如12英寸)。圖6A和圖6B表示該多個(gè)組件板抓取組件100的位置在第二位置，以使得處理該第二尺寸的基材架50b (例如8英寸)。圖7A和圖7B表示該多個(gè)組件板抓取組件100的位置在第三位置，以使得處理該第三尺寸基材架50c (例如6英寸)。該至少一組件板抓取組件100的移動(dòng)，以及在許多實(shí)例中該多個(gè)組件板抓取組件100的移位，可藉由該位置控制機(jī)構(gòu)300來(lái)促進(jìn)、實(shí)現(xiàn)、及/或控制。如前描述，該位置控制機(jī)構(gòu)300包括手動(dòng)控制機(jī)構(gòu)320及/或自動(dòng)控制機(jī)構(gòu)，該手動(dòng)控制機(jī)構(gòu)320與自動(dòng)控制機(jī)構(gòu)配置的每ー個(gè)裝配以提供組件板尺寸的識(shí)別、或正向指示、或確定。本發(fā)明的幾個(gè)實(shí)施例中，用協(xié)調(diào)、實(shí)質(zhì)協(xié)調(diào)、同步的方式可實(shí)現(xiàn)該多個(gè)組件板抓取組件100的移動(dòng)。例如，在一些實(shí)施例中，連結(jié)帶350相互連結(jié)或耦接于該多個(gè)移動(dòng)手臂200的每ー移動(dòng)手臂200，以及該多個(gè)組件板抓取組件100的每ー組件板抓取組件100配置以促進(jìn)或?qū)崿F(xiàn)該多個(gè)移動(dòng)手臂200上述同步的或至少實(shí)質(zhì)上同步的移動(dòng)、平移及/或旋轉(zhuǎn)之一者；同樣地促進(jìn)或?qū)崿F(xiàn)該多個(gè)組件板抓取組件100同步的或至少實(shí)質(zhì)上同步的移動(dòng)與安置。該組件板處理設(shè)備20可包括執(zhí)行器250 (例如機(jī)電執(zhí)行器或伺服馬達(dá))，用于實(shí)現(xiàn)該多個(gè)移動(dòng)手臂200的至少ー移動(dòng)手臂200的移動(dòng)。在特定實(shí)施例中，該組件板處理設(shè)備20包括多個(gè)執(zhí)行器250,該多個(gè)執(zhí)行器250的姆ー執(zhí)行器250稱接于該多個(gè)移動(dòng)手臂200中的一移動(dòng)手臂200，用以促進(jìn)與實(shí)現(xiàn)該多個(gè)移動(dòng)手臂200的控制的、協(xié)同的、及/或同步的移動(dòng)與安置之一者，以及多個(gè)組件板抓取組件100的移位與安置。在多個(gè)不同位置之間的多個(gè)組件板抓取組件100的移動(dòng)使得一組組件板抓取組件100的安置，以用于處理、抓取、裝載、支撐、擷取、及/或轉(zhuǎn)移對(duì)應(yīng)的多個(gè)不同尺寸的基材架50。該至少一組件板抓取組件100的移動(dòng)，在許多實(shí)施例中為多個(gè)組件板抓取組件100的移位，可藉由位置控制機(jī)構(gòu)300所促進(jìn)、實(shí)現(xiàn)、及/或控制。在特定實(shí)施例中，該位置控制機(jī)構(gòu)300包括自動(dòng)控制機(jī)構(gòu)，該至少ー組件板抓取組件100的移動(dòng)可藉由計(jì)算機(jī)裝置(未顯示)上所執(zhí)行的計(jì)算機(jī)軟件程序而控制，該計(jì)算機(jī)裝置耦接于該組件板處理設(shè)備。依據(jù)預(yù)設(shè)或預(yù)先設(shè)計(jì)的計(jì)算機(jī)軟件程序，每ー組件板抓取組件100可自動(dòng)地移動(dòng)。
在第三制程部分中，該至少一組件板抓取組件100，以及在許多實(shí)例中該多個(gè)組件板抓取組件100，是用以所識(shí)別的、感測(cè)的、檢測(cè)的、或決定的尺寸的組件板50 (例如基材架50)的抓取、拾取、或擷取。該復(fù)數(shù)組件板抓取組件100可包括、或可為多個(gè)真空或吸著組件100。該多個(gè)真空組件100配置以施加吸真空或吸引力至組件板50 ( 例如基材架50)，用以抓取、支撐、裝載、擷取、或固定該組件板50至該組件板處理設(shè)備20上。經(jīng)由該多個(gè)吸著組件100所施加的真空或吸引力的開(kāi)始、結(jié)束、大小、及/或作用時(shí)間，可依需求控制或變化，例如基于藉由該組件板處理設(shè)備20所抓取、裝載、支撐、擷取、及/或轉(zhuǎn)移的組件板50 (例如基材架50)的尺寸。僅管所揭露的真空或吸引力用于抓取、支撐、或固定組件板50 (例如基材架50)至該組件板處理設(shè)備20上，可了解的是，其它具有抓取、支撐、或固定組件板50(例如基材架50)至組件板處理設(shè)備20上的功能的裝置、工具或機(jī)構(gòu)，都是在本發(fā)明范圍內(nèi)可選擇性地或額外地被使用的。例如，該組件板抓取組件100可包括或裝載黏著組件、夾取機(jī)構(gòu)或磁性吸引機(jī)構(gòu)，它們都能用于促進(jìn)或?qū)崿F(xiàn)組件板50 (例如基材架50)至組件板處理設(shè)備20上的抓取或支撐。裝載該組件板50 (例如基材架50)的組件板處理設(shè)備20為可移動(dòng)、平移、及/或旋轉(zhuǎn)，用于在不同位置、地點(diǎn)、或系統(tǒng)組件板、或工作站之間組件板50的移動(dòng)或轉(zhuǎn)移該。如前描述，該組件板處理設(shè)備20可包括或耦接于移動(dòng)作用器30，該移動(dòng)作用器30配置以實(shí)現(xiàn)組件板處理設(shè)備20的移動(dòng)、平移、及/或旋轉(zhuǎn)。本發(fā)明的實(shí)施例涉及設(shè)備、裝置、系統(tǒng)、制程、及/或方法，用于處理、抓取、支撐、裝載、擷取、及/或轉(zhuǎn)移組件，例如不同尺寸的，像是基材架、印刷電路板(PCB)之電子組件、以及太陽(yáng)能電池或太陽(yáng)能板的半導(dǎo)體組件。該設(shè)備包括至少ー組件板抓取組件，以及在許多實(shí)施例中包括多個(gè)組件板抓取組件(例如ニ、三、四、或更多個(gè)組件板抓取組件)，可于ー些不同位置之間移動(dòng)，每ー位置對(duì)應(yīng)特定組件板尺寸。該組件板抓取組件的位置在不同預(yù)設(shè)、特定、或指定位置上使得對(duì)應(yīng)組件板尺寸的抓取。該組件板抓取組件的移動(dòng)與安置由位置控制機(jī)構(gòu)所控制。該位置控制機(jī)構(gòu)可包括手動(dòng)控制機(jī)構(gòu)及/或自動(dòng)控制機(jī)構(gòu)。該手動(dòng)控制機(jī)構(gòu)配置以接收使用者提供的或執(zhí)行的輸入，其可識(shí)別、指示、或決定組件板尺寸；以及移位上述使用者提供輸入，用于實(shí)現(xiàn)及/或控制該組件板抓取組件的移動(dòng)與安置。該自動(dòng)控制機(jī)構(gòu)配置以自動(dòng)地或至少實(shí)質(zhì)上自動(dòng)感測(cè)、檢測(cè)、或決定組件板尺寸；以及依據(jù)所感測(cè)、所檢測(cè)、及/或所決定的組件板尺寸來(lái)實(shí)現(xiàn)及/或控制該組件板抓取組件的移動(dòng)與安置。本發(fā)明的各種實(shí)施例的設(shè)備功能(如，組件板處理設(shè)備)，用于處理、抓取、支撐、裝載、擷取、及/或轉(zhuǎn)移多種不同尺寸的組件板，免除上述設(shè)備在抓取第一尺寸組件板與抓取第二尺寸組件板之間的擾亂、中斷、或停止操作的需求。傳統(tǒng)組件板處理設(shè)備(例如傳統(tǒng)基材架處理件)不具備在不需要中斷、或停止操作的情況下處理、抓取、裝載、擷取、及/或轉(zhuǎn)移不同尺寸的組件板的功能，以改變?cè)O(shè)備組件板，即采用上述傳統(tǒng)組件板處理件用于處理、抓取、裝載、擷取、及/或轉(zhuǎn)移不同尺寸的組件板。因此，本發(fā)明的各種實(shí)施例在處理組件板方面可以更有效率或有效，組件板可以有多種尺寸及/或形狀(例如多個(gè)有可能的、預(yù)設(shè)的、或標(biāo)準(zhǔn)組件尺寸或形狀)、可以更符合成本效益、及/或結(jié)構(gòu)與制造上相較先前系統(tǒng)、設(shè)備、裝置、或技術(shù)更簡(jiǎn)易地處理組件板。除了前面已描述實(shí)施例之外，依照本發(fā)明實(shí)際實(shí)施例可具不同結(jié)構(gòu)上的配置，而提供相似、實(shí)質(zhì)相似、或類似在處理具多個(gè)不同尺寸及/或形狀的組件板的方面的功能。例如，實(shí)施例可包括多個(gè)組件板抓取組件，耦接于具有一個(gè)或更多個(gè)彈性組件的弾性偏壓結(jié)構(gòu)、設(shè)備、或機(jī)構(gòu)，弾性組件配置以促使組件板抓取組件依照第一或預(yù)設(shè)位置互相分離。自動(dòng)控制機(jī)構(gòu)，像是執(zhí)行器或伺服馬達(dá)，可配置以選擇性或程序可控地施加作用力(例如應(yīng)對(duì)所檢測(cè)或決定的組件板尺寸及/或使用者輸入)，此作用力作用在或反作用在該彈性組件上，以轉(zhuǎn)變或移位該組件板抓取組件從第一或預(yù)設(shè)位置至第二位置、第三位置、及/或一個(gè)或更多其它位置上，其中，當(dāng)該組件板抓取組件設(shè)置在該第一位置時(shí)，該第二、第三、與其它位置可使組件板抓取組件之間設(shè)置地互相更靠近。該第一、第二、第三與其它位置對(duì)應(yīng)不同組件板尺寸或形狀。本發(fā)明的特定實(shí)施例如前描述，用于滿足先前提出問(wèn)題中的至少ー者。當(dāng)與特定實(shí)施例相關(guān)的特征、功能、優(yōu)點(diǎn)、與選擇已被描述在那些實(shí)施例內(nèi)容范圍內(nèi)，其它實(shí)施例也可能呈現(xiàn)類似優(yōu)點(diǎn)，而且并非全部實(shí)施例都必須被記載在本發(fā)明公開(kāi)內(nèi)容里以呈現(xiàn)類似優(yōu) 點(diǎn)?？烧J(rèn)識(shí)到的是，上述一些公開(kāi)的結(jié)構(gòu)、特征、和功能、或它們的其它替代方式，可以很好地結(jié)合在其它不同的裝置、系統(tǒng)、或應(yīng)用中。上述揭露的結(jié)構(gòu)、特征、與功能、或他們的替代方式，以及各種由本領(lǐng)域技術(shù)人員以后會(huì)做出但目前未預(yù)見(jiàn)到或未預(yù)料到的選擇、修改、變化或改進(jìn)，都在權(quán)利要求涉及的保護(hù)范圍中。
權(quán)利要求
1.一種設(shè)備，包括 多個(gè)移動(dòng)手臂，每個(gè)移動(dòng)手臂包括設(shè)于其縱長(zhǎng)方向的至少ー組件板抓取組件，該至少一組件板抓取組件配置為抓取組件板，該多個(gè)移動(dòng)手臂在多個(gè)若干組預(yù)設(shè)位置之間移動(dòng)，每ー組的若干組預(yù)設(shè)位置對(duì)應(yīng)不同形狀和/或尺寸的組件板 '及 位置控制機(jī)構(gòu)，適應(yīng)地耦接該多個(gè)移動(dòng)手臂，該位置控制機(jī)構(gòu)配置以控制多個(gè)移動(dòng)手臂移動(dòng)至多個(gè)若干組預(yù)設(shè)位置中的一組預(yù)設(shè)位置，對(duì)應(yīng)于待處理的組件板的形狀和尺寸， 其中該多個(gè)移動(dòng)手臂的移動(dòng)實(shí)現(xiàn)其上該至少一組件板抓取組件移動(dòng)至ー組預(yù)設(shè)位置，以抓取和處理對(duì)應(yīng)于預(yù)設(shè)形狀和尺寸的組件板。
2.如權(quán)利要求I所述的設(shè)備，其特征是該多個(gè)移動(dòng)手臂中每ー個(gè)移動(dòng)手臂的該至少一組件板抓取組件的每ー個(gè)組件板抓取組件流動(dòng)耦接至少ー個(gè)真空源，而且配置以提供吸真空力至組件板的表面，以當(dāng)觸發(fā)至少ー個(gè)真空源時(shí)促進(jìn)處理組件板。
3.如權(quán)利要求2所述的設(shè)備，其特征是該至少一組件板抓取組件沿該多個(gè)移動(dòng)手臂的每ー個(gè)的縱長(zhǎng)方向在多個(gè)位置間移動(dòng)，以抓取和處理不同形狀和/或尺寸的組件板。
4.如權(quán)利要求3所述的設(shè)備，其特征是該多個(gè)移動(dòng)手臂的每ー個(gè)的移動(dòng)手臂包括至少ー相接其它部分的部件，該部件包括設(shè)于其上的至少ー組件板抓取組件。
5.如權(quán)利要求4所述的設(shè)備，其特征是該位置控制機(jī)構(gòu)包括手動(dòng)位置控制機(jī)構(gòu)，該手動(dòng)位置控制機(jī)構(gòu)適應(yīng)地耦接多個(gè)移動(dòng)手臂，該手動(dòng)位置控制機(jī)構(gòu)由使用者輸入手動(dòng)配置，以控制和實(shí)現(xiàn)多個(gè)移動(dòng)手臂同步移動(dòng)至多組預(yù)設(shè)位置中選定的一組預(yù)設(shè)位置上，以抓取對(duì)應(yīng)選定組件板形狀和/或尺寸的組件板。
6.如權(quán)利要求5所述的設(shè)備，其特征是該手動(dòng)位置控制機(jī)構(gòu)包括 帯，該帶耦接手動(dòng)位置控制機(jī)構(gòu)至多個(gè)耦接結(jié)構(gòu)上，該耦接結(jié)構(gòu)依次適應(yīng)地耦接多個(gè)移動(dòng)手臂； 選擇接ロ，包括多個(gè)連接標(biāo)示件，該多個(gè)連接標(biāo)示件的姆ー個(gè)對(duì)應(yīng)不同組件板形狀和/或尺寸的選擇；以及 選擇件連桿，根據(jù)使用者選擇，可相對(duì)該選擇接ロ移動(dòng)，且配置以連接多個(gè)連接標(biāo)示件的姆ー個(gè)， 其中，該選擇件連桿手動(dòng)連接至多個(gè)連接標(biāo)示件的任何ー個(gè)驅(qū)使帶移動(dòng)ー個(gè)預(yù)設(shè)距離，對(duì)應(yīng)于移動(dòng)多個(gè)移動(dòng)手臂至多個(gè)若干組預(yù)設(shè)位置中的一組預(yù)設(shè)位置，以抓取對(duì)應(yīng)選定組件板形狀和/或尺寸的組件板。
7.如權(quán)利要求4所述的設(shè)備，其特征是該位置控制機(jī)構(gòu)是自動(dòng)的，而且包括至少ー執(zhí)行器，該執(zhí)行器適應(yīng)地耦接多個(gè)耦接結(jié)構(gòu)的至少ー個(gè)，該多個(gè)耦接結(jié)構(gòu)的每ー個(gè)通過(guò)帶耦接，其中至少ー執(zhí)行器在被觸發(fā)時(shí)配置以旋轉(zhuǎn)耦接結(jié)構(gòu)來(lái)驅(qū)動(dòng)帶同步移動(dòng)或其它方式移動(dòng)多個(gè)移動(dòng)手臂中的每ー個(gè)至多個(gè)若干組預(yù)設(shè)位置中的一組預(yù)設(shè)位置，以抓取對(duì)應(yīng)選定組件板形狀和/或尺寸的組件板。
8.如權(quán)利要求4所述的設(shè)備，其特征是該位置控制機(jī)構(gòu)是自動(dòng)的，而且包括多個(gè)執(zhí)行器，多個(gè)執(zhí)行器的每ー個(gè)耦接多個(gè)耦接結(jié)構(gòu)的每ー個(gè)，該耦接結(jié)構(gòu)耦接多個(gè)移動(dòng)手臂中的每ー個(gè)，其中多個(gè)執(zhí)行器配置以被觸發(fā)來(lái)同步移動(dòng)或其它方式移動(dòng)多個(gè)移動(dòng)手臂的每ー個(gè)至多個(gè)若干組預(yù)設(shè)位置中的一組預(yù)設(shè)位置，以抓取對(duì)應(yīng)選定組件板形狀和/或尺寸的組件板。
9.如權(quán)利要求7或8所述的設(shè)備，其特征是由位置控制機(jī)構(gòu)處理的組件板形狀和/或尺寸的選擇或確定是自動(dòng)的，并且使得由自動(dòng)感應(yīng)或檢測(cè)裝置配置以(a)感應(yīng)或檢測(cè)用于處理的組件板的形狀和/或尺寸，和(b)傳送給處理器合適的信號(hào)，其中其后的處理器傳送合適的控制信號(hào)或執(zhí)行指令至位置控制機(jī)構(gòu)以移動(dòng)多個(gè)移動(dòng)手臂的每ー個(gè)至一組預(yù)設(shè)位置，該預(yù)設(shè)位置對(duì)應(yīng)所感應(yīng)或檢測(cè)到的組件板的形狀和/或尺寸。
10.如權(quán)利要求9所述的設(shè)備，其特征是自動(dòng)感應(yīng)或檢測(cè)裝置包括至少ー個(gè)傳感器或感應(yīng)件，該傳感器或感應(yīng)件設(shè)于組件板處理設(shè)備上或組件板處理設(shè)備的外部。
11.如權(quán)利要求10所述的設(shè)備，其特征是用于處理和用于移動(dòng)多個(gè)移動(dòng)手臂至多個(gè)若干組預(yù)設(shè)位置中的一組預(yù)設(shè)位置來(lái)處理組件板的對(duì)組件板的存在、形狀、和/或尺寸的感應(yīng)，是由處理器提供的可執(zhí)行軟件來(lái)操作和控制。
12.如權(quán)利要求I所述的設(shè)備，其特征是在多個(gè)移動(dòng)手臂上的至少ー組件板抓取組件間的相對(duì)空間取決于待處理的組件板的至少ー個(gè)物理性質(zhì)，該物理性質(zhì)至少包括形狀、半徑、直徑、和平面表面區(qū)域中的ー個(gè)。
13.如權(quán)利要求12所述的設(shè)備，其特征是在多個(gè)若干組預(yù)設(shè)位置之間的該多個(gè)移動(dòng)手臂的相對(duì)空間取決于多個(gè)エ業(yè)化標(biāo)準(zhǔn)尺寸的組件板的直徑。
14.如權(quán)利要求12或13所述的設(shè)備，其特征是該設(shè)備包括至少ー個(gè)感應(yīng)件，該感應(yīng)件耦接每個(gè)組件板抓取組件，至少ー個(gè)感應(yīng)件的每ー個(gè)配置為提供反饋信號(hào)至處理器，該信號(hào)根據(jù)設(shè)備在一組預(yù)設(shè)位置上接觸組件板的表面時(shí)組件板的重量分布，處理器配置以提供信號(hào)至至少ー個(gè)真空源，該至少ー個(gè)真空源流動(dòng)耦接至少ー組件板抓取組件的每ー個(gè)，來(lái)調(diào)整施加在一組預(yù)設(shè)位置中每ー個(gè)位置組件板上的吸力。
15.如權(quán)利要求14所述的設(shè)備，其特征是該傳感器提供反饋信號(hào)的操作由處理器提供的可執(zhí)行軟件控制。
16.如權(quán)利要求I所述的設(shè)備，其特征是該至少一組件板抓取組件包括抓取組件板的黏著組件、抓取組件、和抓取組件中的至少ー個(gè)。
17.如權(quán)利要求I所述的設(shè)備，其特征是該至少一組件板抓取組件包括磁性組件，該磁性組件配置以施加吸引力至該組件板的至少ー個(gè)部分，從而藉由該組件板處理設(shè)備實(shí)現(xiàn)該組件板的抓取或處理。
18.如權(quán)利要求I一 17中任一項(xiàng)所述的設(shè)備，其特征是該組件板包括基材架，半導(dǎo)體晶圓、半導(dǎo)體晶圓的ー個(gè)部分、太陽(yáng)能晶圓板、太陽(yáng)能電池板、以及有電路組件的電子裝置封裝件中的ー個(gè)。
19.如權(quán)利要求18所述的設(shè)備，其特征是在相對(duì)于設(shè)備的第一工作站和另ー個(gè)工作站之間組件板的抓取、移動(dòng)、運(yùn)輸、和卸載中的至少ー個(gè)操作由處理器提供的可執(zhí)行軟件控制。
20.一種處理組件板的方法，包括 提供用于處理的組件板； 選擇待處理的組件板的形狀和/或尺寸； 觸發(fā)位置控制機(jī)構(gòu)，該位置控制機(jī)構(gòu)配置以移動(dòng)多個(gè)耦接位置控制機(jī)構(gòu)的移動(dòng)手臂，至多個(gè)若干組預(yù)設(shè)位置中的一組預(yù)設(shè)位置，該組預(yù)設(shè)位置對(duì)應(yīng)提供的組件板的形狀和/或尺寸，每個(gè)移動(dòng)手臂包括至少ー組件板抓取組件；及移動(dòng)多組移動(dòng)手臂至該組預(yù)設(shè)位置，以在觸發(fā)真空源來(lái)使得拾取選定組件板之前處理選定形狀和/或尺寸的組件板。
21.如權(quán)利要求20所述的方法，其特征是由使用者輸入的方式來(lái)實(shí)現(xiàn)待處理組件板形狀和/或尺寸的選擇。
22.如權(quán)利要求21所述的方法，其特征是該使用者輸入包括相對(duì)于在手動(dòng)位置控制機(jī)構(gòu)的選擇接口上的多個(gè)連接標(biāo)示件的ー個(gè)手動(dòng)設(shè)置選擇件連桿，該手動(dòng)位置控制機(jī)構(gòu)配置為將使用者輸入轉(zhuǎn)換為將多個(gè)移動(dòng)手臂同步移動(dòng)至該組預(yù)設(shè)位置，該預(yù)設(shè)位置對(duì)應(yīng)選定組件板形狀和/或尺寸。
23.如權(quán)利要求20所述的方法，其特征是組件板形狀和/或尺寸的選擇通過(guò)至少一 自動(dòng)感應(yīng)或檢測(cè)裝置來(lái)自動(dòng)實(shí)現(xiàn)。
24.如權(quán)利要求23所述的方法，其特征是該至少ー自動(dòng)感應(yīng)或檢測(cè)裝置配置為當(dāng)提供組件板時(shí)自動(dòng)感應(yīng)組件板的存在，形狀，和尺寸中的至少ー個(gè)，該自動(dòng)感應(yīng)或檢測(cè)裝置配置為傳送信號(hào)至處理器，以及其中處理器配置為傳輸指令信號(hào)至位置控制機(jī)構(gòu)，根據(jù)所感應(yīng)或檢測(cè)到的組件板形狀和/或尺寸，自動(dòng)移動(dòng)多組移動(dòng)手臂至一組預(yù)設(shè)位置。
全文摘要
一種組件板處理設(shè)備，配置以處理、裝載、抓取、支撐、擷取、及/或轉(zhuǎn)移例如多種不同尺寸的晶圓或基材架或太陽(yáng)能電池板(“組件板”)。該組件板處理設(shè)備包括至少一組件板抓取組件，可在一些不同位置之間移位，每一位置對(duì)應(yīng)特定組件板尺寸。因此，該至少一組件板抓取組件可安置到不同位置，以容許對(duì)應(yīng)尺寸的組件板的處理、裝載、抓取、支撐、擷取、及/或轉(zhuǎn)移。該組件板處理設(shè)備也包括位置對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)，配置以控制及/或?qū)崿F(xiàn)該至少一組件板抓取組件至不同位置的移動(dòng)。該組件板處理設(shè)備也可包括至少一移動(dòng)手臂，耦接于該至少一組件板抓取組件。藉由該至少一移動(dòng)手臂的至少一個(gè)部分的移動(dòng)、旋轉(zhuǎn)、及/或平移來(lái)實(shí)現(xiàn)該至少一組件板抓取組件的移動(dòng)。本發(fā)明亦包括一種用于處理多種尺寸的組件板(例如晶圓或基材架或太陽(yáng)能電池板)的方法。
文檔編號(hào)H01L21/683GK102779776SQ20121014891
公開(kāi)日2012年11月14日 申請(qǐng)日期2012年5月14日 優(yōu)先權(quán)日2011年5月12日
發(fā)明者王利光, 金劍平 申請(qǐng)人:聯(lián)達(dá)科技設(shè)備私人有限公司